JPS625703U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS625703U JPS625703U JP9665285U JP9665285U JPS625703U JP S625703 U JPS625703 U JP S625703U JP 9665285 U JP9665285 U JP 9665285U JP 9665285 U JP9665285 U JP 9665285U JP S625703 U JPS625703 U JP S625703U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner conductor
- high frequency
- coaxial tube
- conductor
- frequency transmission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Waveguides (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
- Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の高周波伝送用同軸
管の縦断面図、第２図は第１図の―矢視断面
図、第３図は従来の高周波加熱装置の模式図、第
４図は第３図の部拡大斜視断面図である。 １……高周波発振器、２……同軸管、３……ア
ンテナ、４……真空容器、５……プラズマ、６…
…内導体、７……外導体、８……内導体冷却用ガ
ス、９……外導体冷却用ガス、１０……内導体厚
肉部、１１……スリツト。
管の縦断面図、第２図は第１図の―矢視断面
図、第３図は従来の高周波加熱装置の模式図、第
４図は第３図の部拡大斜視断面図である。 １……高周波発振器、２……同軸管、３……ア
ンテナ、４……真空容器、５……プラズマ、６…
…内導体、７……外導体、８……内導体冷却用ガ
ス、９……外導体冷却用ガス、１０……内導体厚
肉部、１１……スリツト。
Claims (1)
- 内導体と外導体とからなる高周波伝送用同軸管
において、内導体の高周波損失の大きい部分に内
導体の外径寸法を変えることなく厚肉部を設け、
この厚肉部の内周側に内導体の軸に沿うスリツト
を入れたことを特徴とする高周波伝送用同軸管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9665285U JPS625703U (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9665285U JPS625703U (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS625703U true JPS625703U (ja) | 1987-01-14 |
Family
ID=30962616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9665285U Pending JPS625703U (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS625703U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022003628A (ja) * | 2020-06-23 | 2022-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 高周波給電部材及びプラズマ処理装置 |
-
1985
- 1985-06-27 JP JP9665285U patent/JPS625703U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022003628A (ja) * | 2020-06-23 | 2022-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 高周波給電部材及びプラズマ処理装置 |