JPS625714A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS625714A JPS625714A JP14364485A JP14364485A JPS625714A JP S625714 A JPS625714 A JP S625714A JP 14364485 A JP14364485 A JP 14364485A JP 14364485 A JP14364485 A JP 14364485A JP S625714 A JPS625714 A JP S625714A
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- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は音響反射スプリアスを改善した弾性表面波装
置に関するものである。
置に関するものである。
圧電体基板の表面に第１の櫛歯形電極および第２の櫛歯
形電極を互に噛合せて電極指対を形成して、これにより
弾性表面波トランスジューサを構成した弾性表面波装置
が知られている。基本的な弾性表Ｘ波装置として第４図
に示すように、圧電体基板１上に入力トランスジューサ
２と出力トランスジューサ３を配置したものがある。入
力トランスジューサ２と出力トランスジューサ３は１／
８波長幅の電極指を左右に２本づつ配列したスプリット
形第１電極指４，５に１／８波長幅の電極指を中央部ｉ
こ２本配列した第２電極指６．７とをそれぞれ互に噛み
合せ、各電極指間の空隙８，９を電極指４〜７の幅と同
じ１／８波長に設定しである。この入出カドランスジ為
−サ２，３は電極指の存在する箇所と存在しない箇所の
音響インピーダンスの差に起因して各電極指の両端部で
発生する弾性表面波の反射は隣接する電極指の反射で互
いに打ち消し合うことが知られている。
形電極を互に噛合せて電極指対を形成して、これにより
弾性表面波トランスジューサを構成した弾性表面波装置
が知られている。基本的な弾性表Ｘ波装置として第４図
に示すように、圧電体基板１上に入力トランスジューサ
２と出力トランスジューサ３を配置したものがある。入
力トランスジューサ２と出力トランスジューサ３は１／
８波長幅の電極指を左右に２本づつ配列したスプリット
形第１電極指４，５に１／８波長幅の電極指を中央部ｉ
こ２本配列した第２電極指６．７とをそれぞれ互に噛み
合せ、各電極指間の空隙８，９を電極指４〜７の幅と同
じ１／８波長に設定しである。この入出カドランスジ為
−サ２，３は電極指の存在する箇所と存在しない箇所の
音響インピーダンスの差に起因して各電極指の両端部で
発生する弾性表面波の反射は隣接する電極指の反射で互
いに打ち消し合うことが知られている。
しかしながら、内部で音響反射の合成波が零になる構造
のトランスジューサ２．３で弾性表面波フィルタを構成
した場合、入出力トランスジューサ２゜３の存在しない
弾性表面波の伝搬路において音響インピーダンスに差が
生じるため、入出力トランスジューサ２，３の両端部で
音響反射が起こる。
のトランスジューサ２．３で弾性表面波フィルタを構成
した場合、入出力トランスジューサ２゜３の存在しない
弾性表面波の伝搬路において音響インピーダンスに差が
生じるため、入出力トランスジューサ２，３の両端部で
音響反射が起こる。
そこで、このような音響反射を取り除く手段として、第
５図に示すように、弾性表面波伝搬路にそれぞれ入出力
トランスジューサ２，３の電極指４〜７と同一形状の音
響インピーダンス補償用電極１１ａ、ｌｌｂ、１１Ｃを
入出力トランスジューサ２，３の音響インピーダンスの
周期に一致するように配置した弾性表面波装置が考えだ
された。この弾性表面波装置は１９７２年の「アイ・イ
・イ・イ ウルトラソニツクス シンポジ為−ム（ＩＥ
ＥＥＵｌ ｔｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ
） Ｊ ３７３−３７６ 頁で報告されている。
５図に示すように、弾性表面波伝搬路にそれぞれ入出力
トランスジューサ２，３の電極指４〜７と同一形状の音
響インピーダンス補償用電極１１ａ、ｌｌｂ、１１Ｃを
入出力トランスジューサ２，３の音響インピーダンスの
周期に一致するように配置した弾性表面波装置が考えだ
された。この弾性表面波装置は１９７２年の「アイ・イ
・イ・イ ウルトラソニツクス シンポジ為−ム（ＩＥ
ＥＥＵｌ ｔｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ
） Ｊ ３７３−３７６ 頁で報告されている。
ところが、このような手段を例えば第６図に示すような
入カドランスジ、−サ２１にアポダイズがかかった構造
の弾性表面波装置に適用すると、以下に述べるような不
都合が生じる。つまり、アポダイス形の入力トランスジ
ューサ２１と正規形の出力トランスジューサ２２間の弾
性表面波伝搬路ｌこ音響インピーダンス補償用電極２３
を配置することにより、入カドランスジ、−サ２１の電
気信号供給側ダミー電極２４に隣接する音響インピーダ
ンス補償用電極２３が電磁結合するため、両者が対向す
る領域で表面波２５の輻射が起き、周波数特性が著しく
劣化することになる。なお図中２６は出カドランスジ為
−サ２２の右側に配置された音響インピーダンス補償用
電極である。
入カドランスジ、−サ２１にアポダイズがかかった構造
の弾性表面波装置に適用すると、以下に述べるような不
都合が生じる。つまり、アポダイス形の入力トランスジ
ューサ２１と正規形の出力トランスジューサ２２間の弾
性表面波伝搬路ｌこ音響インピーダンス補償用電極２３
を配置することにより、入カドランスジ、−サ２１の電
気信号供給側ダミー電極２４に隣接する音響インピーダ
ンス補償用電極２３が電磁結合するため、両者が対向す
る領域で表面波２５の輻射が起き、周波数特性が著しく
劣化することになる。なお図中２６は出カドランスジ為
−サ２２の右側に配置された音響インピーダンス補償用
電極である。
この発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、入出力トランスジェーサ両端部での音響反射を改善
するとともに１表面波の輻射を抑制することができる弾
性表面波装置を提供することを目的とする。
で、入出力トランスジェーサ両端部での音響反射を改善
するとともに１表面波の輻射を抑制することができる弾
性表面波装置を提供することを目的とする。
この発明はアポダイズ形の入力トランスジューサならび
に電極指対の交差幅が一様な正規形の出力トランスジュ
ーサと同一の周期構造を有し、かつ表面波伝搬方向に直
交する電極指の長さが場所により異なる箇所を含む電極
指列を上記入カドランスジ、−サ間の伝搬路中に配置し
て、この伝搬路の音響インピーダンスを補償するととも
に、表面波の輻射を抑圧することができるものである。
に電極指対の交差幅が一様な正規形の出力トランスジュ
ーサと同一の周期構造を有し、かつ表面波伝搬方向に直
交する電極指の長さが場所により異なる箇所を含む電極
指列を上記入カドランスジ、−サ間の伝搬路中に配置し
て、この伝搬路の音響インピーダンスを補償するととも
に、表面波の輻射を抑圧することができるものである。
この発明ｌこよれば、アポダイズ形の入カドランスジ凰
−サと正規形の出力トランスジューサ間の伝搬路内での
音響反射を取り除くとともに、入出力トランスジューサ
と電極指列の電磁結合による弾性表面波の輻射を抑圧す
ることができるため、特性を著しく向上させることがで
きる。
−サと正規形の出力トランスジューサ間の伝搬路内での
音響反射を取り除くとともに、入出力トランスジューサ
と電極指列の電磁結合による弾性表面波の輻射を抑圧す
ることができるため、特性を著しく向上させることがで
きる。
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
第１図ｉこおいて３１はニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ
，）、 夕／Ｌ／ 夕＃酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）等
（７）圧電材料で形成された圧電体基板で、この基板３
１の弾性表面波伝搬面に電極指対の交差幅が場所により
異なるアポダイズ形の入力トランスジューサ３２七、電
極指の交差幅が一様な正規形の出力トランスジューサ３
３が配置されている。入力トランスジューサ３２は図示
のとと＜１／８波長幅のスプリット形第１電極指３２ａ
と第２電極指３２ｂを噛み合せて図示左側にダミー電極
３２１ 、３２２を構成したものである。このダミー電
極３２１ 、３２２を圧電体基板３１の端面方向に延長
させ、その端部ｆこ吸音剤３４が塗布されている。また
、出カドランスジ＾−サ３３は１／８波長幅の電極指を
左右に２本づつ配列したスプリット形第１電極指３３ａ
と１／８波長幅の電極指を中央部に２本配列した第２電
極指３３ｂを噛み合せて構成したものである。この出カ
ドランスジ、−サ３３の右側に位置する伝搬路には出力
トランスジューサ３３と同一周期構造の音響インピーダ
ンス補償用電極３５が配置され、その端部には吸音剤３
６が塗布されている。上述した入出力トランスジューサ
３２ 、３３の各電極指間の空隙は電極幅と同じ７８波
長に設定しである。
，）、 夕／Ｌ／ 夕＃酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）等
（７）圧電材料で形成された圧電体基板で、この基板３
１の弾性表面波伝搬面に電極指対の交差幅が場所により
異なるアポダイズ形の入力トランスジューサ３２七、電
極指の交差幅が一様な正規形の出力トランスジューサ３
３が配置されている。入力トランスジューサ３２は図示
のとと＜１／８波長幅のスプリット形第１電極指３２ａ
と第２電極指３２ｂを噛み合せて図示左側にダミー電極
３２１ 、３２２を構成したものである。このダミー電
極３２１ 、３２２を圧電体基板３１の端面方向に延長
させ、その端部ｆこ吸音剤３４が塗布されている。また
、出カドランスジ＾−サ３３は１／８波長幅の電極指を
左右に２本づつ配列したスプリット形第１電極指３３ａ
と１／８波長幅の電極指を中央部に２本配列した第２電
極指３３ｂを噛み合せて構成したものである。この出カ
ドランスジ、−サ３３の右側に位置する伝搬路には出力
トランスジューサ３３と同一周期構造の音響インピーダ
ンス補償用電極３５が配置され、その端部には吸音剤３
６が塗布されている。上述した入出力トランスジューサ
３２ 、３３の各電極指間の空隙は電極幅と同じ７８波
長に設定しである。
一方、入出力トランスジューサ３２ 、３３間の伝搬路
には入出力トランスジューサ３２ 、３３からそれぞれ
１／８波長の空隙を置いて１／８波長幅の音響インピー
ダンス補償用電極指列３７，３８が配置されている。こ
の電極指列３７．３８は入出カドランスジ、−サ３２，
３３と同一周期構造をなし、かつ入カドランスジ為−サ
３２との電磁結合を抑圧できるように図示のごとく表面
波伝搬方向と直交する各電極指の長さを異ならせである
。電極指列３７は入カドランスジ息−サ３２の電気信号
供給端子である第２電極指３２ｂと同じ電位になるよう
に接続され、電極指列３８は入カドランスジ、−サ３３
の接地側端子である第１電極指３２ａと同じく接地され
る。
には入出力トランスジューサ３２ 、３３からそれぞれ
１／８波長の空隙を置いて１／８波長幅の音響インピー
ダンス補償用電極指列３７，３８が配置されている。こ
の電極指列３７．３８は入出カドランスジ、−サ３２，
３３と同一周期構造をなし、かつ入カドランスジ為−サ
３２との電磁結合を抑圧できるように図示のごとく表面
波伝搬方向と直交する各電極指の長さを異ならせである
。電極指列３７は入カドランスジ息−サ３２の電気信号
供給端子である第２電極指３２ｂと同じ電位になるよう
に接続され、電極指列３８は入カドランスジ、−サ３３
の接地側端子である第１電極指３２ａと同じく接地され
る。
また、電極指列３８に隣接する出カドランスジ瓢−サの
第１電極３３ａと、さらにこれに隣接する音響インピー
ダンス補償用電極３５もそれぞれ接地されている。
第１電極３３ａと、さらにこれに隣接する音響インピー
ダンス補償用電極３５もそれぞれ接地されている。
このような構造のトランスジ鳳−サにおいて。
例えば入力トランスジューサ３２から双方向に励振され
た弾性表面波３９ａ 、 ３９ｂの内、図示左側方向へ
進行する弾性表面波３９ａは吸音剤３４に達す−るまで
の区間内にて大きく音響インピーダンスが変化している
箇所がないので、音響反射は起らない。
た弾性表面波３９ａ 、 ３９ｂの内、図示左側方向へ
進行する弾性表面波３９ａは吸音剤３４に達す−るまで
の区間内にて大きく音響インピーダンスが変化している
箇所がないので、音響反射は起らない。
一方、出力トランスジューサ３３側に進行する弾性表面
波３９ｂは入力トランスジューサ３２に隣接する音響イ
ンピーダンス補償用電極指列３７，３８により出カドラ
ンスジ、−サ３３に受波されるまでの区間内において、
音響反射は起ζら（、かも、出カドランスジ、−サ３３
で受波されずに通過した弾性表面波は進行方向にある吸
着剤３６により吸収される。
波３９ｂは入力トランスジューサ３２に隣接する音響イ
ンピーダンス補償用電極指列３７，３８により出カドラ
ンスジ、−サ３３に受波されるまでの区間内において、
音響反射は起ζら（、かも、出カドランスジ、−サ３３
で受波されずに通過した弾性表面波は進行方向にある吸
着剤３６により吸収される。
したがって、このような構成によれば、弾性表面波伝搬
路内で音響反射が起こらないため、出力信号には音響反
射によるスプリアスが現われることがない。 また入出
力トランスジェーサ３２．３３−こ対し音響インピーダ
ンス補償用電極指列３７，３８の電磁結合を抑圧するこ
とにより、入出力トランスジューサ３２．３３と対向す
る領域で弾性表面波の輻射が起こらなくなるため、周波
数特性を向上させることができる。
路内で音響反射が起こらないため、出力信号には音響反
射によるスプリアスが現われることがない。 また入出
力トランスジェーサ３２．３３−こ対し音響インピーダ
ンス補償用電極指列３７，３８の電磁結合を抑圧するこ
とにより、入出力トランスジューサ３２．３３と対向す
る領域で弾性表面波の輻射が起こらなくなるため、周波
数特性を向上させることができる。
次に、図面を参照してこの発明の他実施例を説明する。
第２図は上記一実施例（第１図）の変形例で、入カドラ
ンスジ為−サ４１の電気信号供給端子である第２電極指
４１ｂと接地側端子である第１電極指４１ａに音響イン
ピーダンス補償用電極指列４２゜４３をそれぞれ同電位
になるようにパターン上で一体に形成したもので、入出
力トランスジューサ４１．３３の各電極指は第１図のも
のと同一構造となっている。この実施例においては音響
インピーダンス補償用電極指列４２，４３の内、電極指
列４３の空 図示右端の電極指を出力トランスジューサ４１．３３の
電気信号端子部間に延出させて、圧電体基板内での直接
的電磁結合を抑圧する構成をとっている。
ンスジ為−サ４１の電気信号供給端子である第２電極指
４１ｂと接地側端子である第１電極指４１ａに音響イン
ピーダンス補償用電極指列４２゜４３をそれぞれ同電位
になるようにパターン上で一体に形成したもので、入出
力トランスジューサ４１．３３の各電極指は第１図のも
のと同一構造となっている。この実施例においては音響
インピーダンス補償用電極指列４２，４３の内、電極指
列４３の空 図示右端の電極指を出力トランスジューサ４１．３３の
電気信号端子部間に延出させて、圧電体基板内での直接
的電磁結合を抑圧する構成をとっている。
第３図は上記他実施例（第２図）の変形例を示し、第２
図と同一構造の入力トランスジューサ５１において、電
気信号供給側のダミー電極５２に電気信号が印加されな
いようにバタン上で分離させて接地させたものである。
図と同一構造の入力トランスジューサ５１において、電
気信号供給側のダミー電極５２に電気信号が印加されな
いようにバタン上で分離させて接地させたものである。
このようにすれば、バルク波が励振されることがなく、
しかもシールド効果を高めることができる。
しかもシールド効果を高めることができる。
以上に述べた第２図および第３図の他実施例は上記一実
施例と同様に弾性表面波伝搬路内の音響インピーダンス
が１／８波長毎に周期的に成っているため、音響反射ス
プリアスが発生することがなく、しかも弾性表面波の輻
射も起らない構造に成っている。
施例と同様に弾性表面波伝搬路内の音響インピーダンス
が１／８波長毎に周期的に成っているため、音響反射ス
プリアスが発生することがなく、しかも弾性表面波の輻
射も起らない構造に成っている。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではなく
、要旨を変更しない範囲において種々変形して実施する
ことができる。
、要旨を変更しない範囲において種々変形して実施する
ことができる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す平面図、第２
図および第３図はこの発明のそれぞれ異なる他実施例の
構成を示す平面図、第４ないし第６図はそれぞれ異なる
従来の弾性表面波装置の構成を示す正面図である。 ３１・・・圧電体基板 ３２，４１，５１ ・・・入
力トランスジューサ ３２ａ、３３ａ、４１ａ・・・
スプリット形第１電極相 ：３２ｔ’ｌ 、 ：（３ｈ 、 ４１Ｌ）−第２１入
指３２ｉ 、 ３２２．．５２−・・ダミ・・・軍部３
３・・・出Ｌ１［・アンスジー２−サ３４．３６・・・
吸音剤 ３５・・−ｔイ響イン１−＝グ〕／入補１゛川呪疹３７
．３８，４２．４３・・・７￥饗インピ一タパ／ス補償
用′Ｉ極指列３９ａ 、 ３９ｂ ＝−・弾性表面波４
２方゛−ぷζノ〜イｆづア”−ス？１Ｉｊ４ンＩり埋−
″ノ４階アク第３Ｎ 第４図 第５Ｖζ１ 第６図
図および第３図はこの発明のそれぞれ異なる他実施例の
構成を示す平面図、第４ないし第６図はそれぞれ異なる
従来の弾性表面波装置の構成を示す正面図である。 ３１・・・圧電体基板 ３２，４１，５１ ・・・入
力トランスジューサ ３２ａ、３３ａ、４１ａ・・・
スプリット形第１電極相 ：３２ｔ’ｌ 、 ：（３ｈ 、 ４１Ｌ）−第２１入
指３２ｉ 、 ３２２．．５２−・・ダミ・・・軍部３
３・・・出Ｌ１［・アンスジー２−サ３４．３６・・・
吸音剤 ３５・・−ｔイ響イン１−＝グ〕／入補１゛川呪疹３７
．３８，４２．４３・・・７￥饗インピ一タパ／ス補償
用′Ｉ極指列３９ａ 、 ３９ｂ ＝−・弾性表面波４
２方゛−ぷζノ〜イｆづア”−ス？１Ｉｊ４ンＩり埋−
″ノ４階アク第３Ｎ 第４図 第５Ｖζ１ 第６図
Claims (3)
- （１）圧電体基板上にアポダイス形の入力トランスジュ
ーサと電極指対の交差幅が一様な正規形の出力トランス
ジューサを形成してなる弾性表面波装置において、前記
入出力トランスジューサ間の伝搬路中に表面波伝搬方向
に沿って入出力トランスジューサと同一の周期構造を有
し、かつ表面波伝搬方向に直交する電極指の長さが場所
により異なる箇所を含む電極指列を設けたことを特徴と
する弾性表面波装置。 - （２）電極指列を入力トランスジューサもしくは出力ト
ランスジューサのいづれか一方に一体に構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置
。 - （３）電極指列の電極指幅を弾性表面波の波長の略１／
８に設定したことを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項に記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14364485A JPS625714A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14364485A JPS625714A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS625714A true JPS625714A (ja) | 1987-01-12 |
Family
ID=15343575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14364485A Pending JPS625714A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS625714A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425411U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-02-13 |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP14364485A patent/JPS625714A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425411U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-02-13 |
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