JPS6257882A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はウェハをカセット内に収納して搬送する装置に
関する。

従来の技術 ウェハの取扱いは無塵環境下において行われる必要があ
るため、発塵を防止すると共に、微量の塵埃をも除去し
たクリーンルーツ、内で搬送されることが従来より行わ
れている。

たとえば、特開昭６０−４４４０３号公報並びに特開昭
６０−４４４０５号公報に開示されているように、可動
部分での発塵を除去するため、クリーンルーム内で空気
の整流を形成させ、該気流にのせて塵埃を外部に排出し
てクリーンルーム内の清浄度を保持する手段等である。

しかし、これら従来の手段においては、ウェハを入れた
カセットをフォークで運ＩＭする際にカセット内でウェ
ハが遊動しないような配慮がなされておらず、単にフォ
ークで荷を水平に支承して移動速１般させているに過ぎ
ない。

したがって、ウェハは運搬移動中にカセット内で遊動し
て発塵の原因となり、また該遊動によってウェハに傷が
付くおそれもある。

発明が解決しようとする問題点 本発明は、上述した従来技術の欠点である゛Ｉ！送中の
ウェハがカセット内で遊動することを確実に防止するも
のである。

問題点を解決す一；・ための手段 本発明は、ウェハを入れたりセットを運搬する順送台車
上に回転駆動ねじ軸を立設し１．該ねじ軸に螺合する昇
降部（Ａに上記カセットを把持する腕を傾動自在に枢支
し、前記昇降部材に上下方向に揺動自在に枢支したカム
レバーの自由端と前記把持腕に枢支した把持腕傾動操作
杆とを連結すると共１．こ、前記昇降部材の昇降に伴っ
て前記カムレバーを揺動作動させるカム部材を１般送台
車上の枠体に固設し、搬送台車走行時にウエハカセ、・
ｌ・を傾斜保持して、カセノｌ−内のウェハを（頃斜方
向に片寄せてカセットの一壁面で支承することによって
遊動を防止し−こ）般送する装置である。

作　　　　　　　用 搬送台車がウェハカセット把持位置に到達停止すると、
一対の把持腕が拡開して該カセット上方より降下し、カ
セット側方より該カセットを挾持する。

カセフ１−を挟持した把持腕は、回転駆動ねじ軸の回転
による昇降部材の土、勅に伴って上昇し１、との上昇過
程においてカム部材の案内によりカム【／バーが作動し
て、初期過程においては把持腕が略水平を維持（，２て
上昇し、中間過程においては把持腕が漸次上向きに傾動
をしながら上昇し、最終過程においては把持腕が所定の
傾斜角を保持して上昇し停止する。

したがって、傾斜したカセノ１−内のウェハは一方の側
壁に片寄せられて支承される。

かかる状態において、搬送台車が所望のカセット移載位
置に移動して、回転駆動ねじ軸を逆転させて昇降部材を
下降させると、把持腕はカム部材の案内により上昇過程
時とは逆の動作を行い、カセソ１−は上傾状態より水平
状態になっ”ζ移載位置に置かれ、把持腕は拡開してカ
セット挟持状態を解除し、カセット上方へ上昇し、搬送
台車は再び前記力セフｌ−把持位置へ復帰移動する。

このように、カセット把持位置よりカセット移載位置へ
搬送台車が往復移動を反覆繰返すことにより、多砂のカ
セットを移し換えるが、１般送台車がカセットを３Ｗ　
ＩＩＱする際には、カセット把持腕が上傾しているので
、水平状態においてカセット内に収納されたウェハに僅
かな遊動隙間があったとしても、傾斜状態においてはウ
ェハは確実にカセットの一側壁に片寄せられて支承され
るから、カセット内でのウェハの遊動は阻止されるもの
である。

実　　　施　　　例 第１図は１ｉｆｔ送台車の側面図、第２図は把持腕傾動
カム機構の第１実施例の側面図、第３図は第２図の側面
図であって、搬送台車１上に立設した枠体２内に取付け
た可逆モータ３により減速機４を介して回転駆動される
ねじ軸５は、該枠体２の下部軸受板６と上部軸受板７と
によって上下両端を夫々回転自在に軸受支承されて、Ｉ
股送台車１上に立設されている。

そして、該ねじ軸５に螺合するナツト８を有する昇降部
材９には、一対の案内支柱ｉ　ｏ　、ｉ。

が立設され、該支柱１０．１０は前記上部軸受板７に取
付けたスライドベアリングを有する案内筒１１．１１内
に案内挿通され、該支柱１０．］、’０のの上端には、
ウエハカセソｌ−１２を挾持する一対の把持腕１３，１
３を有するボックス部材１４に設けた取付板１４′を傾
動自在に支持する横軸１５が固定されている。

そして、前記ボックス部材１４には第４〜５図に示すよ
うな把持腕１３．１３の拡縮作動機構が取付けられてい
る。即ち、該拡縮作動機構は。

一対の把持Ｉｌｆ！１３．１３を拡縮案内する前後２本
の案内杆１６．１６　’と該一対の把持腕１３，１．３
の相互間隔を縮減する方向に付勢する縮減バネ１７と該
ボックス部材１４に取付けた減速モータＭにより回動す
る把持腕拡開カム板１８とを有し、該拡開カム板１８は
前記縮減ハネ１７の付勢力に抗して夫々の把持腕１３．
１３に取付番］たカムフロア１９．１９に当接して回動
し、第５図に示すように、９０゛の角度で配設した近接
スイッチｓ１．ｓ２の制御により９０゛回動して停止す
るので、把持腕１３，１．３拡開保持され、また、減速
モータＭの所動でカム坂１８が第５図の位置に戻ると把
持腕１３．１３は縮減バネ１７の力によりその間隔を縮
減するものである。

前記取付板１４′には横軸１５の位置より離間した位置
に把持腕傾動操作杆２０の上端を枢支し、該操作杆２０
の下端は上部軸受板７を貫挿して前記昇降部材９に中間
位置を回動自在に枢支したカムレバー２１の一方の腕２
１ａの自由端に連結され、他方の腕２１ｂの自由端には
カムローラ２２が取付けられ、該カムローラ２２は枠体
２に形成したカム部材２３に案内される。

そして、該カム部材２３は、昇降部材９の上昇に伴って
カムレバー２１を第２図において時計方向に回動し、把
持ｌｌｆ！傾動操作杆２０を引き下げるようにカムロー
ラ２２を案内する形状を有しており、したがって、昇降
部材９の上昇端においては把持腕１３，１３がカム部材
２３によって規制される角度だけ横軸１５を中心に上傾
する。

また、横軸１５の両端部には、一端を横軸１５に結着し
、他端をボックス部材１４に結着した捻れハネ２４が取
付けられ、ボックス部材１４の（頃角を安定させる。

第６図は把持ＩＩｆ！傾動機構の第２実施例を示す側面
図であって、第１実施例と同一の部材は同一の符号で示
すと、 昇降部材９に立設した案内支柱１０．１０の上端にはボ
ックス部材２５が固設され、該ボックス部材２５内には
、第４図に示すように前後２本の案内杆１６．１６　’
が共にボックス部材２５に両端を軸受されているのでは
なく、前部案内杆１６のみがその両端をボックス部材２
５に回動自在に軸受され、後部案内杆１６′の両端は全
く軸受されずに浮動状態にされた浮動案内杆１６“とじ
て構成され、該後部案内杆１６″に把持腕傾動操作杆２
０の上端が連結されている点において第１実施例のボッ
クス部材１４と相違し、把持腕１３．１３の拡縮作動機
構においては差異がない。

把持腕傾動操作杆２０の下端は昇降部材９に回動自在に
枢支したカムレバー２６の一方の腕２６ａの自由端に連
結され、他方の腕２６ｂの自由端には、枠体２に取付け
たカム部材２７のカム面に案内されるカムローラ２８が
設けられている。

そして、前記浮動案内杆１６″は、バネ２９によってカ
ムローラ２８をカム部材２７のカム面に押接付勢してい
る。

そこで、回転駆動ねじ軸５を回転させて、昇降部材９を
上昇せしめると、カム部材２７のカム面が上昇初期にお
いては垂直であり、中間において傾斜し、終期において
再び垂直となる形状を有しているので、傾斜面において
はカムレバー２６が第６図で時計方向に回動して、把持
＋＋ａ　（ｔＵ　ｕｊＦｆｆｉ作杆２０を引き下げるか
ら、浮動案内杆１６″が引き下げられて、把持腕１３は
前部案内杆１６を中心に上向きに傾動し、前記上昇終期
における垂直面においてその上傾姿勢を保持するもので
ある。

したがって、一対の把持１１ｆ：１３．１３に挟持され
たウェハカセットは、昇降部材９の上昇端において常に
上傾姿勢に保持されるので、カセット内に収納したウェ
ハは、カセフ１への１つの側壁内面に片寄せられて支承
されるから、１般送台車の移動によってカセット内で遊
動することはない。

発明の効果 本Ｑ明は、ウェハを収納したカセットを搬送する際に、
ウェハがカセット内で遊動する僅かな空隙があっても、
カセットを上伸させ、ウェハをカセット内の一方向に片
寄せて、カセットの一内壁面に支承させることにより、
ウェハの遊動を皆無にして搬送することができるもので
あって、ウェハがカセット内で遊動しなければ、遊動に
よる発塵が防止されると共に、ウェハ表面に擦過傷等の
微細な傷も発生させないから、無塵環境下での厳しい取
扱いを必要とするウェハの搬送に当って、簡単な構造で
、格別のす］果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図はウェハ１駁送台
車の概略側面図、第２図はウェハカセット把持腕の傾動
機構の第１実施例を示す側面図、第３図は第２図の右正
面図、第４図は把持腕拡縮機構の平面説明図、第５図は
第４図の正面図、第６図はウェハカセット把持腕の傾動
機構の第２実施例の側面図である。 １・・・搬送台車　　　　　２・・・枠体５・・・回転
駆動ねじ軸　　９・・・昇降部材ｔｏ、　１０・・・案
内支柱　　　１２・・・ウエハカセ・ノド１３、１３・
・・把持腕　　　　２０・・・傾動操作杆２１、２６・
・・カムレバー 代理人　弁理士　祐用尉−外２名 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 搬送台車上に回転駆動ねじ軸を立設し、該ねじ軸に螺合
   する昇降部材にウェハカセットの把持腕を傾動自在に枢
   支し、前記昇降部材に上下方向に揺動自在に枢支したカ
   ムレバーの自由端と前記把持腕に枢支した把持腕傾動操
   作杆とを連結すると共に、前記昇降部材の昇降に伴って
   前記カムレバーを揺動作動させるカム部材を搬送台車上
   の枠体に固設し、搬送台車走行時にウェハカセットを傾
   斜保持して搬送するウェハ搬送装置。