JPS6258159U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6258159U JPS6258159U JP14820585U JP14820585U JPS6258159U JP S6258159 U JPS6258159 U JP S6258159U JP 14820585 U JP14820585 U JP 14820585U JP 14820585 U JP14820585 U JP 14820585U JP S6258159 U JPS6258159 U JP S6258159U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- honing machine
- main body
- abrasive grain
- cans
- liquid honing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る液体ホーニン
グ機の説明図、第２図は従来の液体ホーニング機
の説明図、第３図は第２図の液体ホーニング機の
ウエハ搬送部の説明図、第４図は第１図の液体ホ
ーニング機の砥粒缶の正面図、第５図は同砥粒缶
の側面図、第６図は従来の砥粒缶の側面図である
。 １……液体ホーニング機本体、４……研磨液、
５……塩ビ円筒、６……オーバーフロー管、７，
１３……モータ、８……研削室、９……ウエハ搬
送部、１０１，１０２……ベルトコンベア、１１
……フレーム、１２１，１２２……シリンダ、２
１……砥粒缶。
グ機の説明図、第２図は従来の液体ホーニング機
の説明図、第３図は第２図の液体ホーニング機の
ウエハ搬送部の説明図、第４図は第１図の液体ホ
ーニング機の砥粒缶の正面図、第５図は同砥粒缶
の側面図、第６図は従来の砥粒缶の側面図である
。 １……液体ホーニング機本体、４……研磨液、
５……塩ビ円筒、６……オーバーフロー管、７，
１３……モータ、８……研削室、９……ウエハ搬
送部、１０１，１０２……ベルトコンベア、１１
……フレーム、１２１，１２２……シリンダ、２
１……砥粒缶。
Claims (1)
- 液体ホーニング機本体と、この本体の外側に取
り付けられた複数の砥粒缶と、この砥粒缶に連結
されウエハに研磨液をスプレーするガンと、前記
ウエハをセツトしたフレームを搬送するベルトコ
ンベアとを具備したことを特徴とする液体ホーニ
ング機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14820585U JPS6258159U (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14820585U JPS6258159U (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6258159U true JPS6258159U (ja) | 1987-04-10 |
Family
ID=31062258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14820585U Pending JPS6258159U (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6258159U (ja) |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP14820585U patent/JPS6258159U/ja active Pending