JPS6258661B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6258661B2 JPS6258661B2 JP58032870A JP3287083A JPS6258661B2 JP S6258661 B2 JPS6258661 B2 JP S6258661B2 JP 58032870 A JP58032870 A JP 58032870A JP 3287083 A JP3287083 A JP 3287083A JP S6258661 B2 JPS6258661 B2 JP S6258661B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- cam
- pellets
- positioning
- positioning bodies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体ペレツト（以下ペレツトとい
う。）の位置決め装置に関する。
う。）の位置決め装置に関する。
一般に、半導体素子（例えばLSI等）を作るに
は、最初リードフレームのペレツト取り付け部に
ペレツトを超音波等を使用して固定するが、ペレ
ツトをペレツト取り付け部に移送する前に、まず
ペレツトが数多整然と収められているペレツト収
納容器からペレツトを１個ずつ一旦ペレツト位置
決め装置に移送し、ここでペレツトの位置決めを
行ない、その後この位置決め装置にて位置決めの
終了したペレツトを下端ペレツト吸着部を有する
コレツトで吸上げ、前記リードフレームのペレツ
ト取り付け部に移送するという作業を行なう。
は、最初リードフレームのペレツト取り付け部に
ペレツトを超音波等を使用して固定するが、ペレ
ツトをペレツト取り付け部に移送する前に、まず
ペレツトが数多整然と収められているペレツト収
納容器からペレツトを１個ずつ一旦ペレツト位置
決め装置に移送し、ここでペレツトの位置決めを
行ない、その後この位置決め装置にて位置決めの
終了したペレツトを下端ペレツト吸着部を有する
コレツトで吸上げ、前記リードフレームのペレツ
ト取り付け部に移送するという作業を行なう。
これは、コレツトは一定の往復運動をし、下端
に吸着しているペレツトをペレツト取り付け部に
放出するだけであるので、放出された時ペレツト
がリードフレームのペレツト取り付け部に正しく
置かれるように、あらかじめ位置決め装置でコレ
ツトに吸着されるペレツトの位置を決めておくた
めである。
に吸着しているペレツトをペレツト取り付け部に
放出するだけであるので、放出された時ペレツト
がリードフレームのペレツト取り付け部に正しく
置かれるように、あらかじめ位置決め装置でコレ
ツトに吸着されるペレツトの位置を決めておくた
めである。
ところが、このペレツトには大小様々なサイズ
のものがあり、又リードフレームには常に一定の
サイズのペレツトを移送するとは限らず、例えば
ハイブリツド式になると、サイズの異なるペレツ
ト、または形状においても正方形状のみでなく矩
形状のペレツトを順次ペレツト取り付け部に移送
しなければならない。
のものがあり、又リードフレームには常に一定の
サイズのペレツトを移送するとは限らず、例えば
ハイブリツド式になると、サイズの異なるペレツ
ト、または形状においても正方形状のみでなく矩
形状のペレツトを順次ペレツト取り付け部に移送
しなければならない。
そこで本発明はペレツト取り付け部に一定のサ
イズのペレツトを順次移送する場合は勿論のこ
と、上記したように、サイズや形状の異なるペレ
ツトを順次移送するという要求にも応じられるよ
うな半導体ペレツトの位置決め装置を提供するこ
とを目的とする。
イズのペレツトを順次移送する場合は勿論のこ
と、上記したように、サイズや形状の異なるペレ
ツトを順次移送するという要求にも応じられるよ
うな半導体ペレツトの位置決め装置を提供するこ
とを目的とする。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例を示すペレツト位置
決め装置の平面図、第２図は第１図における―
断面図を示している。
決め装置の平面図、第２図は第１図における―
断面図を示している。
図において、１は台盤で、この台盤１上にはペ
レツト載置台２を有している。３，３′，４，
４′は案内溝で、台盤１上にペレツト載置台２の
中心に対し、直交する二方向、即ち第１図におい
てＸ，Ｙ方向にそれぞれ放射状に一対ずつ、計４
個設けられている。なおＸ方向、Ｙ方向とも同一
構成なので、以下はＸ方向についてのみ説明す
る。この案内溝３，３′にはペレツト載置台２に
置かれたペレツトＡを位置決めするペレツト挾持
用顎部５，５′を各々上面に有するペレツト位置
決め体６，６′が摺動自在に設けられており、こ
のペレツト位置決め体６，６′の下面（第２図に
おいて）には軸７，７′が突設され、この軸にロ
ーラー８，８′が回転自在に保持されている。９
はペレツト載置台２の中心部下において鉛直方向
に台盤１に取り付けられた固定軸、また１０はペ
レツト位置決め体６，６′をＸ方向に互に反対方
向から接近させ、あるいは互に反対方向に離隔さ
せるカム１１を有する中空軸で、固定軸９に回転
自在に取り付けられ、このカム１１のカム面には
ペレツト位置決め体６，６′と固定片１２，１
２′との間に設けられたコイルスプリング１３，
１３′によりローラー８，８′が弾発的に当接され
るようになつている。１４は中空軸１０に止めね
じで１０ａで一体に設けられた歯車で、この歯車
１４は台盤１に取り付けられたパルスモータ１５
の出力軸１６に固着された歯車１７と噛合してい
る。１８は第１図におけるＹ方向に配設されたペ
レツト位置決め体１９，１９′を互に反対方向か
ら接近させ、或いは互に反対方向に離隔させるカ
ム２０を有する歯車で、中空軸１０に対し回転自
在に設けられ、この歯車１８はＸ方向の構成と同
様に台盤１に取り付けられたパルスモータ２１の
出力軸に固着された歯車と噛合している。なお第
３図はカム１１，２０の位置関係を示している。
２２はパルスモータ１５の出力軸１６に設けられ
たスリツト等を有する円盤で、この円盤２２を挾
んで出力軸１６の回転角度を検出する検出器２３
が設けられており、検出器２３は図示を省略した
パルスモータ制御装置に接続されている。
レツト載置台２を有している。３，３′，４，
４′は案内溝で、台盤１上にペレツト載置台２の
中心に対し、直交する二方向、即ち第１図におい
てＸ，Ｙ方向にそれぞれ放射状に一対ずつ、計４
個設けられている。なおＸ方向、Ｙ方向とも同一
構成なので、以下はＸ方向についてのみ説明す
る。この案内溝３，３′にはペレツト載置台２に
置かれたペレツトＡを位置決めするペレツト挾持
用顎部５，５′を各々上面に有するペレツト位置
決め体６，６′が摺動自在に設けられており、こ
のペレツト位置決め体６，６′の下面（第２図に
おいて）には軸７，７′が突設され、この軸にロ
ーラー８，８′が回転自在に保持されている。９
はペレツト載置台２の中心部下において鉛直方向
に台盤１に取り付けられた固定軸、また１０はペ
レツト位置決め体６，６′をＸ方向に互に反対方
向から接近させ、あるいは互に反対方向に離隔さ
せるカム１１を有する中空軸で、固定軸９に回転
自在に取り付けられ、このカム１１のカム面には
ペレツト位置決め体６，６′と固定片１２，１
２′との間に設けられたコイルスプリング１３，
１３′によりローラー８，８′が弾発的に当接され
るようになつている。１４は中空軸１０に止めね
じで１０ａで一体に設けられた歯車で、この歯車
１４は台盤１に取り付けられたパルスモータ１５
の出力軸１６に固着された歯車１７と噛合してい
る。１８は第１図におけるＹ方向に配設されたペ
レツト位置決め体１９，１９′を互に反対方向か
ら接近させ、或いは互に反対方向に離隔させるカ
ム２０を有する歯車で、中空軸１０に対し回転自
在に設けられ、この歯車１８はＸ方向の構成と同
様に台盤１に取り付けられたパルスモータ２１の
出力軸に固着された歯車と噛合している。なお第
３図はカム１１，２０の位置関係を示している。
２２はパルスモータ１５の出力軸１６に設けられ
たスリツト等を有する円盤で、この円盤２２を挾
んで出力軸１６の回転角度を検出する検出器２３
が設けられており、検出器２３は図示を省略した
パルスモータ制御装置に接続されている。
次に以上の構成における作用について説明す
る。
る。
なおＸ，Ｙ方向とも同様なのでＸ方向について
のみ説明する。
のみ説明する。
まずペレツトＡをウエハ収納容器から１個ずつ
ペレツト載置台２に置く。この時ペレツト挾持用
顎部５，５′間はペレツトＡを置けるよう充分な
間隔を有するよう設定されている。次に図示を省
略したパルスモータ制御装置からのパルスモータ
ONの指令によりパルスモータ１５の出力軸１６
は第１図において反時計方向に回転を始める。こ
の回転は歯車１７，１４を介してカム１１が第３
図において時計方向に回転することにより、この
カム１１に当接しているローラー８，８′はカム
１１のカム面に追従し、ペレツト位置決め体６，
６′は互にペレツト載置台２に向つて移動を始め
る。なおＹ方向においてもパルスモータ２１の出
力軸に固着された歯車から歯車１８を介してカム
２０がカム１１と同方向に回転し、ペレツト位置
決め体１９，１９′もペレツト載置台２に向つて
移動を始める。パルスモータ１５の出力軸１６の
回転角度は円盤２２の回転角度と等しく、この円
盤２２の回転角度を検出器２３が検出する。この
検出信号は図示を省略したパルスモータ制御装置
に随時入力されるようになつている。またパルス
モータ制御装置はペレツト載置台２に置かれるペ
レツトＡのサイズに応じ、パルスモータ１５の出
力軸１６を回転させるべき角度、即ち第２図にて
示すペレツト挾持間隔ｍに対応する値、例えば挾
持間隔ｍそのものが予め数値的に設定でき、この
設定値と検出器２３からの検出信号に基づき、ペ
レツト挾持用顎部５，５′間の間隔が挾持間隔ｍ
になつたところでパルスモータ１５にOFF信号
を与えるようになつている。パルスモータ制御装
置からOFF信号が与えられるとパルスモータ１
５はその出力軸１６を停止、すなわちカム１１の
回転を停止させ、これによりペレツト位置決め体
６，６′はペレツト挾持用顎部５，５′間がｍにな
るまで同量移動させられて停止する。この段階で
ペレツト載置台２に置かれたペレツトはペレツト
挾持用顎部５，５′により正確に位置決めされ
る。位置決め後ペレツト位置決め体６，６′はパ
ルスモータ１５が逆回転することにより互に反対
方向に離隔し最初の位置に戻るようになつている
とともに、周知のコレツトで位置決めの終了した
ペレツトを吸着し、リードフレームのペレツト取
り付け部に移送する。
ペレツト載置台２に置く。この時ペレツト挾持用
顎部５，５′間はペレツトＡを置けるよう充分な
間隔を有するよう設定されている。次に図示を省
略したパルスモータ制御装置からのパルスモータ
ONの指令によりパルスモータ１５の出力軸１６
は第１図において反時計方向に回転を始める。こ
の回転は歯車１７，１４を介してカム１１が第３
図において時計方向に回転することにより、この
カム１１に当接しているローラー８，８′はカム
１１のカム面に追従し、ペレツト位置決め体６，
６′は互にペレツト載置台２に向つて移動を始め
る。なおＹ方向においてもパルスモータ２１の出
力軸に固着された歯車から歯車１８を介してカム
２０がカム１１と同方向に回転し、ペレツト位置
決め体１９，１９′もペレツト載置台２に向つて
移動を始める。パルスモータ１５の出力軸１６の
回転角度は円盤２２の回転角度と等しく、この円
盤２２の回転角度を検出器２３が検出する。この
検出信号は図示を省略したパルスモータ制御装置
に随時入力されるようになつている。またパルス
モータ制御装置はペレツト載置台２に置かれるペ
レツトＡのサイズに応じ、パルスモータ１５の出
力軸１６を回転させるべき角度、即ち第２図にて
示すペレツト挾持間隔ｍに対応する値、例えば挾
持間隔ｍそのものが予め数値的に設定でき、この
設定値と検出器２３からの検出信号に基づき、ペ
レツト挾持用顎部５，５′間の間隔が挾持間隔ｍ
になつたところでパルスモータ１５にOFF信号
を与えるようになつている。パルスモータ制御装
置からOFF信号が与えられるとパルスモータ１
５はその出力軸１６を停止、すなわちカム１１の
回転を停止させ、これによりペレツト位置決め体
６，６′はペレツト挾持用顎部５，５′間がｍにな
るまで同量移動させられて停止する。この段階で
ペレツト載置台２に置かれたペレツトはペレツト
挾持用顎部５，５′により正確に位置決めされ
る。位置決め後ペレツト位置決め体６，６′はパ
ルスモータ１５が逆回転することにより互に反対
方向に離隔し最初の位置に戻るようになつている
とともに、周知のコレツトで位置決めの終了した
ペレツトを吸着し、リードフレームのペレツト取
り付け部に移送する。
上記実施例では次のような効果を有する。即ち
ペレツト位置決め体６，６′，１９，１９′の移動
を、パルスモータ１５，２１によつて回転させら
れるカム１１，２０によりローラー８，８′を介
して行なうようにしたので、カム１１，２０の回
転角を変えることで、ペレツト挾持間隔ｍを容易
に設定、変更することができ、さらにペレツトの
Ｘ方向の位置決め体６，６′を移動させるカム１
１とＹ方向の位置決め体１９，１９′を移動させ
るカム２０を別個に設け、それぞれ別個のパルス
モータ１５，２１により回転させるようにしたの
で、ペレツト挾持間隔ｍをペレツト載置台２上に
て直交する二方向で同一に設定すれば正方形状の
ペレツトの位置決めを行なうことができ、また異
なる間隔に設定すれば矩形状のペレツトの位置決
めも行なうことができる。またその際、一対のペ
レツト位置決め体６，６′，１９，１９′はカム１
１，２０によりＸ方向において或いはＹ方向にお
いて互いに同量移動するので、位置決めされたペ
レツトはそのサイズ、形状にかかわらず、そのセ
ンタ（２本の対角線の交点）位置を、ペレツト載
置台２においてほぼ一定にすることができる。さ
らにペレツト位置決め体６，６′，１９，１９′は
その接近時、それぞれのペレツト挾持用顎部５，
５′間が位置決めするペレツトＡに対応して予め
設定されたペレツト挾持間隔に達したところで、
カム１１，２０の回転が停止させられることによ
つてそれ以後の移動が停止させられるため、位置
決め時ペレツトＡに不必要な挾持力をほとんど与
えることなくしかも正確に位置決めが行なえる。
ペレツト位置決め体６，６′，１９，１９′の移動
を、パルスモータ１５，２１によつて回転させら
れるカム１１，２０によりローラー８，８′を介
して行なうようにしたので、カム１１，２０の回
転角を変えることで、ペレツト挾持間隔ｍを容易
に設定、変更することができ、さらにペレツトの
Ｘ方向の位置決め体６，６′を移動させるカム１
１とＹ方向の位置決め体１９，１９′を移動させ
るカム２０を別個に設け、それぞれ別個のパルス
モータ１５，２１により回転させるようにしたの
で、ペレツト挾持間隔ｍをペレツト載置台２上に
て直交する二方向で同一に設定すれば正方形状の
ペレツトの位置決めを行なうことができ、また異
なる間隔に設定すれば矩形状のペレツトの位置決
めも行なうことができる。またその際、一対のペ
レツト位置決め体６，６′，１９，１９′はカム１
１，２０によりＸ方向において或いはＹ方向にお
いて互いに同量移動するので、位置決めされたペ
レツトはそのサイズ、形状にかかわらず、そのセ
ンタ（２本の対角線の交点）位置を、ペレツト載
置台２においてほぼ一定にすることができる。さ
らにペレツト位置決め体６，６′，１９，１９′は
その接近時、それぞれのペレツト挾持用顎部５，
５′間が位置決めするペレツトＡに対応して予め
設定されたペレツト挾持間隔に達したところで、
カム１１，２０の回転が停止させられることによ
つてそれ以後の移動が停止させられるため、位置
決め時ペレツトＡに不必要な挾持力をほとんど与
えることなくしかも正確に位置決めが行なえる。
またペレツト挾持間隔ｍの変更は、パルスモー
タ制御装置にてパルスモータ１５，２１の回転角
度を制御するようにするだけで簡単に行なえ、サ
イズ等の異なつたペレツトでも同一の位置決め装
置を用いてペレツトの位置決めを行なうことがで
きる。
タ制御装置にてパルスモータ１５，２１の回転角
度を制御するようにするだけで簡単に行なえ、サ
イズ等の異なつたペレツトでも同一の位置決め装
置を用いてペレツトの位置決めを行なうことがで
きる。
さらにペレツト位置決め体６，６′，１９，１
９′はコイルスプリング１３，１３′により常時ペ
レツト載置台２の中心方向に押圧されているだけ
で、どの部材にも固定されていない構成であるた
め、ペレツトサイズに誤差があつたとしてもそれ
をスプリング１３，１３′が吸収し、ペレツトＡ
に無理な力が加わるのを防止できる。
９′はコイルスプリング１３，１３′により常時ペ
レツト載置台２の中心方向に押圧されているだけ
で、どの部材にも固定されていない構成であるた
め、ペレツトサイズに誤差があつたとしてもそれ
をスプリング１３，１３′が吸収し、ペレツトＡ
に無理な力が加わるのを防止できる。
さらにカム１１，２０をパルスモータ１５，２
１により回転させるようにしたので、カム１１，
２０を最初は速く回転させ、ペレツト挾持用顎部
５，５′間がペレツト挾持間隔ｍに近ずいた時に
遅くさせるように設定しておけば、ペレツト挾持
用顎部５，５′がペレツトに当接するまでの動き
を短い時間で行なうことができる。
１により回転させるようにしたので、カム１１，
２０を最初は速く回転させ、ペレツト挾持用顎部
５，５′間がペレツト挾持間隔ｍに近ずいた時に
遅くさせるように設定しておけば、ペレツト挾持
用顎部５，５′がペレツトに当接するまでの動き
を短い時間で行なうことができる。
なお上記実施例では、カム１１，２０の回転駆
動源にパルスモータを用いた例で説明したが、カ
ム１１，２０の回転角を設定可能な、例えばステ
ツピングモータ、階動電動機、デジタルモータ等
でも適用できる。
動源にパルスモータを用いた例で説明したが、カ
ム１１，２０の回転角を設定可能な、例えばステ
ツピングモータ、階動電動機、デジタルモータ等
でも適用できる。
以上説明したように、本発明によれば、半導体
ペレツトのサイズ、形状にかかわらず正確な位置
決めが行なえるとともに、位置決めされた半導体
ペレツトのセンタ位置をペレツト載置台において
ほぼ一定にすることができ、さらに位置決め時半
導体ペレツトに過大な挾持力を加えることもな
い。
ペレツトのサイズ、形状にかかわらず正確な位置
決めが行なえるとともに、位置決めされた半導体
ペレツトのセンタ位置をペレツト載置台において
ほぼ一定にすることができ、さらに位置決め時半
導体ペレツトに過大な挾持力を加えることもな
い。
第１図は本発明の一実施例を示すペレツト位置
決め装置の平面図、第２図は第１図における―
断面図、第３図は第２図における―断面図
である。 １…台盤、２…ペレツト載置台、５，５′…ペ
レツト挾持用顎部、６，６′，１９，１９′…ペレ
ツト位置決め体、８，８′…ローラー、９…固定
軸、１１，２０…カム、１３，１３′…コイルス
プリング、１５，２１…パルスモータ、２２…円
盤、２３…検出器、Ａ…ペレツト。
決め装置の平面図、第２図は第１図における―
断面図、第３図は第２図における―断面図
である。 １…台盤、２…ペレツト載置台、５，５′…ペ
レツト挾持用顎部、６，６′，１９，１９′…ペレ
ツト位置決め体、８，８′…ローラー、９…固定
軸、１１，２０…カム、１３，１３′…コイルス
プリング、１５，２１…パルスモータ、２２…円
盤、２３…検出器、Ａ…ペレツト。
Claims (1)
- １ ペレツト載置台の中心に対し、互いに直交し
て放射状に４個の案内溝が形成された台盤と、前
記案内溝にそれぞれ摺動自在に設けれられたペレ
ツト位置決め体と、前記ペレツト載置台の中心部
を中心としてそれぞれ回転自在に設けられ、対向
する一方の一対の前記ペレツト位置決め体をそれ
ぞれ同量接近・離隔させるカム面を有する第１の
カム並びに対向する他方の一対のペレツト位置決
め体をそれぞれ同量接近・離隔させるカム面を有
する第２のカムと、前記各一対の前記ペレツト位
置決め体をそれぞれ対応する前記第１または第２
のカムのカム面に弾発的に付勢する付勢部材と、
前記第１のカムを正逆方向に回転させる第１の回
転駆動部と、前記第２のカムを正逆方向に回転さ
せる第２の回転駆動部と、前記各一対のペレツト
位置決め体を、その接近時前記ペレツト載置台に
置かれた前記半導体ペレツトに対応して予め設定
された挾持間隔に達したところでその移動を停止
させるように前記第１、第２の回転駆動部を制御
する制御部と、を有することを特徴とする半導体
ペレツトの位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032870A JPS58169927A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 半導体ペレツトの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032870A JPS58169927A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 半導体ペレツトの位置決め装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56031244A Division JPS57147243A (en) | 1981-03-06 | 1981-03-06 | Positioning device for semiconductor pellet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58169927A JPS58169927A (ja) | 1983-10-06 |
| JPS6258661B2 true JPS6258661B2 (ja) | 1987-12-07 |
Family
ID=12370893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58032870A Granted JPS58169927A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 半導体ペレツトの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58169927A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH063658U (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-18 | 塚原工業株式会社 | 回転印 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61115331A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ｉｃ組立装置 |
-
1983
- 1983-03-02 JP JP58032870A patent/JPS58169927A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH063658U (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-18 | 塚原工業株式会社 | 回転印 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58169927A (ja) | 1983-10-06 |
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