JPS626122A - 回転検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回転装置の回転検知器ｆｌｉ１（＝係る。

回転装置の一例として回転式液体流量計を上げることが
できる。

半導体の製造装置等では装置の冷却のため。

または処理液の冷却のため冷却水が多数使用されている
。冷却水が流れなくなると装置の温度が異常に上昇し危
険になったシ化学処理が正常にできなくなるので、冷却
水が規定流量以上流れていることをチェックする必要が
ある。

流量検知装置は流量計の回転数から流量を算出し、該流
量が規定流量以下になった時アラーム信号を発生する。

従来の回転検知装置では流量の瞬間的な変動に対しても
アラーム信号がでるが、冷却水は常に均一に流れている
のではなく脈流したり、また、他の装ばか同一ラインで
冷却水を開、閉した時、長い時間例えば３秒という単位
では正常な流量であっても瞬間的にはかなシの流量変動
が発生するので、上位の装置で正しい判定ができなくな
るという欠陥がめった。

また、他の回転検知装置として、ひとたび規定流量以下
になった時アラーム状態を保持する装置もあるが、該回
転検知装置ではその後流量が元に復してもアラーム状態
を解除することができないという欠陥がある。

さらに、前記アラーム保持型の回転検知装置では峨源の
瞬断などによりアラームが保持され。

冷却水は正常に流れ続けているＣ二も拘らずアラームに
なるという欠陥がある。

本発明は上記欠陥を除去し九新規な発明であって、その
目的は （１）　　上位装置での判定が容易な回転検知装置を提
供すること。

（２）異常回転数を正確に設定することのできる回転検
知装置を提供すること。

（３）瞬間的回転数変動では応答しない安定な回転検知
装置を提供すること。

（４）正常な回転が継続した時アラーム状態を自動的に
解除することのできる回転検知装置を提供すること。

であシ９９回転と回転体の回転に応じて信号を発生する
回転検知器と前記信号の間隔を判定する信号間隔判定回
路と前記信号の継続時間を判定する信号継続時間判定回
路とからなることを特徴とした回転検知装置ｔｌ二よっ
て達成される。

以下１本発明を図面により詳細（二説明する。

第１図は本発明ζ：なる回転検知装置を説明するための
実施例の模式図と回路図、第２図は信号の波形図である
。

冷却水は流量計１の入力ボート２から出力ボート３へ流
れ企。回転体である羽根車４は軸５を中心に流１１Ｈ１
＝応じて回転する。羽根車４の外周に２個のマグネッ）
　７ａ、　７ｂが固着されている。従って、流量計１の
内部４二実装された回転検知器のホール素子６は羽根＄
４の１回転に対し２つのパルスを発生する。この連続し
たパルス列３１の間隔３４から回転数を判定する。

ホール素子６で検知されたパルス列３１は信号間隔判定
回路１０のトランジスタ１１でスイッ圧３２は電圧比較
回路１７により抵抗１５．１６による設定電圧３３と比
較される。

羽根車４００回転遅くなるとパルス列３１の間隔３４が
長くなり、積分電圧３ｚは設定電圧３３をこえるので電
圧比較回路１７はローレベルとなる。即ち、信号間隔判
定回路ｌＯで回転数即ち流量が規定値以下（：なったこ
とを判定したことになる◇ ′成圧比砿回路１７の出力は信号継続時間判定回路１８
の抵抗１９とコンデンサ２０で構成される。

第一の積分回路２１に入力され負パルスのパルス幅増幅
を行う。抵抗２２とコンデンサ２３で構成される第二の
積分回路２４によシ増幅された信号３５をさらに長い時
定数１例えば第一の積分回路２１０時定数のｆＰｔｏ　
、ＩＥ、積分するので積分電圧３６は徐徐に下降し、電
圧比較回路２７によって抵抗２５．２６で定まる設定電
圧３７と比較される。第二の積分回路２４０時定数を、
第一の積分回路２１０時定数の各倍以上にすることによ
り瞬間的パルス間隔の変ｍ（二強くすることができる。

羽根車４の回転が遅い状態が続くと積分電圧３６は設定
電圧３７以下となるので信号継続時間判定回路１８の出
力２８はハイレベルと３５はハイレベルとなる。信号継
続時間判定回路１８の第二の積分回路２４の積分電圧３
６は徐徐に上昇し、設定電圧３７ｆ：、超えた時出力２
８はローレベルとなりアラーム状態は解除される。

上記説明では信号継続時間判定回路１８のパルス幅増幅
回路が積分回路である場合について述べたが９本発明は
これに限定されるものではなく負のパルス幅を増幅する
シングルショットマルチバイブレータでも本発明を実現
できることは明らかである。

上記説明では回転検知器がホール素子である場合につい
て述べたが９本発明はこれに限定されるものではなくト
ール素子を磁気抵抗素子あるいはピックアップコイルに
することによっても、さらに羽根車の反射あるｈは遮光
を利用した反射ｍあるいは透過型光センナ（二よっても
実現できることは明らかである。

また、上記説明では回転装置が液体の流量針である場合
の実施例について述べたが、電子機器冷却用の７１ン（
：ついても全く同様である。

即ち、ファンの回転数を検知して冷却能力の低下を認矧
し高価な電子機器の事故を未然（：防ぐため回転検知装
置が必要でるり９本発明を全く同様にして適用できるこ
とは明らかである。

以上説明したように９本発明の回転検知装置の信号間隔
判定回路で異常回転数を判定し、信号継続時間判定回路
で異常回転の継続時間を判定することによって、異常回
転数の正確な設定が可能となり、また瞬間的な異常回転
を無視し長時間異常回転が継続した時のみアラーム信号
を発生し、さらシニ、正常回転が継続した時アラーム信
号を解除することＣ二よって上位装置へ正しい信号を送
出することか可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる回転検知装置を説明するための実
施例の模式図と回路図、第２図は信号の波形図である。 １は流量針、２は入力ボート、３は出力ボート、４は羽
根車、５は軸、６はホール素子。 ７ａ、７１）はマグネット、ｉｏは信号間隔判定回路。 １１はトランジスタ、　１２．１５．１６．１９．２２
．２５．２６は抵抗、１３．２３はコンデンサ、　１４
．２１．２４は積分回路、１７．２７は電圧比較回路！
１８は信号継続時間判定回路８２０はコンデンサ、２８
は出力。 ３１はパルス列、３４はパルス列３１０間隔、３２゜３
６は積分電圧、３３．３７は設定電圧、３５．３８は信
号である。 特許出願人　　　　シグマ技術工業株式会社代表者神１
）薫 図面の浄ｉグ（内′ａに変更なし） 手続補正書（放） 昭和６０年９月２６日 ２、発明の名称　画装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回転体と回転体の回転に応じて信号を発生する回転
   検知器と前記信号の間隔を判定する信号間隔判定回路と
   前記信号の継続時間を判定する信号継続時間判定回路と
   からなることを特徴とした回転検知装置。 ２、前記回転検知器が光センサである前記特許請求の範
   囲第１項記載の回転検知装置。 ３、前記回転検知器がホール素子である前記特許請求の
   範囲第１項記載の回転検知装置。 ４、前記回転検知器が磁気抵抗素子である前記特許請求
   の範囲第１項記載の回転検知装置。 ５、前記回転検知器がピックアップコイルである前記特
   許請求の範囲第１項記載の回転検知装置。 ６、前記信号間隔判定回路が積分回路と電圧比較回路で
   ある前記特許請求の範囲第１項記載の回転検知装置。 ７、前記信号継続時間判定回路がパルス幅増幅回路と積
   分回路と電圧比較回路である前記特許請求の範囲第１項
   記載の回転検知装置。 ８、前記信号継続時間判定回路が少くとも二つの積分回
   路と電圧比較回路である前記特許請求の範囲第１項記載
   の回転検知装置。