JPS6261897B2 - - Google Patents
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- JPS6261897B2 JPS6261897B2 JP15594381A JP15594381A JPS6261897B2 JP S6261897 B2 JPS6261897 B2 JP S6261897B2 JP 15594381 A JP15594381 A JP 15594381A JP 15594381 A JP15594381 A JP 15594381A JP S6261897 B2 JPS6261897 B2 JP S6261897B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- bellows
- movable electrode
- bellow
- diaphragm
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 8
- 239000002775 capsule Substances 0.000 claims description 7
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
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- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0033—Transmitting or indicating the displacement of bellows by electric, electromechanical, magnetic, or electromagnetic means
- G01L9/0038—Transmitting or indicating the displacement of bellows by electric, electromechanical, magnetic, or electromagnetic means using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差圧測定装置に関するものである。更
に詳述すれば、ベローの内外にそれぞれ測定圧を
加え、ベローの自由端の変位を電気容量の変化と
して検出する電気容量検出方式の差圧測定装置に
関するものである。
に詳述すれば、ベローの内外にそれぞれ測定圧を
加え、ベローの自由端の変位を電気容量の変化と
して検出する電気容量検出方式の差圧測定装置に
関するものである。
近年、容量検出方式の差圧測定装置としては、
ストレツチダイアフラムを圧力−変位変換要素と
して用いたものが多用されている。
ストレツチダイアフラムを圧力−変位変換要素と
して用いたものが多用されている。
このようなものにおいては、ダイアフラムには
常に一定の引張力が加えられていなければならな
い。このため、ダイアフラムを固定するカプセル
本体やカプセルを固定するハウジングは、周囲温
度等の変化によつて、ダイアフラムの引張力に悪
影響を与えないように、ダイアフラムの線膨張係
数に合わせた高価な材料を用いねばならず高価な
ものとなる。
常に一定の引張力が加えられていなければならな
い。このため、ダイアフラムを固定するカプセル
本体やカプセルを固定するハウジングは、周囲温
度等の変化によつて、ダイアフラムの引張力に悪
影響を与えないように、ダイアフラムの線膨張係
数に合わせた高価な材料を用いねばならず高価な
ものとなる。
次に、差圧伝送器においては、大きな静圧で使
用されることが多い。このような場合には、大き
な静圧によつてハウジングがダイアフラムの半径
方向に膨らみ、ダイアフラムを引張り、ダイアフ
ラムが剛くなる、このため静圧スパンシフトを生
ずる。また、大きな静圧に耐えるようにするため
にハウジング等は、ボルト等により強く締めて組
み立てられるが、この締付力もダイアフラムに影
響を及ぼしスパンシフトとして特性に悪影響を及
ぼす。
用されることが多い。このような場合には、大き
な静圧によつてハウジングがダイアフラムの半径
方向に膨らみ、ダイアフラムを引張り、ダイアフ
ラムが剛くなる、このため静圧スパンシフトを生
ずる。また、大きな静圧に耐えるようにするため
にハウジング等は、ボルト等により強く締めて組
み立てられるが、この締付力もダイアフラムに影
響を及ぼしスパンシフトとして特性に悪影響を及
ぼす。
本発明は、これ等の問題点を解決したものであ
る。
る。
本発明の目的は、静圧スパン誤差、温度スパン
誤差、締付けスパン誤差の少い差圧測定装置を提
供するにある。
誤差、締付けスパン誤差の少い差圧測定装置を提
供するにある。
第１図は、本発明の一実施例の構成説明図であ
る。
る。
図において、１はカプセルユニツトで、ベロー
１１、移動用電極１２、スペーサー１３、絶縁体
１４，１５と固定用電極１６，１７よりなる。ベ
ロー１１の自由端１１１には、ベロー１１の軸に
直交して板状の、可動電極１２が固定されてい
る。可動電極１２のベローの自由端１１１への固
定部附近には、第２図に示す如く、同心状に半円
形の溝１２２が多数設けられ、オーバーレンジ可
撓部１２１が構成されている。絶縁体１４，１５
は円板状をなし、可動電極１２の両側にそれぞれ
対向して配置され、その周辺部において、リング
状のスペーサ１３が挾持されている。固定用電極
１６，１７はリング状をなし、可動電極１２に対
向して、絶縁体１４，１５の表面に配置され、こ
の場合は真空蒸着により形成されている。２はハ
ウジングユニツトで、円柱状のハウジング本体２
１，２２とシールダイアフラム２３，２４とリン
グ状のシール押え２５，２６よりなる。ハウジン
グ本体２１，２２はその凹部２１１，２２１によ
りカプセル１の絶縁体１４，１５を挾持すると共
に、その外周縁部において、互に一体的になるよ
うに溶接２７されている。ハウジング本体２１，
２２の外側表面部２１２，２２２には同心円状の
波型面が形成されている。而して、ベロー１１の
固定端１１２は、ハウジング本体２１の外平面部
２１２において溶接１１３固定されている。而し
て、ベロー１１の外側とハウジング本体２１、絶
縁体１４，１５、スペーザー１３とにより室３１
が形成される。シールダイアフラム２３，２４は
ハウジング本体２１，２２の外平面２１２，２２
２を覆い、ハウジング本体２１，２２とそれぞれ
室２３１，２４１を形成し、その周縁部はシール
押え２５，２６によりハウジング本体２１，２２
に固定されている。３２は、ベロー１１内部と室
２３１を連通する連通孔である。３３は室３１と
室２４１を連通する連通孔である。４はベロー１
１内部と連通孔３２と室２３１を満すシリコンオ
イル等の封入液、５は室３１と連通孔３３と室２
４１を満すシリコンオイル等の封入液である。
６，７は、それぞれシールダイアフラム２３，２
４とシール押え２５，２６を覆い、測定室６１，
７１を形成するカバーである。６１１，７１１は
測定室６１，７１に測定圧を導入する導入孔であ
る。１６１，１７１は固定電極１６，１７より外
部に引き出されたリードで、ハウジング２からの
取出し口部分に於てはハーメチツクシール１６
２，１７２されている。
１１、移動用電極１２、スペーサー１３、絶縁体
１４，１５と固定用電極１６，１７よりなる。ベ
ロー１１の自由端１１１には、ベロー１１の軸に
直交して板状の、可動電極１２が固定されてい
る。可動電極１２のベローの自由端１１１への固
定部附近には、第２図に示す如く、同心状に半円
形の溝１２２が多数設けられ、オーバーレンジ可
撓部１２１が構成されている。絶縁体１４，１５
は円板状をなし、可動電極１２の両側にそれぞれ
対向して配置され、その周辺部において、リング
状のスペーサ１３が挾持されている。固定用電極
１６，１７はリング状をなし、可動電極１２に対
向して、絶縁体１４，１５の表面に配置され、こ
の場合は真空蒸着により形成されている。２はハ
ウジングユニツトで、円柱状のハウジング本体２
１，２２とシールダイアフラム２３，２４とリン
グ状のシール押え２５，２６よりなる。ハウジン
グ本体２１，２２はその凹部２１１，２２１によ
りカプセル１の絶縁体１４，１５を挾持すると共
に、その外周縁部において、互に一体的になるよ
うに溶接２７されている。ハウジング本体２１，
２２の外側表面部２１２，２２２には同心円状の
波型面が形成されている。而して、ベロー１１の
固定端１１２は、ハウジング本体２１の外平面部
２１２において溶接１１３固定されている。而し
て、ベロー１１の外側とハウジング本体２１、絶
縁体１４，１５、スペーザー１３とにより室３１
が形成される。シールダイアフラム２３，２４は
ハウジング本体２１，２２の外平面２１２，２２
２を覆い、ハウジング本体２１，２２とそれぞれ
室２３１，２４１を形成し、その周縁部はシール
押え２５，２６によりハウジング本体２１，２２
に固定されている。３２は、ベロー１１内部と室
２３１を連通する連通孔である。３３は室３１と
室２４１を連通する連通孔である。４はベロー１
１内部と連通孔３２と室２３１を満すシリコンオ
イル等の封入液、５は室３１と連通孔３３と室２
４１を満すシリコンオイル等の封入液である。
６，７は、それぞれシールダイアフラム２３，２
４とシール押え２５，２６を覆い、測定室６１，
７１を形成するカバーである。６１１，７１１は
測定室６１，７１に測定圧を導入する導入孔であ
る。１６１，１７１は固定電極１６，１７より外
部に引き出されたリードで、ハウジング２からの
取出し口部分に於てはハーメチツクシール１６
２，１７２されている。
以上の構成において、たとえば、測定室６１に
導入孔６１１より高い測定圧ＰHが導入され、測
定室７１に導入孔７１１より低い測定圧ＰLが導
入されると、その圧力は、シールダイアフラム２
３，２４を介して封入液４，５に伝えられる。こ
の圧力はベロー１１の表裏面で力に変換され、ベ
ロー１１の有効面積をAeとすれば（ＰH−ＰL）
Aeの力を発生する。ベロー１１のばね定数をｋ
とすれば、ベロー１１の先端の変位はδ＝（ＰH−
ＰL）Ae／ｋとなる。ベロー１１の先端には可動
電極１２が取付けられているので、ＰH＞ＰLの場
合は可動電極１２は図の右方に移動し、電極１２
と１６間の電気容量は減少し、電極１２と１７間
の電気容量はは増加する。ベロー１１と差圧（Ｐ
H−ＰL）の関係は、変位が小さい間はリニヤーで
あり精度のよい圧力→変位の特性が得られる。
導入孔６１１より高い測定圧ＰHが導入され、測
定室７１に導入孔７１１より低い測定圧ＰLが導
入されると、その圧力は、シールダイアフラム２
３，２４を介して封入液４，５に伝えられる。こ
の圧力はベロー１１の表裏面で力に変換され、ベ
ロー１１の有効面積をAeとすれば（ＰH−ＰL）
Aeの力を発生する。ベロー１１のばね定数をｋ
とすれば、ベロー１１の先端の変位はδ＝（ＰH−
ＰL）Ae／ｋとなる。ベロー１１の先端には可動
電極１２が取付けられているので、ＰH＞ＰLの場
合は可動電極１２は図の右方に移動し、電極１２
と１６間の電気容量は減少し、電極１２と１７間
の電気容量はは増加する。ベロー１１と差圧（Ｐ
H−ＰL）の関係は、変位が小さい間はリニヤーで
あり精度のよい圧力→変位の特性が得られる。
而して、大きな静圧が測定圧として加わつた場
合に、従来の、ストレツチダイアフラムを測定ダ
イアフラムとして使用した場合の如く、ストレツ
チダイアフラムを支持しているハウジングが半径
方向に膨らみ、この結果、測定ダイアフラムを引
張つて、測定ダイアフラム自身が剛くなり、スパ
ン誤差を生ずると言うストレツチダイアフラム方
式の欠点は生じない。即ち、受圧素子としてベロ
ー１１を用いたので、ベローエンドが半径方向に
伸縮しても、その影響を受けるのはベローエンド
に近い部分のみであり、ベローの平均有効面積と
しては殆んど変化しない。また、ベローは原理的
には薄肉円筒とみなされるが、薄肉円筒では円筒
端末の変形が円筒内部に影響する軸方向の長さは
短く、ベロー主要部の寸法は安定な性質を有す
る。さらに、ベースに固定されるベローズエンド
部分には、やや長い円筒部がつけられているのが
普通であり、この円筒部分もベースのひずみがベ
ローに伝達されるのを防止している。
合に、従来の、ストレツチダイアフラムを測定ダ
イアフラムとして使用した場合の如く、ストレツ
チダイアフラムを支持しているハウジングが半径
方向に膨らみ、この結果、測定ダイアフラムを引
張つて、測定ダイアフラム自身が剛くなり、スパ
ン誤差を生ずると言うストレツチダイアフラム方
式の欠点は生じない。即ち、受圧素子としてベロ
ー１１を用いたので、ベローエンドが半径方向に
伸縮しても、その影響を受けるのはベローエンド
に近い部分のみであり、ベローの平均有効面積と
しては殆んど変化しない。また、ベローは原理的
には薄肉円筒とみなされるが、薄肉円筒では円筒
端末の変形が円筒内部に影響する軸方向の長さは
短く、ベロー主要部の寸法は安定な性質を有す
る。さらに、ベースに固定されるベローズエンド
部分には、やや長い円筒部がつけられているのが
普通であり、この円筒部分もベースのひずみがベ
ローに伝達されるのを防止している。
要するに、大きな静圧によつて、ハウジングが
半径方向に歪みを発生しても、ベローズエンドの
円筒部でひずみが吸収される。さらに、取付け部
分のひずみに強い性質を本質的に有するベローズ
を用いているために静圧によるスパン誤差の生じ
にくい装置を得ることができる。
半径方向に歪みを発生しても、ベローズエンドの
円筒部でひずみが吸収される。さらに、取付け部
分のひずみに強い性質を本質的に有するベローズ
を用いているために静圧によるスパン誤差の生じ
にくい装置を得ることができる。
同様な理由によつて、ボルト等による締付けス
パンシフトに対しても強いものが得られる。
パンシフトに対しても強いものが得られる。
更に、ストレツチダイアフラム型の場合には、
ハウジングとダイアフラムに材質的な差がある
と、温度変化によつてダイアフラムの張力が変化
し、大きなスパン変化を生じる。したがつて、た
とえば、ダイアフラムとして恒弾性材料を用いれ
ば、ハウジングも同様としなければならず高価と
なる。
ハウジングとダイアフラムに材質的な差がある
と、温度変化によつてダイアフラムの張力が変化
し、大きなスパン変化を生じる。したがつて、た
とえば、ダイアフラムとして恒弾性材料を用いれ
ば、ハウジングも同様としなければならず高価と
なる。
本願においては、ハウジングとベローの材質が
異なつても、ハウジングの変形が前述の如く、ベ
ローに伝わらないため、材質の選択は自由となり
安価な材料を用いることができる。而して、線膨
張係数の差による温度スパン誤差要因がない。
異なつても、ハウジングの変形が前述の如く、ベ
ローに伝わらないため、材質の選択は自由となり
安価な材料を用いることができる。而して、線膨
張係数の差による温度スパン誤差要因がない。
したがつて、たとえば、ベローを恒弾性材料で
作れば、材質的な温度スパン誤差がなく、装置全
体として温度スパン誤差のきわめて小さなものが
得られかつ、安価にすることができる。
作れば、材質的な温度スパン誤差がなく、装置全
体として温度スパン誤差のきわめて小さなものが
得られかつ、安価にすることができる。
次に、装置としては、測定圧として過圧が加わ
つた場合に対しての保護が必要である。
つた場合に対しての保護が必要である。
本願においては、過圧が加わつた場合に、シー
ルダイアフラム２３，２４がハウジング本体２
１，２２にそれぞれ接することにより過圧からシ
ールダイアフラム２３，２４を保護する。しかし
ながら、測定受圧素子たるベロー１１において、
シールダイアフラム面積はベロー面積に比べて大
きいために過圧に対して、ベローの変位はひじよ
うに大きくなる。これに対して固定電極１６，１
７と可動電極１２のギヤツプは小さい。このため
可動電極が破壊される恐れがある。この理由によ
り従来においては、測定受圧素子としてベローを
選択することができなかつた。本願においては、
可動電極１２はオーバーレンジ可撓部１２１を設
けたので、オーバーレンジ可撓部１２１が可撓変
形してベロー１１の変位を吸収し、可動電極が破
壊する恐れのないものが得られる。
ルダイアフラム２３，２４がハウジング本体２
１，２２にそれぞれ接することにより過圧からシ
ールダイアフラム２３，２４を保護する。しかし
ながら、測定受圧素子たるベロー１１において、
シールダイアフラム面積はベロー面積に比べて大
きいために過圧に対して、ベローの変位はひじよ
うに大きくなる。これに対して固定電極１６，１
７と可動電極１２のギヤツプは小さい。このため
可動電極が破壊される恐れがある。この理由によ
り従来においては、測定受圧素子としてベローを
選択することができなかつた。本願においては、
可動電極１２はオーバーレンジ可撓部１２１を設
けたので、オーバーレンジ可撓部１２１が可撓変
形してベロー１１の変位を吸収し、可動電極が破
壊する恐れのないものが得られる。
なお、可動電極１２に設けられたオーバーレン
ジ可撓部１２１は、輪状スプリングに限ることは
なく、たとえば、第３図の可動電極１２′に示す
如く、直板状スプリングを構成してもよく、要す
るに、可動電極の板面に垂直方向に容易に弾性変
形できるものであればよい。
ジ可撓部１２１は、輪状スプリングに限ることは
なく、たとえば、第３図の可動電極１２′に示す
如く、直板状スプリングを構成してもよく、要す
るに、可動電極の板面に垂直方向に容易に弾性変
形できるものであればよい。
以上説明したように、本発明によれば、静圧ス
パン誤差、温度スパン誤差、締付けスパン誤差の
少い差圧測定装置を実現することができる。
パン誤差、温度スパン誤差、締付けスパン誤差の
少い差圧測定装置を実現することができる。
第１図は本発明の一実施例の構成説明図、第２
図は第１図の要部説明図、第３図は本発明の他の
実施例の要部構成説明図である。 １…カプセルユニツト、１１…ベロー、１１１
…自由端、１１２…固定端、１２…可動電極、１
２１…オーバーレンジ可撓部、１２２…溝、１３
…スペーサー、１４，１５…絶縁体、１６，１７
…固定電極、２…ハウジング、２１，２２…ハウ
ジング本体、２１１，２２１…凹部、２１２，２
２２…外平面、２３，２４…シールダイアフラ
ム、２３１，２４１…室、３１…室、３２，３３
…連通孔、４，５…封入液、６，７…カバー、６
１，７１…測定室、６１１，６１２…導入孔。
図は第１図の要部説明図、第３図は本発明の他の
実施例の要部構成説明図である。 １…カプセルユニツト、１１…ベロー、１１１
…自由端、１１２…固定端、１２…可動電極、１
２１…オーバーレンジ可撓部、１２２…溝、１３
…スペーサー、１４，１５…絶縁体、１６，１７
…固定電極、２…ハウジング、２１，２２…ハウ
ジング本体、２１１，２２１…凹部、２１２，２
２２…外平面、２３，２４…シールダイアフラ
ム、２３１，２４１…室、３１…室、３２，３３
…連通孔、４，５…封入液、６，７…カバー、６
１，７１…測定室、６１１，６１２…導入孔。
Claims (1)
- １ ベローと該ベローの自由端に該ベローの軸に
直交して固定され該ベローとの固定部分附近に設
けられた溝により形成されるオーバーレンジ可撓
部を有する板状の可動電極と、該可動電極にそれ
ぞれ対面しリング状のスペーサーを介して対向し
て配置された板状の絶縁体と該絶縁体の前記可動
電極と対面した面に設けられた固定電極とからな
るカプセルユニツトと、該カプセルユニツトを挾
持すると共に前記ベローの固定端が固定されその
外側表面に同心状の波型面が形成されたハウジン
グ本体と前記波型面を覆いその周面が該波型面に
固定され過負荷時に該波型面によりバツクアツプ
されるシールダイアフラムとを具備するハウジン
グユニツトと、該シールダイアフラムを覆い該シ
ールダイアフラムと測定室を構成するカバーとを
具備してなる差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15594381A JPS5855833A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15594381A JPS5855833A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5855833A JPS5855833A (ja) | 1983-04-02 |
| JPS6261897B2 true JPS6261897B2 (ja) | 1987-12-23 |
Family
ID=15616906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15594381A Granted JPS5855833A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855833A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02137499U (ja) * | 1989-04-18 | 1990-11-16 | ||
| JPH03108797U (ja) * | 1990-02-23 | 1991-11-08 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6082828A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-11 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力検出器 |
| JPH0275363A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-15 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 分布制御式スプレーノズル並びに該スプレーノズルを用いたスプレー装置 |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP15594381A patent/JPS5855833A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02137499U (ja) * | 1989-04-18 | 1990-11-16 | ||
| JPH03108797U (ja) * | 1990-02-23 | 1991-11-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5855833A (ja) | 1983-04-02 |
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