JPS6263182A - Ｒｆ型イオン源 - Google Patents
Ｒｆ型イオン源Info
- Publication number
- JPS6263182A JPS6263182A JP60201591A JP20159185A JPS6263182A JP S6263182 A JPS6263182 A JP S6263182A JP 60201591 A JP60201591 A JP 60201591A JP 20159185 A JP20159185 A JP 20159185A JP S6263182 A JPS6263182 A JP S6263182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- vacuum
- type ion
- capacitor
- discharge container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Plasma Technology (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は１人工衛星の姿勢制御を行なうＲＦ型イオン
・エンジンに適したＲＦ型イオン源に関する。
・エンジンに適したＲＦ型イオン源に関する。
従来のＲＦ （Ｒａｄｉｏｆｒａｑｕｅｎｃｙ）型イオ
ン・エンジンの構成を第３図に、ＲＦ発振器の構成を第
４図に示す、放電容器１に導入、されたＨｇガス１９に
インダクシミンコイル６によって加速された電子が衝突
して電離プラズマを放電室８内に生成し、Ｈｇ＋イオン
が電極２，３．４で構成される加速電極によって運動エ
ネルギを与えられ、中和器７から放出される電子によっ
て中和化された後、放出されてイオン・エンジンの推力
となる。
ン・エンジンの構成を第３図に、ＲＦ発振器の構成を第
４図に示す、放電容器１に導入、されたＨｇガス１９に
インダクシミンコイル６によって加速された電子が衝突
して電離プラズマを放電室８内に生成し、Ｈｇ＋イオン
が電極２，３．４で構成される加速電極によって運動エ
ネルギを与えられ、中和器７から放出される電子によっ
て中和化された後、放出されてイオン・エンジンの推力
となる。
インダクシミンコイル６に高周波電流を供給するＲＦ発
振器は高周波発生器９とＡ級増幅器１０と整合器１１と
で構成され、高周波電流の搬送には同軸ケーブルを使用
している。整合器１１は容量固定のＣ１コンデンサ１３
と容量可変の０２コンデンサ１２からなり、Ｃ２コンデ
ンサ１２の容量と周波数を調整してプラズマのインピー
ダンスと整合をとっている。
振器は高周波発生器９とＡ級増幅器１０と整合器１１と
で構成され、高周波電流の搬送には同軸ケーブルを使用
している。整合器１１は容量固定のＣ１コンデンサ１３
と容量可変の０２コンデンサ１２からなり、Ｃ２コンデ
ンサ１２の容量と周波数を調整してプラズマのインピー
ダンスと整合をとっている。
周波数を変化させるため増幅器１０はＡ級を採用してい
る。容量固定の０１コンデンサ１３は重量的にそれほど
問題ではないが、容量可変の０３コンデンサは重く問題
である。
る。容量固定の０１コンデンサ１３は重量的にそれほど
問題ではないが、容量可変の０３コンデンサは重く問題
である。
ＲＦ型イオン・エンジンを大型化するためにはコンデン
サＣ１，Ｃ，の耐電圧特性を上げる必要があり、さらに
重量が増加することが予想され大きな問題となっている
。
サＣ１，Ｃ，の耐電圧特性を上げる必要があり、さらに
重量が増加することが予想され大きな問題となっている
。
〔発明の目的〕
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、コ
ンデンサＣ□ｓ Ｃ，の軽量化を実行して大型化可能な
ＲＦ型イオン源を提供することを目的とする。
ンデンサＣ□ｓ Ｃ，の軽量化を実行して大型化可能な
ＲＦ型イオン源を提供することを目的とする。
本発明は、別々に構成されていた放電部分と整合器を放
電容器の一部に真空コンデンサ部分を設けて一体化した
ことを特徴とするＲＦ型イオン源である。
電容器の一部に真空コンデンサ部分を設けて一体化した
ことを特徴とするＲＦ型イオン源である。
本発明によれば、整合器は放電容器の一部であり大幅な
軽量化が計れるとともに、コンデンサはインダクシ目ン
コイルの近くにありリード線も短く浮遊容量による異常
発振及び電磁妨害も少ない、大型化可能なＲＦ型イオン
源を構成できる。
軽量化が計れるとともに、コンデンサはインダクシ目ン
コイルの近くにありリード線も短く浮遊容量による異常
発振及び電磁妨害も少ない、大型化可能なＲＦ型イオン
源を構成できる。
以下本発明の実施例を詳細に説明する。なお従来装置と
その構成が同一の部分ｉＩついては同一符号を附けてそ
の説明を省略する。第１図および第２図に示すように、
放電容器１の外側に３枚の電極を設けて、真空コンデン
サ１２．１３を構成し、密封容器１４で覆う、真空コン
デンサ１２の電極間距離を可変にしておけば、整合器１
１が構成されたことになる。密封容器１４は電磁シール
ドの必要がなければ、なくてもよい、地上での実験中、
密封容器１４がなければ真空コンデンサ１２．１３が大
気等にふれる場合が考えられる。このときは密封容器１
４を大気等の圧力に耐えれるようにする必要がある。
その構成が同一の部分ｉＩついては同一符号を附けてそ
の説明を省略する。第１図および第２図に示すように、
放電容器１の外側に３枚の電極を設けて、真空コンデン
サ１２．１３を構成し、密封容器１４で覆う、真空コン
デンサ１２の電極間距離を可変にしておけば、整合器１
１が構成されたことになる。密封容器１４は電磁シール
ドの必要がなければ、なくてもよい、地上での実験中、
密封容器１４がなければ真空コンデンサ１２．１３が大
気等にふれる場合が考えられる。このときは密封容器１
４を大気等の圧力に耐えれるようにする必要がある。
第３図に別の実施例を示す、第３図に示すように、放電
容器１の内側に３枚の電極を設けて、真空コンデンサ１
２．１３を構成し、真空コンデンサ１２の電極間距離を
可変にしておけば整合器１１が構成される。Ｈｇガスが
電極に害をおよぼす恐れがある場合は密封容器で覆えば
よい、 Ｈｇガスが電極に害をおよぼす恐れのないとき
は、ガス拡散板５の機 ４能を真空コンデンサ１２．１
３の電極にもたせることも可能である。
容器１の内側に３枚の電極を設けて、真空コンデンサ１
２．１３を構成し、真空コンデンサ１２の電極間距離を
可変にしておけば整合器１１が構成される。Ｈｇガスが
電極に害をおよぼす恐れがある場合は密封容器で覆えば
よい、 Ｈｇガスが電極に害をおよぼす恐れのないとき
は、ガス拡散板５の機 ４能を真空コンデンサ１２．１
３の電極にもたせることも可能である。
第１図乃至第３図では、電極３枚で真空コンデンサ１２
．１３を構成する場合について述べたが、要は真空コン
デンサが構成できればよく、第゛２図や第３図の位置、
形状、電極枚数に限定するものではない。又、真空コン
デンサ１２−、１３の２個により成り立つ整合器１１の
場合について説明したが、要はプラズマとインピーダン
ス整合がとれる整合器であればよく、真空コンデンサの
数を２個に限定するものではない。重量の軽い容量固定
のコンデンサは従来どうり放電部分と別にしてもよい。
．１３を構成する場合について述べたが、要は真空コン
デンサが構成できればよく、第゛２図や第３図の位置、
形状、電極枚数に限定するものではない。又、真空コン
デンサ１２−、１３の２個により成り立つ整合器１１の
場合について説明したが、要はプラズマとインピーダン
ス整合がとれる整合器であればよく、真空コンデンサの
数を２個に限定するものではない。重量の軽い容量固定
のコンデンサは従来どうり放電部分と別にしてもよい。
導入ガスとしてｎｇを用いているが、 ｌ１ｇガスに限
定するものでもない。
定するものでもない。
本発明は、ＲＦ型イオン・エンジンについて説明したが
、ＲＦタイプの放電室を使用している全ての装置に適用
できる。・例えば、該融合で使用されているプラズマ加
熱用粒子入射装置のＲＦ型イオン源についても全く同じ
ように適用できる。
、ＲＦタイプの放電室を使用している全ての装置に適用
できる。・例えば、該融合で使用されているプラズマ加
熱用粒子入射装置のＲＦ型イオン源についても全く同じ
ように適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す一部切欠視斜図、第２図
はその断面図、第３図は本発明の別の実施例を示す断面
図、第４図は従来のＲＦ型イオン・エンジンの断面図、
第５図は従来のＲＦ発振器のブロック図である。 １・・・放電容器 ２，３．４・・・加速電極
５・・・ガス拡散板 ６・・・インダクションコイル ７・・・中和器 ８・・・放電室９・・・高
周波発生器 １０・・・Ａ級増幅器１１・・・整合
器 １２・・・可変コンデンサ１３・・・固
定コンデンサ １４・・・密封容器代理人 弁理士
則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第 １ 図 ＝＝ロ■ロ■ロー ３
はその断面図、第３図は本発明の別の実施例を示す断面
図、第４図は従来のＲＦ型イオン・エンジンの断面図、
第５図は従来のＲＦ発振器のブロック図である。 １・・・放電容器 ２，３．４・・・加速電極
５・・・ガス拡散板 ６・・・インダクションコイル ７・・・中和器 ８・・・放電室９・・・高
周波発生器 １０・・・Ａ級増幅器１１・・・整合
器 １２・・・可変コンデンサ１３・・・固
定コンデンサ １４・・・密封容器代理人 弁理士
則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第 １ 図 ＝＝ロ■ロ■ロー ３
Claims (6)
- （１）ガス導入系と放電容器と電極と前記容器の外周に
設けたインダクションコイルと中和器とＲＦ発振器と加
速電源等で構成されるイオン源に於いて、放電容器の一
部に電極機構を設けて真空コンデンサを構成したことを
特徴とするＲＦ型イオン源。 - （２）真空コンデンサの内、１個を容量可変にしたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＲＦ型イオン
源。 - （３）真空コンデンサを放電容器外部に配置したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＲＦ型イオン源
。 - （４）真空コンデンサを密封容器で覆ったことを特徴と
する特許請求の範囲第３項記載のＲＦ型イオン源。 - （５）真空コンデンサを放電容器内部に配置したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＲＦ型イオン源
。 - （６）真空コンデンサにガス拡散機能をもたせたことを
特徴とする特許請求の範囲第５項記載のＲＦ型イオン源
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60201591A JPS6263182A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Ｒｆ型イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60201591A JPS6263182A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Ｒｆ型イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263182A true JPS6263182A (ja) | 1987-03-19 |
Family
ID=16443593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60201591A Pending JPS6263182A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Ｒｆ型イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263182A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107725296A (zh) * | 2017-09-01 | 2018-02-23 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种磁感应强度可调的永磁霍尔推力器磁路结构 |
-
1985
- 1985-09-13 JP JP60201591A patent/JPS6263182A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107725296A (zh) * | 2017-09-01 | 2018-02-23 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种磁感应强度可调的永磁霍尔推力器磁路结构 |
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