JPS6263688A - 付着物質の除去方法 - Google Patents
付着物質の除去方法Info
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- JPS6263688A JPS6263688A JP20237685A JP20237685A JPS6263688A JP S6263688 A JPS6263688 A JP S6263688A JP 20237685 A JP20237685 A JP 20237685A JP 20237685 A JP20237685 A JP 20237685A JP S6263688 A JPS6263688 A JP S6263688A
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 32
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 15
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 7
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 abstract description 6
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 abstract description 6
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 abstract description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000009747 swallowing Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体表面の付着物質を溶呑して除去する方法
に関する。
に関する。
従来、固体表面に付着した物質を除去する方法としてラ
ッピングによる方法と、溶剤により溶解させる方法があ
る。
ッピングによる方法と、溶剤により溶解させる方法があ
る。
ラッピングによる方法は、ラップ剤を用いて固体表面を
研摩することにより付着物質を除去するため研摩面が多
少摩耗することは避けられず、ラッピング後に固体表面
を入念に検査９手入れする必要があり、精密な固体表面
には適用できない。
研摩することにより付着物質を除去するため研摩面が多
少摩耗することは避けられず、ラッピング後に固体表面
を入念に検査９手入れする必要があり、精密な固体表面
には適用できない。
また、溶剤により溶解させる方法は溶解後に十分洗浄し
て溶剤を洗い落とす必要があり、圧力タンクや洗浄装置
の他にこれら大量の廃液を処理する設備を特徴とする 特に、原子カプラント用の器材等に付着した物質を除去
する場合はこれら器材が放射能で汚染されていることが
あり、ラッピング中に発生する粉塵を作業者が吸飲して
内部被爆を起こした抄、溶解後の廃液処理に莫大な費用
と手数を要する等の大きな問題がある。
て溶剤を洗い落とす必要があり、圧力タンクや洗浄装置
の他にこれら大量の廃液を処理する設備を特徴とする 特に、原子カプラント用の器材等に付着した物質を除去
する場合はこれら器材が放射能で汚染されていることが
あり、ラッピング中に発生する粉塵を作業者が吸飲して
内部被爆を起こした抄、溶解後の廃液処理に莫大な費用
と手数を要する等の大きな問題がある。
本発明に係る付着物質の除去方法は上記問題点を解決す
ることを目的にしており、固体表面の付着物質を溶剤に
より溶解し除去するにあたり固体表面に溶剤を塗布し前
記溶剤により溶解可能なフィルム材を固体表面に張着さ
せフィルム材と付着物質とが融合後フィルム材を固体表
面から剥離することを特徴としている。
ることを目的にしており、固体表面の付着物質を溶剤に
より溶解し除去するにあたり固体表面に溶剤を塗布し前
記溶剤により溶解可能なフィルム材を固体表面に張着さ
せフィルム材と付着物質とが融合後フィルム材を固体表
面から剥離することを特徴としている。
例えば、ポンプの摺動シールのシール面に付着した物質
を除去する場合について説明すると。
を除去する場合について説明すると。
第２図に示すようにポンプの摺動シール０１のシール面
に付着している特質はポンプの揚水中にわずかに存在す
る懸濁物質いわゆる汚れであるが、これらの大半はポン
プの配管等から溶出した金属酸化物の微小な粒子０２で
ある。出願人において付着の本性を基礎研究の結果、こ
れらの粒子０２は専門的にはＶａｎ ｄｅｒ Ｗａｏｌ
ｓ力と云う分子間力で付着している状態であることが判
った。
に付着している特質はポンプの揚水中にわずかに存在す
る懸濁物質いわゆる汚れであるが、これらの大半はポン
プの配管等から溶出した金属酸化物の微小な粒子０２で
ある。出願人において付着の本性を基礎研究の結果、こ
れらの粒子０２は専門的にはＶａｎ ｄｅｒ Ｗａｏｌ
ｓ力と云う分子間力で付着している状態であることが判
った。
したがって、付着している粒子０２をシール面から剥離
するにはこの付着力に優る強力な接着剤に粒子０２を接
着させ、この接着剤を剥離することによって粒子０２を
除去できることになる。
するにはこの付着力に優る強力な接着剤に粒子０２を接
着させ、この接着剤を剥離することによって粒子０２を
除去できることになる。
しかし、付着物質は粒子状であるため第３ＵＡ（イ）に
示すように単なる平板状の接着剤０３を付着物質に被せ
ても、付着している粒子０２の頭の部分という極〈一部
に接着剤０３が接触するだけであるので、完全な粒子０
２の除去は期待できない。
示すように単なる平板状の接着剤０３を付着物質に被せ
ても、付着している粒子０２の頭の部分という極〈一部
に接着剤０３が接触するだけであるので、完全な粒子０
２の除去は期待できない。
完全な除去を行なうには、第３図（ロ）に示すように接
着剤０８が各粒子０２の周囲にくまなく浸み込み各粒子
０２の表面を全面的に包み込んだ融合状態になることが
必要である。本発明に係る除去方法は、この状態で接着
剤０３を剥離するので大半の粒子０２が接着剤０３とと
もに移動し十分な除去が簡単に行なわれる。
着剤０８が各粒子０２の周囲にくまなく浸み込み各粒子
０２の表面を全面的に包み込んだ融合状態になることが
必要である。本発明に係る除去方法は、この状態で接着
剤０３を剥離するので大半の粒子０２が接着剤０３とと
もに移動し十分な除去が簡単に行なわれる。
本発明を実施例に基づき具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る説明図にして。
原子カプラントに使用されているポンプの摺動シールの
シール面に強固に付着した酸化鉄微粒子の集合体を除去
する方法を示している。図において、１は摺動シール、
２は酸化鉄微粒子。
シール面に強固に付着した酸化鉄微粒子の集合体を除去
する方法を示している。図において、１は摺動シール、
２は酸化鉄微粒子。
Ａはアセチルセルローズフィルム、Ｂｉｌ［メチルで、
（イ）に示す酢酸メチルＢは酸化鉄微粒子２の溶剤であ
り、またアセチルセルローズフィルムＡは酢酸メチルＢ
で溶解する。先づ、（ロ）に示すように摺動シール１の
シール面に付着している酸化鉄微粒子２上に酢酸メチル
Ｂを滴下し。
（イ）に示す酢酸メチルＢは酸化鉄微粒子２の溶剤であ
り、またアセチルセルローズフィルムＡは酢酸メチルＢ
で溶解する。先づ、（ロ）に示すように摺動シール１の
シール面に付着している酸化鉄微粒子２上に酢酸メチル
Ｂを滴下し。
酸化鉄微粒子２が酢酸メチルＢによって十分に濡れた状
態にする。次に、この状態の内にｅ→に示すようにアセ
デルセルローズフィルムＡを酸化鉄微粒子２上に気泡の
入らないように載せて張り付ける。この状態で暫く放置
すると、アセチルセルローズフィルムＡは酸化鉄微粒子
２．！：接触している面が酢酸メチルＢにより溶解し。
態にする。次に、この状態の内にｅ→に示すようにアセ
デルセルローズフィルムＡを酸化鉄微粒子２上に気泡の
入らないように載せて張り付ける。この状態で暫く放置
すると、アセチルセルローズフィルムＡは酸化鉄微粒子
２．！：接触している面が酢酸メチルＢにより溶解し。
その接着成分が酸化鉄微粒子２の周囲に浸み込んでに）
に示すようにアセチルセルローズフィルムＡと酸化鉄微
粒子２とが融合する。酢酸メチルＢは溶剤であるので揮
発性があり、徐々に蒸発して最終的にはアセチルセルロ
ーズフィルムＡが酸化鉄微粒子２を包み込んだ（ホ）に
示す融合状態で乾燥する。これを（へ）に示すように剥
離することにより、酸化鉄微粒子２を完全に除去するこ
とができる。
に示すようにアセチルセルローズフィルムＡと酸化鉄微
粒子２とが融合する。酢酸メチルＢは溶剤であるので揮
発性があり、徐々に蒸発して最終的にはアセチルセルロ
ーズフィルムＡが酸化鉄微粒子２を包み込んだ（ホ）に
示す融合状態で乾燥する。これを（へ）に示すように剥
離することにより、酸化鉄微粒子２を完全に除去するこ
とができる。
このように本発明に係る付着物質の除去方法によれば、
固体表面の付着物質が簡単に除去されて付着する前と同
一の状態に戻り寸法、形状が損なわれることが全くない
ため除去後の固体表面の検査２手入れが省略でき、また
除去後の洗浄を特に必要とせず溶剤および洗剤の廃液処
理も不要である。特に、原子カプラント用の器材等の付
着物質でも安全に除去できる等の効果が奏せられる。
固体表面の付着物質が簡単に除去されて付着する前と同
一の状態に戻り寸法、形状が損なわれることが全くない
ため除去後の固体表面の検査２手入れが省略でき、また
除去後の洗浄を特に必要とせず溶剤および洗剤の廃液処
理も不要である。特に、原子カプラント用の器材等の付
着物質でも安全に除去できる等の効果が奏せられる。
第１図は本発明の一実施例に係る付着物質の除去方法の
説明図、第２図と第３図は本発明の作用に係る説明図で
ある。
説明図、第２図と第３図は本発明の作用に係る説明図で
ある。
Claims (1)
- 固体表面の付着物質を溶剤により溶解し除去するにあた
り、固体表面に溶剤を塗布し前記溶剤により溶解可能な
フィルム材を固体表面に張着させフィルム材と付着物質
とが融合後フィルム材を固体表面から剥離することを特
徴とする付着物質の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20237685A JPS6263688A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 付着物質の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20237685A JPS6263688A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 付着物質の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263688A true JPS6263688A (ja) | 1987-03-20 |
Family
ID=16456470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20237685A Pending JPS6263688A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 付着物質の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263688A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0450596U (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-28 |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP20237685A patent/JPS6263688A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0450596U (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-28 |
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