JPS626441A - 磁気デイスクの磁性塗料スピンコ−テイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、磁気ディスクの磁性塗料スピンコーティング
装置に係り、特にワークの回転中に被塗布面の外縁部か
ら撮り切られて飛散する飛沫粒子および浮遊粒子を磁性
膜に付着させないように、回収するために好適な磁気デ
ィスクの磁性塗料スピンコーティング装置に関する。

〔発明の背景〕

磁気記録媒体としての磁気ディスクの磁性膜は、高密度
記録を可能ならしめるため、磁性体分布が一様でかつ膜
厚が均一であることが必要である。

前記磁性層を安定した品質で経済的に形成する従来技術
としては、％開昭５７−７８６３６号公報および特開昭
５７−８６１３４号公報等に開示されている技術があり
、かかる従来のスピンコーティング装置の概略を第３図
に示す。

この第６図に示す従来のスピンコーティング装置では、
モータ１に連結された回転軸２に、磁気ディスク基板で
あるワーク６を保持し、ワーク３の両側の被塗布面３ａ
、５ｂ側に、磁性塗料の塗布ノズル４ａ　、ａｂを配置
し、さらにワーク５の外周を囲むチャンバ５を設けてい
る。

そして、この第３図に示す従来技術のものは、最初はワ
ーク５を低速回転させ、塗布ノズ）ｖ４１゜４ｂから被
塗布面５ａ　、　３ｂに磁性塗料を供給し、その後ワー
ク５を高速回転させ、かつ塗布ノズル４ａ、ａｂを被塗
布面３ａ　、　３ｂの外縁部から中心部に向かって移動
させ、被塗布面３ａ　、　３ｂに磁性塗料を塗布し、Ｓ
性膜を形成するようにしている。また、被塗布面３ａ　
、　５ｂに供給さまた磁性塗料は、ワーク３の高速回転
による遠心力によって被塗布面３ａ　、　３ｂの外周方
向に流動し、所定の膜厚に塗布が行われる。この場合に
、磁性塗料がＳ性膜を形成するために必要な供給量以上
に供給されると、その余剰Ｓ性塗料はワーク３０回転中
に、被塗布面３ａ　、　３ｂの外周縁より離脱してチャ
ンバ５内に飛散し、あるいはチャンバ５内に浮遊する。

この余剰磁性塗料の飛沫粒子および浮遊粒子は、磁性塗
料の粘度、ワーク５の回転数、および磁性塗料の供給量
によって変化する。

一方、近年記録密度が極めて高密度になるにつれて磁性
膜の膜厚な０．５μｍ程度と薄くする傾向にあり、この
ため磁性塗料の粘度を従来より低下させる傾向にある。

したがって、これら余剰磁性塗料の飛沫粒子および浮遊
粒子の量がますます多くなっている。前記余剰磁性塗料
の飛沫粒子および浮遊粒子の一部がワークに形成された
磁性膜に付着するおそれがあり、余剰磁性塗料がＳ性膜
に付着すると、Ｓ性膜の磁性持回、機械的特性を損う問
題が生じる。

そこで、第３図に示す従来技術では、ワーク３の外周を
囲むチャンバ５により余剰磁性塗料を回収するようにし
ている。

しかし、前記従来技術では余剰Ｓ性塗料のうちの、ワー
ク６の被塗布面３ａ　、　３ｂの外周縁から振り切られ
て飛散すイ）飛沫粒子の回収は行い得るが、チャンバ５
内の浮遊粒子を確実に回収し、排除することができず、
このため磁性膜のＳ気持性、機械的特性の不良発生率が
高くなる問題があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、余剰磁
性塗料における飛沫粒子および浮遊粒子をワークに形成
されたＳ性膜に付着させることなく、確実に回収でき、
かつカバーとチャンバのユニットの合わせ面の糸引き余
剰磁性塗料の前記磁性膜への付着をも未然に防止し得る
磁気ディスクのＳ性塗料スピンコーティング装置を提供
することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、ワークの外周を囲む筒型のカバーを設け、こ
のカバーの外周に余剰塗料回収用のチャンバを一体に設
けたこと、前記カバーとチャンバのユニットを、該ユニ
ットの中心軸と交わる合わせ面で複数個に分割可能に形
成し、前記カバーに外部空気を導入する開口部と、ワー
クの外縁部の位置からチャンバに余剰磁性塗料とカバー
内部の空気を導出する環状のスリットとを形成したこと
、前記ユニットの合わせ面に余剰磁性塗料の遮蔽板を付
設したことに特徴を有するもので、この構成により、余
剰磁性塗料における飛沫粒子および浮遊粒子をワークに
形成された磁性膜に付着させることなく、確実に回収す
ることができ、またカバーとチャンバのｚニットの合わ
せ面の糸引き余剰Ｓ性塗料の前記磁性膜への付着をも未
然に防止することができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図は本発明の一実施例の縦断側面図、第２図は同正
面図である。

これらの図に示すＳ性塗料スピンコーティング装置では
、回転駆動源１０に回転軸１１が連結され、この回転軸
１１にはワーク１３の保持手段１２が設けられている。

さらに、ワーク１６を囲むカバー１４が設けられており
、このカバー１４の外周にはチャンバ１５が一体に設け
られている。前記カバー１４とチャンバ１５からなるユ
ニットは、第２図に示すように、該ユニットの中心軸と
交わる合わせ面１７より、ワーク１３の取り付け、取り
出し時に第１第２の部分１６ａ、　１６ｂに分割可能に
形成されている。

前記カバー１４には、第１図に示すごとく、回転軸１１
の外周と、回転軸１１に対向する位置と、カバー１４の
底部側とに、それぞｒ外部空気としてのクリーンエアな
導入する開口部１８　、１９　。

２０が形成されている。

また、カバー１４におけるワーク１３の外縁部に対応す
る位置には、余剰Ｓ性塗料とカバー１４の内部の空気を
導出する環状のスリット２１が形成されている。このス
リット２１は、チャンバ１５に向かって先細りに形成さ
れている。

前記チャンバ１５には、余剰Ｓ性塗料とカバー１４の内
部の空気を排出する排出口２２．２５．２４がそれぞれ
適正位置に形成されている。

前記ユニットの合わせ面１７は、第２図に示すヨウに、
ゴム製等のバッキング２５によりシールされている。

また、ユニットの第１の部分１６ａ側には、第２図にａ
で示すワーク１５の回転方向に対向させて、チャンバ１
５の内部において合わせ面１７に垂直に起立する遮蔽板
２６と、合わせ面１７に沿って伸びる遮蔽板２７とが付
設されている。これらのＢ　載板２６，２７は、ユニッ
トの第１．第２の部分１６ａ、１６ｂを開く時の磁性塗
料の糸引き現象を防止し得るようになっている。

前記カバー１４の内部には、ワーク１３の被塗布面１５
ａ、１３ｂに対向する位置に、磁性塗料供給手段として
の塗布ノズル２８ａ、２８ｂが配置されている。前記塗
布ノズル２８ａ、２８ｂは、ワーク１３の外縁部から中
心部に向かって移動可能に設けられている。

前記実施例のＳ性塗料スピンコーティング装置は、次の
ように作用する。

スナわち、カバー１４とチャンバ１５のユニットをその
合わせ面１７で分割し、第１の部分１６ａまたは第２の
部分１６ｂを取り外し、回転軸１１に設けられた保持手
段１２を介して８気デイスク基板であるワーク１３を取
り付ける。

ついで、前記ユニットの第１．第２の部分１６ａ。

１６ｂの合わせ面１７にバッキング２５を介装したうえ
で前記第１．第２の部分１６ａ、１６ｂを一体に組み合
わせる。

次に、回転駆動源１０を作動させ、回転軸１１を介して
最初はワーク１３を低速回転させ、塗布ノズｙｖ　２８
ａ、２８ｂからワーク１３ノ被塗布面１３ａ、１３ｂに
Ｓ性塗料を供給して塗布する。

ついで、ワーク１５を高速回転させろとともに、塗布ノ
ズ／Ｌ／　２８ａ、２８ｂをワーク１６σ）被塗布面１
６ａ。

１３ｂの外縁部から中心部に向かって移動させ、磁性塗
料の塗布を継続して行う。

前記ワーク１６を回転させるに伴い、カバー１４に形成
された開口部１Ｂ、１９．２０から外部空気としてのク
リーンエアがカバー１４の内部に導入され、ワーク１３
の被塗布面１３ａ、１３ｂの近傍を通って、カバー１４
におけるワーク１ろの外縁部の位置に形成された環状の
スリット２１を通り、チャンバ１５に流れる空気流２９
が発生する。

その間、塗布ノズル２８ａ、２８ｂから供給されたＳ性
塗料は、ワーク１３の被塗布面１５ａ　、１５ｂに付着
し、磁性塗料自体の表面張力によって拡散し、さらにワ
ーク１３の高速回転によって発生する遠心力によって被
塗布面ｔｓａ、１３ｂの外周方向に流動し、例えばα５
μｍ等の所望の膜厚の出性膜が形成される。

そして余剰Ｓ性塗料はワーク１３の外縁部から離脱して
カバー１４内に飛散する。この余剰Ｓ性塗料が飛散して
生成される俄沫粒子および浮遊粒子は、前記空気流２９
に乗ってカバー１４の内部からスリット２１を通ってチ
ャンバ１５に導出すｆｌ、このチャンバ１５から排出口
２２．２３．２４を通って外部に排出され、有機の局排
（図示せず）によって排気されろ。

したかつて、この実施例によれば、ワーク１３の被塗布
面１３ａ、１３ｂノ近傍ハ、開口ｉ１８，１９．２０を
通じて導入されかつスリット２１を通ってチャンバ１５
に流れる空気流２９によって、常時クリーンエアと置換
されるので、余剰Ｓ性塗料の飛沫粒子はもとより、浮遊
粒子もチャンバ１５に回収されるため、ワーク１３の被
塗布面１３ａ、１５ｂへの余剰Ｓ性塗料の付着を確実に
防止することができる。

また、チャンバ１５に回収された余剰磁性塗料が排出口
２２．２３．２４に向かって流れる時、遮蔽板２６．２
７によりカバー１４とチャンバ１５のユニットの第１．
第２の部分１６ａ　、１６ｂの合わせ面１７に付着しな
いように阻止される。

前記ワーク１３の被塗布面１３ａ、１３ｂに磁性膜を形
成後、カバー１４およびチャンバ１５のユニットを、合
ワセ面１７テ第１．第２の部分１６ａ、１６ｂに分割し
、保持手段１２から製品としての磁気ディスクを取り外
し、塗布ノズ／Ｉ／２８ａ、２８ｂを原位置に戻す。

前記ユニットの第１．第２の部分１６ａ、１６ｂの分割
時に、この実施例によれば前述のごとく、遮蔽板２６．
２７により合わせ面１７への余剰＄性塗料の付着が阻止
されるので、余剰磁性塗料の付着による糸引き現象を未
然に防ぐことができるこの実施例では、前記作業を繰り
返し行うことにより、磁気特性、機械的特性の優れた磁
性膜を有する磁気ディスクを形成することができる。

なお、本発明はワークの一方の被塗布面に磁性膜を形成
した後、他方の被塗布面に磁性膜を形成した後、他方の
被塗布面に磁性膜を形成する装置にも適用できる。

また、本発明は、ワークの被塗布面を垂直に保持して缶
性塗料を塗布する型式の装置に限らず、被塗布面を水平
に保持して研性塗料を塗布する型式の装置にも適用でき
る、 さらに、本発明ではカバー１４とチャンバ１５のユニッ
トを二部分に分割して組み合わせる型式のものに限らず
、３分割以上に分割された部分を組み合わせる型式のも
のにも適用することが可能である。

〔発明の効果〕

以上説明した本発明によれば、ワークの保持手段に保持
されたワークの外周を囲む筒型のカバーを設け、このカ
バーの外周に余剰塗料回収用のチャンバを一体に設け、
カバーとチャンバのユニットを、該ユニットの中心軸と
交わる面で複数個に分割可能に形成し、前記カバーに外
部空気を導入する開口部と、ワークの外縁部の位置から
チャンバに余剰磁性塗料とカバー内部の空気を導入する
環状のスリットとを形成したことにより、ワークの被塗
布面の外縁部から離脱して飛散する余剰＄性塗料の飛散
粒子および浮遊粒子とも、外部空気を導入する開口部か
らワークの被塗布面の近傍を逼り、スリットを逆ってチ
ャンバに流れる空気流に乗せてチャンバに回収すること
ができるので、ワークに形成された磁性膜への前記余剰
Ｓ性塗料の付着を確実に防止でき、したがって磁性膜の
磁気特性、機械的特性の不良発生を著しく少なくなし得
る効果がある。

また、本発明によねば、前記ユニットの合わせ面に余剰
Ｓ性塗料の遮蔽板を付設しているので、カバーとチャン
バのユニットの分割時に、合わせ面に付着した余剰磁性
塗料の糸引き現象を未然に防ぐことができ、前記磁性膜
への糸引き余剰＄性塗料の付着による不具合をも確実に
防止し得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図、第２図は
同正面図、第５図は従来技術の概略を示す縦断側面図で
ある。 １０・・・・・・回転駆動源、　　１１・・・・・・回
転軸、１２・・・・・・ワークの保持手段、 １３・・・・・・ワーク、１４・・・・・・カバー、１
５・・・・・・チャンバ、 ｔ６ａ、１６ｂ・・・・・・カバーとチャンバのユニッ
トの第１、第２の部分、 １７・・・・・・ユニットの第１．第２・の部分の合わ
せ面、。 １８〜２０・・・・・・外部空気を導入する開口部、２
１・・・・・・環状のスリット、 ２２〜２４・・・・・・余剰磁性塗料とカッ（−内部の
空気の排出口、 ２６’、２７・・・・・・遮蔽板、　　　２８ａ、２８
ｂ・・・・・・塗布ノズル、２９・・・・・・空気流。 代理人弁理士　小　川　勝　男− 躬　）　η

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転軸に磁気ディスク基板であるワークを着脱可能に保
   持し、前記ワークの外縁部から中心部に向かって移動可
   能な磁性塗料供給手段により、回転中のワークの被塗布
   面に磁性塗料を塗布し、ワークの回転中に被塗布面の外
   縁部から離脱して飛散する余剰磁性塗料をチャンバを通
   じて回収する磁性塗料スピンコーティング装置において
   、ワークの外周を囲む筒型のカバーを設け、このカバー
   の外周に前記余剰塗料回収用のチャンバを一体に設け、
   前記カバーとチャンバのユニットを、該ユニットの中心
   軸と交わる合わせ面で複数個に分割可能に形成し、前記
   カバーに外部空気を導入する開口部と、ワークの外縁部
   の位置からチャンバに余剰磁性塗料とカバー内部の空気
   を導出する環状のスリットとを形成し、前記ユニットの
   合わせ面に余剰磁性塗料の遮蔽板を付設したことを特徴
   とする磁気ディスクの磁性塗料スピンコーティング装置
   。