JPS626511A - 表面弾性波デバイスの製造方法 - Google Patents
表面弾性波デバイスの製造方法Info
- Publication number
- JPS626511A JPS626511A JP60145615A JP14561585A JPS626511A JP S626511 A JPS626511 A JP S626511A JP 60145615 A JP60145615 A JP 60145615A JP 14561585 A JP14561585 A JP 14561585A JP S626511 A JPS626511 A JP S626511A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- comb
- shaped electrode
- surface acoustic
- pattern
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は映像機器、通信機器等に用いられる表面弾性波
デバイスの製造方法に関するものである。
デバイスの製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、機器の高周波化に伴い表面弾性波デバイスが使用
されることが多くなってきているが、表面弾性波デバイ
スの中でも、従来のＶＩＰ回路のｓ ＯＭＨｚ帯から１
００ ＭＨｚ 〜Ｉ ＧＨｚ帯の高周波へと応用分野が
拡大されてきている。
されることが多くなってきているが、表面弾性波デバイ
スの中でも、従来のＶＩＰ回路のｓ ＯＭＨｚ帯から１
００ ＭＨｚ 〜Ｉ ＧＨｚ帯の高周波へと応用分野が
拡大されてきている。
従来のＶＩＰ回路に用いられる６ ０ ＭＨｚ帯の表面
弾性波フィルタでは、櫛形電極の線幅が約１０μｍと比
較的大きいので、エツチングに関しても特に問題はなか
った。
弾性波フィルタでは、櫛形電極の線幅が約１０μｍと比
較的大きいので、エツチングに関しても特に問題はなか
った。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら１ＧＨｚ近い高周波になると櫛形電極の線
幅が１μｍ近くなるので、ウェハ表面のエツチング液の
流れ方の違いによってウエノ・内あるいはチップ内の線
幅にバラツキが生じやすく、特 性への影響が大
きい。
幅が１μｍ近くなるので、ウェハ表面のエツチング液の
流れ方の違いによってウエノ・内あるいはチップ内の線
幅にバラツキが生じやすく、特 性への影響が大
きい。
一方、リフトオフで櫛形電極を作成すると櫛形電極の精
度は向上するが、電極金属を蒸着する際に基板加熱をす
ることができないために、金属のウェハへの密着度が弱
くなり、ワイヤボンディングが不安定になるという欠点
があった。本発明は以上のような従来の欠点を除去する
ものであり、ワイヤボンディングが安定して行え、特性
的にも安定した表面弾性波デバイスの製造方法を提供し
ようとするものである。
度は向上するが、電極金属を蒸着する際に基板加熱をす
ることができないために、金属のウェハへの密着度が弱
くなり、ワイヤボンディングが不安定になるという欠点
があった。本発明は以上のような従来の欠点を除去する
ものであり、ワイヤボンディングが安定して行え、特性
的にも安定した表面弾性波デバイスの製造方法を提供し
ようとするものである。
問題点を解決するだめの手段
この問題を解決するために本発明の表面弾性波デバイス
の製造方法は、圧電基板上にフォトエツチングにより櫛
形電極指、あるいはオープンストリップ反射電極と、櫛
形電極指とはなれた位置にボンディングパッドを形成し
た後に、リフトオフにより櫛形電極指とボンディングパ
ッド、あるいはオーブンストリップ反射電極どうしをつ
なぎ合わせることを特徴とするものである０ 作用 従来の表面弾性波デバイスのように櫛形電極指とボンデ
ィングパッドがつながっているパターンでは、つなぎ目
の部分でエツチング液の流れが悪くなり、その部分でエ
ツチング速度の違いが生じやすい。またショートストリ
ップ電極についても同様のことが起こる。これに対して
、櫛形電極指だけを独立して作る場合や、オープンスト
リップ電極を作る場合はエツチング液の流れを阻害する
ものがないので安定してエツチングすることができる。
の製造方法は、圧電基板上にフォトエツチングにより櫛
形電極指、あるいはオープンストリップ反射電極と、櫛
形電極指とはなれた位置にボンディングパッドを形成し
た後に、リフトオフにより櫛形電極指とボンディングパ
ッド、あるいはオーブンストリップ反射電極どうしをつ
なぎ合わせることを特徴とするものである０ 作用 従来の表面弾性波デバイスのように櫛形電極指とボンデ
ィングパッドがつながっているパターンでは、つなぎ目
の部分でエツチング液の流れが悪くなり、その部分でエ
ツチング速度の違いが生じやすい。またショートストリ
ップ電極についても同様のことが起こる。これに対して
、櫛形電極指だけを独立して作る場合や、オープンスト
リップ電極を作る場合はエツチング液の流れを阻害する
ものがないので安定してエツチングすることができる。
またボンディングパッドについてもフォトエツチングで
作成するために、電極金属蒸着の際に基板加熱すること
ができ、リフトオフの場合のようにボンディングが不安
定になることはない。
作成するために、電極金属蒸着の際に基板加熱すること
ができ、リフトオフの場合のようにボンディングが不安
定になることはない。
櫛形電極指等を形成した。後にリフトオフにより櫛形電
極指とボンディングパターン、あるいはオーブンストリ
ップ反射電極をつなぐパターンを形成すれば、従来の方
法で得られるパターンと同様のパターンを得ることがで
きる。
極指とボンディングパターン、あるいはオーブンストリ
ップ反射電極をつなぐパターンを形成すれば、従来の方
法で得られるパターンと同様のパターンを得ることがで
きる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照し弾性波発
振子のチップのパターン図を示すものである。第１図１
はフォトエツチングにより作成し、２ いて、１は圧電基板、２は櫛形電極指、３はオーブンス
トリップ反射電極、４はボンディングパッド、５は櫛形
電極指２とボンディングパノド４をツナクパターン、６
はオーブンストリップ反射電極３どうしをつなぐパター
ンである。
振子のチップのパターン図を示すものである。第１図１
はフォトエツチングにより作成し、２ いて、１は圧電基板、２は櫛形電極指、３はオーブンス
トリップ反射電極、４はボンディングパッド、５は櫛形
電極指２とボンディングパノド４をツナクパターン、６
はオーブンストリップ反射電極３どうしをつなぐパター
ンである。
まず圧電基板１の上にフォトエツチングにより櫛形電極
指２、オープンス） ＩＪツブ反射電極３、ボンディン
グパッド４を形成する。この状態では櫛形電極指２、オ
ーブンストリップ反射電極３は、細長いパターンが並ん
でいるだけであるので、エツチング時に部分的にエツチ
ング液の流れが阻害されて、線幅にバラツキが生じるこ
とはなく、精度良くエツチングを行うことができる。さ
らにその上にリフトオフによって、櫛形電極指２とボン
ディングパッド４をつなぐパターン５と、オーブンスト
リップ反射電極３どうしをつなぐパターン６を形成する
ことによって、所定の特性を有する表面弾性波発振子の
チップを得ることができる。
指２、オープンス） ＩＪツブ反射電極３、ボンディン
グパッド４を形成する。この状態では櫛形電極指２、オ
ーブンストリップ反射電極３は、細長いパターンが並ん
でいるだけであるので、エツチング時に部分的にエツチ
ング液の流れが阻害されて、線幅にバラツキが生じるこ
とはなく、精度良くエツチングを行うことができる。さ
らにその上にリフトオフによって、櫛形電極指２とボン
ディングパッド４をつなぐパターン５と、オーブンスト
リップ反射電極３どうしをつなぐパターン６を形成する
ことによって、所定の特性を有する表面弾性波発振子の
チップを得ることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、フォトエツチングにより
櫛形電極指、オーブンストリップ反射電極と、櫛形電極
指とはなれたボンディングパッドを形成した後に、リフ
トオフにより櫛形電極指とボンディングパッド、あるい
はオーブンストリップ反射電極どうしをつなぎ合わせる
パターンを形成することにより、微細なパターンでも精
度良く作ることができ、ボンディングについても安定し
て行うことができる。
櫛形電極指、オーブンストリップ反射電極と、櫛形電極
指とはなれたボンディングパッドを形成した後に、リフ
トオフにより櫛形電極指とボンディングパッド、あるい
はオーブンストリップ反射電極どうしをつなぎ合わせる
パターンを形成することにより、微細なパターンでも精
度良く作ることができ、ボンディングについても安定し
て行うことができる。
また高周波になると櫛形電極内での表面弾性波の反射を
なくすために電極膜厚を薄くするが、薄くしすぎると蒸
着金属の電気抵抗が大きくなって挿入損失が大きくなる
という欠点がある。しかしながら本発明の方法によれば
、リフトオフで形成する電極を厚くすることにより、ボ
ンディング部分から電極指までの電気抵抗は小さくなる
ため、挿入損失が大きくなるのを軽減することができ、
その実用的効果は大なるものがある。
なくすために電極膜厚を薄くするが、薄くしすぎると蒸
着金属の電気抵抗が大きくなって挿入損失が大きくなる
という欠点がある。しかしながら本発明の方法によれば
、リフトオフで形成する電極を厚くすることにより、ボ
ンディング部分から電極指までの電気抵抗は小さくなる
ため、挿入損失が大きくなるのを軽減することができ、
その実用的効果は大なるものがある。
法の一実施例における表面弾性波発振子のチノプパｐ−
ンを示すもので、第１■はフォトエツチングによって形
成したパターン１謹はりフトオフによってチップパター
ンを完成した図である。
ンを示すもので、第１■はフォトエツチングによって形
成したパターン１謹はりフトオフによってチップパター
ンを完成した図である。
１・・・・・・圧電基板、２・・・・・・櫛形電極指、
３・・・・・・オ−プンストリップ反射電極、４・・・
・・・ボンデイングパソド、５・・・・・・櫛形電極指
とポンプイングツ（ラドをつナクパターン、６・・・・
・・オーブンストリップ反射電極どうしをつなぐパター
ン。
３・・・・・・オ−プンストリップ反射電極、４・・・
・・・ボンデイングパソド、５・・・・・・櫛形電極指
とポンプイングツ（ラドをつナクパターン、６・・・・
・・オーブンストリップ反射電極どうしをつなぐパター
ン。
Claims (1)
- 圧電基板上に、フォトエッチングにより櫛形電極指、
あるいはオープンストリップ反射電極と、上記櫛形電極
指とはなれた位置にボンディングパッドを形成した後に
、リフトオフにより上記櫛形電極指とボンディングパッ
ド、あるいはオープンストリップ反射電極どうしをつな
ぎ合わせたことを特徴とする表面弾性波デバイスの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60145615A JPS626511A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 表面弾性波デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60145615A JPS626511A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 表面弾性波デバイスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS626511A true JPS626511A (ja) | 1987-01-13 |
Family
ID=15389125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60145615A Pending JPS626511A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 表面弾性波デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS626511A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0381338A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-05 | Toyobo Co Ltd | 熱収縮性ポリエステルフィルム |
| JP2006322228A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Japan Railway Construction Transport & Technology Agency | コンクリート軌道スラブ及びその成形用型枠 |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP60145615A patent/JPS626511A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0381338A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-05 | Toyobo Co Ltd | 熱収縮性ポリエステルフィルム |
| JP2006322228A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Japan Railway Construction Transport & Technology Agency | コンクリート軌道スラブ及びその成形用型枠 |
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