JPS626714Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、印刷配線板の製造に於て、メツキレ
ジスト、エツチングレジスト等の形成に際し感光
性樹脂被覆層を焼付ける時に使用される印刷配線
板の焼付機に関する。

印刷配線板の焼付機においてフオトマスクであ
るネガフイルムと感光性樹脂被覆層が形成された
基板との密着には、透明ガラス板と透明シートの
間にフオトマスクと基板をはさみ透明ガラス板と
透明シートの間に介在する空気を抜き大気圧にて
フオトマスクと基板を押えつける方法、すなわち
真空密着法が一般的である。密着後、透明ガラス
板と透明シートの両面から露光する。フオトマス
クがフイルム状の場合前記の密着法で良いが、フ
オトマスクがリジツトである例えばガラス乾板で
あると、透明ガラス板とガラス乾板の間に異物が
介在すると破損する場合があるため第１図に示す
様な真空密着法をとつている。すなわち金属製額
縁状の下枠１の内周と外周にパターン真空用ゴム
枠２と枠真空用ドテゴム枠３がそれぞれ貼りつけ
られており、パターン真空用ゴムの溝と下枠溝４
とは小穴５にて数か所で結ばれ、さらに下枠溝４
はパターン真空用穴６により真空ポンプと継れて
いる。また枠真空用ドテゴムとパターン真空用ゴ
ムとの間には枠真空用穴７がもうけられておりこ
れも真空ポンプとむすばれている。さらに透明シ
ート８を貼つた上枠９がある。このような焼枠に
おいて、パターン真空用穴６から真空を引くこと
により下枠１とガラス乾板１０を一体とすること
ができるので、ガラス乾板上に感光性樹脂被覆層
が形成された基板１１を置き上枠を降して枠真空
用穴７から真空を引けばガラス乾板１０と基板１
１との密着がなされまた前述のようなガラス乾板
１０の破損もない。

しかるにパターン真空用ゴム２はガラス乾板１
０の取り換え時にガラス乾板端部でこすられた
り、あるいはガラス乾板１０とパターン真空用ゴ
ム２との間に異物を巻き込んだりして、パターン
真空用ゴム２の上面が損傷しやすく２週間程度の
頻度で交換せねばならないが、この交換作業は
700×600mm程度の枠で１人で１日の作業であり非
常に困難である。

しかしこの交換を怠ると、枠真空用穴７から真
空を引く時パターン真空用ゴム２とガラス乾板１
０の間にできる隙間から外気が入り基板１とガラ
ス乾板１０の密着が不十分となり、局所的なライ
ン太りあるいはクリアランス穴径縮少といつたい
わゆるニジミ現象を引きおこし、回路の致命的な
欠陥の原因となる。

本考案はこのような点に鑑みてなされたもの
で、第２図により説明すると、本考案は額縁状の
下枠１の内周と外周に溝を有するパターン真空用
ゴム枠２と、枠真空用ドテゴム枠３を設け、パタ
ーン真空用ゴム枠の溝並びにパターン真空用ゴム
枠２と枠真空用ドテゴム枠３との間の下枠をそれ
ぞれパターン真空用穴６、枠真空用穴７で真空ポ
ンプに連結し、パターン真空用ゴム枠２の上にガ
ラス乾板１０をガラス乾板１０の上に感光性樹脂
被覆層が形成された基板１１を配置し、更に、枠
真空ドテゴム枠３に透明シート８を貼つた額縁状
の上枠９を載置すると共に、下枠１の内側面に、
パターン真空用穴６に連絡する下側シート用真空
孔１２を設け、下枠の下面に可撓性透明シート１
３を気密に貼付けた印刷配線板の焼付機である。

すなわち、本考案は下枠１に下側シート用真空
穴１２をあけパターン真空用溝４パターン真空用
穴６に貫通させておく。下枠下面周囲に両面粘着
テープを貼り厚0.5mm程度の塩化ビニール製の下
側透明シート１３（可撓性があり紫外線透過率低
下を考慮すると0.5mm以上の厚さとなる好ましく
ない）を中央がたるむ様に張る。このような焼枠
においてガラス乾板１０をパターン真空用ゴム２
上に置き、パターン真空用穴６から真空を引くと
ガラス乾板１０が固定されまた、ガラス乾板１０
と下側透明シート１３の空間が真空となる。もし
パターン真空用ゴム２の外周部が損傷していれば
ガラス乾板１０と下側透明シート１３の空間の真
空度は低下するが、基板１１を置き、上枠９を降
し枠真空用穴７から真空を引けば基板１１とガラ
ス乾板１０の密着がなされ、大気との貫通部が無
いためその密着性はパターン真空用ゴム３を更新
した最初の密着性と同等である。

以上説明したような本考案の焼付機に於てはガ
ラス乾板と基板の真空密着性が向上し0.5％のニ
ジミ現象が無くなつた。

またパターン真空用ゴムはガラス乾板のある程
度の固定さえできれば良くなつたので、更新時期
は従来の２〜３倍の期間を経た段階で実施すれば
良くなり維持管理費は1/2以下となつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の焼付機、第２図は本考案の焼付
機の各々一部切欠斜視図である。 符号の説明、１ 下枠、２ パターン真空用ゴ
ム枠、３ 枠真空用ドテゴム枠、６ パターン真
空用穴、７ 枠真空用穴、８ 透明シート、９
上枠、１０ ガラス乾板、１１ 基板、１２ 下
側シート用真空孔、１３ 透明シート。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 額縁状の下枠１の内周と外周に溝を有するパタ
   ーン真空用ゴム枠２と、枠真空用ドテゴム枠３を
   設け、パターン真空用ゴム枠の溝並びにパターン
   真空用ゴム枠２と枠真空用ドテゴム枠３との間の
   下枠をそれぞれパターン真空用穴６、枠真空用穴
   ７で真空ポンプに連結し、パターン真空用ゴム枠
   ２の上にガラス乾板１０を、ガラス乾板１０の上
   に感光性樹脂被覆層が形成された基板１１を配置
   し、更に、枠真空ドテゴム枠３に透明シート８を
   貼つた額縁状の上枠９を載置すると共に、下枠１
   の内側面に、パターン真空用穴６に連結する下側
   シート用真空孔１２を設け、下枠の下面に可撓性
   透明シート１３を気密に貼付けた印刷配線板の焼
   付機。