JPS6267171A

JPS6267171A - 連続式真空蒸着用蒸気シ−ルド

Info

Publication number: JPS6267171A
Application number: JP20569585A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Kobayashi; 康宏小林; Masao Iguchi; 征夫井口; Ujihiro Nishiike; 西池　氏裕; Kazuhiro Suzuki; 一弘鈴木
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1985-09-18
Filing date: 1985-09-18
Publication date: 1987-03-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は真空蒸着装置に係り、特に金属ストリップなど
の長尺物に連続的に蒸着する装置に関するものである。

〈従来技術とその問題点〉金属ストリップに対する耐蝕性等の緒特性の向上を目的
とした異種物質の真空蒸着法の研究が近年数多〈実施さ
れている。蒸着時の要件としては数多く考えられるが、
被蒸着物から見れば、蒸着された被膜の厚み均一性は重
要なものの１つである。被蒸着面が比較的小さい場合は
、蒸発源部の改善はあまり必娶ではないが、被蒸着面が
大きくなるにつれ、蒸着膜の膜厚均一性を維持すること
が困難になってくる。そのため、これまでに多くの改善
方法が提示され、多くの効果をあげてきた。

しかしながら連続して蒸着しなければならない金属スト
リップのような場合、蒸着膜の厚み均一性と膜厚制御を
同時に達成することは非常に困難である。その理由は、
被蒸着面積が比較的大きいことと同時に、前処理、通板
機構、生産性の制約から通板速度が変動しやすいためで
ある。

〈発明の目的〉したがって、本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、特に金属ストリップなどの長尺物に連続的に
蒸着するに際して、蒸着膜の厚み均一・性と膜厚制御と
を同時に達成することができる連続式真空蒸着用蒸気シ
ールドを提供しようとするにある。

〈発明の構成〉本発明は、蒸気シールドのスリットの開口度を調節でき
るよう構成してなることを特徴とする特許犬糞空蒸着用
蒸気シールドを提供するものである。

次に本発明を図面に示す好適実施例につき詳細に説明す
る。

第１図はストリップのような長尺物に蒸着する場合に従
来法で用いられている蒸着装置で、第１ａ図は線図的側
面図、第１ｂ図は同平面図である。真空槽ｌにシールロ
ール２によってストリップ３が図面中の矢印の方向に通
板されている。真空槽１内では蒸発容器４に収容された
蒸発物５が蒸気シールド６のスリット２０を通してスト
リップに蒸着する０通常、この蒸気シールド６は固定式
であるため、一定の操業条件の場合においては均一で所
望の膜厚が得られるが、何等かの変動、例えばストリッ
プの通板速度や重置化に対応できず、蒸着膜厚の変化が
避けられない。

そこで、本発明者等は上述した従来の蒸気シールドの欠
点を改善するため種々検討を重ねた結果、蒸気シールド
を以下に述べるように構成すれば、被蒸着物の長さや巾
の変動があったとしても、それに適応できるようにする
ことがわかった。

すなわち、本発明においては蒸気の出口である蒸気シー
ルドのスリットをストリップのような被蒸着物の大きさ
く例えば長さや巾）に応じて、スリットの開口度、すな
わち、スリットの蒸気を通す面積を変えられるように構
成する。これにより、被蒸着物の大きさく例えば長さや
巾）あるいは通板速度の変動があっても、スリットの開
口度をこれに対応して変化させることによって容易に打
ち消すことができる。

例えば、ストリップの通板速度が大きくなった場合には
、スリットの通板方向の開口度を大きくし、ストリップ
への蒸気到達量を大きくする。この逆に、通板速度が小
さくなった場合には、スリットの通板方向の開口度を小
さくする。また、ストリップの巾が大きくなった場合に
は、スリットの通板方向と直角をなす方向の開口度を大
きくする。このように、ストリップのような被蒸着物の
大きさに対応して蒸気シールドのスリットの開口度を調
節することにより、蒸着膜の厚み均一性と膜厚制御とを
同時に達成することができる。

次に第２図〜第４図を参照しつつ本発明の好適実施例に
つき説明する。しかし、これは本発明の１例を示すにす
ぎず、蒸気シールドの開口度を可変とする構成であれば
いかなる構成でもよいし、その開口は方形である必要も
ない。

第２図は本発明の蒸気シールドの１構成単位を示す側面
図である。

シールド部材指示本体７の中に蒸気シールド部材８が収
容されており、その一方の端部は本体７に形成された開
口１５から本体７の外部に延び、ラックギア９を形成し
ている。蒸気シールド部材８の他方の端部は蒸気シール
ドのスリット２０の外縁を限定する。ラックギア９には
シールドを駆動するためのピニオンギア１０がかみあっ
ている。また、本体７内のシールド部材８は本体７に軸
１２で取付けられたローラー１１によって支えられてい
る。ピニオンギアｌＯの軸は減速歯車列１３を介してモ
ータ１４に連なり、その回転運動がシールド部材８の並
進運動に変換される。これにより、シールド部材８の位
置、即ち、シールドのスリットの開口面積を自由に変化
させることができる。

第３図は第２図で説明した構成単位を２対用いて本発明
の蒸気シールドを構成した例を示す、互いに正対する２
対の構成単位を図示のように配置し、この上側にストリ
ップを通板する。蒸気シールドのスリット２０は４枚の
シールド部材８によって中央に限定されている。ピニオ
ンギア１０の軸には減速歯車列１３がかみあっており、
これにモータ１４が連結されている。

第４図には第２図に示す構成単位を２個用いた本発明の
蒸気シールドの他の構成例を示す。第３図の蒸気シール
ドと第４図の蒸気シールドの相異点は、シールド部材８
の形状である。第３図ではシールド部材８は４枚でスリ
ット２０を形成するため平板で構成されているが、第４
図の蒸気シールドでは、２枚のシールド部材８でスリン
）２０を形成するための段付板で構成され、その段部を
東ならせてスリット２０を形成する。

本発明の蒸気シールドにおいては、被ノヘ着物の大きさ
く例えば長さや１１Ｊ）に応して所定の数のシールド部
材８を所望の力面に動かすことにより、スリット２０の
開］１度をストリップの通板方向およびまたはこれと直
角をなす力面に調節することができる。

また、本発明の蒸気シールドは、ストリップの通板速度
検知機構、ストリップの＋ＩＪ検知機構などと組み合わ
せて、通板速度およびまたは１１」変動に応じて、スリ
ットの自動調整を行うよう構成することもできる。

〈発明の効果〉本発明の蒸気シールドは、蒸着を行うに際して、被蒸着
物の大きさく例えば長さや１１Ｊ）に応じて、ノ入気の
通るスリットの開【１度を例えばその長さ力面、＋ｔ＋
力向力面節することができるよう構成されているため、
被蒸着部に対する蒸着膜の１ｑみを均一にかつその厚み
を自由に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

第１ａ図および第１ｂ図は、それぞれ従来のストリップ
蒸清装置の線図的側面図および平面図である。第２図は、本発明の１実施態様の蒸気シールドに用いる
構成中位を示す側面図である。第３図および第４図は第２図の構成単位を用いた本発明
の蒸気シールドのｔ面図である。符−Ｊの説１！Ｉ１１・・・真空槽、２・・・シールロール、３・・・スト
リップ（被蒸着部）、４・・・蒸発容器、５・・・蒸発
物、６・・・蒸気シールド、７・・・シールド部材支持
本体、８・・・蒸気シールド部材、９・・・ラックギア
、１０・・・ピニオンギア、１１・・・ローラー、１２
・・・軸、１３・・・減速歯巾列、１４・・・モータ、
１５・・・開【１．２０　・・・スリットＦＩＧ、１ａＦＩＧ、２

Claims

【特許請求の範囲】

蒸気シールドのスリットの開口度を調節できるよう構成
してなることを特徴とする連続式真空蒸着用蒸気シール
ド。