JPS6267452A - 水中有機炭素の測定装置 - Google Patents
水中有機炭素の測定装置Info
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- JPS6267452A JPS6267452A JP20651185A JP20651185A JPS6267452A JP S6267452 A JPS6267452 A JP S6267452A JP 20651185 A JP20651185 A JP 20651185A JP 20651185 A JP20651185 A JP 20651185A JP S6267452 A JPS6267452 A JP S6267452A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は水中有機炭素の測定装置に係り、特に水中の有
機炭素を高感度で分析するのに好適な水中有機炭素の測
定装置に関するものである。
機炭素を高感度で分析するのに好適な水中有機炭素の測
定装置に関するものである。
従来の水中有機炭素の測定装置は、有機物′ｆｒ：酸化
して二酸化炭素とする手段と、その二酸化炭素の検出手
段とから１成されている。有機物の酸化法としては、試
料水と階索とを高温に保持されている全炭素測定用ｔソ
化触媒（固体触媒）充填管に送り込む高温酸化法（ＪＩ
Ｓ ＫＯ１０２）および試料水と酸化剤との混合浴ｒｆ
Ｋ紫外線を照射するＵＶ酸化法が利用されている。こ
のほかに、試料水と反応試薬を入れたアンプルと’１１
７０Ｃ８度のオートクＶ−ブの中で加熱する湿式酸化法
（ＪＩＳＫＯ１０２）が知られているが、アンプルから
生成した二酸化炭素の抽出操作が煩雑になるのであまり
上用されていない。一方、抽出した二酸化炭素の定量に
は、赤外分析法、ガスクロマトグラフ法、導進率側足法
等があり、それぞれ使用されている。
して二酸化炭素とする手段と、その二酸化炭素の検出手
段とから１成されている。有機物の酸化法としては、試
料水と階索とを高温に保持されている全炭素測定用ｔソ
化触媒（固体触媒）充填管に送り込む高温酸化法（ＪＩ
Ｓ ＫＯ１０２）および試料水と酸化剤との混合浴ｒｆ
Ｋ紫外線を照射するＵＶ酸化法が利用されている。こ
のほかに、試料水と反応試薬を入れたアンプルと’１１
７０Ｃ８度のオートクＶ−ブの中で加熱する湿式酸化法
（ＪＩＳＫＯ１０２）が知られているが、アンプルから
生成した二酸化炭素の抽出操作が煩雑になるのであまり
上用されていない。一方、抽出した二酸化炭素の定量に
は、赤外分析法、ガスクロマトグラフ法、導進率側足法
等があり、それぞれ使用されている。
水中有機炭素の測定装ｊとしては、例えば、有ｆＳ、物
？高温酸化して生成される二酸化炭素を赤外分析法で噴
出したり、二酸化炭素？メタンに変換して水素麩イオン
化検出器付ガスクロマトグラフで検出するようにしたも
の、また、試料水に紫外線を照射して有機物を酸化して
生成する二酸化炭素？赤外分析法により検出したり、二
酸化炭素を溶液に吸収させて導電率全測定するようにし
たものなどがある。
？高温酸化して生成される二酸化炭素を赤外分析法で噴
出したり、二酸化炭素？メタンに変換して水素麩イオン
化検出器付ガスクロマトグラフで検出するようにしたも
の、また、試料水に紫外線を照射して有機物を酸化して
生成する二酸化炭素？赤外分析法により検出したり、二
酸化炭素を溶液に吸収させて導電率全測定するようにし
たものなどがある。
しかし、これらの測定装置による有機炭素の定量下限は
１０〜ｓ ｏ ｐｐｂであるので、半導体製造等に用い
る超純水のように、さらに低濃度の有機炭素の定量を必
要とする場合は、装置の改良が必要である。ところで、
高＠酸化法では、低濃度有機炭素を定量するために試料
供給＋＃を増やすと、酸化触媒が劣化しやすくなるとい
う問題を生ずる。
１０〜ｓ ｏ ｐｐｂであるので、半導体製造等に用い
る超純水のように、さらに低濃度の有機炭素の定量を必
要とする場合は、装置の改良が必要である。ところで、
高＠酸化法では、低濃度有機炭素を定量するために試料
供給＋＃を増やすと、酸化触媒が劣化しやすくなるとい
う問題を生ずる。
また、ＵＶ酸化法では、生成された二酸化炭素の抽出率
を大きくするには大量の抽出ガスを必要とするので、抽
出ガス中の二酸化炭素の濃度が低くなるという間須があ
る。この為、固体酸化触媒を夏用しないで有機物を酸化
し、生成された二酸化炭素？少ない抽出ガスで抽出する
ようにして低濃度有機炭素の定量を可能とした測定装置
の開発が強く要望されている。
を大きくするには大量の抽出ガスを必要とするので、抽
出ガス中の二酸化炭素の濃度が低くなるという間須があ
る。この為、固体酸化触媒を夏用しないで有機物を酸化
し、生成された二酸化炭素？少ない抽出ガスで抽出する
ようにして低濃度有機炭素の定量を可能とした測定装置
の開発が強く要望されている。
本発明の目的は、水中の低、農産の有機炭素を高情度で
測定することができる水中有機炭素の測定装置を提供す
ることにある。
測定することができる水中有機炭素の測定装置を提供す
ることにある。
本発明は、水中の有機炭素を酸化したときに生成される
二酸化炭素をできるだけ少ない抽出ガスで抽出して二酸
化炭素の棲／＆が低下しないようにすることが、低濃度
の有機炭素の測定には重要であり、二酸化炭素を抽出ガ
スで抽出する場合、水中の二酸化炭素を抽出するよりも
水蒸気又は熱水中の二酸化炭素を抽出するようにした方
が抽出ガスを少なくしても抽出率が減少しないことに着
目してなされたもので、試料水および反応液全無機炭酸
除去槽へ移送して無機炭酸を除去する無機炭酸除去手段
と、無機炭酸を除去された上記試料水と反応液との混合
Ｒｅ高温高圧に保たれている反応管へ移送して上記試料
水中の有機物を上記反応液で酸化する有機物酸化手段と
、この有機物酸化手段からの有機物を酸化された上記水
蒸気を含む熱水と二酸化炭素の混合液と抽出ガスを送入
して有機物の酸化によって生成された二酸化炭素を上記
抽出ガス中に抽出しながら上記水蒸気を含む熱水金冷却
して分離する二、俊比炭素抽出手段と、上記抽出ガス中
の水分を分離する水分分離除去手段と、この本分分離除
去手段によって水分を分離除去された上記抽出ガス中の
二酸化炭素を検出する二酸化炭素検出手段とからなり、
上記反応液を混合したときの二酸化炭素の濃度と反応液
を混合しないときの二酸化炭素の１度の差から水中の有
機炭素の濃度を求めることを特徴とする水中の有機炭素
の測定装置を提供することにある。
二酸化炭素をできるだけ少ない抽出ガスで抽出して二酸
化炭素の棲／＆が低下しないようにすることが、低濃度
の有機炭素の測定には重要であり、二酸化炭素を抽出ガ
スで抽出する場合、水中の二酸化炭素を抽出するよりも
水蒸気又は熱水中の二酸化炭素を抽出するようにした方
が抽出ガスを少なくしても抽出率が減少しないことに着
目してなされたもので、試料水および反応液全無機炭酸
除去槽へ移送して無機炭酸を除去する無機炭酸除去手段
と、無機炭酸を除去された上記試料水と反応液との混合
Ｒｅ高温高圧に保たれている反応管へ移送して上記試料
水中の有機物を上記反応液で酸化する有機物酸化手段と
、この有機物酸化手段からの有機物を酸化された上記水
蒸気を含む熱水と二酸化炭素の混合液と抽出ガスを送入
して有機物の酸化によって生成された二酸化炭素を上記
抽出ガス中に抽出しながら上記水蒸気を含む熱水金冷却
して分離する二、俊比炭素抽出手段と、上記抽出ガス中
の水分を分離する水分分離除去手段と、この本分分離除
去手段によって水分を分離除去された上記抽出ガス中の
二酸化炭素を検出する二酸化炭素検出手段とからなり、
上記反応液を混合したときの二酸化炭素の濃度と反応液
を混合しないときの二酸化炭素の１度の差から水中の有
機炭素の濃度を求めることを特徴とする水中の有機炭素
の測定装置を提供することにある。
実施例１
第１図は本発明の水中有機炭素測定装置の構成図で、ｌ
は送液ポンプ、２は試料水にとけている炭酸ガス全除去
する脱炭酸器、３は試料水ａ中の有機物を酸化する反応
管、４は反応管３を一定温度に保つ恒温槽、５は１℃ｌ
温槽４の温度調節器、６は反応管３の内圧を監視する圧
力計、７は反応管３の温度を高くしたときでも水が蒸気
にならないように管内の圧力を水の水蒸気圧以上に９１
４節する圧力調節器、８は有機物を酸化したときに生成
する二酸化炭素を抽出するための二【種化炭素抽出器、
９は二酸化炭素抽出器８に流入する水蒸気又は熱水を冷
却する冷却水、１０は抽出ガス中の水分を除去するため
に過塩素酸マグネシウムが充填されているＵ字管からな
る水分分離器、１１は抽出ガス中の二酸化炭素を検出す
るガスクロマトグラフ。
は送液ポンプ、２は試料水にとけている炭酸ガス全除去
する脱炭酸器、３は試料水ａ中の有機物を酸化する反応
管、４は反応管３を一定温度に保つ恒温槽、５は１℃ｌ
温槽４の温度調節器、６は反応管３の内圧を監視する圧
力計、７は反応管３の温度を高くしたときでも水が蒸気
にならないように管内の圧力を水の水蒸気圧以上に９１
４節する圧力調節器、８は有機物を酸化したときに生成
する二酸化炭素を抽出するための二【種化炭素抽出器、
９は二酸化炭素抽出器８に流入する水蒸気又は熱水を冷
却する冷却水、１０は抽出ガス中の水分を除去するため
に過塩素酸マグネシウムが充填されているＵ字管からな
る水分分離器、１１は抽出ガス中の二酸化炭素を検出す
るガスクロマトグラフ。
ａは試料水、ｂは有機物を酸化するための過硫酸カリウ
ム溶液、Ｃは水中の二酸化炭素の溶解度を減少させるた
めの希硫酸、ｄはヘリウムガス、ｄ−１は試料水中の二
酸化炭素を追い出すだめのバブリングガス、ｄ−２は生
成した炭酸ガスを抽出するための抽出ガス、ｅはドレン
、ｆは排ガスである。
ム溶液、Ｃは水中の二酸化炭素の溶解度を減少させるた
めの希硫酸、ｄはヘリウムガス、ｄ−１は試料水中の二
酸化炭素を追い出すだめのバブリングガス、ｄ−２は生
成した炭酸ガスを抽出するための抽出ガス、ｅはドレン
、ｆは排ガスである。
送液ポンプｌ −ａで送液した試料水ａと送液ポンプ１
−ｂで送られた過硫酸カリウム溶１ｂと送液ポンプｌ−
ｃで送られた希硫酸を混合して、脱炭酸器２に連続的に
送り、ヘリウムｄ−１ｉバブリングして混合液中の二酸
化炭素をヘリウムガスと共に排ガスｆ−１として排出し
て除去する。炭酸ガスが除去された混合液を送液ポンプ
ｌ−ｄで圧力調節器７および恒温槽４によって一定の圧
力。
−ｂで送られた過硫酸カリウム溶１ｂと送液ポンプｌ−
ｃで送られた希硫酸を混合して、脱炭酸器２に連続的に
送り、ヘリウムｄ−１ｉバブリングして混合液中の二酸
化炭素をヘリウムガスと共に排ガスｆ−１として排出し
て除去する。炭酸ガスが除去された混合液を送液ポンプ
ｌ−ｄで圧力調節器７および恒温槽４によって一定の圧
力。
温度に保たれている反応管３に送り、試料水ａの中の有
機物を過ｆＣＩＩカリウムで酸化する。その後水蒸気を
含む加熱されている混合液と一定流量のヘリウムｄ−２
ｆｔ二酸化炭素抽出器８の中で混合して水蒸気を含む加
熱されている混合液を冷却水９で冷却しながら分離し、
生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出する。二酸化
炭素を抽出したヘリウム中の水分を水分分離器１０で分
離し、二酸化炭素を抽出したヘリウムを検出器１１に送
り、ヘリウム中の二酸化炭素の濃度から試料水ａ中の有
機炭素の濃度を測定する。
機物を過ｆＣＩＩカリウムで酸化する。その後水蒸気を
含む加熱されている混合液と一定流量のヘリウムｄ−２
ｆｔ二酸化炭素抽出器８の中で混合して水蒸気を含む加
熱されている混合液を冷却水９で冷却しながら分離し、
生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出する。二酸化
炭素を抽出したヘリウム中の水分を水分分離器１０で分
離し、二酸化炭素を抽出したヘリウムを検出器１１に送
り、ヘリウム中の二酸化炭素の濃度から試料水ａ中の有
機炭素の濃度を測定する。
上記した本発明の実施例によれば、試料水ａ中の有機炭
素を酸化して生成された二酸化炭素を抽出するときに、
試料水ａｔ−水蒸気を含む加熱された熱水にして抽出ガ
スでらるヘリウムｄ−２ｉ供給して抽出するようにした
ので、少ない量のヘリウムｄ−２で十分抽出可能で６９
．二酸化炭素の濃度の高いヘリウムｄ−２を得ることが
できる。
素を酸化して生成された二酸化炭素を抽出するときに、
試料水ａｔ−水蒸気を含む加熱された熱水にして抽出ガ
スでらるヘリウムｄ−２ｉ供給して抽出するようにした
ので、少ない量のヘリウムｄ−２で十分抽出可能で６９
．二酸化炭素の濃度の高いヘリウムｄ−２を得ることが
できる。
したがって、試料水ａ中の低縦度の有機炭素を高精度で
測定することができる。
測定することができる。
実施例２
第２図は本発明の水中Ｍ機炭素測定装置の別の構成図で
ある。第２図の測定装置は第１図における脱炭酸器２及
び送液ポンプ１−ｄ（ｉ−取りはずしたものでるる。送
液ポンプｌ−ｄで送液した試料水ａと送液ポンプ１−
ｃで送られた希硫酸Ｃとの混合液に送液ポンプｌ−ｂで
送液した過硫酸カリウムを一定時間毎に混合したＢＰ、
ｌ−’ｆｘ、圧力調節器７および恒温槽４によって一定
の圧力、墓度に保たれている反応管３に送り、試料水ａ
の中の有機物を過硫酸カリウムで酸化する。その後水蒸
気を含む加熱されている混合液と一定流はのヘリウムｄ
−２ｉ二酸化炭素抽出器８の中で混合して水蒸気金倉む
加熱されている混合液を冷却水９で冷却しながら分離し
生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出する。二酸化
炭２を抽出したヘリウム中の水分を水分分離器１０で分
離し、二酸化炭素を抽出したヘリウムをガスクロマトグ
ラフ１１に送り、反応液すを送液したときの抽出ガス中
の二酸化炭素の濃度の差から試料水ａ中の有機炭素の濃
度を測定する。
ある。第２図の測定装置は第１図における脱炭酸器２及
び送液ポンプ１−ｄ（ｉ−取りはずしたものでるる。送
液ポンプｌ−ｄで送液した試料水ａと送液ポンプ１−
ｃで送られた希硫酸Ｃとの混合液に送液ポンプｌ−ｂで
送液した過硫酸カリウムを一定時間毎に混合したＢＰ、
ｌ−’ｆｘ、圧力調節器７および恒温槽４によって一定
の圧力、墓度に保たれている反応管３に送り、試料水ａ
の中の有機物を過硫酸カリウムで酸化する。その後水蒸
気を含む加熱されている混合液と一定流はのヘリウムｄ
−２ｉ二酸化炭素抽出器８の中で混合して水蒸気金倉む
加熱されている混合液を冷却水９で冷却しながら分離し
生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出する。二酸化
炭２を抽出したヘリウム中の水分を水分分離器１０で分
離し、二酸化炭素を抽出したヘリウムをガスクロマトグ
ラフ１１に送り、反応液すを送液したときの抽出ガス中
の二酸化炭素の濃度の差から試料水ａ中の有機炭素の濃
度を測定する。
本実施例によれば反応ｄｂ中の過硫酸カリウム −を送
液したときの抽出ガス中の二酸化炭素の濃度は試料水ａ
中の有機炭素及び無機炭素（ＣＯ２）の一度に相当し１
反応液ｂｆ、送液しないときの抽出ガス中の二酸化炭素
の濃度は試料水ａ中の無機炭素の濃度に相当するので両
者の差を求めることにより、試料水ａ中の有機炭素濃度
を求めることができる。従って、本発明の実施例によれ
ば、脱炭酸器がないので分析時間が短いこと及びバブリ
ングをしないのでヘリウムを節約できる効果があり％無
機炭素破産が低い試料に対して有効でるる。
液したときの抽出ガス中の二酸化炭素の濃度は試料水ａ
中の有機炭素及び無機炭素（ＣＯ２）の一度に相当し１
反応液ｂｆ、送液しないときの抽出ガス中の二酸化炭素
の濃度は試料水ａ中の無機炭素の濃度に相当するので両
者の差を求めることにより、試料水ａ中の有機炭素濃度
を求めることができる。従って、本発明の実施例によれ
ば、脱炭酸器がないので分析時間が短いこと及びバブリ
ングをしないのでヘリウムを節約できる効果があり％無
機炭素破産が低い試料に対して有効でるる。
実施例３
第１図実施例の装置によシ分析した抽出ガスのクロマト
グラムを第３図に示す。第３図は試料水ａとしてイオン
交換水を第１表の分析条件で分析したときのクロマトグ
ラムでろる。保持時間が１．５分間のところに二酸化炭
素が検出されており、約４０ ｐｐｂ の有機炭素濃
度に相当する。本実施例から低濃度有機炭素の分析装置
として有効であることが判る。
グラムを第３図に示す。第３図は試料水ａとしてイオン
交換水を第１表の分析条件で分析したときのクロマトグ
ラムでろる。保持時間が１．５分間のところに二酸化炭
素が検出されており、約４０ ｐｐｂ の有機炭素濃
度に相当する。本実施例から低濃度有機炭素の分析装置
として有効であることが判る。
実施例４
実施例工の分析装置で第１表に示す分析条件により分析
したときの検量線図を第４図に示す。検量線を作成する
ためには有機炭素が混入していない水で標準液を調製す
る必要かめる。有機炭素濃度が高い純水ではｐｐｂ
ｖベルの検量線を作成することができないので、水を精
製して便用することにした。本発明装置では純水中の有
機物を酸化しているので、二酸化ＵＳ抽出器８からのド
Ｖ／には有機物が混入していないはずであるので、この
水に有機炭素の標準物質として一般的な７タル咳水素カ
リクムの一定賞ヲ添加し、有機炭素濃度が５〜ｌ ００
ｐｐｂ になるような標準液を調製した。この４２Ａ
％液？表１の６ｊ：］定条件によシ分析した。
したときの検量線図を第４図に示す。検量線を作成する
ためには有機炭素が混入していない水で標準液を調製す
る必要かめる。有機炭素濃度が高い純水ではｐｐｂ
ｖベルの検量線を作成することができないので、水を精
製して便用することにした。本発明装置では純水中の有
機物を酸化しているので、二酸化ＵＳ抽出器８からのド
Ｖ／には有機物が混入していないはずであるので、この
水に有機炭素の標準物質として一般的な７タル咳水素カ
リクムの一定賞ヲ添加し、有機炭素濃度が５〜ｌ ００
ｐｐｂ になるような標準液を調製した。この４２Ａ
％液？表１の６ｊ：］定条件によシ分析した。
第 １ 表
検址口は１００ｐｐｂまでは直線性を示した。この釉の
分析法としては良好なものでめる。上記実施例によれば
１〜１００ｐｐＥ）の純水中の有機炭素が精度よく分析
できることが判る。
分析法としては良好なものでめる。上記実施例によれば
１〜１００ｐｐＥ）の純水中の有機炭素が精度よく分析
できることが判る。
実施例５
実施例の装置で狭１の分析条件により分析したときの、
各種有機物を含む試料の分析結果（各有機物の回収率）
を第２表に示す。第４図の検量線はフタル酸水素カリウ
ムを標準にしたものであるが、失透の純水には種々の種
類の有機物が混在しているので、有機物の種類によって
検量線の勾配が異なることが考えられる。そこで二酸化
炭素抽出器のドＶンに水溶性の各種有機物を添加して有
機炭素濃度が既知の試料水を調製し、この試料を分析し
、有機炭素の回収率を求めた。なお、有機炭素の添加濃
度と、二酸化炭素の検出濃度を第４図の検量線図から求
めた有機炭素濃度（検出濃度）との割合を回収率とした
。それぞれの有機物の回収率は９５〜１０６チと有機物
の種類にかかわらずほぼ一定の値を示し種々の有機物が
混在してい第 ２ 表 る試料でも第４図の検出線で分析可能であることがわか
る。
各種有機物を含む試料の分析結果（各有機物の回収率）
を第２表に示す。第４図の検量線はフタル酸水素カリウ
ムを標準にしたものであるが、失透の純水には種々の種
類の有機物が混在しているので、有機物の種類によって
検量線の勾配が異なることが考えられる。そこで二酸化
炭素抽出器のドＶンに水溶性の各種有機物を添加して有
機炭素濃度が既知の試料水を調製し、この試料を分析し
、有機炭素の回収率を求めた。なお、有機炭素の添加濃
度と、二酸化炭素の検出濃度を第４図の検量線図から求
めた有機炭素濃度（検出濃度）との割合を回収率とした
。それぞれの有機物の回収率は９５〜１０６チと有機物
の種類にかかわらずほぼ一定の値を示し種々の有機物が
混在してい第 ２ 表 る試料でも第４図の検出線で分析可能であることがわか
る。
実施例６
実施例１の分析装置で第１表の分析条件により分析した
ときの生成する二酸化炭素濃度に対する反応温室の影＃
を調べた結果を第５図に示す。反応管内の圧力は高温に
しても水が蒸発しないように各温度における水の飽和水
蒸気圧よりも１０Ｋｇ／ｃｍ”高い圧力とした。試料水
はイオン交換水を使用したものであるが、生成ＣＯｔｔ
ｍ度は１２０Ｃではほぼ一定の値を示し、反応が完結し
ており、本発明の装置は純水中の有機物を酸化して二酸
化炭素に変換する方法として有効であることが明らかで
ある。
ときの生成する二酸化炭素濃度に対する反応温室の影＃
を調べた結果を第５図に示す。反応管内の圧力は高温に
しても水が蒸発しないように各温度における水の飽和水
蒸気圧よりも１０Ｋｇ／ｃｍ”高い圧力とした。試料水
はイオン交換水を使用したものであるが、生成ＣＯｔｔ
ｍ度は１２０Ｃではほぼ一定の値を示し、反応が完結し
ており、本発明の装置は純水中の有機物を酸化して二酸
化炭素に変換する方法として有効であることが明らかで
ある。
実施例７
実施例１の分析装置で第１表の分析条件により分析した
ときの実験５で、繰り返し精度を調べた結果を第３表に
示す。有機炭素濃度の平均値が５．３６及び５７．０４
ｐｐｂのときの繰り返し精度は相対標準偏差で３．５及
び１．６％であった。５第 ３ 表 第 ４ 衆 １）ｐｂ以下の試料を得ることができなかったので、５
ｐｐｂ以下の繰り返し精度がどの程度かを実験的に確め
ることができなかった。しかし１ｐｐｂのときの標準偏
差が５ｐｐｂのときと同程度と考えられるので、その変
動係数は１９チと見積ることができる。本実施例により
、純水中の１ｐｐｂの有機炭素が分析精度が２０％以内
で定量可能であることが判る。
ときの実験５で、繰り返し精度を調べた結果を第３表に
示す。有機炭素濃度の平均値が５．３６及び５７．０４
ｐｐｂのときの繰り返し精度は相対標準偏差で３．５及
び１．６％であった。５第 ３ 表 第 ４ 衆 １）ｐｂ以下の試料を得ることができなかったので、５
ｐｐｂ以下の繰り返し精度がどの程度かを実験的に確め
ることができなかった。しかし１ｐｐｂのときの標準偏
差が５ｐｐｂのときと同程度と考えられるので、その変
動係数は１９チと見積ることができる。本実施例により
、純水中の１ｐｐｂの有機炭素が分析精度が２０％以内
で定量可能であることが判る。
実施例８
実施例１及び第２図実施例２０分析装置で分析したとき
の分析結果の比較で、結果を表４に示す。
の分析結果の比較で、結果を表４に示す。
両者ともよく一致しており、実施例１及び実施例２とも
低濃度の有機炭素分析法として有効であることが判る。
低濃度の有機炭素分析法として有効であることが判る。
実施例９
実施例２の分析装置において分析したときの抽出ガス中
の水素、酸素、窒素のクロマトグラムを第６図に示す。
の水素、酸素、窒素のクロマトグラムを第６図に示す。
この結果はガスクロマトグラフの充填剤としてモレキュ
ラシープ５Ａ（内径３陥、外径４ツ、長さ２ｍ）’に使
用したときの結果である。本実施例によれば、第２図分
析装置は水中の水素、酸素、窒素の分析装置としても有
効であることが判る。
ラシープ５Ａ（内径３陥、外径４ツ、長さ２ｍ）’に使
用したときの結果である。本実施例によれば、第２図分
析装置は水中の水素、酸素、窒素の分析装置としても有
効であることが判る。
以上説明したように゛、本発明によれば、水中の低濃度
の有機炭素を高精度で測定することができ、超純水の有
機炭素の測定装置として好適であるという効果がある。
の有機炭素を高精度で測定することができ、超純水の有
機炭素の測定装置として好適であるという効果がある。
第１図及び第２図は水中有機炭素の測定装置の一実施例
を示す構成図、第３図は抽出ガスのクロマトグラム、第
４図は検量線図、第５図は酸化反応に対する温度依存性
を示す図、第６図は水素。 酸素、窒素のクロマトグラム線図である。
を示す構成図、第３図は抽出ガスのクロマトグラム、第
４図は検量線図、第５図は酸化反応に対する温度依存性
を示す図、第６図は水素。 酸素、窒素のクロマトグラム線図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料水、酸性溶液および反応液を無機炭酸除去槽へ
移送して無機炭酸を除去する無機炭酸除去手段と、無機
炭酸を除去された前記試料水と反応液との混合液を高温
高圧に保たれている反応管へ移送して前記試料水中の有
機物を前記反応液で酸化する有機物酸化手段と、該有機
物酸化手段からの有機物を酸化された前記水蒸気を含む
熱水と二酸化炭素の混合液に抽出ガスを送入して有機物
の酸化によつて生成された二酸化炭素を前記抽出ガス中
に抽出しながら前記水蒸気を含む熱水を冷却して分離す
る二酸化炭素抽出手段と、前記抽出ガス中の水分を分離
する水分分離除去手段と、該水分分離除去手段によつて
水分を分離除去された前記抽出ガス中の二酸化炭素を検
出する二酸化炭素検出手段とよりなることを特徴とする
水中有機炭素の測定装置。 ２、試料水と酸性溶液を混合した溶液に反応液を一定時
間毎に添加した混合液を高温高圧に保たれている反応管
へ移送して前記試料水中の有機物を前記反応液で酸化す
る有機物酸化手段と、該有機物酸化手段からの有機物を
酸化された前記水蒸気を含む熱水と二酸化炭素の混合液
に抽出ガスを送入して有機物の酸化によつて生成された
二酸化炭素を前記抽出ガス中に抽出しながら、前記水蒸
気を含む熱水を冷却して分離する二酸化炭素抽出手段と
、前記抽出ガス中の水分を分離する水分分離除去手段と
、該水分分離除去手段によつて水分を分離除去された前
記抽出ガス中の二酸化炭素を検出する二酸化炭素検出手
段とよりなり、前記反応液を添加したときの二酸化炭素
の濃度と前記反応液を添加しないときの二酸化炭素の濃
度の差から有機炭素を求めることを特徴とする水中有機
炭素の測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20651185A JPS6267452A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 水中有機炭素の測定装置 |
| JP5051006A JPH081432B2 (ja) | 1985-09-20 | 1993-03-11 | 水中炭素の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20651185A JPS6267452A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 水中有機炭素の測定装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5051006A Division JPH081432B2 (ja) | 1985-09-20 | 1993-03-11 | 水中炭素の測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6267452A true JPS6267452A (ja) | 1987-03-27 |
| JPH0581859B2 JPH0581859B2 (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=16524574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20651185A Granted JPS6267452A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 水中有機炭素の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6267452A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6421353A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Tokico Ltd | Apparatus for measuring carbon quantity |
| JPS6421351A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Hitachi Ltd | Vapor-liquid separator for underwater organic carbon analyzer |
| JPS6449959A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Tokico Ltd | Instrument for measuring carbon content |
| JPH0291569A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Japan Organo Co Ltd | 炭素量測定装置 |
| KR102102086B1 (ko) * | 2019-11-13 | 2020-05-25 | 주식회사 제일그린시스 | 실링 드라이브 모듈을 이용한 실시간 저시약형 총유기 탄소 측정장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117999480A (zh) * | 2021-09-30 | 2024-05-07 | 株式会社岛津制作所 | 气液分离器、总有机碳分析仪及分析系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56141558A (en) * | 1980-04-07 | 1981-11-05 | Fuji Electric Co Ltd | Method and device for quick measurement of amount of organic matter in water |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP20651185A patent/JPS6267452A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56141558A (en) * | 1980-04-07 | 1981-11-05 | Fuji Electric Co Ltd | Method and device for quick measurement of amount of organic matter in water |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6421353A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Tokico Ltd | Apparatus for measuring carbon quantity |
| JPS6421351A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Hitachi Ltd | Vapor-liquid separator for underwater organic carbon analyzer |
| JPS6449959A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Tokico Ltd | Instrument for measuring carbon content |
| JPH0291569A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Japan Organo Co Ltd | 炭素量測定装置 |
| KR102102086B1 (ko) * | 2019-11-13 | 2020-05-25 | 주식회사 제일그린시스 | 실링 드라이브 모듈을 이용한 실시간 저시약형 총유기 탄소 측정장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0581859B2 (ja) | 1993-11-16 |
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