JPH081432B2 - 水中炭素の測定装置 - Google Patents
水中炭素の測定装置Info
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- JPH081432B2 JPH081432B2 JP5051006A JP5100693A JPH081432B2 JP H081432 B2 JPH081432 B2 JP H081432B2 JP 5051006 A JP5051006 A JP 5051006A JP 5100693 A JP5100693 A JP 5100693A JP H081432 B2 JPH081432 B2 JP H081432B2
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Description
【0001】
【発明の利用分野】本発明は水中炭素の測定装置に係
り、特に水中の有機炭素を高感度で分析するのに好適な
水中炭素の測定装置に関するものである。
り、特に水中の有機炭素を高感度で分析するのに好適な
水中炭素の測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の水中有機炭素の測定装置は、有機
物を酸化して二酸化炭素とする手段と、その二酸化炭素
の検出手段とから構成されている。有機物の酸化法とし
ては、試料水と酸素とを、高温に保持されている全炭素
測定用酸化触媒(固体触媒)充填管に送り込む高温酸化
法(JIS K0102)および試料水と酸化剤との混
合溶液に紫外線を照射するUV酸化法が利用されてい
る。このほかに、試料水と反応試薬を入れたアンプルと
を170℃程度のオートクレーブの中で加熱する湿式酸
化法(JIS K0102)が知られているが、アンプ
ルから生成した二酸化炭素の抽出操作が煩雑になるので
あまり使用されていない。一方、抽出した二酸化炭素の
定量には、赤外分析法、ガスクロマトグラフ法、導電率
測定法等があり、それぞれ使用されている。
物を酸化して二酸化炭素とする手段と、その二酸化炭素
の検出手段とから構成されている。有機物の酸化法とし
ては、試料水と酸素とを、高温に保持されている全炭素
測定用酸化触媒(固体触媒)充填管に送り込む高温酸化
法(JIS K0102)および試料水と酸化剤との混
合溶液に紫外線を照射するUV酸化法が利用されてい
る。このほかに、試料水と反応試薬を入れたアンプルと
を170℃程度のオートクレーブの中で加熱する湿式酸
化法(JIS K0102)が知られているが、アンプ
ルから生成した二酸化炭素の抽出操作が煩雑になるので
あまり使用されていない。一方、抽出した二酸化炭素の
定量には、赤外分析法、ガスクロマトグラフ法、導電率
測定法等があり、それぞれ使用されている。
【0003】水中有機炭素の測定装置としては、例え
ば、有機物を高温酸化して生成される二酸化炭素を赤外
分析法で検出したり、二酸化炭素をメタンに変換して水
素炎イオン化検出器付ガスクロマトグラフで検出するよ
うにしたもの、また、試料水に紫外線を照射して有機物
を酸化して生成する二酸化炭素を赤外分析法により検出
したり、二酸化炭素を溶液に吸収させて導電率を測定す
るようにしたものなどがある。
ば、有機物を高温酸化して生成される二酸化炭素を赤外
分析法で検出したり、二酸化炭素をメタンに変換して水
素炎イオン化検出器付ガスクロマトグラフで検出するよ
うにしたもの、また、試料水に紫外線を照射して有機物
を酸化して生成する二酸化炭素を赤外分析法により検出
したり、二酸化炭素を溶液に吸収させて導電率を測定す
るようにしたものなどがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの測定
装置による有機炭素の定量下限は10〜50ppbであ
るので、半導体製造等に用いる超純水のように、さらに
低濃度の有機炭素の定量を必要とする場合は、装置の改
良が必要である。ところで、高温酸化法では、低濃度有
機炭素を定量するために試料供給量を増やすと、酸化触
媒が劣化しやすくなるという問題を生ずる。また、UV
酸化法では、生成された二酸化炭素の抽出率を大きくす
るためには大量の抽出ガスを必要とするので、抽出ガス
中の二酸化炭素の濃度が低くなるという問題がある。こ
の為、固体酸化触媒を使用しないで有機物を酸化し、生
成された二酸化炭素を少ない抽出ガスで抽出するように
して低濃度有機炭素の定量を可能とした測定装置の開発
が強く要望されている。
装置による有機炭素の定量下限は10〜50ppbであ
るので、半導体製造等に用いる超純水のように、さらに
低濃度の有機炭素の定量を必要とする場合は、装置の改
良が必要である。ところで、高温酸化法では、低濃度有
機炭素を定量するために試料供給量を増やすと、酸化触
媒が劣化しやすくなるという問題を生ずる。また、UV
酸化法では、生成された二酸化炭素の抽出率を大きくす
るためには大量の抽出ガスを必要とするので、抽出ガス
中の二酸化炭素の濃度が低くなるという問題がある。こ
の為、固体酸化触媒を使用しないで有機物を酸化し、生
成された二酸化炭素を少ない抽出ガスで抽出するように
して低濃度有機炭素の定量を可能とした測定装置の開発
が強く要望されている。
【0005】本発明の目的は、水中の低濃度の有機炭素
を高精度で測定することができる水中有機炭素の測定装
置を提供することにある。
を高精度で測定することができる水中有機炭素の測定装
置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、水中の有機炭
素を酸化したときに生成される二酸化炭素をできるだけ
少ない抽出ガスで抽出して二酸化炭素の濃度が低下しな
いようにすることが、低濃度の有機炭素の測定には重要
であり、二酸化炭素を抽出ガスで抽出する場合、水中の
二酸化炭素を抽出するよりも、水蒸気中の二酸化炭素を
抽出する方が、抽出ガスを少なくしても抽出率が減少し
ないことに着目してなされたものである。
素を酸化したときに生成される二酸化炭素をできるだけ
少ない抽出ガスで抽出して二酸化炭素の濃度が低下しな
いようにすることが、低濃度の有機炭素の測定には重要
であり、二酸化炭素を抽出ガスで抽出する場合、水中の
二酸化炭素を抽出するよりも、水蒸気中の二酸化炭素を
抽出する方が、抽出ガスを少なくしても抽出率が減少し
ないことに着目してなされたものである。
【0007】そこで、本発明に係る水中有機炭素の測定
装置は、酸化剤としての反応液又は試料水を送液する送
液ポンプと、送液ポンプより送液された試料水及び反応
液の混合液を導入して試料水中の有機物を酸化する反応
管と、反応管の温度を保つ恒温槽と、恒温槽の温度を調
節する温度調節器と、反応管内の圧力を水蒸気圧以上に
調節する圧力調節器と、圧力調節器からの水蒸気を含む
熱水を導入し、抽出ガスを用いて二酸化炭素を抽出する
二酸化炭素抽出器と、二酸化炭素抽出器に導入された水
蒸気を含む熱水を冷却する冷却水循環器と、二酸化炭素
抽出器で二酸化炭素を抽出した抽出ガスから、水分を分
離する水分分離器と、抽出ガス中の二酸化炭素を検出す
る二酸化炭素検出手段と、を有することを特徴とする。
装置は、酸化剤としての反応液又は試料水を送液する送
液ポンプと、送液ポンプより送液された試料水及び反応
液の混合液を導入して試料水中の有機物を酸化する反応
管と、反応管の温度を保つ恒温槽と、恒温槽の温度を調
節する温度調節器と、反応管内の圧力を水蒸気圧以上に
調節する圧力調節器と、圧力調節器からの水蒸気を含む
熱水を導入し、抽出ガスを用いて二酸化炭素を抽出する
二酸化炭素抽出器と、二酸化炭素抽出器に導入された水
蒸気を含む熱水を冷却する冷却水循環器と、二酸化炭素
抽出器で二酸化炭素を抽出した抽出ガスから、水分を分
離する水分分離器と、抽出ガス中の二酸化炭素を検出す
る二酸化炭素検出手段と、を有することを特徴とする。
【0008】
【実施例】〔参考例〕 図1は本発明者らによる水中有機炭素の測定装置の参考
例の構成図で、1−a、1−b、1−c、1−d及び1
−eは送液ポンプ、2は試料水にとけている炭酸ガスを
除去する脱炭酸器、3は試料水a中の有機物を酸化する
反応管、4は反応管3を一定温度に保つ恒温槽、5は恒
温槽4の温度調節器、6は反応管3の内圧を監視する圧
力計、7は反応管3の温度を高くしたときでも水が蒸気
にならないように管内の圧力を水の水蒸気圧以上に調節
する圧力調節器、8は有機物を酸化したときに生成する
二酸化炭素を抽出するための二酸化炭素抽出器、9は二
酸化炭素抽出器8に流入する水蒸気を含む熱水を冷却す
る冷却水の冷却水循環器、10は抽出ガス中の水分を除
去するために過塩素酸マグネシウムが充填されているU
字管からなる水分分離器、11は抽出ガス中の二酸化炭
素を検出するガスクロマトグラフ、aは試料水、bは有
機物を酸化するための酸化剤としての過硫酸カリウム溶
液からなる反応液、cは水中の二酸化炭素の溶解度を減
少させるための希硫酸、d−1は試料水中の二酸化炭素
を追い出すためのヘリウムからなるバブリングガス、d
−2は生成した炭酸ガスを抽出するためのヘリウムから
なる抽出ガス、eはドレン、f−1及びf−2は排ガス
である。
例の構成図で、1−a、1−b、1−c、1−d及び1
−eは送液ポンプ、2は試料水にとけている炭酸ガスを
除去する脱炭酸器、3は試料水a中の有機物を酸化する
反応管、4は反応管3を一定温度に保つ恒温槽、5は恒
温槽4の温度調節器、6は反応管3の内圧を監視する圧
力計、7は反応管3の温度を高くしたときでも水が蒸気
にならないように管内の圧力を水の水蒸気圧以上に調節
する圧力調節器、8は有機物を酸化したときに生成する
二酸化炭素を抽出するための二酸化炭素抽出器、9は二
酸化炭素抽出器8に流入する水蒸気を含む熱水を冷却す
る冷却水の冷却水循環器、10は抽出ガス中の水分を除
去するために過塩素酸マグネシウムが充填されているU
字管からなる水分分離器、11は抽出ガス中の二酸化炭
素を検出するガスクロマトグラフ、aは試料水、bは有
機物を酸化するための酸化剤としての過硫酸カリウム溶
液からなる反応液、cは水中の二酸化炭素の溶解度を減
少させるための希硫酸、d−1は試料水中の二酸化炭素
を追い出すためのヘリウムからなるバブリングガス、d
−2は生成した炭酸ガスを抽出するためのヘリウムから
なる抽出ガス、eはドレン、f−1及びf−2は排ガス
である。
【0009】送液ポンプ1−aで送液した試料水aと送
液ポンプ1−bで送られた過硫酸カリウム溶液からなる
反応液bと送液ポンプ1−cで送られた希硫酸を混合し
て、脱炭酸器2に連続的に送り、ヘリウムからなるバブ
リングガスd−1をバブリングして混合液中の二酸化炭
素をヘリウムガスと共に排ガスf−1として排出して除
去する。炭酸ガスが除去された混合液を送液ポンプ1−
dで圧力調節器7および恒温槽4によって一定の圧力、
温度に保たれている反応管3に送り、試料水aの中の有
機物を過硫酸カリウムで酸化する。その後水蒸気を含む
加熱されている混合液と一定流量のヘリウムからなる抽
出ガスd−2とを二酸化炭素抽出器8の中で混合して水
蒸気を含む加熱されている混合液を冷却水で冷却しなが
ら分離し、生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出す
る。このとき、図1に示すように、水蒸気を含む熱水は
二酸化炭素抽出器8の中間部に導入され、抽出ガスは下
部から導入される。また、二酸化炭素を抽出したヘリウ
ムは二酸化炭素抽出器の上部から導出される。二酸化炭
素を抽出したヘリウム中の水分を水分分離器10で分離
し、二酸化炭素を抽出したヘリウムを検出器11に送
り、ヘリウム中の二酸化炭素の濃度から試料水a中の有
機炭素の濃度を測定する。
液ポンプ1−bで送られた過硫酸カリウム溶液からなる
反応液bと送液ポンプ1−cで送られた希硫酸を混合し
て、脱炭酸器2に連続的に送り、ヘリウムからなるバブ
リングガスd−1をバブリングして混合液中の二酸化炭
素をヘリウムガスと共に排ガスf−1として排出して除
去する。炭酸ガスが除去された混合液を送液ポンプ1−
dで圧力調節器7および恒温槽4によって一定の圧力、
温度に保たれている反応管3に送り、試料水aの中の有
機物を過硫酸カリウムで酸化する。その後水蒸気を含む
加熱されている混合液と一定流量のヘリウムからなる抽
出ガスd−2とを二酸化炭素抽出器8の中で混合して水
蒸気を含む加熱されている混合液を冷却水で冷却しなが
ら分離し、生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出す
る。このとき、図1に示すように、水蒸気を含む熱水は
二酸化炭素抽出器8の中間部に導入され、抽出ガスは下
部から導入される。また、二酸化炭素を抽出したヘリウ
ムは二酸化炭素抽出器の上部から導出される。二酸化炭
素を抽出したヘリウム中の水分を水分分離器10で分離
し、二酸化炭素を抽出したヘリウムを検出器11に送
り、ヘリウム中の二酸化炭素の濃度から試料水a中の有
機炭素の濃度を測定する。
【0010】上記した測定装置によれば、反応管の外部
に圧力調節器を設けることにより試料を水蒸気を含む熱
水として二酸化炭素抽出器に導入しているため、大部分
の二酸化炭素は二酸化炭素抽出器に導入された時すでに
気相にあり少量のヘリウムで抽出可能である。したがっ
て、抽出ガス中の二酸化炭素濃度を高くすることができ
る。また、同伴されている大量の水蒸気は、冷却水によ
って二酸化炭素抽出器内で凝縮除去されるので、後段の
水分分離器にかかる負担が少なくなると共に微量分析を
高精度で行うことが可能となる。
に圧力調節器を設けることにより試料を水蒸気を含む熱
水として二酸化炭素抽出器に導入しているため、大部分
の二酸化炭素は二酸化炭素抽出器に導入された時すでに
気相にあり少量のヘリウムで抽出可能である。したがっ
て、抽出ガス中の二酸化炭素濃度を高くすることができ
る。また、同伴されている大量の水蒸気は、冷却水によ
って二酸化炭素抽出器内で凝縮除去されるので、後段の
水分分離器にかかる負担が少なくなると共に微量分析を
高精度で行うことが可能となる。
【0011】もし、大量の水蒸気を含む抽出ガスをその
まま水分分離器に通すと、水分分離器に大量の水分が保
持され、そこでCO2 の再吸収が起こる。水分分離器中
で起こるこのCO2 の再吸収を一定に制御することは困
難なので、結果的に試料経路中に不安定要素を抱えるこ
とになって微量分析を高精度に行うことができなくな
る。
まま水分分離器に通すと、水分分離器に大量の水分が保
持され、そこでCO2 の再吸収が起こる。水分分離器中
で起こるこのCO2 の再吸収を一定に制御することは困
難なので、結果的に試料経路中に不安定要素を抱えるこ
とになって微量分析を高精度に行うことができなくな
る。
【0012】水蒸気を含む熱水を二酸化炭素抽出器の中
間部に導入するようにしたのは、このような二酸化炭素
の抽出と水蒸気の除去を二酸化炭素抽出器内で効果的に
行うためである。本参考例の装置により分析した抽出ガ
スのクロマトグラムを図3に示す。図3は試料水aとし
てイオン交換水を表1の分析条件で分析したときのクロ
マトグラムである。保持時間が1.5分間のところに二
酸化炭素が検出されており、約40ppbの有機炭素濃
度に相当する。図3から低濃度有機炭素の分析装置とし
て有効であることが判る。
間部に導入するようにしたのは、このような二酸化炭素
の抽出と水蒸気の除去を二酸化炭素抽出器内で効果的に
行うためである。本参考例の装置により分析した抽出ガ
スのクロマトグラムを図3に示す。図3は試料水aとし
てイオン交換水を表1の分析条件で分析したときのクロ
マトグラムである。保持時間が1.5分間のところに二
酸化炭素が検出されており、約40ppbの有機炭素濃
度に相当する。図3から低濃度有機炭素の分析装置とし
て有効であることが判る。
【0013】本参考例の分析装置で第1表に示す分析条
件により分析したときの検量線図を図4に示す。検量線
を作成するためには有機炭素が混入していない水で標準
液を調製する必要がある。有機炭素濃度が高い純水では
ppbレベルの検量線を作成することができないので、
水を精製して使用することにした。本参考例の分析装置
では純水中の有機物を酸化しているので、二酸化炭素抽
出器8からのドレンには有機物が混入していないはずで
あるので、この水に有機炭素の標準物質として一般的な
フタル酸水素カリウムの一定量を添加し、有機炭素濃度
が5〜100ppbになるような標準液を調製した。こ
の標準液を第1表の測定条件により分析した。検量線は
100ppbまでは直線性を示した。この種の分析法と
しては良好なものである。本参考例の測定装置によれば
1〜100ppbの純水中の有機炭素が精度よく分析で
きることが判る。
件により分析したときの検量線図を図4に示す。検量線
を作成するためには有機炭素が混入していない水で標準
液を調製する必要がある。有機炭素濃度が高い純水では
ppbレベルの検量線を作成することができないので、
水を精製して使用することにした。本参考例の分析装置
では純水中の有機物を酸化しているので、二酸化炭素抽
出器8からのドレンには有機物が混入していないはずで
あるので、この水に有機炭素の標準物質として一般的な
フタル酸水素カリウムの一定量を添加し、有機炭素濃度
が5〜100ppbになるような標準液を調製した。こ
の標準液を第1表の測定条件により分析した。検量線は
100ppbまでは直線性を示した。この種の分析法と
しては良好なものである。本参考例の測定装置によれば
1〜100ppbの純水中の有機炭素が精度よく分析で
きることが判る。
【0014】
【表1】
【0015】本参考例の分析装置で第1表の分析条件に
より分析したときの、各種有機物を含む試料の分析結果
(各有機物の回収率)を第2表に示す。図4の検量線は
フタル酸水素カリウムを標準にしたものであるが、実際
の純水には種々の種類の有機物が混合しているので、有
機物の種類によって検量線の勾配が異なることが考えら
れる。そこで二酸化炭素抽出器8のドレンに水溶性の各
種有機物を添加して有機炭素濃度が既知の試料水を調製
し、この試料を分析し、有機炭素の回収率を求めた。な
お、有機炭素の添加濃度と、二酸化炭素の検出濃度を図
4の検量線図から求めた有機炭素濃度(検出濃度)との
割合を回収率とした。それぞれの有機物の回収率は95
〜106%と有機物の種類にかかわらずほぼ一定の値を
示し、種々の有機物が混在している試料でも図4の検出
線で分析可能であることがわかる。
より分析したときの、各種有機物を含む試料の分析結果
(各有機物の回収率)を第2表に示す。図4の検量線は
フタル酸水素カリウムを標準にしたものであるが、実際
の純水には種々の種類の有機物が混合しているので、有
機物の種類によって検量線の勾配が異なることが考えら
れる。そこで二酸化炭素抽出器8のドレンに水溶性の各
種有機物を添加して有機炭素濃度が既知の試料水を調製
し、この試料を分析し、有機炭素の回収率を求めた。な
お、有機炭素の添加濃度と、二酸化炭素の検出濃度を図
4の検量線図から求めた有機炭素濃度(検出濃度)との
割合を回収率とした。それぞれの有機物の回収率は95
〜106%と有機物の種類にかかわらずほぼ一定の値を
示し、種々の有機物が混在している試料でも図4の検出
線で分析可能であることがわかる。
【0016】
【表2】
【0017】本参考例の分析装置で第1表の分析条件に
より分析したときの生成する二酸化酸素濃度に対する反
応温度の影響を調べた結果を図5に示す。反応管内の圧
力は高温にしても水が蒸発しないように各温度における
水の飽和水蒸気圧よりも10kg/cm2 高い圧力とし
た。試料水はイオン交換水を使用したものであるが、生
成CO2 濃度は120℃ではほぼ一定の値を示し、反応
が完結しており、この装置は純水中の有機物を酸化して
二酸化炭素に変換する装置として有効であることが明ら
かである。
より分析したときの生成する二酸化酸素濃度に対する反
応温度の影響を調べた結果を図5に示す。反応管内の圧
力は高温にしても水が蒸発しないように各温度における
水の飽和水蒸気圧よりも10kg/cm2 高い圧力とし
た。試料水はイオン交換水を使用したものであるが、生
成CO2 濃度は120℃ではほぼ一定の値を示し、反応
が完結しており、この装置は純水中の有機物を酸化して
二酸化炭素に変換する装置として有効であることが明ら
かである。
【0018】本参考例の分析装置で第1表の分析条件に
より分析したときの実験で、繰り返し精度を調べた結果
を第3表に示す。有機炭素濃度の平均値が5.36及び
57.04ppbのときの繰り返し精度は相対標準偏差
で3.5及び1.6%であった。一方、5ppb以下の試
料を得ることができなかったので、5ppb以下の繰り
返し精度がどの程度かを実験的に確めることができなか
った。しかし1ppbのときの標準偏差が5ppbのと
きと同程度と考えられるのでその変動係数は19%と見
積ることができる。本参考例により、純水中の1ppb
の有機炭素が分析精度20%以内で定量可能であること
が判る。
より分析したときの実験で、繰り返し精度を調べた結果
を第3表に示す。有機炭素濃度の平均値が5.36及び
57.04ppbのときの繰り返し精度は相対標準偏差
で3.5及び1.6%であった。一方、5ppb以下の試
料を得ることができなかったので、5ppb以下の繰り
返し精度がどの程度かを実験的に確めることができなか
った。しかし1ppbのときの標準偏差が5ppbのと
きと同程度と考えられるのでその変動係数は19%と見
積ることができる。本参考例により、純水中の1ppb
の有機炭素が分析精度20%以内で定量可能であること
が判る。
【0019】
【表3】
【0020】
【表4】
【0021】〔実施例〕 図2は本発明による水中有機炭素の測定装置の実施例の
構成図である。図2の測定装置は図1における脱炭酸器
2及び送液ポンプ1−dを取りはずしたものである。送
液ポンプ1−aで送液した試料水aと送液ポンプ1−c
で送液した希硫酸cとの混合液に送液ポンプ1−bで送
液した過硫酸カリウム溶液bを一定時間毎に混合した溶
液を、圧力調節器7および恒温槽4によって一定の圧
力、温度に保たれている反応管3に送り、試料水aの中
の有機物を過硫酸カリウムで酸化する。その後水蒸気を
含む加熱されている混合液と一定流量のヘリウムからな
る抽出ガスd−2を二酸化炭素抽出器8の中で混合して
水蒸気を含む加熱されている混合液を冷却水で冷却しな
がら分離し生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出す
る。二酸化炭素を抽出したヘリウム中の水分を水分分離
器10で分離し、二酸化炭素を抽出したヘリウムをガス
クロマトグラフ11に送り、反応液bを送液したときの
抽出ガス中の二酸化炭素の濃度の差から試料水a中の有
機炭素の濃度を測定する。
構成図である。図2の測定装置は図1における脱炭酸器
2及び送液ポンプ1−dを取りはずしたものである。送
液ポンプ1−aで送液した試料水aと送液ポンプ1−c
で送液した希硫酸cとの混合液に送液ポンプ1−bで送
液した過硫酸カリウム溶液bを一定時間毎に混合した溶
液を、圧力調節器7および恒温槽4によって一定の圧
力、温度に保たれている反応管3に送り、試料水aの中
の有機物を過硫酸カリウムで酸化する。その後水蒸気を
含む加熱されている混合液と一定流量のヘリウムからな
る抽出ガスd−2を二酸化炭素抽出器8の中で混合して
水蒸気を含む加熱されている混合液を冷却水で冷却しな
がら分離し生成された二酸化炭素をヘリウム中に抽出す
る。二酸化炭素を抽出したヘリウム中の水分を水分分離
器10で分離し、二酸化炭素を抽出したヘリウムをガス
クロマトグラフ11に送り、反応液bを送液したときの
抽出ガス中の二酸化炭素の濃度の差から試料水a中の有
機炭素の濃度を測定する。
【0022】本実施例によれば反応液b中の過硫酸カリ
ウムを送液したときの抽出ガス中の二酸化炭素の濃度
は、試料水a中の有機炭素及び無機炭素(CO2 )の濃
度に相当し、反応液bを送液しないときの抽出ガス中の
二酸化炭素の濃度は試料水a中の無機炭素の濃度に相当
するので、前者から試料水a中の全炭素濃度を求めるこ
とができると共に、両者の差を求めることにより、試料
水a中の有機炭素濃度を求めることができる。本実施例
によれば、脱炭酸器がないので分析時間が短いこと及び
バブリングをしないのでヘリウムを節約できる効果があ
り、無機炭素濃度が低い試料に対して有効である。
ウムを送液したときの抽出ガス中の二酸化炭素の濃度
は、試料水a中の有機炭素及び無機炭素(CO2 )の濃
度に相当し、反応液bを送液しないときの抽出ガス中の
二酸化炭素の濃度は試料水a中の無機炭素の濃度に相当
するので、前者から試料水a中の全炭素濃度を求めるこ
とができると共に、両者の差を求めることにより、試料
水a中の有機炭素濃度を求めることができる。本実施例
によれば、脱炭酸器がないので分析時間が短いこと及び
バブリングをしないのでヘリウムを節約できる効果があ
り、無機炭素濃度が低い試料に対して有効である。
【0023】参考例及び実施例の分析装置で分析した分
析結果の比較を第4表に示す。両者ともよく一致してお
り、参考例及び実施例とも低濃度の有機炭素分析法とし
て有効であることが判る。実施例の分析装置において分
析したときの抽出ガス中の水素、酸素、窒素のクロマト
グラムを図6に示す。この結果はガスクロマトグラフの
充填剤としてモレキュラシーブ5A(内径3mm、外径
4mm、長さ2m)を使用したときの結果である。この
ことより、実施例の分析装置は水中の水素、酸素、窒素
の分析装置としても有効であることが判る。
析結果の比較を第4表に示す。両者ともよく一致してお
り、参考例及び実施例とも低濃度の有機炭素分析法とし
て有効であることが判る。実施例の分析装置において分
析したときの抽出ガス中の水素、酸素、窒素のクロマト
グラムを図6に示す。この結果はガスクロマトグラフの
充填剤としてモレキュラシーブ5A(内径3mm、外径
4mm、長さ2m)を使用したときの結果である。この
ことより、実施例の分析装置は水中の水素、酸素、窒素
の分析装置としても有効であることが判る。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
水中の低濃度の有機炭素を高精度で測定することがで
き、超純水の有機炭素の測定装置として好適であるとい
う効果がある。
水中の低濃度の有機炭素を高精度で測定することがで
き、超純水の有機炭素の測定装置として好適であるとい
う効果がある。
【図1】 水中有機炭素の測定装置の参考例を示す構成
図。
図。
【図2】 水中有機炭素の測定装置の実施例を示す構成
図。
図。
【図3】 抽出ガスのクロマトグラム。
【図4】 検量線図。
【図5】 酸化反応に対する温度依存性を示す図。
【図6】 水素、酸素、窒素のクロマトグラム線図。
1−a〜1−e…送液ポンプ、2…脱炭酸器、3…反応
管、4…恒温槽、5…温度調節器、6…圧力計、7…圧
力調節器、8…二酸化炭素抽出器、9…冷却水循環器、
10…水分分離器、11…ガスクロマトグラフ、a…試
料水、b…過硫酸カリウム溶液、c…希硫酸、d−1〜
d−2…ヘリウムガス、e…ドレン、f−1〜f−2…
排ガス。
管、4…恒温槽、5…温度調節器、6…圧力計、7…圧
力調節器、8…二酸化炭素抽出器、9…冷却水循環器、
10…水分分離器、11…ガスクロマトグラフ、a…試
料水、b…過硫酸カリウム溶液、c…希硫酸、d−1〜
d−2…ヘリウムガス、e…ドレン、f−1〜f−2…
排ガス。
Claims (1)
- 【請求項1】 試料水及び酸化剤を送液する送液ポンプ
と、前記試料水と酸化剤との混合液を導入して試料水中
の有機物を酸化する中空の反応管と、前記反応管の温度
を一定に保つ恒温槽と、前記反応管の出口部と後記二酸
化炭素抽出手段の間に設けられ前記反応管内の圧力を反
応管温度における飽和水蒸気圧以上に調節する圧力調節
手段と、前記圧力調節手段からの水蒸気を含む熱水を導
入し抽出ガスによって二酸化炭素を抽出する二酸化炭素
抽出手段と、前記二酸化炭素抽出手段から導出された抽
出ガスから水分を分離する水分分離手段と、前記水分分
離手段から導出された抽出ガス中の二酸化炭素を検出す
る二酸化炭素検出手段とを含み、 前記二酸化炭素抽出手段は、下部に抽出ガスを導入する
ための第1の導入管が接続され、中間部に前記圧力調整
手段からの水蒸気を含む熱水を導入するための第2の導
入管が接続され、上部に二酸化炭素抽出後の抽出ガスを
前記水分分離手段に導出するための導出管が接続される
と共に、周囲に冷却手段が配設された容器からなり、前
記第2の導入管から容器内に導入された水蒸気を含む熱
水を冷却して水分を凝縮させながら二酸化炭素を抽出ガ
ス中に抽出するものであることを特徴とする水中炭素の
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5051006A JPH081432B2 (ja) | 1985-09-20 | 1993-03-11 | 水中炭素の測定装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20651185A JPS6267452A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 水中有機炭素の測定装置 |
| JP5051006A JPH081432B2 (ja) | 1985-09-20 | 1993-03-11 | 水中炭素の測定装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20651185A Division JPS6267452A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 水中有機炭素の測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160367A JPH06160367A (ja) | 1994-06-07 |
| JPH081432B2 true JPH081432B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=26391516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5051006A Expired - Lifetime JPH081432B2 (ja) | 1985-09-20 | 1993-03-11 | 水中炭素の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081432B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102331484A (zh) * | 2011-06-21 | 2012-01-25 | 中国科学院南京土壤研究所 | 流动水体温室气体排放量的测定方法 |
| CN115219300B (zh) * | 2022-07-18 | 2025-08-08 | 中国科学院地球环境研究所 | 一种气溶胶中不同含碳组分快速分离提取方法和系统 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58127776U (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-30 | 株式会社東芝 | リモ−トコントロ−ルユニツト装着装置 |
| JPS59154239U (ja) * | 1983-04-01 | 1984-10-16 | 日東工器株式会社 | 消音機能を持つ空圧マツサ−ジ器用圧縮空気発生装置 |
| JP2544323Y2 (ja) * | 1992-06-19 | 1997-08-20 | 小川ポンプ工業株式会社 | 高所作業車における旋回台の傾斜矯正機構 |
| JPH0621635U (ja) * | 1992-08-26 | 1994-03-22 | 東京電気株式会社 | 按摩装置 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP5051006A patent/JPH081432B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06160367A (ja) | 1994-06-07 |
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