JPS6267831A - 電子ビ−ム装置 - Google Patents
電子ビ−ム装置Info
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- JPS6267831A JPS6267831A JP60208226A JP20822685A JPS6267831A JP S6267831 A JPS6267831 A JP S6267831A JP 60208226 A JP60208226 A JP 60208226A JP 20822685 A JP20822685 A JP 20822685A JP S6267831 A JPS6267831 A JP S6267831A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
電子ビーム装置において、２次電子量が一定となる様に
常に分析器に加える電圧を？１ｉｌＪ御し、２次電子量
がほぼ一定となった時より分析器の電圧を加算平均する
。これにより、雑音が多く存在する様な２次電子信号で
あっても被測定物の電圧が精度よく測定できる。
常に分析器に加える電圧を？１ｉｌＪ御し、２次電子量
がほぼ一定となった時より分析器の電圧を加算平均する
。これにより、雑音が多く存在する様な２次電子信号で
あっても被測定物の電圧が精度よく測定できる。
本発明は電子ビームを照射して被照射物の電圧を測定す
る電子ビーム装置に係り、特に被照射物より発生する２
次電子の量を一定となる様に分析電圧を′＃１１御し２
分析電圧より被照射物の電圧を測定する電子ビーム装置
に関する。
る電子ビーム装置に係り、特に被照射物より発生する２
次電子の量を一定となる様に分析電圧を′＃１１御し２
分析電圧より被照射物の電圧を測定する電子ビーム装置
に関する。
電子ビーム装置は非接触による電圧測定装置として例え
ば半導体ＩＣ内の配線電圧測定に多く用いられている。
ば半導体ＩＣ内の配線電圧測定に多く用いられている。
一般的に前述の電子ビーム装置は電子ビームを照射した
ことによって発生する２次電子の量を一定とすべき分析
電圧より換算して電子ビームの照射点の電圧を求めてい
る。
ことによって発生する２次電子の量を一定とすべき分析
電圧より換算して電子ビームの照射点の電圧を求めてい
る。
第３図は従来方式の電子ビーム装置の回路構成図である
。制御計算機１より発生したスタート信号ＳＴはユニッ
ト制御回路３と加算平均回路２に加わる。ユニット制御
回路３にはＩＣドライバ４より測定周期を指示する周期
クロックが加わっており、前述したスタート信号が入力
した時にストロボユニット５に周期クロックＣＬＫを出
力する。
。制御計算機１より発生したスタート信号ＳＴはユニッ
ト制御回路３と加算平均回路２に加わる。ユニット制御
回路３にはＩＣドライバ４より測定周期を指示する周期
クロックが加わっており、前述したスタート信号が入力
した時にストロボユニット５に周期クロックＣＬＫを出
力する。
また、後述するが、加算平均回路２はＡＤ変換回路１０
から加わるディジタルデータの加算並びに平均演算処理
を開始する。尚、このスタート信号によって加算平均終
了信号ＫＥＮはクリアされる。
から加わるディジタルデータの加算並びに平均演算処理
を開始する。尚、このスタート信号によって加算平均終
了信号ＫＥＮはクリアされる。
ストロボユニット５は周期クロックＣＬＫに同期して、
制御計算機１より加わるＥＢ（電子ビーム）パルス幅１
＋、ディレィ時間ｔ２を指示する信号に従ってＥＢブラ
ンカ６にブランキング信号を加える。ＥＢブランカ６は
図示しない電子銃より発射された電子ビームのＥＢブラ
ンカ６内の通過を前述したブランキング信号によって制
御するものである。すなわちブランキング信号によって
ＥＢはパルス化されＥＢパルスとなる。そしてそのＥＢ
パルスは図示しない電子レンズ等で収束し、被測定物で
ある集積回路（ＩＣ）８に照射される。
制御計算機１より加わるＥＢ（電子ビーム）パルス幅１
＋、ディレィ時間ｔ２を指示する信号に従ってＥＢブラ
ンカ６にブランキング信号を加える。ＥＢブランカ６は
図示しない電子銃より発射された電子ビームのＥＢブラ
ンカ６内の通過を前述したブランキング信号によって制
御するものである。すなわちブランキング信号によって
ＥＢはパルス化されＥＢパルスとなる。そしてそのＥＢ
パルスは図示しない電子レンズ等で収束し、被測定物で
ある集積回路（ＩＣ）８に照射される。
ＩＣ８は前述したＥＢパルスによって２次電子を発生す
る。その２次電子は２次電子検知器９で検知され、電圧
値に変換されて、ＡＤ変換回路ｌＯに加わる。ＡＤ変換
回路１０．加算平均回路２にはストロボユニット５より
発生するＥＢ発生信号ＥＢＳすなわち電子ビームがＩＣ
Ｂに照射されることを表すタイミング信号が加わってお
り、このＥＢ発生信号ＥＢＳに同期してＡＤ変換回路１
０は２次電子検知器９のアナログ電圧値をディジタル電
圧値に変換し、加算平均回路２に出力する。
る。その２次電子は２次電子検知器９で検知され、電圧
値に変換されて、ＡＤ変換回路ｌＯに加わる。ＡＤ変換
回路１０．加算平均回路２にはストロボユニット５より
発生するＥＢ発生信号ＥＢＳすなわち電子ビームがＩＣ
Ｂに照射されることを表すタイミング信号が加わってお
り、このＥＢ発生信号ＥＢＳに同期してＡＤ変換回路１
０は２次電子検知器９のアナログ電圧値をディジタル電
圧値に変換し、加算平均回路２に出力する。
加算平均回路２はＡＤ変換回路１０より加わるディジタ
ル値すなわち２次電子量に比例したディジタル値を加算
（累算）し加算した回数で割る（平均）処理を行う。加
算平均回路２には制御計算機１より加算回数Ｎを表すデ
ータが加わっており。
ル値すなわち２次電子量に比例したディジタル値を加算
（累算）し加算した回数で割る（平均）処理を行う。加
算平均回路２には制御計算機１より加算回数Ｎを表すデ
ータが加わっており。
加算平均回路２は入力データを加算するたびにその回数
を比較しており、一致した時には、平均加算処理を行っ
た後加算平均終了信号ＫＥＮを出力する。加算平均終了
信号ＫＥＮはユニット制御回路３に加わっており、ユニ
ット制御回路３はストロボユニット５に対し、ＥＢの送
出を停止する停止信号を出力する。この停止信号によっ
てストロボユニット５はＥＢブランカ６にブランカ電圧
（ＥＢを通過させない電圧）を加え、ＥＢの照射を停止
させる。加算平均回路２は加算平均終了信号ＫＥＮを出
力したとほぼ同時に加算平均値Ｓをフィードバック量演
算回路１１に出力し、フィードバック量演算回路１１は
制御計算機１より加わるスライスレベルＳＬと係数Δよ
り（ＳＬ−３）・Δを求め分析電圧決定回路にその演算
結果を出力する。さらに制御計算機１へもその演算結果
を出力する。
を比較しており、一致した時には、平均加算処理を行っ
た後加算平均終了信号ＫＥＮを出力する。加算平均終了
信号ＫＥＮはユニット制御回路３に加わっており、ユニ
ット制御回路３はストロボユニット５に対し、ＥＢの送
出を停止する停止信号を出力する。この停止信号によっ
てストロボユニット５はＥＢブランカ６にブランカ電圧
（ＥＢを通過させない電圧）を加え、ＥＢの照射を停止
させる。加算平均回路２は加算平均終了信号ＫＥＮを出
力したとほぼ同時に加算平均値Ｓをフィードバック量演
算回路１１に出力し、フィードバック量演算回路１１は
制御計算機１より加わるスライスレベルＳＬと係数Δよ
り（ＳＬ−３）・Δを求め分析電圧決定回路にその演算
結果を出力する。さらに制御計算機１へもその演算結果
を出力する。
分析電圧決定回路１２は前述した演算結果より。
ＤＡ変換器１６を介して分析器Ｂに加える電圧を演算し
対応するディジタル値をＤＡ変換回路１６に加える。Ｄ
Ａ変換回路１６は加わったディジクル値を対応するアナ
ログ電圧値に変換して１分析器Ｂに加える。
対応するディジタル値をＤＡ変換回路１６に加える。Ｄ
Ａ変換回路１６は加わったディジクル値を対応するアナ
ログ電圧値に変換して１分析器Ｂに加える。
制御計算機１にはフィードバック量演算回路１１より加
算平均回路２より得られた加算平均値Ｓが加わる様に構
成されており、制御計算機１は再度分析電圧を変化させ
て再測定を行うか否かの判別を行う。尚、この判別は加
算平均値Ｓが特定のレベル値になっているか否かの判別
である。特定のレベル値に加算平均値がなっていない時
には制御計算機１はスタート信号ＳＴを出力し、再度前
述した動作を繰り返す。
算平均回路２より得られた加算平均値Ｓが加わる様に構
成されており、制御計算機１は再度分析電圧を変化させ
て再測定を行うか否かの判別を行う。尚、この判別は加
算平均値Ｓが特定のレベル値になっているか否かの判別
である。特定のレベル値に加算平均値がなっていない時
には制御計算機１はスタート信号ＳＴを出力し、再度前
述した動作を繰り返す。
第４図は従来回路の分析電圧に対する２次電子信号量の
特性曲線図である。
特性曲線図である。
点Ｓｏは第１回目の測定における２次電子信号量Ｓであ
り、その時の分析電圧（Ｖ）は■Ｒｏである。点Ｓｏは
スライスレベルＳＬよりはるかに高いので、再度測定し
、Ｓ＋を求める。これも同様にスライスレベルＳＬより
はるかに高いので。
り、その時の分析電圧（Ｖ）は■Ｒｏである。点Ｓｏは
スライスレベルＳＬよりはるかに高いので、再度測定し
、Ｓ＋を求める。これも同様にスライスレベルＳＬより
はるかに高いので。
Ｖ、２なる分析電圧で再度測定を行う。この時の測定点
Ｓｏ、Ｓ＋に比べて点Ｓ２の値は低いので。
Ｓｏ、Ｓ＋に比べて点Ｓ２の値は低いので。
（ＳＬ−３） ・Δを演算してｖＲ３なる分析電圧で
再度行う。
再度行う。
この様に、順次繰り返すことにより、２次電子信号Ｓｒ
ｌの値は順次スライスレベルＳＬに近づき。
ｌの値は順次スライスレベルＳＬに近づき。
最終的にはほぼ、Ｓｏ’、ＳＬとなるので、この時の分
析電圧■。ｎより配線電圧の電圧値に換算してその電圧
値を求めることが出来る。
析電圧■。ｎより配線電圧の電圧値に換算してその電圧
値を求めることが出来る。
尚、被測定物すなわち第３図におけるＩＣ８はＩＣドラ
イバによって特定の周期で動作する様に構成されており
１周期クロックはこの特定周期の動作を表すクロックで
ある。よってディレィ時間ｔ２値を特定値にすることに
より、ＩＣ８の特定動作時の電圧が測定され、さらに加
算平均がなされて電圧測定が可能となるのである。
イバによって特定の周期で動作する様に構成されており
１周期クロックはこの特定周期の動作を表すクロックで
ある。よってディレィ時間ｔ２値を特定値にすることに
より、ＩＣ８の特定動作時の電圧が測定され、さらに加
算平均がなされて電圧測定が可能となるのである。
特定のスライスレベルＳＬに２次電子信号量Ｓが近ずい
た時あるいは超えた時に２分析電圧より被測定物の電圧
を求める。従来、ＥＢパルスの幅が狭い時には第５図に
示すように信号レベルが低い為に、ノイズを伴った２次
電子信号Ｙとなり。
た時あるいは超えた時に２分析電圧より被測定物の電圧
を求める。従来、ＥＢパルスの幅が狭い時には第５図に
示すように信号レベルが低い為に、ノイズを伴った２次
電子信号Ｙとなり。
例えばスライスレベルＳＬに２次電子信号の電圧が全く
等しくなっても、当然ながら、その雑音による誤差Ｘを
有していた。
等しくなっても、当然ながら、その雑音による誤差Ｘを
有していた。
本発明は前記問題点を解決するものであり、その特徴と
するところは、電子ビームの照射によって発生する２次
電子を検出する２次電子検出手段より出力される２次電
子検出電圧が一定となる様に分析器に加える分析電圧を
分析電圧制御手段によって制御して、前記分析電圧より
被測定物の電圧を測定する電子ビーム装置において、前
記２次電子検出手段の２次電子検出信号が特定の電圧値
となった時より前記分析電圧を特定回数加算して平均を
求める加算平均回路を有することにある。
するところは、電子ビームの照射によって発生する２次
電子を検出する２次電子検出手段より出力される２次電
子検出電圧が一定となる様に分析器に加える分析電圧を
分析電圧制御手段によって制御して、前記分析電圧より
被測定物の電圧を測定する電子ビーム装置において、前
記２次電子検出手段の２次電子検出信号が特定の電圧値
となった時より前記分析電圧を特定回数加算して平均を
求める加算平均回路を有することにある。
そして、その作用は２次電子検出手段より出力される２
次電子検出電圧が特定の値となる様に分析器に加える分
析電圧の値を変化させ、特定の値となった時より加算平
均回路２でそれ以後の複数回のデータの平均を求める。
次電子検出電圧が特定の値となる様に分析器に加える分
析電圧の値を変化させ、特定の値となった時より加算平
均回路２でそれ以後の複数回のデータの平均を求める。
以下１図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の実施例の回路構成図である。
尚、第３図に示した従来方式の回路構成図と同一のもの
は同一記号を付して説明を略す。制御計算機１′より出
力されるスタートクロツタＳＣはフリップフロップ１３
に加わり、フリップフロップ１３をセットする。このセ
ントによってフリップフロップ１３はスタート信号ＳＴ
を出力する。このスタート信号によって第３図の従来方
式の回路構成図で説明した様にＩＣドライバ４より出力
される周期クロックに対応してユニット制御回路２を介
してストロボユニット５に周期クロックＣＬＫが加わり
８ストロボユニツト５はパルス幅ｔｌ。
は同一記号を付して説明を略す。制御計算機１′より出
力されるスタートクロツタＳＣはフリップフロップ１３
に加わり、フリップフロップ１３をセットする。このセ
ントによってフリップフロップ１３はスタート信号ＳＴ
を出力する。このスタート信号によって第３図の従来方
式の回路構成図で説明した様にＩＣドライバ４より出力
される周期クロックに対応してユニット制御回路２を介
してストロボユニット５に周期クロックＣＬＫが加わり
８ストロボユニツト５はパルス幅ｔｌ。
ディレィ時間ｔ２に対応したブランキング信号を出力す
る。モしてＥＢパルスが試料であるＩＣ８に照射されて
、２次電子が発生し、２次電子検知器で検知される。ス
トロボユニット５よりＥＢ発生信号ＥＢＳがＡＤ変換回
路１０．加算平均回路２に加わっており、２次電子検知
器の出力電圧はディジタルデータに変換されて加算平均
回路２で加算され、平均値が求められる。制御計算機１
′より出力される加算回数Ｎだけ加算平均がなされると
、加算平均回路２は加算平均終了信号ＫＥＮを加算平均
回路１４．ユニット制御回路３．フリップフロップ１３
に出力する。従来回路においてはこの信号はユニット制
御回路３にしか加わっていないが１本発明の実施例にお
いてはフリップフロップ１３と加算平均回路１４に加わ
る構成となっている。尚２図中＊１．＊２．＊３はそれ
ぞれ接続されていることを表す接続記号である。フリッ
プフロップ１３は加算平均終了信号ＫＥＮと加算平均回
路１４より出力される終了フラグのＥＦが共に加わる（
例えばＨレベル）時にのみスタート信号ＳＴの出力を停
止２例えばＬレベルとするので、加算平均回路２にはス
タート信号ＳＴが常に加わることとなり、加算平均終了
信号ＫＥＮは出力されず、前述した動作を繰り返す。
る。モしてＥＢパルスが試料であるＩＣ８に照射されて
、２次電子が発生し、２次電子検知器で検知される。ス
トロボユニット５よりＥＢ発生信号ＥＢＳがＡＤ変換回
路１０．加算平均回路２に加わっており、２次電子検知
器の出力電圧はディジタルデータに変換されて加算平均
回路２で加算され、平均値が求められる。制御計算機１
′より出力される加算回数Ｎだけ加算平均がなされると
、加算平均回路２は加算平均終了信号ＫＥＮを加算平均
回路１４．ユニット制御回路３．フリップフロップ１３
に出力する。従来回路においてはこの信号はユニット制
御回路３にしか加わっていないが１本発明の実施例にお
いてはフリップフロップ１３と加算平均回路１４に加わ
る構成となっている。尚２図中＊１．＊２．＊３はそれ
ぞれ接続されていることを表す接続記号である。フリッ
プフロップ１３は加算平均終了信号ＫＥＮと加算平均回
路１４より出力される終了フラグのＥＦが共に加わる（
例えばＨレベル）時にのみスタート信号ＳＴの出力を停
止２例えばＬレベルとするので、加算平均回路２にはス
タート信号ＳＴが常に加わることとなり、加算平均終了
信号ＫＥＮは出力されず、前述した動作を繰り返す。
一方、加算平均回路２は制御計算機１′より加わる加算
回数Ｎに対応して、加算平均を行って加算平均値Ｓフィ
ードバック演算回路１１に加える。
回数Ｎに対応して、加算平均を行って加算平均値Ｓフィ
ードバック演算回路１１に加える。
フィードバック量演算回路１１は前述した従来回路と同
じであり、制御計算ｔ１８１１’より加わるスライスレ
ベルＳＬ、並びに収束係数Δと加算平均結果Ｓより（Ｓ
Ｌ−３）Δを求め２分析電圧決定回路１２′に出力する
０分析電圧決定回路１２′は前述した加算平均値Ｓとス
ライスレベルＳＬ、並びに収束係数Δによって得られた
変化分より分析電圧に印加すべき電圧値のディジタル値
を決定し。
じであり、制御計算ｔ１８１１’より加わるスライスレ
ベルＳＬ、並びに収束係数Δと加算平均結果Ｓより（Ｓ
Ｌ−３）Δを求め２分析電圧決定回路１２′に出力する
０分析電圧決定回路１２′は前述した加算平均値Ｓとス
ライスレベルＳＬ、並びに収束係数Δによって得られた
変化分より分析電圧に印加すべき電圧値のディジタル値
を決定し。
ＤＡ変換回路１６に出力する。そしてそのディジタル値
はＤＡ変換回路１６でアナログ電圧値に変換されて分析
器Ｂに分析電圧として印加される。
はＤＡ変換回路１６でアナログ電圧値に変換されて分析
器Ｂに分析電圧として印加される。
前述した様に加算平均回路２は常に動作しているので、
加算回数行った後に分析電圧が変化して電圧測定動作が
連続的になされる。
加算回数行った後に分析電圧が変化して電圧測定動作が
連続的になされる。
一方、フィードバック量演算回路１１は分析電圧決定回
路１２′の他に加算スタート判定回路１５にも（ＳＬ−
３）Δ値を出力する。前述したように分析電圧を変化さ
せて、特定のスライスレベルＳＬに近づく様に測定を順
次繰り返しているので、複数回の測定がなされると、ス
ライスレベルＳＬにほぼ等しい加算平均値Ｓが加算平均
回路２より出力されるので、当然ながら（ＳＬ−３）値
はほぼ零に近い値となる。加算スタート判定回路１５は
制御計算機１′より加わる判定量Ｚと前述した（ＳＬ−
３）Δ値とを比較し１判定１ｚの範囲に（ＳＬ−Ｓ）Δ
値が入っている時には加算平均回路１４に対し加算平均
スタート信号を出力する。これにより９分析電圧決定回
路１２′より加わる分析電圧値を加算平均回路１４は制
御計算ｆｉｌ’より加わる加算因数Ｍ分加算し、因数分
の加算が終了すると平均値ＤＡＴＡを制御計算機１′に
出力するともに終了フラグＩＥＦをフリップフロップ１
３に出力する。フリップフロップ１３には前述した様に
加算平均回路２より出力される加算平均終了信号ＫＥＮ
と加算平均回路１４の終了フラグＥＦが加わっており、
この２個の信号が加わる（Ｈレベルとなって）ことによ
ってフリップフロップはりセントされるので、スタート
信号ＳＴは出力されなくなり、測定が終了する。尚、ス
タートクロックＳＣは加算平均回路１４と加算スタート
判定回路１５に加わっているがこれは、それぞれの回路
を動作させる為の駆動信号である。
路１２′の他に加算スタート判定回路１５にも（ＳＬ−
３）Δ値を出力する。前述したように分析電圧を変化さ
せて、特定のスライスレベルＳＬに近づく様に測定を順
次繰り返しているので、複数回の測定がなされると、ス
ライスレベルＳＬにほぼ等しい加算平均値Ｓが加算平均
回路２より出力されるので、当然ながら（ＳＬ−３）値
はほぼ零に近い値となる。加算スタート判定回路１５は
制御計算機１′より加わる判定量Ｚと前述した（ＳＬ−
３）Δ値とを比較し１判定１ｚの範囲に（ＳＬ−Ｓ）Δ
値が入っている時には加算平均回路１４に対し加算平均
スタート信号を出力する。これにより９分析電圧決定回
路１２′より加わる分析電圧値を加算平均回路１４は制
御計算ｆｉｌ’より加わる加算因数Ｍ分加算し、因数分
の加算が終了すると平均値ＤＡＴＡを制御計算機１′に
出力するともに終了フラグＩＥＦをフリップフロップ１
３に出力する。フリップフロップ１３には前述した様に
加算平均回路２より出力される加算平均終了信号ＫＥＮ
と加算平均回路１４の終了フラグＥＦが加わっており、
この２個の信号が加わる（Ｈレベルとなって）ことによ
ってフリップフロップはりセントされるので、スタート
信号ＳＴは出力されなくなり、測定が終了する。尚、ス
タートクロックＳＣは加算平均回路１４と加算スタート
判定回路１５に加わっているがこれは、それぞれの回路
を動作させる為の駆動信号である。
以上の動作により、特定のスライスレベル値となった後
に、常にフィードバックがかけられて制御されている分
析器の電圧値を加算平均するので。
に、常にフィードバックがかけられて制御されている分
析器の電圧値を加算平均するので。
小さい信号によるＳＮの低下があっても精度よく被測定
物（ＩＣ８）のたとえば配点電圧を測定することが出来
る。
物（ＩＣ８）のたとえば配点電圧を測定することが出来
る。
第２図は本発明の実施例における測定回数と分析電圧フ
ィードバック量９分析電圧との関係を表す特性図である
。横軸は測定回数即ち、加算平均回路２によって加算平
均された結果Ｓが出力された順番号（画用）を表し、縦
軸はフィードバック量演算回路１１によて演算された（
ＳＬ−Ｓ）Δ値とその結果によって分析電圧決定回路１
２′より出力された分析電圧を表している。
ィードバック量９分析電圧との関係を表す特性図である
。横軸は測定回数即ち、加算平均回路２によって加算平
均された結果Ｓが出力された順番号（画用）を表し、縦
軸はフィードバック量演算回路１１によて演算された（
ＳＬ−Ｓ）Δ値とその結果によって分析電圧決定回路１
２′より出力された分析電圧を表している。
１回目の測定より順次分析電圧フィードバックの量は低
下し、同様に分析電圧も低下している。
下し、同様に分析電圧も低下している。
そして３回目の測定における分析フィードバック量が判
定量以下となっており、この３回目の次より２分析電圧
決定回路１２′より出力される分析電圧が加算平均回路
１４で平均される。
定量以下となっており、この３回目の次より２分析電圧
決定回路１２′より出力される分析電圧が加算平均回路
１４で平均される。
たとえば加算平均開始点Ｐより、加算が開始されるが、
この時に雑音の影響で誤差が発生してもスライスレベル
に一致した分析電圧値を中心にして変化しているので、
たとえば１０回の平均はほぼスライスレベルに一致した
正しい分析電圧を求めることができる。
この時に雑音の影響で誤差が発生してもスライスレベル
に一致した分析電圧値を中心にして変化しているので、
たとえば１０回の平均はほぼスライスレベルに一致した
正しい分析電圧を求めることができる。
以上、述べた様に本発明は分析電圧がスライスレベルに
一致した点より複数回測定し、その平均値を求めている
ので、雑音等による誤差の発生が少なく１本発明によれ
ば雑音に強く、高精度の測定が可能な電子ビーム装置を
得ることができる。
一致した点より複数回測定し、その平均値を求めている
ので、雑音等による誤差の発生が少なく１本発明によれ
ば雑音に強く、高精度の測定が可能な電子ビーム装置を
得ることができる。
第１図は本発明の実施例の回路構成図。
第２図は本発明の実施例における分析電圧フィードバッ
ク量と分析電圧の特性図。 第３図は従来方式の回路構成図。 第４図は分析電圧に対する２次電子信号量の特性曲線図
。 第５図はノイズを伴った２次電子信号Ｙの特性曲線図で
ある。 ２．１４・・・加算平均回路。 １３・・・フリップフロップ。 １５・・・加算スタート判定回路。 鮒咽λ１ＥスートＩでツク１［ 第２図
ク量と分析電圧の特性図。 第３図は従来方式の回路構成図。 第４図は分析電圧に対する２次電子信号量の特性曲線図
。 第５図はノイズを伴った２次電子信号Ｙの特性曲線図で
ある。 ２．１４・・・加算平均回路。 １３・・・フリップフロップ。 １５・・・加算スタート判定回路。 鮒咽λ１ＥスートＩでツク１［ 第２図
Claims (2)
- （１）電子ビームの照射によって発生する２次電子を検
出する２次電子検出手段より出力される２次電子検出電
圧が一定となる様に分析器に加える分析電圧を分析電圧
制御手段によって制御して、前記分析電圧より被測定物
の電圧を測定する電子ビーム装置において、 前記２次電子検出手段の２次電子検出信号が特定の電圧
値となった時より前記分析電圧を特定回数加算して平均
を求める加算平均回路を有することを特徴とした電子ビ
ーム装置。 - （２）フィードバック量演算回路の出力所定範囲に入っ
たことを判定する加算スタート判定回路と、この出力が
オンとなってから分析電圧決定回路の出力の加算平均処
理を行う回路とよりなり、この加算平均処理回路の出力
から配線電圧を測定することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60208226A JPS6267831A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60208226A JPS6267831A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 電子ビ−ム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6267831A true JPS6267831A (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=16552749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60208226A Pending JPS6267831A (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 | 電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6267831A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006123846A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | トランスミッションの遠隔操作装置 |
| US8857287B2 (en) | 2011-05-17 | 2014-10-14 | Delta Kogyo Co., Ltd. | Vehicle shifter |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP60208226A patent/JPS6267831A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006123846A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | トランスミッションの遠隔操作装置 |
| US8857287B2 (en) | 2011-05-17 | 2014-10-14 | Delta Kogyo Co., Ltd. | Vehicle shifter |
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