JPS6270732A - 純水中の不純物測定装置 - Google Patents
純水中の不純物測定装置Info
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- JPS6270732A JPS6270732A JP60211573A JP21157385A JPS6270732A JP S6270732 A JPS6270732 A JP S6270732A JP 60211573 A JP60211573 A JP 60211573A JP 21157385 A JP21157385 A JP 21157385A JP S6270732 A JPS6270732 A JP S6270732A
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- Japan
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- pure water
- flow rate
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N2015/0662—Comparing before/after passage through filter
-
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T436/00—Chemistry: analytical and immunological testing
- Y10T436/11—Automated chemical analysis
- Y10T436/117497—Automated chemical analysis with a continuously flowing sample or carrier stream
- Y10T436/118339—Automated chemical analysis with a continuously flowing sample or carrier stream with formation of a segmented stream
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、純水中の不純物測定装置に関し、特に、純
水をフィルタに透過させ、その透過する流量を経時的に
追及することにより純水中の不純物レベルを測定するよ
うな装置に関する。
水をフィルタに透過させ、その透過する流量を経時的に
追及することにより純水中の不純物レベルを測定するよ
うな装置に関する。
［従来の技術］
従来、純水を評価する方法として、孔径０．２μ−のフ
ィルタに純水を濾過させフィルタ上の微粒子を１２察す
る直接検鏡法や、孔径０．４５μ−のフィルタに一定圧
力で一定量の純水を通過させその通過時間を測定するＦ
Ｉ値法などがある。
ィルタに純水を濾過させフィルタ上の微粒子を１２察す
る直接検鏡法や、孔径０．４５μ−のフィルタに一定圧
力で一定量の純水を通過させその通過時間を測定するＦ
Ｉ値法などがある。
［発明が解決しようとする問題点］
しかし、上述のような直接検鏡法においては０゜２μｍ
以上の微粒子しか測定できず、また測定に多大な労力、
熟練を要するという問題点があった。
以上の微粒子しか測定できず、また測定に多大な労力、
熟練を要するという問題点があった。
また、ＦＩ値法においては、濾過時間の問題から孔径０
．４５μ１以上のフィルタしか用いられないという問題
点があった。ざらに、上記いずれの方法も、純水を使用
する現場では測定できないという問題点があった。
．４５μ１以上のフィルタしか用いられないという問題
点があった。ざらに、上記いずれの方法も、純水を使用
する現場では測定できないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、純水を使用する現場において極めて簡便に純
水中の不純物の評価が行なえ、また不純物のレベルがど
のような純水であろうと水質評価が行なえるような純水
中の不純物測定装置を提供することを目的とする。
たもので、純水を使用する現場において極めて簡便に純
水中の不純物の評価が行なえ、また不純物のレベルがど
のような純水であろうと水質評価が行なえるような純水
中の不純物測定装置を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明にかかる純水中の不純物測定装置は、サンプリ
ング管によって導かれた純水を２つの経路に分岐し、そ
れぞれの経路に流れる純水を別々のフィルタ中を透過さ
せ、各フィルタを透過した純水の流量を検出し、さらに
一方のフィルタを透過する純水の流量の経時変化と他方
のフィルタを透過する純水の流量の経時変化との相対比
を演算するようにしたものである。
ング管によって導かれた純水を２つの経路に分岐し、そ
れぞれの経路に流れる純水を別々のフィルタ中を透過さ
せ、各フィルタを透過した純水の流量を検出し、さらに
一方のフィルタを透過する純水の流量の経時変化と他方
のフィルタを透過する純水の流量の経時変化との相対比
を演算するようにしたものである。
［作用］
純水中に不純物かれあればフィルタ上に捕獲されて目詰
まりを生ずるので、フィルタを透過する純水の流ｌは時
間とともに少なくなる。これに着目し、この発明におけ
る演算手段は、一方のフィルタを透過する流量の経時変
化と他方のフィルタを透過する純水の流量の経時変化と
の相対比を演算することにより、純水中の不純物を間接
的に測定する。
まりを生ずるので、フィルタを透過する純水の流ｌは時
間とともに少なくなる。これに着目し、この発明におけ
る演算手段は、一方のフィルタを透過する流量の経時変
化と他方のフィルタを透過する純水の流量の経時変化と
の相対比を演算することにより、純水中の不純物を間接
的に測定する。
［実施例］
第１図はこの発明の一実旅例の概略構成を示す図である
。図において、純水配管１にはサンプリング管２が連結
される。サンプリング管２は純水配管１を流れる純水の
一部を不純物測定装置に導くためのものである。サンプ
リング管２の途中にはマニュアル弁３がＨ４ブられる。
。図において、純水配管１にはサンプリング管２が連結
される。サンプリング管２は純水配管１を流れる純水の
一部を不純物測定装置に導くためのものである。サンプ
リング管２の途中にはマニュアル弁３がＨ４ブられる。
このマニュアル弁３は手ｍｉｌ′ｍ作によって開閉でき
るものである。
るものである。
また、サンプリング管２にはジヨイント４によって分岐
管５が連結される。この分岐管５はサンプリング管２を
流れる純水を２つの経路に分岐するためのものである。
管５が連結される。この分岐管５はサンプリング管２を
流れる純水を２つの経路に分岐するためのものである。
分岐管５の一方の経路にはマニュアル弁６ａが設けられ
、他方の経路にはマニュアル弁６ｂが設けられる。これ
らマニュアル弁６ａ１５よび６ｂは、前述のマニュアル
弁３と同様に、手動操作によって開閉が行なえるもので
ある。
、他方の経路にはマニュアル弁６ｂが設けられる。これ
らマニュアル弁６ａ１５よび６ｂは、前述のマニュアル
弁３と同様に、手動操作によって開閉が行なえるもので
ある。
さらに、分岐管５の一方の経路には１対のジヨイント７
ａによって第１のフィルタ部が連結され、他方の経路に
は１対のジヨイント７ｂによって第２のフィルタ部が連
結される。第１のフィルタ部はフィルタホルダ８ａとフ
ィルタ９ａとを含む。
ａによって第１のフィルタ部が連結され、他方の経路に
は１対のジヨイント７ｂによって第２のフィルタ部が連
結される。第１のフィルタ部はフィルタホルダ８ａとフ
ィルタ９ａとを含む。
第２のフィルタ部はフィルタホルダ８ｂとフィルタ９ｂ
とを含む。各フィルタホルダ８ａおよび８ｂは、それぞ
れ、フィルタ９ａおよび９ｂを着脱自在に保持するため
のものである。フィルタ９ａおよび９ｂはたとえばメン
ブレンフィルタが用いられる。また、それぞれのフィル
タ９ａおよび９ｂには無数の小さな孔が形成されている
が、それぞれのフィルタの孔径は異なる値に選ばれてい
る。
とを含む。各フィルタホルダ８ａおよび８ｂは、それぞ
れ、フィルタ９ａおよび９ｂを着脱自在に保持するため
のものである。フィルタ９ａおよび９ｂはたとえばメン
ブレンフィルタが用いられる。また、それぞれのフィル
タ９ａおよび９ｂには無数の小さな孔が形成されている
が、それぞれのフィルタの孔径は異なる値に選ばれてい
る。
たとえば、フィルタ９ａの孔径は０．１μに選ばれ、フ
ィルタ９ｂの孔径は１．０μに選ばれている。フィルタ
９ａを透過した純水は流量計１０８に導かれ、その流量
が計測される。また、フィルタ９ｂを透過した純水は流
量計１０ｂに導かれその流量が測定される。流量計１０
８および１０ｂの測定結果は、演算回路１１に与えられ
る。この演算回路１１は、流量計１０８によって測定さ
れた流量の経時変化と流量計１０ｂによって測定された
流量の経時変化との相対比を演算するためのものである
。
ィルタ９ｂの孔径は１．０μに選ばれている。フィルタ
９ａを透過した純水は流量計１０８に導かれ、その流量
が計測される。また、フィルタ９ｂを透過した純水は流
量計１０ｂに導かれその流量が測定される。流量計１０
８および１０ｂの測定結果は、演算回路１１に与えられ
る。この演算回路１１は、流量計１０８によって測定さ
れた流量の経時変化と流量計１０ｂによって測定された
流量の経時変化との相対比を演算するためのものである
。
次に、上記実施例の作用ないし動作について説明する。
まず、フィルタホルダ８ａにフィルタ９ａを装着し、フ
ィルタホルダ８ｂにフィルタ９ｂを装着する。次に、ジ
ヨイント７ａにより第１のフィルタ部を分岐管５の一方
側の経路に連結し、ジヨイント７ｂにより第２のフィル
タ部を分岐管５の第２の経路に連結する。次に、マニュ
アル弁３．６ａ、５ｂを徐々に開放し、サンプリング管
２および分岐管５を流れる純水の流量を適切な値に調節
する。
ィルタホルダ８ｂにフィルタ９ｂを装着する。次に、ジ
ヨイント７ａにより第１のフィルタ部を分岐管５の一方
側の経路に連結し、ジヨイント７ｂにより第２のフィル
タ部を分岐管５の第２の経路に連結する。次に、マニュ
アル弁３．６ａ、５ｂを徐々に開放し、サンプリング管
２および分岐管５を流れる純水の流量を適切な値に調節
する。
ここで、初期状態において流量計１０ａで測定される純
水の流量をＱ、とし、流量計１０１）で測定される純水
の流量を０２とする。また、各々の時間で流量計１０ａ
８よび１０ｂによって連続的に測定される純水の流量を
、それぞれ、Ｑ＋ｒおよびＱ２Ｔとする。これらのデー
タは演算回路１１によって以下のように処理される。′
ｆなわち、演算回路１１は、（Ｑ、ｔ ／Ｑ＋ Ｔ ）
／ （Ｑ２ ／’Ｑ、）の値を演算する。この演算値は
、フィルタ９ａを透過する純水の流量の経時変化とフィ
ルタ９ｂを透過する純水の流量の経時変化との相対比で
ある。初期状態においては、Ｑ ＋ −〇 Ｉ Ｔであ
り、かつＱ２−Ｑ２Ｔであるので、演算回路１１の演算
値は１となる。しかし、純水中の不純物がフィルタ９ａ
、９ｂに捕獲されているうちに、各フィルタを透過す
る純水の流量が減少するので、演算回路１１の演算値は
徐々に１より小さい値に移行する。したがって、演算回
路１１によって演算された相対比の値がすなわち、純水
中の不純物量の値を表わすこととなり、この相対比の値
を調べることにより純水中の不純物レベルの評価が行な
える。
水の流量をＱ、とし、流量計１０１）で測定される純水
の流量を０２とする。また、各々の時間で流量計１０ａ
８よび１０ｂによって連続的に測定される純水の流量を
、それぞれ、Ｑ＋ｒおよびＱ２Ｔとする。これらのデー
タは演算回路１１によって以下のように処理される。′
ｆなわち、演算回路１１は、（Ｑ、ｔ ／Ｑ＋ Ｔ ）
／ （Ｑ２ ／’Ｑ、）の値を演算する。この演算値は
、フィルタ９ａを透過する純水の流量の経時変化とフィ
ルタ９ｂを透過する純水の流量の経時変化との相対比で
ある。初期状態においては、Ｑ ＋ −〇 Ｉ Ｔであ
り、かつＱ２−Ｑ２Ｔであるので、演算回路１１の演算
値は１となる。しかし、純水中の不純物がフィルタ９ａ
、９ｂに捕獲されているうちに、各フィルタを透過す
る純水の流量が減少するので、演算回路１１の演算値は
徐々に１より小さい値に移行する。したがって、演算回
路１１によって演算された相対比の値がすなわち、純水
中の不純物量の値を表わすこととなり、この相対比の値
を調べることにより純水中の不純物レベルの評価が行な
える。
演算回路１１の出力は種々の利用が可能である。
たとえば、ＸＹプロッタ等によってチャート上にブロン
Ｉ〜するようにしてもよいし、またフロッピィディスク
やカセットテープ等の記録媒体に記録しておき、褒にコ
ンピュータでデータ解析を行なうようにしてもよい。
Ｉ〜するようにしてもよいし、またフロッピィディスク
やカセットテープ等の記録媒体に記録しておき、褒にコ
ンピュータでデータ解析を行なうようにしてもよい。
第２図は演算回路１１の出力をチル−１〜上にブロツｊ
〜シた場合の一例を示すグラフである。図示のごとく、
演算回路１１によって演算された相対比の値は、初期状
ｇＡ（ｔ＝ｏ）では１であるが、時間の経過どともに徐
々に１より小さい値になっていくのがわかる。ここで、
第２図では、水質の異なる純水（ハ）と（Ｂ）との２つ
の測定結果を示している。点線で示される純水（Ｂ）の
値は実線で示される純水（Ａ）の値よりも時間の経過と
ともに徐々に小ざくなっているので、純水（Ｂ）の水質
の方が純水＜Ａ）の純水の水質よりも悪いことになる。
〜シた場合の一例を示すグラフである。図示のごとく、
演算回路１１によって演算された相対比の値は、初期状
ｇＡ（ｔ＝ｏ）では１であるが、時間の経過どともに徐
々に１より小さい値になっていくのがわかる。ここで、
第２図では、水質の異なる純水（ハ）と（Ｂ）との２つ
の測定結果を示している。点線で示される純水（Ｂ）の
値は実線で示される純水（Ａ）の値よりも時間の経過と
ともに徐々に小ざくなっているので、純水（Ｂ）の水質
の方が純水＜Ａ）の純水の水質よりも悪いことになる。
なお、上記実施例の原理を応用した場合、基本的には１
つのフィルタを透過する純水の流量の経時変化を３１１
算することによっても純水中の不純物しノベルを測定す
ることが可能である。しかしながら、このような方法で
は、何らかの原因でサンプリング管２を流れる純水の流
量がＯになった場合、それ以梼の測定結果は無意味なも
のとなってしまう。これに対し、上記実施例では、サン
プリング管２を流れる純水を２つの経路に分岐し、それ
ぞれの経路にフィルタを設けてそれぞれのフィルタを透
過する純水の流量の経時変化の相対比を求めるようにし
ているので、たとえ純水の流量がＯになっても、そのと
きにおける測定結果が欠落するのみであり、それ以模に
再び純水が流れれば継続して不純物レベルの測定が行な
えるという利点がある。
つのフィルタを透過する純水の流量の経時変化を３１１
算することによっても純水中の不純物しノベルを測定す
ることが可能である。しかしながら、このような方法で
は、何らかの原因でサンプリング管２を流れる純水の流
量がＯになった場合、それ以梼の測定結果は無意味なも
のとなってしまう。これに対し、上記実施例では、サン
プリング管２を流れる純水を２つの経路に分岐し、それ
ぞれの経路にフィルタを設けてそれぞれのフィルタを透
過する純水の流量の経時変化の相対比を求めるようにし
ているので、たとえ純水の流量がＯになっても、そのと
きにおける測定結果が欠落するのみであり、それ以模に
再び純水が流れれば継続して不純物レベルの測定が行な
えるという利点がある。
また、上記の実施例によれば、フィルタ９ａおよび９ｂ
が詰まって（れば、ジヨイント７ａ゛および７ｂを外し
て新しいフィルタに交換ずれば、何魔でも使用すること
ができ連続モニタが可能となる。
が詰まって（れば、ジヨイント７ａ゛および７ｂを外し
て新しいフィルタに交換ずれば、何魔でも使用すること
ができ連続モニタが可能となる。
ざらに、純水の不純物レベルに応じてフィルタ９ａおよ
び９ｂの孔径をそれぞれ適宜の値に設定すれば、どのよ
うな不純物レベルを有する純水であろうと水質評価が行
なえる。
び９ｂの孔径をそれぞれ適宜の値に設定すれば、どのよ
うな不純物レベルを有する純水であろうと水質評価が行
なえる。
なお、上記実施例では、純水中の不純物レベルを測定す
るようにしているが、フィルタ９ａおよび９ｂに耐薬品
性を有するものを使用すれば、薬品等についての不純物
レベルの評価も行なえる。
るようにしているが、フィルタ９ａおよび９ｂに耐薬品
性を有するものを使用すれば、薬品等についての不純物
レベルの評価も行なえる。
Ｌ発明の９ｈ果］
以上のように、この発明によれば、純水中の不純物レベ
ルを純水を使用する現場において極めて簡単にかつ連続
的に測定できる。また、各フィルタの孔径を純水の水質
に応じて適宜の値に選ぶことにより、どのような水質の
純水であろうと不純物レベルの測定が可能となる。さら
に、フィルタを２つ設け、それぞれのフィルタを透過す
る純水の流量の経時変化の相対比を演算するようにして
いるので、たとえ測定途中で純水の流量がＯになっても
、再び純水が流れれば継続して不純物レベルの測定が行
なえる。
ルを純水を使用する現場において極めて簡単にかつ連続
的に測定できる。また、各フィルタの孔径を純水の水質
に応じて適宜の値に選ぶことにより、どのような水質の
純水であろうと不純物レベルの測定が可能となる。さら
に、フィルタを２つ設け、それぞれのフィルタを透過す
る純水の流量の経時変化の相対比を演算するようにして
いるので、たとえ測定途中で純水の流量がＯになっても
、再び純水が流れれば継続して不純物レベルの測定が行
なえる。
第１図はこの発明の一実施例の概略構成を示す因である
。第２図は水質の異なる純水を第１図の実施例で測定し
た結果の一例を示すグラフである。 図において、１は純水配管、２はサンプリング管、３．
６ａ 、６ｂはマニュアル弁、４．７ａ。 ７ｂはジヨイント、５は分岐管、８ａ、８ｂはフィルタ
ホルダ、９ａ、９ｂはフィルタ、１０ａ。 １０ｂは流量計、１１は演算回路を示す。
。第２図は水質の異なる純水を第１図の実施例で測定し
た結果の一例を示すグラフである。 図において、１は純水配管、２はサンプリング管、３．
６ａ 、６ｂはマニュアル弁、４．７ａ。 ７ｂはジヨイント、５は分岐管、８ａ、８ｂはフィルタ
ホルダ、９ａ、９ｂはフィルタ、１０ａ。 １０ｂは流量計、１１は演算回路を示す。
Claims (3)
- （１）純水中の不純物レベルを測定するための装置であ
って、 前記不純物レベルを測定すべき純水を導くためのサンプ
リング管、 前記サンプリング管に流れる純水を２つの経路に分岐さ
せるための分岐手段、 前記２つの経路のうち一方の経路を流れる純水を透過さ
せる第１のフィルタ、 前記第１のフィルタを透過した純水の流量を検出する第
１の流量検出手段、 前記２つの経路のうち他方の経路を流れる純水を透過さ
せる第２のフィルタ、 前記第２のフィルタを透過した純水の流量を検出する第
２の流量検出手段、および 前記第１の流量検出手段によって検出される純水の流量
の経時変化と、前記第２の流量検出手段によって検出さ
れる純水の流量の経時変化との相対比を演算する演算手
段を備える、純水中の不純物測定装置。 - （２）現時点で前記第１の流量検出手段によって検出さ
れた純水の流量と現時点で前記第２の流量検出手段によ
って検出された純水の流量との比を第１の比とし、測定
開始時に前記第１の流量検出手段によって検出された純
水の流量と測定開始時に前記第２の流量検出手段によっ
て検出された純水の流量との比を第２の比とすると、 前記演算手段は、前記第１の比と前記第２の比との相対
比を演算する手段を含む、特許請求の範囲第２項記載の
純水中の不純物測定装置。 - （３）前記第１のフィルタと第２のフィルタは、異なる
孔径のものが用いられる、特許請求の範囲第１項または
第２項記載の純水中の不純物測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211573A JPS6270732A (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | 純水中の不純物測定装置 |
| DE19863631766 DE3631766A1 (de) | 1985-09-24 | 1986-09-18 | Geraet zur bestimmung von verunreinigungen in einer fluessigkeit |
| US06/911,353 US4786473A (en) | 1985-09-24 | 1986-09-24 | Apparatus for measuring impurities in pure water |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211573A JPS6270732A (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | 純水中の不純物測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6270732A true JPS6270732A (ja) | 1987-04-01 |
| JPH0445102B2 JPH0445102B2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=16608007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60211573A Granted JPS6270732A (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | 純水中の不純物測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4786473A (ja) |
| JP (1) | JPS6270732A (ja) |
| DE (1) | DE3631766A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5239861A (en) * | 1988-12-23 | 1993-08-31 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Device for indicating contamination degree of hydraulic circuit and method of judging the contamination degree |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5095740A (en) * | 1987-12-31 | 1992-03-17 | Diagnetics, Inc. | System for monitoring and analyzing solid contaminents in fluids |
| US5253514A (en) * | 1991-12-02 | 1993-10-19 | Kaakinen John W | Water-borne particulate-measuring apparatus |
| DE9201438U1 (de) * | 1992-02-06 | 1993-06-09 | Vermögensverwaltungs-Kommanditgesellschaft Dr. Ing. Herbert Knauer & Co. GmbH & Cie., 1000 Berlin | Viskosimeter |
| DE4318525A1 (de) * | 1993-06-03 | 1994-12-08 | Siemens Ag | Probensammler zur Adsorption eines Stoffes |
| US5576482A (en) * | 1995-03-22 | 1996-11-19 | Telectro-Mek, Inc. | Particulate and free water contamination measuring apparatus |
| GB2315869B (en) * | 1996-07-29 | 2000-10-11 | Pall Corp | Evaluation of particulate contaminants |
| US6149801A (en) * | 1997-08-08 | 2000-11-21 | Water Pik, Inc,. | Water treatment device with volumetric monitoring features |
| US5935426A (en) | 1997-08-08 | 1999-08-10 | Teledyne Industries, Inc., A California Corporation | Water treatment device with volumetric and time monitoring features |
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| US20040194540A1 (en) * | 2003-04-01 | 2004-10-07 | Klaus Wangermann | Method and device for monitoring the dispersibility of solid formulations |
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