JPH0471455B2 - - Google Patents
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- JPH0471455B2 JPH0471455B2 JP61291314A JP29131486A JPH0471455B2 JP H0471455 B2 JPH0471455 B2 JP H0471455B2 JP 61291314 A JP61291314 A JP 61291314A JP 29131486 A JP29131486 A JP 29131486A JP H0471455 B2 JPH0471455 B2 JP H0471455B2
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 53
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 42
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 38
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 22
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体製造におけるウエハー
洗浄工程等において用いられる超純水とか、クリ
ーンルームにおける清浄空気とか、あるいは、高
純度試薬などの流体中に含まれる微粒子の粒径お
よび個数（粒子数濃度）を測定するための微粒子
カウンター、更に詳しくは、検出セルに対して照
射された光線の散乱光を検出することにより、そ
の検出セル内を通過流動する試料流体に含まれる
微粒子の粒径および個数を測定するように構成さ
れた所謂光散乱法による微粒子カウンターに関す
る。
洗浄工程等において用いられる超純水とか、クリ
ーンルームにおける清浄空気とか、あるいは、高
純度試薬などの流体中に含まれる微粒子の粒径お
よび個数（粒子数濃度）を測定するための微粒子
カウンター、更に詳しくは、検出セルに対して照
射された光線の散乱光を検出することにより、そ
の検出セル内を通過流動する試料流体に含まれる
微粒子の粒径および個数を測定するように構成さ
れた所謂光散乱法による微粒子カウンターに関す
る。
従来のこの種の微粒子カウンターにおいては、
第３図に例示しているように、試料流体が通過流
動する検出セルＣと、その検出セルＣに対して光
線Ｒ（例えばHe−Neレーザー）を照射する光源
Ｌと、その照射光線Ｒの散乱光ｒを検出する検出
器Ｄと、その検出器Ｄによる光検出結果（パルス
波高およびパルス数）に基いて前記検出セルＣ内
を通過流動する試料流体に含まれる微粒子の粒径
および個数（粒子数濃度）を測定する信号処理回
路Ｓ等を設けて、光散乱法を用いて試料流体中の
微粒子の粒径および粒子数濃度の検出を行う測定
部Ｘが構成されると共に、入口Ｅから導入される
試料流体が、所定の値に固定的に設定された一定
流速で（一定流量ずつ）前記検出セルＣ内を通過
流動して、出口Ｏから排出されるように、前記検
出セルＣの下流側に定圧弁VVおよび流量計Ｑを
設けて試料流体流路Ｙが構成されていた。
第３図に例示しているように、試料流体が通過流
動する検出セルＣと、その検出セルＣに対して光
線Ｒ（例えばHe−Neレーザー）を照射する光源
Ｌと、その照射光線Ｒの散乱光ｒを検出する検出
器Ｄと、その検出器Ｄによる光検出結果（パルス
波高およびパルス数）に基いて前記検出セルＣ内
を通過流動する試料流体に含まれる微粒子の粒径
および個数（粒子数濃度）を測定する信号処理回
路Ｓ等を設けて、光散乱法を用いて試料流体中の
微粒子の粒径および粒子数濃度の検出を行う測定
部Ｘが構成されると共に、入口Ｅから導入される
試料流体が、所定の値に固定的に設定された一定
流速で（一定流量ずつ）前記検出セルＣ内を通過
流動して、出口Ｏから排出されるように、前記検
出セルＣの下流側に定圧弁VVおよび流量計Ｑを
設けて試料流体流路Ｙが構成されていた。
この種の微粒子カウンターにおいては、できる
だけ小さな粒径の微粒子の粒子数濃度をできるだ
け短い時間で測定できること、つまり、短時間高
感度測定が理想とされることは言うまでもない。
だけ小さな粒径の微粒子の粒子数濃度をできるだ
け短い時間で測定できること、つまり、短時間高
感度測定が理想とされることは言うまでもない。
しかしながら、上記従来構成の微粒子カウンタ
ーにおいては、前述したように、検出セルＣ内を
通過流動する試料流体の流速を一定の値に固定的
に設定する構成とされていたために、その流速を
高く設定した場合には、測定時間を短くすること
はできるが測定感度が低くなつてしまい、一方、
その流速を低く設定した場合には、測定感度を高
くすることはできるが測定時間が長くかかつてし
まう、という二律背反的な問題があり、そのため
に、前記検出セルＣ内を通過流動する試料流体の
流速は、結局のところ、それほど高くも無く且つ
それほど低くも無い適当な（中途半端な）値に設
定せざるを得ず、従つて、高感度測定および短時
間測定という要求の何れをも充分には満足させる
ことができなかつた。
ーにおいては、前述したように、検出セルＣ内を
通過流動する試料流体の流速を一定の値に固定的
に設定する構成とされていたために、その流速を
高く設定した場合には、測定時間を短くすること
はできるが測定感度が低くなつてしまい、一方、
その流速を低く設定した場合には、測定感度を高
くすることはできるが測定時間が長くかかつてし
まう、という二律背反的な問題があり、そのため
に、前記検出セルＣ内を通過流動する試料流体の
流速は、結局のところ、それほど高くも無く且つ
それほど低くも無い適当な（中途半端な）値に設
定せざるを得ず、従つて、高感度測定および短時
間測定という要求の何れをも充分には満足させる
ことができなかつた。
しかるに、最近は、半導体素子の極端なマイク
ロ化等に伴つて、この種の微粒子カウンターの更
なる高感度化が強く要望されるに至つている。
ロ化等に伴つて、この種の微粒子カウンターの更
なる高感度化が強く要望されるに至つている。
そこで、照射光線Ｒの散乱光ｒを検出するため
の検出器Ｄの感度を相対的に高めるために、より
波長が短くて且つパワーが大きい照射光線Ｒ（例
えばArイオンレーザー）を用いるという手段が
考えられるが、その場合には、極めて高価な光源
Ｌを使用しなければならない、という欠点が生じ
る。
の検出器Ｄの感度を相対的に高めるために、より
波長が短くて且つパワーが大きい照射光線Ｒ（例
えばArイオンレーザー）を用いるという手段が
考えられるが、その場合には、極めて高価な光源
Ｌを使用しなければならない、という欠点が生じ
る。
本発明は、上記従来実情に鑑みてなされたもの
であつて、その目的は、比較的簡素で安価な構成
で済む手段を用いながら、実用上において測定時
間の問題を生じることが無く、しかも、必要に応
じて従来よりも格段に高感度の測定を容易に行う
ことができる微粒子カウンターを提供せんとする
ことにある。
であつて、その目的は、比較的簡素で安価な構成
で済む手段を用いながら、実用上において測定時
間の問題を生じることが無く、しかも、必要に応
じて従来よりも格段に高感度の測定を容易に行う
ことができる微粒子カウンターを提供せんとする
ことにある。
上記目的を達成するために、本発明による微粒
子カウンターは、冒頭に記載したような基本的構
成を有するものにおいて、前記検出セルを通過す
る試料流体の流速を変化させることにより、前記
微粒子の粒径測定レンジを切り換え可能に構成し
てある、という特徴を備えている。
子カウンターは、冒頭に記載したような基本的構
成を有するものにおいて、前記検出セルを通過す
る試料流体の流速を変化させることにより、前記
微粒子の粒径測定レンジを切り換え可能に構成し
てある、という特徴を備えている。
かかる特徴構成により発揮される作用は次の通
りである。
りである。
即ち、上記本発明による微粒子カウンターは、
例えば半導体製造において使用される超純水を試
料流体として測定を行う場合、測定開始後暫くの
過渡期間（試料流体供給後の立ち上がり時）に
は、その試料流体中に含まれる微粒子の粒径や微
粒子濃度が比較的大きく且つその状態が大幅に変
動するのが普通であるから、測定感度は比較的低
くても差支え無く、むしろ測定時間の短縮化が重
要であり、一方、試料流体供給開始からある程度
時間が経過して、その試料流体中に含まれる微粒
子の粒径や微粒子濃度が比較的小さくなると共に
その状態が大きく変化しなくなつた安定期間に
は、多少測定時間が長くかかつても差支え無い
が、できるだけ高い測定感度を得ることが極めて
重要となる、という実情に即した考察結果に鑑み
て開発されたものであつて、後述する実施例の記
載からもより一層明らかとなるように、検出セル
を通過する試料流体の流速を変化させ得るように
する、という非常に簡素で安価な構成で済む手段
を用いるだけでありながら、状況に応じて微粒子
の粒径測定レンジを大小に容易に且つ任意に切り
換え得て、非常に効率的で且つ的確な測定を行え
るようになつた。
例えば半導体製造において使用される超純水を試
料流体として測定を行う場合、測定開始後暫くの
過渡期間（試料流体供給後の立ち上がり時）に
は、その試料流体中に含まれる微粒子の粒径や微
粒子濃度が比較的大きく且つその状態が大幅に変
動するのが普通であるから、測定感度は比較的低
くても差支え無く、むしろ測定時間の短縮化が重
要であり、一方、試料流体供給開始からある程度
時間が経過して、その試料流体中に含まれる微粒
子の粒径や微粒子濃度が比較的小さくなると共に
その状態が大きく変化しなくなつた安定期間に
は、多少測定時間が長くかかつても差支え無い
が、できるだけ高い測定感度を得ることが極めて
重要となる、という実情に即した考察結果に鑑み
て開発されたものであつて、後述する実施例の記
載からもより一層明らかとなるように、検出セル
を通過する試料流体の流速を変化させ得るように
する、という非常に簡素で安価な構成で済む手段
を用いるだけでありながら、状況に応じて微粒子
の粒径測定レンジを大小に容易に且つ任意に切り
換え得て、非常に効率的で且つ的確な測定を行え
るようになつた。
つまり、測定感度が多少低くても実際上問題と
ならない測定開始後暫くの過渡期間（試料流体供
給後の立ち上がり時）には、検出セルを通過する
試料流体の流速を高く設定することによつて、非
常に短時間で所要の測定（大レンジ測定）を行う
ことができ、一方、測定時間が多少長くかかつて
も実際上問題とならない安定期間（試料流体供給
開始からある程度時間が経過した後）には、検出
セルを通過する試料流体の流速を低く設定するこ
とによつて、極めて高感度の測定（小レンジ測
定）を行うことができるのである。
ならない測定開始後暫くの過渡期間（試料流体供
給後の立ち上がり時）には、検出セルを通過する
試料流体の流速を高く設定することによつて、非
常に短時間で所要の測定（大レンジ測定）を行う
ことができ、一方、測定時間が多少長くかかつて
も実際上問題とならない安定期間（試料流体供給
開始からある程度時間が経過した後）には、検出
セルを通過する試料流体の流速を低く設定するこ
とによつて、極めて高感度の測定（小レンジ測
定）を行うことができるのである。
ちなみに、粒径が0.2μｍより小さい粒子からの
光の散乱はレーリー散乱領域と呼ばれ、その散乱
光の強度は粒径の略６乗に比例する。故に、粒径
が0.2μｍの粒子と0.1μｍの粒子とでは散乱光の強
度に64倍の開きがあり、これを同じＳ／Ｎ比とし
て得るためには照射光量を64の２乗倍（約4000
倍）に高める必要があり、現実的には極めて困難
であるのに対して、本発明による場合には、後記
する実施例中で詳細に説明しているように、検出
セルを通過する試料流体の流速に略逆比例した
Ｓ／Ｎ比が得られるため、実測によれば、試料流
体の流速を略1/32倍に低下させるという非常に容
易な手段によつて、測定粒子径を従前の1/2まで
向上させることができるようになつた。
光の散乱はレーリー散乱領域と呼ばれ、その散乱
光の強度は粒径の略６乗に比例する。故に、粒径
が0.2μｍの粒子と0.1μｍの粒子とでは散乱光の強
度に64倍の開きがあり、これを同じＳ／Ｎ比とし
て得るためには照射光量を64の２乗倍（約4000
倍）に高める必要があり、現実的には極めて困難
であるのに対して、本発明による場合には、後記
する実施例中で詳細に説明しているように、検出
セルを通過する試料流体の流速に略逆比例した
Ｓ／Ｎ比が得られるため、実測によれば、試料流
体の流速を略1/32倍に低下させるという非常に容
易な手段によつて、測定粒子径を従前の1/2まで
向上させることができるようになつた。
以下、本発明の具体的な一実施例を図面（第１
図および第２図）に基いて説明する。
図および第２図）に基いて説明する。
第１図は本発明に係る微粒子カウンターの全体
概略構成を示し、図において、Ｘは、光散乱法を
用いて微粒子の粒径および粒子数濃度の検出を行
うように構成された測定部であつて、試料流体が
通過流動する検出セルＣと、その検出セルＣに対
して光線Ｒ（例えばHe−Neレーザー）を照射す
る光源Ｌと、その照射光源Ｒの散乱光ｒを検出す
る検出器Ｄと、その検出器Ｄによる光検出結果
（パルス波高およびパルス数）に基いて前記検出
セルＣ内を通過流動する試料流体に含まれる微粒
子の粒径および個数（粒子数濃度）を測定する信
号処理回路Ｓ等から構成され、また、Ｙは前記測
定部Ｘにおける検出セルＣへ試料流体を通過流動
させるための試料流体流路であつて、次のように
構成されている。
概略構成を示し、図において、Ｘは、光散乱法を
用いて微粒子の粒径および粒子数濃度の検出を行
うように構成された測定部であつて、試料流体が
通過流動する検出セルＣと、その検出セルＣに対
して光線Ｒ（例えばHe−Neレーザー）を照射す
る光源Ｌと、その照射光源Ｒの散乱光ｒを検出す
る検出器Ｄと、その検出器Ｄによる光検出結果
（パルス波高およびパルス数）に基いて前記検出
セルＣ内を通過流動する試料流体に含まれる微粒
子の粒径および個数（粒子数濃度）を測定する信
号処理回路Ｓ等から構成され、また、Ｙは前記測
定部Ｘにおける検出セルＣへ試料流体を通過流動
させるための試料流体流路であつて、次のように
構成されている。
即ち、入口Ｅから導入された試料流体は、前記
検出セルＣおよびその検出セルＣを通過する試料
流体の流量を確認するための流量計Ｑを含むメイ
ン流路１（検出セルＣと流量計Ｑの接続順は図と
は逆でも可）と、前記メイン流路１への流量を微
調節するためのニードル弁VNを備えたバイパス
流路２とに分岐され、定流量弁VQの上流側にお
ける合流部３で合流した後、その定流量弁VQを
通過して出口Ｏから排出されるように構成されて
いる。そして、更に、前記定流量弁VQを通過す
る総流量を変化させること無く、前記検出セルＣ
を通過する試料流体の流量（つまり流速）を、複
数段（この例では大小２段）に、必要に応じて容
易に且つ任意に切り換えられるようにするため
に、次のような構成の流速切換手段Ｚが設けられ
ている。
検出セルＣおよびその検出セルＣを通過する試料
流体の流量を確認するための流量計Ｑを含むメイ
ン流路１（検出セルＣと流量計Ｑの接続順は図と
は逆でも可）と、前記メイン流路１への流量を微
調節するためのニードル弁VNを備えたバイパス
流路２とに分岐され、定流量弁VQの上流側にお
ける合流部３で合流した後、その定流量弁VQを
通過して出口Ｏから排出されるように構成されて
いる。そして、更に、前記定流量弁VQを通過す
る総流量を変化させること無く、前記検出セルＣ
を通過する試料流体の流量（つまり流速）を、複
数段（この例では大小２段）に、必要に応じて容
易に且つ任意に切り換えられるようにするため
に、次のような構成の流速切換手段Ｚが設けられ
ている。
この流速切換手段Ｚは、前記メイン流路１にお
ける検出セルＣおよび流量計Ｑの下流側に介装さ
れた流動抵抗の大きい第１キヤピラリーC1と、
同メイン流路１における前記第１キヤピラリー
C1の上流側から前記合流部３に至る分岐流路１
Ｂに介装され流動抵抗が第１キヤピラリーC1よ
りも大幅に小さい第２キヤピラリーC2と、前記
バイパス流路２におけるニードル弁VNの上流側
から前記合流部３に至る分岐流路２Ｂに介装され
流動抵抗が前記第２キヤピラリーC2と実質的
（分岐流路１Ｂおよび分岐流路２Ｂの流動抵抗を
含めてという意味）に同じ第３キヤピラリーC3
と、前記第２キヤピラリーC2を有する分岐流路
１Ｂと前記第３キヤピラリーC3を有する分岐流
路２Ｂとを択一的に開閉する３方切換弁Ｖとから
成り、その３方切換弁Ｖを切り換えることによ
り、前記定流量弁VQにより決定される一定の総
導入流量から前記ニードル弁VNを通過する一定
流量を差し引いた残りの一定流量の試料流体が、
前記第１キヤピラリーC1および第２キヤピラリ
ーC2を通過するように流動する状態〔即ち、前
記検出セルＣを通過する試料流体の流量（つまり
流速）を大きくする状態〕と、前記第１キヤピラ
リーC1および第３キヤピラリーC3を通過するよ
うに流動する状態〔即ち、前記検出セルＣを通過
する試料流体の流量（つまり流速）を小さくする
状態〕とに、容易かつ任意に切り換えられるよう
に構成されている。
ける検出セルＣおよび流量計Ｑの下流側に介装さ
れた流動抵抗の大きい第１キヤピラリーC1と、
同メイン流路１における前記第１キヤピラリー
C1の上流側から前記合流部３に至る分岐流路１
Ｂに介装され流動抵抗が第１キヤピラリーC1よ
りも大幅に小さい第２キヤピラリーC2と、前記
バイパス流路２におけるニードル弁VNの上流側
から前記合流部３に至る分岐流路２Ｂに介装され
流動抵抗が前記第２キヤピラリーC2と実質的
（分岐流路１Ｂおよび分岐流路２Ｂの流動抵抗を
含めてという意味）に同じ第３キヤピラリーC3
と、前記第２キヤピラリーC2を有する分岐流路
１Ｂと前記第３キヤピラリーC3を有する分岐流
路２Ｂとを択一的に開閉する３方切換弁Ｖとから
成り、その３方切換弁Ｖを切り換えることによ
り、前記定流量弁VQにより決定される一定の総
導入流量から前記ニードル弁VNを通過する一定
流量を差し引いた残りの一定流量の試料流体が、
前記第１キヤピラリーC1および第２キヤピラリ
ーC2を通過するように流動する状態〔即ち、前
記検出セルＣを通過する試料流体の流量（つまり
流速）を大きくする状態〕と、前記第１キヤピラ
リーC1および第３キヤピラリーC3を通過するよ
うに流動する状態〔即ち、前記検出セルＣを通過
する試料流体の流量（つまり流速）を小さくする
状態〕とに、容易かつ任意に切り換えられるよう
に構成されている。
第２図は、上記のように構成された微粒子カウ
ンターを用いて、前記検出セルＣを通過する試料
流体の流速ｖと所定流量（例えば１ml）の測定に
要する時間ｔとの関係を調べた結果、ならびに、
検出セルＣを通過する試料流体の流速ｖと検出器
Ｄからの相対出力ｈとの関係を種々の粒径ｄ（こ
の例では、0.500μｍ、0.212μｍ、0.109μｍ、
0.091μｍ）の微粒子について調べた結果を対数グ
ラフで表したものである。
ンターを用いて、前記検出セルＣを通過する試料
流体の流速ｖと所定流量（例えば１ml）の測定に
要する時間ｔとの関係を調べた結果、ならびに、
検出セルＣを通過する試料流体の流速ｖと検出器
Ｄからの相対出力ｈとの関係を種々の粒径ｄ（こ
の例では、0.500μｍ、0.212μｍ、0.109μｍ、
0.091μｍ）の微粒子について調べた結果を対数グ
ラフで表したものである。
即ち、二点鎖線で示す計測時間ラインＴから明
らかなように、所定流量の測定に要する時間ｔ
は、当然のことながら、検出セルＣを通過する試
料流体の流速ｖとは逆比例することが判り、ま
た、夫々の粒径ｄの微粒子についての相対出力ラ
インＨ…（夫々実線で示す）が全て前記計測時間
ラインＴに平行になつていることから、検出器Ｄ
からの相対出力ｈもまた、検出セルＣを通過する
試料流体の流速ｖとは逆比例していることが判
る。
らかなように、所定流量の測定に要する時間ｔ
は、当然のことながら、検出セルＣを通過する試
料流体の流速ｖとは逆比例することが判り、ま
た、夫々の粒径ｄの微粒子についての相対出力ラ
インＨ…（夫々実線で示す）が全て前記計測時間
ラインＴに平行になつていることから、検出器Ｄ
からの相対出力ｈもまた、検出セルＣを通過する
試料流体の流速ｖとは逆比例していることが判
る。
従つて、例えば測定感度を２倍に高めようとす
る場合には、検出器Ｄからの出力ｈが同じ大きさ
で粒径が1/2の微粒子を検出できるようにすれば
よいから、グラフ中点線で例示しているように、
検出セルＣを通過する試料流体の流速ｖを実質的
に1/32倍に低下させることによつて、粒径測定レ
ンジを切り換え得るように、前記流速切換手段Ｚ
における第１キヤピラリーC1、第２キヤピラリ
ーC2および第３キヤピラリーC3を選定すればよ
い。
る場合には、検出器Ｄからの出力ｈが同じ大きさ
で粒径が1/2の微粒子を検出できるようにすれば
よいから、グラフ中点線で例示しているように、
検出セルＣを通過する試料流体の流速ｖを実質的
に1/32倍に低下させることによつて、粒径測定レ
ンジを切り換え得るように、前記流速切換手段Ｚ
における第１キヤピラリーC1、第２キヤピラリ
ーC2および第３キヤピラリーC3を選定すればよ
い。
なお、前記流速切換手段Ｚの構成は上記した実
施例のものに限定されるものでは無く、例えば、
検出セルと定圧弁とニードル弁を直列に接続し、
そのニードル弁による流量調節によつて、検出セ
ルを通過する試料流体の流速を変化させるという
単純な構成を採ることも可能である。
施例のものに限定されるものでは無く、例えば、
検出セルと定圧弁とニードル弁を直列に接続し、
そのニードル弁による流量調節によつて、検出セ
ルを通過する試料流体の流速を変化させるという
単純な構成を採ることも可能である。
また、前記定流量弁VQに代えて、定圧弁とニ
ードル弁の組み合わせを用いても差支え無い。
ードル弁の組み合わせを用いても差支え無い。
以上詳述したところから明らかなように、本発
明に係る微粒子カウンターによれば、検出セルを
通過する試料流体の流速を変化させ得るようにす
る、という非常に簡素で安価な構成で済む手段を
用いるだけでありながら、状況に応じて微粒子の
粒径測定レンジを大小に容易に且つ任意に切り換
え得るようになり、例えば、測定感度が多少低く
ても実際上問題とならない測定開始後暫くの過渡
期間（試料流体供給後の立ち上がり時）には、検
出セルを通過する試料流体の流速を高く設定する
ことによつて、非常に短時間で所要の測定（大レ
ンジ測定）を行うことができ、一方、測定時間が
多少長くかかつても実際上問題とならない安定期
間（試料流体供給開始からある程度時間が経過し
た後）には、検出セルを通過する試料流体の流速
を低く設定することによつて、極めて高感度の測
定（小レンジ測定）を行うことができるというよ
うに、実用上において測定時間の問題を生じるこ
と無く、しかも、必要に応じて従来よりも格段に
高感度の測定を効率的且つ的確に測定を行える、
という優れた効果が発揮されるに至つた。
明に係る微粒子カウンターによれば、検出セルを
通過する試料流体の流速を変化させ得るようにす
る、という非常に簡素で安価な構成で済む手段を
用いるだけでありながら、状況に応じて微粒子の
粒径測定レンジを大小に容易に且つ任意に切り換
え得るようになり、例えば、測定感度が多少低く
ても実際上問題とならない測定開始後暫くの過渡
期間（試料流体供給後の立ち上がり時）には、検
出セルを通過する試料流体の流速を高く設定する
ことによつて、非常に短時間で所要の測定（大レ
ンジ測定）を行うことができ、一方、測定時間が
多少長くかかつても実際上問題とならない安定期
間（試料流体供給開始からある程度時間が経過し
た後）には、検出セルを通過する試料流体の流速
を低く設定することによつて、極めて高感度の測
定（小レンジ測定）を行うことができるというよ
うに、実用上において測定時間の問題を生じるこ
と無く、しかも、必要に応じて従来よりも格段に
高感度の測定を効率的且つ的確に測定を行える、
という優れた効果が発揮されるに至つた。
第１図および第２図は本発明に係る微粒子カウ
ンターの具体的な一実施例を示し、第１図は全体
概略構成図、第２図は作用を説明するためのグラ
フである。また、第３図は本発明の技術的背景お
よび従来技術の問題点を説明するためのものであ
つて、従来構成の微粒子カウンターの全体概略構
成図を示している。 Ｃ……検出セル、Ｒ……照射光線、ｒ……散乱
光、Ｚ……流速切換手段。
ンターの具体的な一実施例を示し、第１図は全体
概略構成図、第２図は作用を説明するためのグラ
フである。また、第３図は本発明の技術的背景お
よび従来技術の問題点を説明するためのものであ
つて、従来構成の微粒子カウンターの全体概略構
成図を示している。 Ｃ……検出セル、Ｒ……照射光線、ｒ……散乱
光、Ｚ……流速切換手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 検出セルに対して照射された光線の散乱光を
検出することにより、その検出セル内を通過流動
する試料流体に含まれる微粒子の粒径および個数
を測定するように構成してある微粒子カウンター
において、 前記検出セルを通過する試料流体の流速を変化
させることにより、前記微粒子の粒径測定レンジ
を切り換え可能に構成してあることを特徴とする
微粒子カウンター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61291314A JPS63144235A (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 微粒子カウンタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61291314A JPS63144235A (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 微粒子カウンタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63144235A JPS63144235A (ja) | 1988-06-16 |
| JPH0471455B2 true JPH0471455B2 (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=17767296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61291314A Granted JPS63144235A (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 微粒子カウンタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63144235A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3638807B2 (ja) * | 1999-01-07 | 2005-04-13 | ミドリ安全株式会社 | タバコ煙粒子計測装置 |
| DE10343457C5 (de) * | 2003-09-19 | 2012-01-12 | Hydac Filtertechnik Gmbh | Vorrichtung zur Partikelmessung |
| JP5074934B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2012-11-14 | 積水化学工業株式会社 | 微粒子濃度計測装置及び微粒子濃度計測方法 |
| JP2026056794A (ja) * | 2024-09-20 | 2026-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | パーティクル測定装置、パーティクル測定システムおよびパーティクル測定方法 |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP61291314A patent/JPS63144235A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63144235A (ja) | 1988-06-16 |
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|---|---|---|---|
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