JPS6271032A - ドロツプアウト検査装置 - Google Patents
ドロツプアウト検査装置Info
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- JPS6271032A JPS6271032A JP60210783A JP21078385A JPS6271032A JP S6271032 A JPS6271032 A JP S6271032A JP 60210783 A JP60210783 A JP 60210783A JP 21078385 A JP21078385 A JP 21078385A JP S6271032 A JPS6271032 A JP S6271032A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光ディスク等のドロップアウト検査を行なう装
置に関するものである。
置に関するものである。
従来の技術
第１の従来例として特開昭５９−１９３５６１号公報を
引用し、第９図にその全体の構成図、第１Ｑ図に検出器
の構成図を示す。ンーザー光３６はビームスプリッタ３
６により反射されλ／４板３板瓦７絞りレンズ３８を経
て光ディスク記録面３ｅＦｃｌｌｌｂ込まれ、反射光は
絞シレンズ３８、λ／４板３板金７てビームスプリッタ
３６を透過し、凸レンズ４０にて絞られ、ファーフィー
ルド位置に設置された４分割ディテクター４１により受
光される。ディテクター４１の各セルにより得られる信
号出力から加算器４２により和河号４３、減算器４４に
より周方向差信号４６、減算器４６により径方向差信号
４７が得られる。これらの和信号、差信号を適切な検出
し・ベルで比較し、ドロップアウトの検出を行なう。第
２の従来例として特開昭５８−１７４８０３号公報を例
にとる。第１１図にその全体の構成図、第１２図にスポ
ット形状を示す説明図を示す。レーザー発振器４８によ
りレーザーが出射され、スポット整形部４ｅを経て投光
レンズ６０により絞られ、ディスク６１の記録面６２に
照射され、その反射光は七ンサ５３で受光され記録面６
２上の傷等を検出する。記録面上のスポット形状６４は
ディスク半径方向に長く、かつ半径方向忙対して適度に
傾けるととＫより検査時間の短縮化等の効果を得る。
引用し、第９図にその全体の構成図、第１Ｑ図に検出器
の構成図を示す。ンーザー光３６はビームスプリッタ３
６により反射されλ／４板３板瓦７絞りレンズ３８を経
て光ディスク記録面３ｅＦｃｌｌｌｂ込まれ、反射光は
絞シレンズ３８、λ／４板３板金７てビームスプリッタ
３６を透過し、凸レンズ４０にて絞られ、ファーフィー
ルド位置に設置された４分割ディテクター４１により受
光される。ディテクター４１の各セルにより得られる信
号出力から加算器４２により和河号４３、減算器４４に
より周方向差信号４６、減算器４６により径方向差信号
４７が得られる。これらの和信号、差信号を適切な検出
し・ベルで比較し、ドロップアウトの検出を行なう。第
２の従来例として特開昭５８−１７４８０３号公報を例
にとる。第１１図にその全体の構成図、第１２図にスポ
ット形状を示す説明図を示す。レーザー発振器４８によ
りレーザーが出射され、スポット整形部４ｅを経て投光
レンズ６０により絞られ、ディスク６１の記録面６２に
照射され、その反射光は七ンサ５３で受光され記録面６
２上の傷等を検出する。記録面上のスポット形状６４は
ディスク半径方向に長く、かつ半径方向忙対して適度に
傾けるととＫより検査時間の短縮化等の効果を得る。
発明が解決しようとする問題点
第１の従来例ではレーザー光を１トラツクに追従させな
がらドロップアウト検出を行なうため検査に時間がかか
る。第２の従来例では検出時間の短縮化が図れるが、そ
の検出結果は第１従来例の如き記録再生光学系を用いた
検出結果と互換がとれない。本発明はかかる点に鑑みな
されたもので、記録再生光学系と互換がとれ、かつ検出
時間短縮化の図れるドロップアウト検査装置を提供する
ものである。
がらドロップアウト検出を行なうため検査に時間がかか
る。第２の従来例では検出時間の短縮化が図れるが、そ
の検出結果は第１従来例の如き記録再生光学系を用いた
検出結果と互換がとれない。本発明はかかる点に鑑みな
されたもので、記録再生光学系と互換がとれ、かつ検出
時間短縮化の図れるドロップアウト検査装置を提供する
ものである。
問題点を解決するための手段
レーザー光を光デイスク記録面上にその長軸が案内溝と
直交する楕円状に絞シ、記録面から反射し絞りレンズで
集光される反射光の、０次回折光光軸と直交し±１次回
折光光軸と交わる直線にて分割される２つの領域の光強
度をそれぞれ検出して、各検出信号の和信号と差信号を
得、差信号を１個もしくは複数の戸波器に通し、Ｆ波器
後の差信号を適切な検出レベルで比較し、検出レベルを
こえる場合とこえない場合とでドロップアウトの要因分
別を行なうとともに、その分別結果にもとづき和信号の
検出レベルを切シ換えるものであも作 用 光ディスクのドロップアウト要因として基材内の遮光性
異物（以下基材内典物と呼ぶ）、案内溝上の傷や異物（
以下溝異常と呼ぶ）、記鎌膜内の異物やピンホール（以
下膜異常と呼ぶ）等の３つが考えられている。膜異常と
膜異常をまとめて記録面異常と呼ぶ。一般に基材内異物
による差信号は低周波でｓｂ、記録面異常に゛よる差信
号は高周波となるため、低域通過Ｆ波器（以下ＬＰＦと
呼ぶ）後の差信号は基材内典物で振幅が大きく、記録面
異常では小さくなり、高域通過沖波器（以下ＨＰＦと呼
ぶ）後の差信号は基材内典物で小さく、記録面異常で大
きくなる。なお膜異常はその和信号におけるドロップア
ウト振幅が膜異常に比べ極めて大きいため、ＬＰＦによ
ってＬＰＦ後の差信号でもその振幅が大きくなる。以上
よＩＬＰＦもしくはＨＰＦ後の差信号を適切な検出レベ
ルで比較することにより、その検出レベルをこえるか否
かで基材内典物、膜異常等の要因を分別することができ
、仁の分別結果ＫＪニジ和信号の検出レベルを切シ換え
る。一般に記録再生光学系の円形状と−ムに比べ、楕円
状ビームは基材内典物に高感度な検出系となるため、基
材内異物との判定をうけたドロップアウトはその和信号
検出レベルを高くし、記録再生光学系との互換をとる。
直交する楕円状に絞シ、記録面から反射し絞りレンズで
集光される反射光の、０次回折光光軸と直交し±１次回
折光光軸と交わる直線にて分割される２つの領域の光強
度をそれぞれ検出して、各検出信号の和信号と差信号を
得、差信号を１個もしくは複数の戸波器に通し、Ｆ波器
後の差信号を適切な検出レベルで比較し、検出レベルを
こえる場合とこえない場合とでドロップアウトの要因分
別を行なうとともに、その分別結果にもとづき和信号の
検出レベルを切シ換えるものであも作 用 光ディスクのドロップアウト要因として基材内の遮光性
異物（以下基材内典物と呼ぶ）、案内溝上の傷や異物（
以下溝異常と呼ぶ）、記鎌膜内の異物やピンホール（以
下膜異常と呼ぶ）等の３つが考えられている。膜異常と
膜異常をまとめて記録面異常と呼ぶ。一般に基材内異物
による差信号は低周波でｓｂ、記録面異常に゛よる差信
号は高周波となるため、低域通過Ｆ波器（以下ＬＰＦと
呼ぶ）後の差信号は基材内典物で振幅が大きく、記録面
異常では小さくなり、高域通過沖波器（以下ＨＰＦと呼
ぶ）後の差信号は基材内典物で小さく、記録面異常で大
きくなる。なお膜異常はその和信号におけるドロップア
ウト振幅が膜異常に比べ極めて大きいため、ＬＰＦによ
ってＬＰＦ後の差信号でもその振幅が大きくなる。以上
よＩＬＰＦもしくはＨＰＦ後の差信号を適切な検出レベ
ルで比較することにより、その検出レベルをこえるか否
かで基材内典物、膜異常等の要因を分別することができ
、仁の分別結果ＫＪニジ和信号の検出レベルを切シ換え
る。一般に記録再生光学系の円形状と−ムに比べ、楕円
状ビームは基材内典物に高感度な検出系となるため、基
材内異物との判定をうけたドロップアウトはその和信号
検出レベルを高くし、記録再生光学系との互換をとる。
実施例
本発明のドロップアウト検査装置の一実施例を第１図に
示す。レーザー光１はビームスプリッタ２により反射さ
れλ／４板３及び絞シレンズ４更に光デイスク基板６を
経て光デイスク記録面６に絞し込まれ、反射光は光デイ
スク基板６、絞りｌ／ンズ４、λ／４板３を経てビーム
スプリッタ２を透過し、凸レンズ７にて絞られ、分割ミ
ラー８により分割され、透過光側はナイフエッヂ９にて
一部遮光されてニアフィールド位置の２分割ディテクタ
ー１０に集光され、反射光側はファーフィールド位置の
２分割ディテクター１１に集光される０な −お
ディテクター１０よシ焦点誤差信号を得で絞りレンズ４
を記録面６に追従させている。第２図はディテクター１
１上の反射光分布を示す説明図である。反射光は０次回
折光１２、−１次回折光１３、＋１次回折光１４等の集
まシであり、ディテクター１１はその分割ライン１６を
Ｏ次回針元１２の光軸が通シ、±１次回折光の光軸と分
割ライン１６が交わるように設置されている。第３図に
この実施例のドロ・ノブアウト検出回路を示す。セル１
１−ａ、１１−ｂの出力信号をそれぞれｖａ、ｖｂとし
、加算器１６により（ｖａ＋ｖｂ）の和信号１７を得る
。
示す。レーザー光１はビームスプリッタ２により反射さ
れλ／４板３及び絞シレンズ４更に光デイスク基板６を
経て光デイスク記録面６に絞し込まれ、反射光は光デイ
スク基板６、絞りｌ／ンズ４、λ／４板３を経てビーム
スプリッタ２を透過し、凸レンズ７にて絞られ、分割ミ
ラー８により分割され、透過光側はナイフエッヂ９にて
一部遮光されてニアフィールド位置の２分割ディテクタ
ー１０に集光され、反射光側はファーフィールド位置の
２分割ディテクター１１に集光される０な −お
ディテクター１０よシ焦点誤差信号を得で絞りレンズ４
を記録面６に追従させている。第２図はディテクター１
１上の反射光分布を示す説明図である。反射光は０次回
折光１２、−１次回折光１３、＋１次回折光１４等の集
まシであり、ディテクター１１はその分割ライン１６を
Ｏ次回針元１２の光軸が通シ、±１次回折光の光軸と分
割ライン１６が交わるように設置されている。第３図に
この実施例のドロ・ノブアウト検出回路を示す。セル１
１−ａ、１１−ｂの出力信号をそれぞれｖａ、ｖｂとし
、加算器１６により（ｖａ＋ｖｂ）の和信号１７を得る
。
１だ減算器１８により（ｖａ−ｖｂ）の差信号を得、Ｌ
ＰＦ１９もしくはＨＦＦ２１を経てＬＰＦ後差後置信号
２０くはＨＰＦ後差後置信号２２る。
ＰＦ１９もしくはＨＦＦ２１を経てＬＰＦ後差後置信号
２０くはＨＰＦ後差後置信号２２る。
第４図（ａ）はディテクター１１上の基材的異物に！る
反射光強度分布に与える影響を示す説明図である。
反射光強度分布に与える影響を示す説明図である。
基材的異物による影はレーザー光の絞りレンズから記録
面までの往路において遮光され、溝面にて反射回折し、
復路にお・いて再度異物により遮光されるため、往路に
おける遮光影響はＯ次回針元での影響部２３と一１次回
折光での影響部２４として功われ、復路における遮光影
響部２６は０次回針先での影響部２３と光軸対称に現わ
れる。各影響部は光ディスクの回転とともに図中矢印の
如く移動する。なお、中１次回折光Ｖの影響部２６は絞
シレンズ瞳径内蜘入らないためディテクター１１上には
現われない３影響部２３は影響部２５とその光量変化量
かほぼ等しいが、影響部２４がディテクター１１上に現
われているため、差信号において第６図の）に示す如き
波形を生ず！。第６図（ａ）は瞳面３ｏから焦平面３１
に至るまでのレーザービーム径を示しておシ、絞シレン
ズ焦点距離ｆ。
面までの往路において遮光され、溝面にて反射回折し、
復路にお・いて再度異物により遮光されるため、往路に
おける遮光影響はＯ次回針元での影響部２３と一１次回
折光での影響部２４として功われ、復路における遮光影
響部２６は０次回針先での影響部２３と光軸対称に現わ
れる。各影響部は光ディスクの回転とともに図中矢印の
如く移動する。なお、中１次回折光Ｖの影響部２６は絞
シレンズ瞳径内蜘入らないためディテクター１１上には
現われない３影響部２３は影響部２５とその光量変化量
かほぼ等しいが、影響部２４がディテクター１１上に現
われているため、差信号において第６図の）に示す如き
波形を生ず！。第６図（ａ）は瞳面３ｏから焦平面３１
に至るまでのレーザービーム径を示しておシ、絞シレン
ズ焦点距離ｆ。
瞳径φａとすれば溝面から光学的距離２の位置でのビー
ム径はその長軸径がａ ｚ／ ｆであシ、光ディスクの
回転風速度全Ｖ、基材内異物径をφｄとして差信号の；
パロッグアウト波形の時間幅は（ｔ ・十ｄ ：）／ｖ
となる。また２＝０の時〈はビームスポット短軸径
をｂとして（ｂ＋ｄ）／ｖか時間幅となる。一般にｚ）
１μｍであシＮＡ（−ａ／δ）＝ｏ、ｓのもとてはｂ＃
１μｍとなるから（１十ｄ）／ｖ＞’＞ （ｂ 十ｄ
） ／ ｖである。
ム径はその長軸径がａ ｚ／ ｆであシ、光ディスクの
回転風速度全Ｖ、基材内異物径をφｄとして差信号の；
パロッグアウト波形の時間幅は（ｔ ・十ｄ ：）／ｖ
となる。また２＝０の時〈はビームスポット短軸径
をｂとして（ｂ＋ｄ）／ｖか時間幅となる。一般にｚ）
１μｍであシＮＡ（−ａ／δ）＝ｏ、ｓのもとてはｂ＃
１μｍとなるから（１十ｄ）／ｖ＞’＞ （ｂ 十ｄ
） ／ ｖである。
一方第４図中）は記録面異常による影響を示す説明図で
あり、０次回針先での影響部２７と一１次回折光での影
響部２８がディテクター１１上に現われ、それぞれ図中
矢印の方向に移動するＣ、なお＋１次回折針先の影響部
２９はディテクター上には現われない。第６図（＆）は
記録面異常の１つ膜異常の一例を示しており膜異常３２
を有する案内溝３３上をビームスボンド３４が走査して
いる。（ｂ）は和信号波形、（Ｃ）は差信号波形であシ
、差信号波形の時間幅はｂ／ｖ に等しい・。従って
膜異常の時間巾す、／ｖ を基材的異物の時間巾（了
＋ ｄ ）と比較し、て（１十ｄ）Ｖ＞＞ｂ／ｖ が成
り立ち、差信号は基材内異物が低周波、膜異常が高周波
と乃る。
あり、０次回針先での影響部２７と一１次回折光での影
響部２８がディテクター１１上に現われ、それぞれ図中
矢印の方向に移動するＣ、なお＋１次回折針先の影響部
２９はディテクター上には現われない。第６図（＆）は
記録面異常の１つ膜異常の一例を示しており膜異常３２
を有する案内溝３３上をビームスボンド３４が走査して
いる。（ｂ）は和信号波形、（Ｃ）は差信号波形であシ
、差信号波形の時間幅はｂ／ｖ に等しい・。従って
膜異常の時間巾す、／ｖ を基材的異物の時間巾（了
＋ ｄ ）と比較し、て（１十ｄ）Ｖ＞＞ｂ／ｖ が成
り立ち、差信号は基材内異物が低周波、膜異常が高周波
と乃る。
よって第３図のＬＰＦ１９もしくはＨＦＦ２１を設ける
ことに：す、ＬＰＦ後の差信号は基材的異物で、振醪が
大きく、膜異常で小さくなり、ＨＰＦ後の差信号は基材
的異物で小さく、膜異常で大きくなる。また膜異常は基
本的に、膜異常と同じであるが、和信号において膜異常
に比ベドロップアウト振＠が極めて大きいため、ＬＰＦ
によ・ってＬＰＦ襲の差信号が大きく出ることもある。
ことに：す、ＬＰＦ後の差信号は基材的異物で、振醪が
大きく、膜異常で小さくなり、ＨＰＦ後の差信号は基材
的異物で小さく、膜異常で大きくなる。また膜異常は基
本的に、膜異常と同じであるが、和信号において膜異常
に比ベドロップアウト振＠が極めて大きいため、ＬＰＦ
によ・ってＬＰＦ襲の差信号が大きく出ることもある。
第７図（ａ）は要因別の和信号波形を示す説明図であり
、（ｂ） 、 （ｄ）はＬＰＦ後の差信号、（ｃ）はＨ
ＰＦ後の差信号を示している。基材内異物をイ、膜異常
を口、膜異常をハに示す。第７図（ｂ）によりＬＰＦ後
の差り号ζ（±Ｖ、の検出レベルを設けることで基材的
異物イ及び膜異常ハが検出されるが、膜異常口は検出さ
れない。またＬＰＨの特性を向上させることで第７図（
ｄ）の如きＬＰＦ後差信号が得られた場合、±ｖ１′の
検出レベルを設けることによって基材的異物イは検出さ
れるが、膜異常口、膜異常ハは検出されない。
、（ｂ） 、 （ｄ）はＬＰＦ後の差信号、（ｃ）はＨ
ＰＦ後の差信号を示している。基材内異物をイ、膜異常
を口、膜異常をハに示す。第７図（ｂ）によりＬＰＦ後
の差り号ζ（±Ｖ、の検出レベルを設けることで基材的
異物イ及び膜異常ハが検出されるが、膜異常口は検出さ
れない。またＬＰＨの特性を向上させることで第７図（
ｄ）の如きＬＰＦ後差信号が得られた場合、±ｖ１′の
検出レベルを設けることによって基材的異物イは検出さ
れるが、膜異常口、膜異常ハは検出されない。
さらに第１図（Ｃ）によりＨＰＦ後の差信号に±ｖ、′
の検出レベルを設けることで、膜異常口、膜異常ノ・は
検出されるが、基材的異物イは検出されない。
の検出レベルを設けることで、膜異常口、膜異常ノ・は
検出されるが、基材的異物イは検出されない。
なお第７図中） 、 （０）を併用することによりＬＰ
Ｆ後差盾号すで検出、ｆ（ＰＦ後差信号Ｃで未検出は基
材的異物、ＬＰＦ後差信号すで未検出、ｆ（ＰＦ後差信
号Ｃで検出は膜異常、ＬＰＦ後差信号す。
Ｆ後差盾号すで検出、ｆ（ＰＦ後差信号Ｃで未検出は基
材的異物、ＬＰＦ後差信号すで未検出、ｆ（ＰＦ後差信
号Ｃで検出は膜異常、ＬＰＦ後差信号す。
ＨＰＦ後差信号Ｃとも検出は膜異常と、全要因を分別す
ることもできる。第８図に円形ビームと楕円ビームの瞳
面から焦平面に至るまでのビーム形状を示す。楕円ビー
ムは瞳面上５６から焦平面上５７に、円形ビームは瞳面
上５８から焦平面上５９にそのビーム形状が変化する。
ることもできる。第８図に円形ビームと楕円ビームの瞳
面から焦平面に至るまでのビーム形状を示す。楕円ビー
ムは瞳面上５６から焦平面上５７に、円形ビームは瞳面
上５８から焦平面上５９にそのビーム形状が変化する。
なお断面６０を境にして瞳面側では
円形ビーム断面積〉楕円形ビーム断面積焦平面側では
円形ビーノー断面績〈楕円形ビーム断面積となる。記録
面異常は焦平面もしくは断面６０の焦平面側に存在し、
基材内異物は断面６ｏの焦平面側のみならず瞳面１１１
Ｊにも多く存在する。このため悄円状スポットを得るた
め楕円形ビームを用いれば、和信号におけるドロップア
ウト振幅が基材内異物と記録面異常とで感度が異なり、
円形ビームを用いた検出結果と対応がとれない。すなわ
ち記録面異常での感度を円形ビームを用いたものと等し
ぐずれば基材内異物の感度が大きくなる。従って前述の
如くＦ波器後の差信号によって得られた要因分別結果に
もとずき、第７図（ａ）に示す如く和信号の検出レベル
を切り換える。すなわち基材内異物と判定されたドロッ
プアウトの検出レベルを±１・２（基材内異物はその和
信号ドロップアウト波形が反射率低下方向にあるので、
検出レベルば７２ のみでもよい。）とし、他の要因
と判定されたドロップアウトの検出レベルを±ｖｓ（７
２）Ｖｓ）０）とす°ることにより、円形ビームを用い
ている記録再生光学系との互換のとれるドロップアウト
検出が可能となる。なおビームスポットは第６図（ａ）
に示す如く、数トラツクにまたがる楕円状スポットであ
り、図中矢印の如くビームスポットを動かｆことで高速
にドロップアウト検出を行なうことが出来る。
面異常は焦平面もしくは断面６０の焦平面側に存在し、
基材内異物は断面６ｏの焦平面側のみならず瞳面１１１
Ｊにも多く存在する。このため悄円状スポットを得るた
め楕円形ビームを用いれば、和信号におけるドロップア
ウト振幅が基材内異物と記録面異常とで感度が異なり、
円形ビームを用いた検出結果と対応がとれない。すなわ
ち記録面異常での感度を円形ビームを用いたものと等し
ぐずれば基材内異物の感度が大きくなる。従って前述の
如くＦ波器後の差信号によって得られた要因分別結果に
もとずき、第７図（ａ）に示す如く和信号の検出レベル
を切り換える。すなわち基材内異物と判定されたドロッ
プアウトの検出レベルを±１・２（基材内異物はその和
信号ドロップアウト波形が反射率低下方向にあるので、
検出レベルば７２ のみでもよい。）とし、他の要因
と判定されたドロップアウトの検出レベルを±ｖｓ（７
２）Ｖｓ）０）とす°ることにより、円形ビームを用い
ている記録再生光学系との互換のとれるドロップアウト
検出が可能となる。なおビームスポットは第６図（ａ）
に示す如く、数トラツクにまたがる楕円状スポットであ
り、図中矢印の如くビームスポットを動かｆことで高速
にドロップアウト検出を行なうことが出来る。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば、記録再生用光
学系と互換のとれるドロップアウト検査を高速に行なう
ことが可能となり、ドロップアウト検査装置としてきわ
めて有用である。
学系と互換のとれるドロップアウト検査を高速に行なう
ことが可能となり、ドロップアウト検査装置としてきわ
めて有用である。
第１図は本発明の一実施例におけるドロップアウト検査
装置の原理図、第２図は同装置のディチクｆ−上反射光
分布を示す図、第３図は同装置のドロップアウト検出回
路ブロック図、第４図（ａ）。 （ｂ）はそ九ぞれ基材内異物、記録面異常の反射光分布
に与える影響を示す図、第５図（ａ）はレーザービーム
径を示す図：（ｂ）は基材内異物の差信号波形図、第６
図（ａ）は膜異常の一例を示す図、Φ）はその和信号波
形図、（Ｃ）はその差信号波形図、第７図（ａ）は要人 国別の和信号波形図、伽）及び（ム）はＬＰＦ後差信号
波形図、（Ｃ＞はＨＰＦ後差信号波形図、第８図は円形
ビームと楕円形ビームのビーム径を示す説明図、第９図
は従来の１°ロソプアウト検査装置の原理図、Ｈ２Ｏ図
はそのドロップアウト検出回路のブロック図、第１１図
は他の従来のドロップアウト検査装置の原理図、第１２
図はそのビームスポットを示す説明図である。 １・・・・・・レーザー光、２・・・・・・ビームスプ
リッタ、３・・・・・・λ／′４板、４・・・・・・絞
りレンズ、６・・・・・・基板、６・・・・・・記録面
、７・・・・・・凸レンズ、８・・・・・・ハーフミラ
−１９・・・・・・ナイフエッヂ、１０．１１・・・・
・・ディテクター、１６・・・・・・加算器、１７・・
・・・・和信号、１８・・・・・・減算器、１９・・・
・・・ＬＰＦ（低域通過Ｆ波器）、２ｏ・・・・・・Ｌ
ＰＦ後差信号、２１・・・・・・ＨＰＦ（高域通過ろ波
器）、２２・・・・・・ＨＰＦ後差信号。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 居テ島チクター 第３図 第５図 第７図 第８図 、り８ 第９（２！ 第１１図 第１２図
装置の原理図、第２図は同装置のディチクｆ−上反射光
分布を示す図、第３図は同装置のドロップアウト検出回
路ブロック図、第４図（ａ）。 （ｂ）はそ九ぞれ基材内異物、記録面異常の反射光分布
に与える影響を示す図、第５図（ａ）はレーザービーム
径を示す図：（ｂ）は基材内異物の差信号波形図、第６
図（ａ）は膜異常の一例を示す図、Φ）はその和信号波
形図、（Ｃ）はその差信号波形図、第７図（ａ）は要人 国別の和信号波形図、伽）及び（ム）はＬＰＦ後差信号
波形図、（Ｃ＞はＨＰＦ後差信号波形図、第８図は円形
ビームと楕円形ビームのビーム径を示す説明図、第９図
は従来の１°ロソプアウト検査装置の原理図、Ｈ２Ｏ図
はそのドロップアウト検出回路のブロック図、第１１図
は他の従来のドロップアウト検査装置の原理図、第１２
図はそのビームスポットを示す説明図である。 １・・・・・・レーザー光、２・・・・・・ビームスプ
リッタ、３・・・・・・λ／′４板、４・・・・・・絞
りレンズ、６・・・・・・基板、６・・・・・・記録面
、７・・・・・・凸レンズ、８・・・・・・ハーフミラ
−１９・・・・・・ナイフエッヂ、１０．１１・・・・
・・ディテクター、１６・・・・・・加算器、１７・・
・・・・和信号、１８・・・・・・減算器、１９・・・
・・・ＬＰＦ（低域通過Ｆ波器）、２ｏ・・・・・・Ｌ
ＰＦ後差信号、２１・・・・・・ＨＰＦ（高域通過ろ波
器）、２２・・・・・・ＨＰＦ後差信号。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 居テ島チクター 第３図 第５図 第７図 第８図 、り８ 第９（２！ 第１１図 第１２図
Claims (3)
- （１）案内溝の形成された記録媒体の面にレーザー光を
前記案内溝を短軸方向とする楕円状に絞って照射するこ
とにより得られる反射光を集光する絞りレンズと、前記
反射光により焦点誤差信号を得て焦点制御を行なう手段
と、前記反射光の０次回折光光軸と直交し±１次回折光
光軸と交わる直線にて分割される前記反射光の２つの領
域の光強度をそれぞれ検出し各検出信号の和信号と差信
号を得る手段とを備え、差信号を１個もしくは複数のろ
波器に通し、ろ波器後の差信号を適切な検出レベルで比
較判別し、前記ろ波器後の差信号がその検出レベルをこ
える場合とこえない場合とに応じて、和信号の検出レベ
ルを切り換えることを特徴とするドロップアウト検査装
置。 - （２）ろ波器に低域通過ろ波器を用い、この低域通過ろ
波器後の差信号がその検出レベル±ｖ＿１をこえる場合
の和信号検出レベルを±ｖ＿２とし、こえない場合の和
信号検出レベルを±ｖ＿３とし、ｖ＿２＞ｖ＿３＞０に
設定したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ドロップアウト検査装置。 - （３）ろ波器に高域通過ろ波器を用い、この高域通過ろ
波器後の差信号がその検出レベル±ｖ＿１′をこえる場
合の和信号検出レベルを±ｖ＿３とし、こえない場合の
和信号検出レベルを±ｖ＿２とし、ｖ＿２＞ｖ＿３＞０
に設定したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のドロップアウト検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60210783A JPH0650565B2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ドロツプアウト検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60210783A JPH0650565B2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ドロツプアウト検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6271032A true JPS6271032A (ja) | 1987-04-01 |
| JPH0650565B2 JPH0650565B2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=16595060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60210783A Expired - Lifetime JPH0650565B2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ドロツプアウト検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650565B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7666110B2 (en) | 2003-03-26 | 2010-02-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Control system for power transmission mechanism |
-
1985
- 1985-09-24 JP JP60210783A patent/JPH0650565B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7666110B2 (en) | 2003-03-26 | 2010-02-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Control system for power transmission mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0650565B2 (ja) | 1994-06-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |