JPS63146253A - 光学的記録媒体検査装置 - Google Patents
光学的記録媒体検査装置Info
- Publication number
- JPS63146253A JPS63146253A JP61293976A JP29397686A JPS63146253A JP S63146253 A JPS63146253 A JP S63146253A JP 61293976 A JP61293976 A JP 61293976A JP 29397686 A JP29397686 A JP 29397686A JP S63146253 A JPS63146253 A JP S63146253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- optical recording
- reflected light
- laser beam
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光ディスク等の欠陥検査を行なう装置に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
光透過性基材に情報記録膜を積層した光学的記録媒体の
欠陥には、光透過性基材内に混入している遮光性異物（
以下、基材内異物と呼ぶ）によるものがある。従来の光
学的記録媒体検査装置の溝底を第６図に示す。レーザ光
１はビームスプリッタ２により反射されλ／４板３及び
絞りレンズ４更に光透過性基材６を経て記録面６に絞り
込まれ、反射光は光透過性基材６．絞りレンズ４．λ／
４板３″ｆｒ経てビームスプリッタ２を透過し、凸レン
ズ７にて絞られ、分割ミラー８によって分割され、それ
ぞれディテクタ９，１ｏに集光される。更にディテクタ
９をニアフィールドに設定することにより焦点誤差信号
を検知して絞りレンズ４を記録面６に追従させることが
出来る。この装置でディテクタ９．１０の和信号を総和
して欠陥を検出する。基材内異物の場合、絞りレンズ通
過後のレーザ光は記録面での反射の前後で２度の遮光影
響を受けるため、ディテクタの受光光量は正常部より少
なくなり、これによって基材内異物の存在を検知する。
欠陥には、光透過性基材内に混入している遮光性異物（
以下、基材内異物と呼ぶ）によるものがある。従来の光
学的記録媒体検査装置の溝底を第６図に示す。レーザ光
１はビームスプリッタ２により反射されλ／４板３及び
絞りレンズ４更に光透過性基材６を経て記録面６に絞り
込まれ、反射光は光透過性基材６．絞りレンズ４．λ／
４板３″ｆｒ経てビームスプリッタ２を透過し、凸レン
ズ７にて絞られ、分割ミラー８によって分割され、それ
ぞれディテクタ９，１ｏに集光される。更にディテクタ
９をニアフィールドに設定することにより焦点誤差信号
を検知して絞りレンズ４を記録面６に追従させることが
出来る。この装置でディテクタ９．１０の和信号を総和
して欠陥を検出する。基材内異物の場合、絞りレンズ通
過後のレーザ光は記録面での反射の前後で２度の遮光影
響を受けるため、ディテクタの受光光量は正常部より少
なくなり、これによって基材内異物の存在を検知する。
発明が解決しよう、とする問題点
基社内異物による欠陥は、他の要因による欠陥に比ベビ
ットエラーになりやすく、他の要因による欠陥よりも優
先的に検出する必要がある。しかし従来の検出方法では
、基村内異物による欠陥も他の要因による欠陥と同一レ
ベルで検出され、他の要因に優先させて検出することが
できないという問題点があった。
ットエラーになりやすく、他の要因による欠陥よりも優
先的に検出する必要がある。しかし従来の検出方法では
、基村内異物による欠陥も他の要因による欠陥と同一レ
ベルで検出され、他の要因に優先させて検出することが
できないという問題点があった。
問題点を解決するための手段
本発明はこのような間頂点を解決するために、次のよう
な構成とする。すなわち、光学的記録媒体の記録面にレ
ーザ光を絞って照射することにより得られた反射光を集
光する絞りレンズと、前記反射光により焦点誤差信号を
得て焦点制御を行なう手段と、前記反射光を受光し、交
差する２本の境界線によって４領域に分割される４分割
光検出器を備え、前記４分割光検出器の２組の対角領域
対の差信号をとるものである。
な構成とする。すなわち、光学的記録媒体の記録面にレ
ーザ光を絞って照射することにより得られた反射光を集
光する絞りレンズと、前記反射光により焦点誤差信号を
得て焦点制御を行なう手段と、前記反射光を受光し、交
差する２本の境界線によって４領域に分割される４分割
光検出器を備え、前記４分割光検出器の２組の対角領域
対の差信号をとるものである。
作用
本発明のような構成とすると、レーザ光の絞りレンズか
ら記録面までの往路と帰路での基材内典物による遮光部
は、光軸に対して対称に現われるため、４分割光検出器
の２組の対角領域対の差をとることによって基材内典物
の検出感度が高くなる。
ら記録面までの往路と帰路での基材内典物による遮光部
は、光軸に対して対称に現われるため、４分割光検出器
の２組の対角領域対の差をとることによって基材内典物
の検出感度が高くなる。
実施例
第１図に本発明の第１実施例の光学系構成図を示す。な
お第６図と同一のものについては同一番号を付し、説明
は省略する。ディテクタ１１は、反射光軸に直交する２
本の境界線によって４領域に分割された４分割ディテク
タである。第２図に本実施例における信号検出原理図を
示す。信号は４分割ディテクタの対角領域対の和をとっ
た後に、それぞれの差をとることによって得られる。第
３図に４分割ディテクタ１１上の基材内典物による反射
光分布に与える遮光影響を示す。レーザ光の絞りレンズ
から記録面までの往路において異物により遮光され、記
録面での反射によってレーザ光の強度分布が光軸に対称
に反転し、復路において再度異物により遮光されるため
、往路における遮光影響部１２と復路における遮光影響
部１３が光軸対称に現われ、光学的記録媒体の回転にと
もなう１２．１３の移動は矢印に示すように光軸対称と
なる。したがって第２図のようにして４分割ディテクタ
の対角領域対の差をとることによって基材内典物を感度
良く検出することができる。
お第６図と同一のものについては同一番号を付し、説明
は省略する。ディテクタ１１は、反射光軸に直交する２
本の境界線によって４領域に分割された４分割ディテク
タである。第２図に本実施例における信号検出原理図を
示す。信号は４分割ディテクタの対角領域対の和をとっ
た後に、それぞれの差をとることによって得られる。第
３図に４分割ディテクタ１１上の基材内典物による反射
光分布に与える遮光影響を示す。レーザ光の絞りレンズ
から記録面までの往路において異物により遮光され、記
録面での反射によってレーザ光の強度分布が光軸に対称
に反転し、復路において再度異物により遮光されるため
、往路における遮光影響部１２と復路における遮光影響
部１３が光軸対称に現われ、光学的記録媒体の回転にと
もなう１２．１３の移動は矢印に示すように光軸対称と
なる。したがって第２図のようにして４分割ディテクタ
の対角領域対の差をとることによって基材内典物を感度
良く検出することができる。
第４図に第２実施例の光学系構成図、第５図に４分割デ
ィテクタ上の基材内典物による反射光分布に与える遮光
影響を示す。なお第６図と同一のものについては同一番
号を付し、説明は省略する。
ィテクタ上の基材内典物による反射光分布に与える遮光
影響を示す。なお第６図と同一のものについては同一番
号を付し、説明は省略する。
４分割ディテクタ１４は、レーザビームの移動方向に対
して４分割ディテクタの境界線が４６ の角度となるよ
うに配置する。これによって第５図に示すように基材内
典物による往路と復路の遮光部１５．１６が同一線上に
並んだ場合でも信号を検出することが可能となる。
して４分割ディテクタの境界線が４６ の角度となるよ
うに配置する。これによって第５図に示すように基材内
典物による往路と復路の遮光部１５．１６が同一線上に
並んだ場合でも信号を検出することが可能となる。
発明の効果
本発明に係る光学的記録媒体検査装置は次のようである
。光学的記録媒体の記録面にレーザ光を絞って照射する
ことにより得られた反射光を集光する絞りレンズと、前
記反射光により焦点誤差信号を得て焦点側−を行なう手
段と、前記反射光を受光し、交差する２本の境界線によ
って４領域に分割される４分割光検出器を備え、前記４
分割光検出器の２組の対角領域対の差信号をとるという
ものである。これによって基材内典物による欠陥を他の
要因による欠陥よりも優先的に検出することが可能とな
る。
。光学的記録媒体の記録面にレーザ光を絞って照射する
ことにより得られた反射光を集光する絞りレンズと、前
記反射光により焦点誤差信号を得て焦点側−を行なう手
段と、前記反射光を受光し、交差する２本の境界線によ
って４領域に分割される４分割光検出器を備え、前記４
分割光検出器の２組の対角領域対の差信号をとるという
ものである。これによって基材内典物による欠陥を他の
要因による欠陥よりも優先的に検出することが可能とな
る。
第１図は本発明の第１実施例における光学的記録媒体検
査装置の光学系構成図、第２図は同装置の信号検出原理
図、第３図は同装置の４分割ディテクタ上の反射光分布
を示す図、第４図は本発明の第２実施例における光学的
記録媒体検査装置の光学系構成図、第５図は同装置の４
分割ディテクタ上の反射光分光を示す図、第６図は従来
例における光学的記録媒体検査装置の光学系構成図であ
る０ １・・・・・・レーザ光、２・・・・・・ビームスプリ
ッタ、３・・・・・・ス／４板、４・・・・・・絞りレ
ンズ、６・・・・・・基材、６・・・・・・記録面、７
・・・・・・凸レンズ、８・・・・・・分割ミラー、１
１・・・・・・４分割ディテクタ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名禽４
図 第５図 第６図
査装置の光学系構成図、第２図は同装置の信号検出原理
図、第３図は同装置の４分割ディテクタ上の反射光分布
を示す図、第４図は本発明の第２実施例における光学的
記録媒体検査装置の光学系構成図、第５図は同装置の４
分割ディテクタ上の反射光分光を示す図、第６図は従来
例における光学的記録媒体検査装置の光学系構成図であ
る０ １・・・・・・レーザ光、２・・・・・・ビームスプリ
ッタ、３・・・・・・ス／４板、４・・・・・・絞りレ
ンズ、６・・・・・・基材、６・・・・・・記録面、７
・・・・・・凸レンズ、８・・・・・・分割ミラー、１
１・・・・・・４分割ディテクタ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名禽４
図 第５図 第６図
Claims (2)
- （１）光学的記録媒体の記録面に、レーザ光を絞って照
射することにより得られた反射光を集光する絞りレンズ
と、前記反射光により焦点誤差信号を得て焦点制御を行
なう手段と、前記反射光を受光し、交差する２本の境界
線によって４領域に分割される４分割光検出器を備え、
前記４分割光検出器の２組の対角領域対の差信号をとる
ことを特徴とする光学的記録媒体検査装置。 - （２）４分割光検出器の境界線が光記録媒体上のレーザ
ビームの移動方向と角度を持つことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の光学的記録媒体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61293976A JPS63146253A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 光学的記録媒体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61293976A JPS63146253A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 光学的記録媒体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63146253A true JPS63146253A (ja) | 1988-06-18 |
Family
ID=17801629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61293976A Pending JPS63146253A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 光学的記録媒体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63146253A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016145722A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置 |
| JP2017020837A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
-
1986
- 1986-12-10 JP JP61293976A patent/JPS63146253A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016145722A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置 |
| JP2017020837A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
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