JPS6273439A - 光学情報記録部材 - Google Patents
光学情報記録部材Info
- Publication number
- JPS6273439A JPS6273439A JP60211471A JP21147185A JPS6273439A JP S6273439 A JPS6273439 A JP S6273439A JP 60211471 A JP60211471 A JP 60211471A JP 21147185 A JP21147185 A JP 21147185A JP S6273439 A JPS6273439 A JP S6273439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- film
- crystallization
- composition
- amorphous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光、熱などを用いて高速かつ、高密度に情報
を記録、消去、再生可能な光学情報記録部材に関するも
のである。
を記録、消去、再生可能な光学情報記録部材に関するも
のである。
従来の技術
近年、情報量の増大化、記録、再生の高速化、高密度化
に伴ない、レーザ光線を利用した光ディスクが注目され
ている。光ディスクには、一度のみ記録可能な追記型と
、記録した信号を消去し何度も使用可能な書き換え可能
なものがある。追記型光ディスクには、記録信号を穴あ
き状態として、再生するものや、凹凸を生成させて再生
するものがある。書き換え可能なものとしてはカルコゲ
ン化物を用いる試みがあり、Te−Go を初めとし
て、これにAs 、 S 、Si、Se、Sb、Biな
どを添加した列が知られている。
に伴ない、レーザ光線を利用した光ディスクが注目され
ている。光ディスクには、一度のみ記録可能な追記型と
、記録した信号を消去し何度も使用可能な書き換え可能
なものがある。追記型光ディスクには、記録信号を穴あ
き状態として、再生するものや、凹凸を生成させて再生
するものがある。書き換え可能なものとしてはカルコゲ
ン化物を用いる試みがあり、Te−Go を初めとし
て、これにAs 、 S 、Si、Se、Sb、Biな
どを添加した列が知られている。
これに対し、本発明者らは先に、To−Te02のよう
な酸化物を含んだ系の相転移による反射率変化を信号と
する方式を提案した。さらに、相転移を利用した書き換
え可能な光ディスクとして、Te−Te02に対し各種
添加物を添加(Sn、Go。
な酸化物を含んだ系の相転移による反射率変化を信号と
する方式を提案した。さらに、相転移を利用した書き換
え可能な光ディスクとして、Te−Te02に対し各種
添加物を添加(Sn、Go。
Bi、In、Pb、Te、Se など)した列がある
。これらの記録部材の特徴は、C/Nが高く、耐湿性に
対しても優れるという特徴を有している。
。これらの記録部材の特徴は、C/Nが高く、耐湿性に
対しても優れるという特徴を有している。
発明が解決しようとする問題点
カルコゲン化物よシなる書き換え可能な情報記録部材は
、一般的に、記録、消去の繰シ返しに対する安定性が悪
いといった%徴を有する。ごの理由は、Te、Goとそ
の他の添加成分が、数度のくり返しによって、膜が相分
離を生じてしまい、初期とくシ返し後では膜の構成成分
が異なることに帰因すると思われる。消去可能な光ディ
スクで相転移を利用する場合、通常は、未記録、消去状
態を結晶質とし、記録状態を非晶質とする方法がとられ
る。この場合、記録はレーザ光で、一旦、膜を溶融させ
急冷によって非晶質にする訳であるが、現在の半導体レ
ーザにはパワーの限界があシ、できるだけ融点の低い膜
が、記録感度が高いことになる。このために、上述した
カルコゲン化物よりなる膜は、記録感度を向上させるた
めに、できるだけ融点の低い組成、すなわち、Toが多
い膜組成となっている。Toが、他の添加成分より多い
ということは、〈シ返し特性においてそれだけ相分離が
起こし易いことを意味する。したがって融点を下げるた
めに添加した過剰のToをいかに固定して動きにくい組
成にするがが、くシ返し特性や、CNR,消去率の経時
変動に大きな影響を及ぼすことになる。
、一般的に、記録、消去の繰シ返しに対する安定性が悪
いといった%徴を有する。ごの理由は、Te、Goとそ
の他の添加成分が、数度のくり返しによって、膜が相分
離を生じてしまい、初期とくシ返し後では膜の構成成分
が異なることに帰因すると思われる。消去可能な光ディ
スクで相転移を利用する場合、通常は、未記録、消去状
態を結晶質とし、記録状態を非晶質とする方法がとられ
る。この場合、記録はレーザ光で、一旦、膜を溶融させ
急冷によって非晶質にする訳であるが、現在の半導体レ
ーザにはパワーの限界があシ、できるだけ融点の低い膜
が、記録感度が高いことになる。このために、上述した
カルコゲン化物よりなる膜は、記録感度を向上させるた
めに、できるだけ融点の低い組成、すなわち、Toが多
い膜組成となっている。Toが、他の添加成分より多い
ということは、〈シ返し特性においてそれだけ相分離が
起こし易いことを意味する。したがって融点を下げるた
めに添加した過剰のToをいかに固定して動きにくい組
成にするがが、くシ返し特性や、CNR,消去率の経時
変動に大きな影響を及ぼすことになる。
酸化物を含んだ記録部材にも、以下に記述する欠点があ
る。すなわち、消去率が録再消去のくシ返しによって低
下することである。
る。すなわち、消去率が録再消去のくシ返しによって低
下することである。
書き換え可能な光ディスクは、通常、初期状態を結晶状
態とし、記録状態を非晶質として記録を行なう。消去は
初期状態と同様に結晶質とする。
態とし、記録状態を非晶質として記録を行なう。消去は
初期状態と同様に結晶質とする。
この記録部材の結晶質−非晶質間の相転移は、レーザの
徐冷−急冷の条件変化によって達成される。
徐冷−急冷の条件変化によって達成される。
すなわち、レーザ光による加熱後、徐冷によって結晶質
となp急冷によって非晶質となる。したがって記録、消
去のくり返しKよって、膜は何度も結晶質1非晶質状態
を経ることになる。この場合、膜に酸化物が存在すると
、膜の粘性が高いので、カルコゲン化物の泳動性が少な
くなり、膜組成の偏析が生じやすくなる。さらに、酸化
物の存在は膜自身の熱伝導が悪くするので、レーザ光の
入射側と反対側の膜厚間で温度分布差を生じ、膜組成の
偏析ばやはシ生ずる。こうした理由によシ、酸化物を含
んだ膜は、記録、消去のくり返しによって次第に特性が
変化するなどの欠点を有していた。
となp急冷によって非晶質となる。したがって記録、消
去のくり返しKよって、膜は何度も結晶質1非晶質状態
を経ることになる。この場合、膜に酸化物が存在すると
、膜の粘性が高いので、カルコゲン化物の泳動性が少な
くなり、膜組成の偏析が生じやすくなる。さらに、酸化
物の存在は膜自身の熱伝導が悪くするので、レーザ光の
入射側と反対側の膜厚間で温度分布差を生じ、膜組成の
偏析ばやはシ生ずる。こうした理由によシ、酸化物を含
んだ膜は、記録、消去のくり返しによって次第に特性が
変化するなどの欠点を有していた。
本発明は、上述した酸化物を含む膜のくシ返し特性を向
上させることを目的とし、さらに、カルコゲン化物よシ
なる従来組成の欠点(Cj/Nが低い、消去率が充分で
はない、耐湿性、耐熱性が悪い、くり返し特性が充分で
はない)を克服したものである。
上させることを目的とし、さらに、カルコゲン化物よシ
なる従来組成の欠点(Cj/Nが低い、消去率が充分で
はない、耐湿性、耐熱性が悪い、くり返し特性が充分で
はない)を克服したものである。
問題点を解決するための手段
本発明における記録層は、Te −Ge −Se −B
i系の組成物であって、’re、cθ、Seの原子数比
が第1図の’I IB+ +01.p、 +Elの点を
結んだ領域内にあるとともに、Biの謡度が16〜35
at%である材料によシ構成される。
i系の組成物であって、’re、cθ、Seの原子数比
が第1図の’I IB+ +01.p、 +Elの点を
結んだ領域内にあるとともに、Biの謡度が16〜35
at%である材料によシ構成される。
作用
本発明の特徴は、結晶化転移温度が高いTo −Ge−
3s系にBiを添加して過剰のTeを固定することであ
る。BiはTe と化合物(Bi、2Tes)を形成し
、T8濃度が50チ以上のBi−Te系では、融点が最
も高い場合、(Bi2Tj3)fも585°Cである。
3s系にBiを添加して過剰のTeを固定することであ
る。BiはTe と化合物(Bi、2Tes)を形成し
、T8濃度が50チ以上のBi−Te系では、融点が最
も高い場合、(Bi2Tj3)fも585°Cである。
この温度は他のTe−Ge 、 Te−8n 。
などと比較しても200’C近くも低い。したがって、
Biの添加は、Teを母材とする膜の融点を上昇させる
ことなしに、過剰なTOを固定することが可能となる。
Biの添加は、Teを母材とする膜の融点を上昇させる
ことなしに、過剰なTOを固定することが可能となる。
実施例
本発明は、TO−Ge−3s−Biによシ構成される。
本発明においてToは、Bi、あるいはG。
と結合した状態で、記録前後によって光学的濃度変化を
呈する母材である。Seは単独でも、またTeとの化合
物状態でも非晶質膜を作成することが容易である特徴を
有するものの、逆に結晶化速度が遅いこと、結晶転移温
度が低い(==100°C)ことなどの欠点を持つ。T
o−3sにGOを添加することによシ、結晶転移温度は
上昇するが、結晶化速度は改善されず、光ディスクの実
用上必要な結晶化速度(数百ns )は得られない。
呈する母材である。Seは単独でも、またTeとの化合
物状態でも非晶質膜を作成することが容易である特徴を
有するものの、逆に結晶化速度が遅いこと、結晶転移温
度が低い(==100°C)ことなどの欠点を持つ。T
o−3sにGOを添加することによシ、結晶転移温度は
上昇するが、結晶化速度は改善されず、光ディスクの実
用上必要な結晶化速度(数百ns )は得られない。
本発明はTe−Ge−3θで構成される、上述した特長
、すなわち、結晶化転移温度が高いことを活かし、しか
も欠点である結晶化速度が遅いことをBiを添加するこ
とによシ、大巾に改善し、実用可能な書き換え可能な記
録膜を提供しようとするものである。
、すなわち、結晶化転移温度が高いことを活かし、しか
も欠点である結晶化速度が遅いことをBiを添加するこ
とによシ、大巾に改善し、実用可能な書き換え可能な記
録膜を提供しようとするものである。
本発明において、Te、Ge、Se、Biは結晶状態に
おいて、GeTe 、GeSe2.Bi2Te3 など
の結晶状態をとるものと思われる。この中で、Ge5a
2は非晶質状態が安定で、結晶化湿度は470°C程度
であシ、しかも結晶化速度は遅い。このため、膜中にあ
っては、主に結晶化転移温度を高め、非晶質化を容易に
する役割を担っているものと思われる。Ge−Teは、
GeとTeの比によって、結晶化が容易な領域と、困難
な領域に別れる。すなわちGo−TO系で、非晶質状態
が最も安定な領域は、Tea度が70%程度のGeTa
2が生成される領域である。この点を境にしてG6が増
えると、(量論に近いGeTe6度が増すと)、結晶化
速度は速くなる。本発明においてGeはGem52とし
ての他、GeTeを形成しておシ、To −Ge−3e
系においてG e TOは結晶化速度を向上させるこ
とに寄与しているものと思われる。しかしながら、TO
−46−3sで構成される系では、実用可能な結晶化速
度の速い組成は、Se量が少なく、GeTeの量論に近
い領域となる。この領域の特徴は、結晶化速度は速いも
のの、GeTeの融点が725°Cと高いため、非晶質
化が困難なことである。したがって、実用可能な領域で
、結晶化、非晶質化を可能にするのはG6濃度が低く、
Se濃度が高い領域である。
おいて、GeTe 、GeSe2.Bi2Te3 など
の結晶状態をとるものと思われる。この中で、Ge5a
2は非晶質状態が安定で、結晶化湿度は470°C程度
であシ、しかも結晶化速度は遅い。このため、膜中にあ
っては、主に結晶化転移温度を高め、非晶質化を容易に
する役割を担っているものと思われる。Ge−Teは、
GeとTeの比によって、結晶化が容易な領域と、困難
な領域に別れる。すなわちGo−TO系で、非晶質状態
が最も安定な領域は、Tea度が70%程度のGeTa
2が生成される領域である。この点を境にしてG6が増
えると、(量論に近いGeTe6度が増すと)、結晶化
速度は速くなる。本発明においてGeはGem52とし
ての他、GeTeを形成しておシ、To −Ge−3e
系においてG e TOは結晶化速度を向上させるこ
とに寄与しているものと思われる。しかしながら、TO
−46−3sで構成される系では、実用可能な結晶化速
度の速い組成は、Se量が少なく、GeTeの量論に近
い領域となる。この領域の特徴は、結晶化速度は速いも
のの、GeTeの融点が725°Cと高いため、非晶質
化が困難なことである。したがって、実用可能な領域で
、結晶化、非晶質化を可能にするのはG6濃度が低く、
Se濃度が高い領域である。
この領域の特徴は、結晶化温度は高いが、結晶化速度が
遅いことである。B1の添加により、膜中で過剰なでθ
とBi2T13を形成し、結晶化を促進させることがで
きる。TOとの化合物で、結晶化を促進する元素は、上
述したBiに限らず、Sn。
遅いことである。B1の添加により、膜中で過剰なでθ
とBi2T13を形成し、結晶化を促進させることがで
きる。TOとの化合物で、結晶化を促進する元素は、上
述したBiに限らず、Sn。
Pb 、 Pd 、 Ni 、 Go 、 Or など
種々ノ材料がある。
種々ノ材料がある。
こうした材料は、確かに、結晶化速度が速いという特徴
を有し、添加量を限定することにより、追記型材料(W
10材料)となシ得るが、書き換え可能な光デイスク材
料としては適さない。その理由は、上述した元素と’r
e とで構成される合金の融点が高いことによる。
を有し、添加量を限定することにより、追記型材料(W
10材料)となシ得るが、書き換え可能な光デイスク材
料としては適さない。その理由は、上述した元素と’r
e とで構成される合金の融点が高いことによる。
しかし、こうした材料でもレーザパワーが強く、膜を充
分に溶融させることが可能であれば、消去可能なディス
クとして使用することは可能である。
分に溶融させることが可能であれば、消去可能なディス
クとして使用することは可能である。
現在、我々が実用上入手できる半導体レーザは、波長が
83Onl!lでパワーは30 mW程度であり、Te
、Ge、Seの量論に近い組成(TaGa 、Ge5
e2)を溶融させることは困難である。(融点が800
°C程度)TO−Go−B6で記録、消去可能な領域は
、TOが非常に多い領域(5oat%以上)にあるが、
こつ領域の組成は転移温度が低く、熱的に不安定である
こと、Teが過剰なため、くり返しによって、ToとT
eGeあるいはGeSe2に膜が相分離を起こしやすい
ことなどの欠点を有している。
83Onl!lでパワーは30 mW程度であり、Te
、Ge、Seの量論に近い組成(TaGa 、Ge5
e2)を溶融させることは困難である。(融点が800
°C程度)TO−Go−B6で記録、消去可能な領域は
、TOが非常に多い領域(5oat%以上)にあるが、
こつ領域の組成は転移温度が低く、熱的に不安定である
こと、Teが過剰なため、くり返しによって、ToとT
eGeあるいはGeSe2に膜が相分離を起こしやすい
ことなどの欠点を有している。
本発明のBiは、この過剰のTeをB12Tθ3 とし
て安定化させる働きを有する。B1ばTo との合金系
ではTOが50at%以上では、融点が585°C以下
で、Biを添加してもTeの融点が451°Cなので、
融点をそれ程上昇させることはない。そのため、Biを
添加した膜は現行の半導体レーザパワーでも充分に溶融
させることが可能である。
て安定化させる働きを有する。B1ばTo との合金系
ではTOが50at%以上では、融点が585°C以下
で、Biを添加してもTeの融点が451°Cなので、
融点をそれ程上昇させることはない。そのため、Biを
添加した膜は現行の半導体レーザパワーでも充分に溶融
させることが可能である。
しかも熱的に不安定な過剰T6をBi2Te3として結
合させているため、熱的に安定で、かつ、記録。
合させているため、熱的に安定で、かつ、記録。
消去のくり返しによ−〕でも相分離を生ずることなく、
長期に亘って安定な膜となる。
長期に亘って安定な膜となる。
B1の添加量は、Ge、Seと結合した残りの過剰Te
を固定化するので、必要なり+79度はTθ/(Gθ+
Se)の量に支配される。
を固定化するので、必要なり+79度はTθ/(Gθ+
Se)の量に支配される。
すなわち、Biの添加量は、Ge−Te−3s系の組成
比により異なる。例えば、比較的Se酸成分多い領域(
Sθ〉25at%)においては、非晶質として安定なの
で、結晶化を促進させるB1の添加量は多くなる。(2
5〜35at%)、逆にSθ酸成分少ない領域(Se≦
152Lt%)では、比較的結晶化速度が速いので、少
ないBifi度(10〜251Lt%)で充分である。
比により異なる。例えば、比較的Se酸成分多い領域(
Sθ〉25at%)においては、非晶質として安定なの
で、結晶化を促進させるB1の添加量は多くなる。(2
5〜35at%)、逆にSθ酸成分少ない領域(Se≦
152Lt%)では、比較的結晶化速度が速いので、少
ないBifi度(10〜251Lt%)で充分である。
同様に、GO濃度の多い領域(Go〉25at%)は、
結晶化速度は速いので、Bi濃度は低((1o−2sa
t%)Ge成分の少ない領域(eeく10at%)では
結晶化構成される記録部材の適正範囲を示した。図はT
e−G5−8θ より構成されているが、Bi量度は第
1図に示されたTe−Ge−8o組成に対し、15〜3
5at%である。
結晶化速度は速いので、Bi濃度は低((1o−2sa
t%)Ge成分の少ない領域(eeく10at%)では
結晶化構成される記録部材の適正範囲を示した。図はT
e−G5−8θ より構成されているが、Bi量度は第
1図に示されたTe−Ge−8o組成に対し、15〜3
5at%である。
’(Bi量1度は(T8xGeySnz)+00−mB
imで示した場合のmに相当、ただし、x+y−1−z
==100)第1図において各点は以下の組成である。
imで示した場合のmに相当、ただし、x+y−1−z
==100)第1図において各点は以下の組成である。
人1点 : Te9.)Ge5Se581点 :
Te6oGo5Se55C1点 = To40Gθ25
”e55D1点 : Te4oGe4oSe2゜81点
: To55Go4oSe5本発明は上記、Ta−
Ge−3eの三元系のA、B、C。
Te6oGo5Se55C1点 = To40Gθ25
”e55D1点 : Te4oGe4oSe2゜81点
: To55Go4oSe5本発明は上記、Ta−
Ge−3eの三元系のA、B、C。
D、!、点で囲まれた範囲内であって、がっ、B1濃度
が式(re)(GaySez ) Too mB’m
で表わした場合、mの値として15〜35at%の範
囲内にある。線ム+Btより06が少ない場合、膜はT
e−8sが過剰となシ、結晶化転移温度は低く(<12
0°C)、実用上安定な記録膜を得ることが困難である
。線B1G、よ5sθが多い場合は、Teas、GeS
e2の形成量が多くなシ、安定な非晶質膜となり、結晶
化が困難となる。線CIDI よシTθが少ない場合
、結晶化に必要なりi 2Tθ、の量も少なくなるので
、記録部と未記録部の信号のコントラスト比が低く、充
分な記録特性が得られない。線り、E、よりGoが多い
場合、この領域は、量論的なGeTeが生成する領域で
、結晶化速度は上昇するが、融点の高いGeTeが多量
に存在するので、非晶質化が困難となる。線入jE+よ
りS8量が少ない場合は、GeSe2量が少なくなるた
め、非晶化が困難となる。しかし同じA、1!:、線上
でもG。
が式(re)(GaySez ) Too mB’m
で表わした場合、mの値として15〜35at%の範
囲内にある。線ム+Btより06が少ない場合、膜はT
e−8sが過剰となシ、結晶化転移温度は低く(<12
0°C)、実用上安定な記録膜を得ることが困難である
。線B1G、よ5sθが多い場合は、Teas、GeS
e2の形成量が多くなシ、安定な非晶質膜となり、結晶
化が困難となる。線CIDI よシTθが少ない場合
、結晶化に必要なりi 2Tθ、の量も少なくなるので
、記録部と未記録部の信号のコントラスト比が低く、充
分な記録特性が得られない。線り、E、よりGoが多い
場合、この領域は、量論的なGeTeが生成する領域で
、結晶化速度は上昇するが、融点の高いGeTeが多量
に存在するので、非晶質化が困難となる。線入jE+よ
りS8量が少ない場合は、GeSe2量が少なくなるた
め、非晶化が困難となる。しかし同じA、1!:、線上
でもG。
が少ない場合はGeTa量が少ないため、非晶質化は比
較的容易であるが、結晶化転移温度が低くなる。
較的容易であるが、結晶化転移温度が低くなる。
上述した傾向は、当然ながら、添加するBi量によって
異なってぐる。Te−Ge−8eからなる組成を限定し
Bi、量を変化させると、Bi量が少ない場合は非晶質
化が容易で、Bi量が増えるに従って結晶化が容易とな
る。この適正なりi量はTe、Ga、Sθ によって構
成される膜の特性によって異なるが、本発明の範囲内で
は15〜351鳴で、実用的な書き換え可能な記録膜が
得られる。
異なってぐる。Te−Ge−8eからなる組成を限定し
Bi、量を変化させると、Bi量が少ない場合は非晶質
化が容易で、Bi量が増えるに従って結晶化が容易とな
る。この適正なりi量はTe、Ga、Sθ によって構
成される膜の特性によって異なるが、本発明の範囲内で
は15〜351鳴で、実用的な書き換え可能な記録膜が
得られる。
以上述べた理由によシ、本発明は、第1図において、点
ム+ B+ C+ Dl 11で囲まれた範囲
内に限定される。すなわち、この領域内のTe−Ge−
8θにBiを16〜35at%添加した場合、実用上、
結晶質と非晶質の可逆性を利用して、情報の記録、消去
が可能となる。
ム+ B+ C+ Dl 11で囲まれた範囲
内に限定される。すなわち、この領域内のTe−Ge−
8θにBiを16〜35at%添加した場合、実用上、
結晶質と非晶質の可逆性を利用して、情報の記録、消去
が可能となる。
次に第1図のA2−82−02−02− B2あるいは
A5−B r C10B5− B5によって囲まれた領
域【ついて述べる。この領域は、第1図のA1−B1−
C1D+ E+で囲まれた範囲より、より実用的な組
成範囲を未しである。
A5−B r C10B5− B5によって囲まれた領
域【ついて述べる。この領域は、第1図のA1−B1−
C1D+ E+で囲まれた範囲より、より実用的な組
成範囲を未しである。
第1図においてA2−82−02− B2− B2各点
の組成を以下に示す。
の組成を以下に示す。
A2 : TeHGe7Se、。
B2 : Te6sGe7Sasa02 :
’r645ee50s625D2 : Taa5G
e358e2(。
’r645ee50s625D2 : Taa5G
e358e2(。
B2 : Te55Ge35SeB)この各点で囲
まれた領域におけるBi量度は16〜30at%である
。(ただし、(76X067S6Z )+oo−mBi
m におけるmのイ直で、X十Y十Z=100とする。
まれた領域におけるBi量度は16〜30at%である
。(ただし、(76X067S6Z )+oo−mBi
m におけるmのイ直で、X十Y十Z=100とする。
)
この領域の非晶質から結晶質への転移温度は130〜1
70°C以内である。転移温度は人2が最も低く、線C
2D2の方向にSe、G61度が増えるに従って温度は
上昇する。結晶化を促進する上で必要なりi g度は、
A誌に近い領域では少なく、線C2D2に近い領域では
多くなる。すなわち、A1に近い領域では、過剰のTe
が多く箋結晶化速度は速いので多くのBi量を必要とせ
ず、C2D2に近い領域は結晶化が困難なため、多くの
Bi量を必要とする。
70°C以内である。転移温度は人2が最も低く、線C
2D2の方向にSe、G61度が増えるに従って温度は
上昇する。結晶化を促進する上で必要なりi g度は、
A誌に近い領域では少なく、線C2D2に近い領域では
多くなる。すなわち、A1に近い領域では、過剰のTe
が多く箋結晶化速度は速いので多くのBi量を必要とせ
ず、C2D2に近い領域は結晶化が困難なため、多くの
Bi量を必要とする。
その結果、点A1ではG6T6 、 GeSe2 の
量が少なく過剰Toも残存しているので安定な非晶質状
態が形成されず、結晶転移温度は低くなる。ム2点より
Setが多くなると(82点)転移温度は上昇するが、
結晶化速度は遅くなる。人2点よりGoが多くなると、
転移温度は上昇し、結晶化温度も高くなるが、非晶質化
が困難となる。すなわち、点A2−82−02−02−
B2で囲まれた点で、Bi量が16〜30 at%で
ある場合は、用途、目的に応じて、結晶化転移温度、結
晶化速度の適正値を選択することが可能である。しかし
、このA2−82−02−B2−B2点で囲まnた領域
内であっても・現在・市販されている半導体レーザ出力
(25mW程度)で、全ての点で、録再が可能とは限ら
ない。点A5− B5− C,−B3− K、で囲まれ
た領域は、現行の半導体レーザパワーの範囲で録再が可
能で、結晶化速度が速く、かつ熱的安定性を示す結晶化
転移温度も高((150〜180’C)より実用的な領
域である。この領域における必要なり1量は15〜25
at%である。Biの添加はTe−Go−3eだけより
なる系に比べ、結晶への転移温度を10〜30℃高める
働きを有する。しかもB1の添加によって膜の融点は下
がるため、非晶質化に対しては都合がよい。この理由は
、BiはTe a度に対して40係以下である場合、最
大でも、融点が622°C以下であることに起因する1
、、一方、Ge、Snなどの場合は、Te濃度に対し、
60 a t%以下の場合、各々、最大で726°C,
7900となる。それ故、B1の添加は、熱的安定性を
示す転移温度を上昇させる効果と、膜の融点を下げ、非
晶質化を容易にするといった利点を有する。
量が少なく過剰Toも残存しているので安定な非晶質状
態が形成されず、結晶転移温度は低くなる。ム2点より
Setが多くなると(82点)転移温度は上昇するが、
結晶化速度は遅くなる。人2点よりGoが多くなると、
転移温度は上昇し、結晶化温度も高くなるが、非晶質化
が困難となる。すなわち、点A2−82−02−02−
B2で囲まれた点で、Bi量が16〜30 at%で
ある場合は、用途、目的に応じて、結晶化転移温度、結
晶化速度の適正値を選択することが可能である。しかし
、このA2−82−02−B2−B2点で囲まnた領域
内であっても・現在・市販されている半導体レーザ出力
(25mW程度)で、全ての点で、録再が可能とは限ら
ない。点A5− B5− C,−B3− K、で囲まれ
た領域は、現行の半導体レーザパワーの範囲で録再が可
能で、結晶化速度が速く、かつ熱的安定性を示す結晶化
転移温度も高((150〜180’C)より実用的な領
域である。この領域における必要なり1量は15〜25
at%である。Biの添加はTe−Go−3eだけより
なる系に比べ、結晶への転移温度を10〜30℃高める
働きを有する。しかもB1の添加によって膜の融点は下
がるため、非晶質化に対しては都合がよい。この理由は
、BiはTe a度に対して40係以下である場合、最
大でも、融点が622°C以下であることに起因する1
、、一方、Ge、Snなどの場合は、Te濃度に対し、
60 a t%以下の場合、各々、最大で726°C,
7900となる。それ故、B1の添加は、熱的安定性を
示す転移温度を上昇させる効果と、膜の融点を下げ、非
晶質化を容易にするといった利点を有する。
以上述べた理由によシ、本発明のTe−Ge−5s−B
iの最適組成は限定される。
iの最適組成は限定される。
次に本発明による光学情報記録部材の製法について述べ
る。
る。
第2図は、本発明の記録層を用いて構成した光ディスク
の断面の模式図である。図において、1゜εは基板を表
わしており、材質は、ポリカーボネート、アクリル樹脂
、ガラス、ポリエステル等の透明な基材を用いることが
可能である。2.4は保護層で、種々の酸化物、硫化物
、炭化物を用いることができる。この保護層2.4は記
録膜3の記録、消去の操り返しによる基材の熱劣化を防
ぐものであシ、さらに、記録膜3を湿度よシ保護するも
のである。したがって、保護層の材質、膜厚は、上述し
た観点より決定される。記録膜3は、蒸着、スパッタリ
ング等によって形成される。蒸着で行なう場合は各組成
を単独に蒸着可能な4ソ一ス蒸着機を用いるのが、均一
膜を作成できるので望ましい。
の断面の模式図である。図において、1゜εは基板を表
わしており、材質は、ポリカーボネート、アクリル樹脂
、ガラス、ポリエステル等の透明な基材を用いることが
可能である。2.4は保護層で、種々の酸化物、硫化物
、炭化物を用いることができる。この保護層2.4は記
録膜3の記録、消去の操り返しによる基材の熱劣化を防
ぐものであシ、さらに、記録膜3を湿度よシ保護するも
のである。したがって、保護層の材質、膜厚は、上述し
た観点より決定される。記録膜3は、蒸着、スパッタリ
ング等によって形成される。蒸着で行なう場合は各組成
を単独に蒸着可能な4ソ一ス蒸着機を用いるのが、均一
膜を作成できるので望ましい。
本発明の記録膜3の膜厚は、保護層2.4の光学特性と
のマツチング、すなわち、記録部と未記録との反射率の
差が大きくとれる値とする。
のマツチング、すなわち、記録部と未記録との反射率の
差が大きくとれる値とする。
以下、具体的な例で本発明を詳述する。
実施列1
4源蒸着が可能な電子ビーム蒸着機を用いてTo。
Ge、Se、B1をそれぞれのソースから基材上に同時
に蒸着した。用いえ基材はφ8朋のガラスで、蒸着は真
空度が1×10〜5Torr、 基材の回転速度1s
orpmで行ない、膜厚は1000人とした。。
に蒸着した。用いえ基材はφ8朋のガラスで、蒸着は真
空度が1×10〜5Torr、 基材の回転速度1s
orpmで行ない、膜厚は1000人とした。。
各ソースからの蒸着速度は記録膜中のTe 、 Cxe
。
。
Se 、Biの原子数の割合を調整するため、変化させ
た。第1表の組成の割合は、この蒸着の速度よシ換算し
た値であるが、代表的な組成をX線マイクロアナライザ
ー(XMA)で行なったところ、仕込値とほぼ同様の定
量結果が得られた。したがって、表中の仕込み組成は、
膜中でも同じと思われる。
た。第1表の組成の割合は、この蒸着の速度よシ換算し
た値であるが、代表的な組成をX線マイクロアナライザ
ー(XMA)で行なったところ、仕込値とほぼ同様の定
量結果が得られた。したがって、表中の仕込み組成は、
膜中でも同じと思われる。
上記製法によって作成された試験片の評価方法を以下に
記す。
記す。
転移温度とは、蒸着直後の非晶質状態の膜が熱によって
結晶状態になる開始温度を意味する。
結晶状態になる開始温度を意味する。
測定は、膜の透過率の測定が可能な装置を用い、ヒータ
ーにより試験片の温度を昇温速度1°C/東で上昇させ
た場合の透過率が減少を開始する湿度とした。
ーにより試験片の温度を昇温速度1°C/東で上昇させ
た場合の透過率が減少を開始する湿度とした。
転移温度が高いことは、膜が熱的に安定であることを意
味する。
味する。
黒化特性とは、非晶質から結晶質への変態に対しての転
移速度を示したもので、白化特性は結晶質から非晶質の
転移速度を示したものである。
移速度を示したもので、白化特性は結晶質から非晶質の
転移速度を示したものである。
測定は、φ8MMのガラス片上の記録膜に、レンズを用
いて、レーザ光を集光させ、サンプル片を上下、左右移
動可能とした装置を用いて行なった。
いて、レーザ光を集光させ、サンプル片を上下、左右移
動可能とした装置を用いて行なった。
’ヤーー++’光のスポットは45 X O,4μm、
パルス巾200ns、パワー密度10.6mW/μm
波長は900nmとした。黒化特性は、試験片を比較
的、緩かに移動させた場合の変態(非晶質から結晶質)
の速度を観察し、速度が充分早く、かつ未記録部分と記
録部分のコントラスト比が充分大きいものを◎とした。
パルス巾200ns、パワー密度10.6mW/μm
波長は900nmとした。黒化特性は、試験片を比較
的、緩かに移動させた場合の変態(非晶質から結晶質)
の速度を観察し、速度が充分早く、かつ未記録部分と記
録部分のコントラスト比が充分大きいものを◎とした。
×は緩やかに移動させても、黒化しないもの、あるいは
、コントラスト比が小さいものを示す。○、△は◎と×
の中間に位置する。この定性的な表現において、実用可
能な黒化特性は0以上である。
、コントラスト比が小さいものを示す。○、△は◎と×
の中間に位置する。この定性的な表現において、実用可
能な黒化特性は0以上である。
次に白化特性について述べる。白化特性を観る場合は、
まず、一旦、黒化し、その上を試験片を速やかに移動さ
せ、急冷状態を作シ、白化(結晶質から非晶質)させる
。白化状態が◎のものは、移動速度が比較的緩やかでも
、白化し、しかも非晶質部分と結晶質部分のコントラス
ト比が大きいものを示し、×は全く白化しないものを示
している。○と△は、◎と×の中間に位1“、童する。
まず、一旦、黒化し、その上を試験片を速やかに移動さ
せ、急冷状態を作シ、白化(結晶質から非晶質)させる
。白化状態が◎のものは、移動速度が比較的緩やかでも
、白化し、しかも非晶質部分と結晶質部分のコントラス
ト比が大きいものを示し、×は全く白化しないものを示
している。○と△は、◎と×の中間に位1“、童する。
上述した表現によれば、黒化、白化特性とも非常にすぐ
れている場合は、◎、◎となるが、実際問題としては同
じ移動速度で、どちらも◎となることはあり得す、望ま
しい材料としては、◎、○あるいは◎、△と、多少黒化
特性が優れているものである。
れている場合は、◎、◎となるが、実際問題としては同
じ移動速度で、どちらも◎となることはあり得す、望ま
しい材料としては、◎、○あるいは◎、△と、多少黒化
特性が優れているものである。
第1表に、本発明の範囲でB工濃度を30 at%とし
て作成した膜の転移温度と、黒化、白化特性の結果を示
す。
て作成した膜の転移温度と、黒化、白化特性の結果を示
す。
(以下余白)
第1表
第1表の結果より明らかなように、本発明の範囲にある
Te−Ge−3s−Bi系記録薄膜は、黒化及び白化が
、それぞれ可能である。即ちこの範囲内にある記録部材
は、加熱条件、例えば照射するレーザー光線の照射強度
、照射時間を適蟲に選ぶことで非晶質状態と結晶状態の
いずれの状態も、とることが可能であり、光学的に情報
を記録し、かつ消去することが可能である。
Te−Ge−3s−Bi系記録薄膜は、黒化及び白化が
、それぞれ可能である。即ちこの範囲内にある記録部材
は、加熱条件、例えば照射するレーザー光線の照射強度
、照射時間を適蟲に選ぶことで非晶質状態と結晶状態の
いずれの状態も、とることが可能であり、光学的に情報
を記録し、かつ消去することが可能である。
本実施11FIJにおいてはB工の濃度を20at%
とじたが、上述の黒化白化特性は、B1の濃度に強く依
存する。一方、転移温度も又、それほど強くはないがB
i濃度に依存する。
とじたが、上述の黒化白化特性は、B1の濃度に強く依
存する。一方、転移温度も又、それほど強くはないがB
i濃度に依存する。
実施例2
実施列1と同様の作成法、評価法を用い、T。
−Go−5e系にBiを添加した場合の濃度依存性につ
いて調べた結果を第2表に示す。−レリとしてTo 6
0G+5203620組成を選び、B1濃度を10〜4
0at%の範囲で変化させる。
いて調べた結果を第2表に示す。−レリとしてTo 6
0G+5203620組成を選び、B1濃度を10〜4
0at%の範囲で変化させる。
(以下余白)
第2表の結果から明らかなように、Te6oGθ20S
θ20に、B1を添加した場合、Bi濃度が16〜35
at係にある場合、レーザー光線によって、結晶化、非
晶質化のいずれも可能であり、光学記録部材として有効
である。
θ20に、B1を添加した場合、Bi濃度が16〜35
at係にある場合、レーザー光線によって、結晶化、非
晶質化のいずれも可能であり、光学記録部材として有効
である。
結晶−非晶質の相変態を記録原理として用いる場合、記
録(非晶質化)速度は、照射部が溶融するまでの時間、
消去(結晶化)速度は、原子配列の秩序が回復する時間
に依存し、一般に前者は後者に比べて十分速い。従って
本発明の組成領域を[3’llえば光ディスつて適用す
る場合、主としてその消去速度がデバイスとしてのスペ
ックを決定する。
録(非晶質化)速度は、照射部が溶融するまでの時間、
消去(結晶化)速度は、原子配列の秩序が回復する時間
に依存し、一般に前者は後者に比べて十分速い。従って
本発明の組成領域を[3’llえば光ディスつて適用す
る場合、主としてその消去速度がデバイスとしてのスペ
ックを決定する。
即ち、デバイスとしての使用条件、例えば光ディスクの
場合には、その回転速度記録半径(線速度)に応じて組
成を選べば浪い。即ち、B1濃度の低い組成の場合には
記録感度(白化感度)は高いが、消去感度(黒化速度)
が低い。従って、回転速度が比較的遅い場合に有効であ
る。逆に、Bi濃度の高い組成の場合には、消去感度(
黒化速度)は十分であるので高速回転に適用可能である
。ただし、この場合は、やや大きい記録パワーを必要と
する。
場合には、その回転速度記録半径(線速度)に応じて組
成を選べば浪い。即ち、B1濃度の低い組成の場合には
記録感度(白化感度)は高いが、消去感度(黒化速度)
が低い。従って、回転速度が比較的遅い場合に有効であ
る。逆に、Bi濃度の高い組成の場合には、消去感度(
黒化速度)は十分であるので高速回転に適用可能である
。ただし、この場合は、やや大きい記録パワーを必要と
する。
B1の添加効果は、ce−Te−36系の組成比によシ
やや異なっている。ff1lえば、比較的Se成分の多
い領域(Se〉26 a t%)においては比較的Bi
a度の高い領域20〜35Δt%が良好な特性を示し、
比較的Se成分の少ない領域(Seく15at%)にお
いては比較的Bia度の低い領域1o〜25 at%が
良好な特性を示した。同様に、比較的G6成分の多い領
域(Gθ’>25at%)においては比較的B i a
度の低い領域(10〜2Sat乃)。
やや異なっている。ff1lえば、比較的Se成分の多
い領域(Se〉26 a t%)においては比較的Bi
a度の高い領域20〜35Δt%が良好な特性を示し、
比較的Se成分の少ない領域(Seく15at%)にお
いては比較的Bia度の低い領域1o〜25 at%が
良好な特性を示した。同様に、比較的G6成分の多い領
域(Gθ’>25at%)においては比較的B i a
度の低い領域(10〜2Sat乃)。
GO成分の少ない領域(G8二10at%)においては
比較的3 la度の高い領域(20〜36at%)が良
好な特性を示した。
比較的3 la度の高い領域(20〜36at%)が良
好な特性を示した。
実施列3
基材として光ガイド用のトラックを備えた1、2オメφ
2001RMのポリカーボネイト樹脂基材を用い、記録
膜として、(Te60Ge20Se20 )80Bi2
0の薄膜を用いて光ディスクを試作した。
2001RMのポリカーボネイト樹脂基材を用い、記録
膜として、(Te60Ge20Se20 )80Bi2
0の薄膜を用いて光ディスクを試作した。
まず、基材上に耐熱層としてZnS薄膜を900人蒸着
し、その上に記録層を約100o人の厚さに蒸着し、更
にその上に、同じく耐熱層としてZnS薄膜を1800
人蒸着入念。
し、その上に記録層を約100o人の厚さに蒸着し、更
にその上に、同じく耐熱層としてZnS薄膜を1800
人蒸着入念。
この光ディスクの基板側から、光学系を用いて絞シ込ん
だレーザー光線を照射して信号を記録し、直ちに消去を
行なった。記録に先立って、スポット形状が1μm×1
0μmの長楕円形のレーザ光線を14mWの強さでトラ
ックにそって照射し、トラ、り内の記録膜を結晶化し、
次に0.9μmφに絞り込んだレーザー光線を8mWの
強さで照射した。記録周波数は2M)h、ディスクの回
転速度は5 m / sである。このとき照射部は非晶
質化され、トラックに沿って信号が記録された。スペク
トラムアナライザーで、C/Nを測定したところ、50
dBが得られた。このトラック上に、前述の長楕円スポ
ットを照射したところ、信号は完全に消去された。
だレーザー光線を照射して信号を記録し、直ちに消去を
行なった。記録に先立って、スポット形状が1μm×1
0μmの長楕円形のレーザ光線を14mWの強さでトラ
ックにそって照射し、トラ、り内の記録膜を結晶化し、
次に0.9μmφに絞り込んだレーザー光線を8mWの
強さで照射した。記録周波数は2M)h、ディスクの回
転速度は5 m / sである。このとき照射部は非晶
質化され、トラックに沿って信号が記録された。スペク
トラムアナライザーで、C/Nを測定したところ、50
dBが得られた。このトラック上に、前述の長楕円スポ
ットを照射したところ、信号は完全に消去された。
実施列4
実施列3における光ディスクを用いて、寿命試I検を8
0’C,60%RHの条件下で行なった。
0’C,60%RHの条件下で行なった。
試験方法は、予じめ情報を記録しておき、上記条件で保
持後のC/Hの劣化をみた。1ケ月経過後のC/Hの低
下は−0,5dBと無視できる程度であった。
持後のC/Hの劣化をみた。1ケ月経過後のC/Hの低
下は−0,5dBと無視できる程度であった。
実施列5
実施F!jIJ3における光ディスクの記録、消去の繰
り返し特性を評価した。
り返し特性を評価した。
10万回記録、消去を繰シ返し息抜のC/Nの低下は、
約1dB程度であった。
約1dB程度であった。
発明の効果
本発明によるTe−Ge−8s−Bi記録薄膜は、耐熱
性及び耐湿性に極めて優れ、記録−消去を繰シ返しても
膜が破壊されることが無い。即ち、本発明によって実用
上、極めて優れた光学情報記録部材が提供される。
性及び耐湿性に極めて優れ、記録−消去を繰シ返しても
膜が破壊されることが無い。即ち、本発明によって実用
上、極めて優れた光学情報記録部材が提供される。
第1図は、本発明による光学情報記録部材の組成の範囲
を示す組成図、第2図は本発明の一実施例における光学
情報記録部材の構成を示した断面図である。 第1図 GeCtσOLt%ジ 第2図
を示す組成図、第2図は本発明の一実施例における光学
情報記録部材の構成を示した断面図である。 第1図 GeCtσOLt%ジ 第2図
Claims (4)
- (1)Te、Ge、Se、Biを主成分とし、Te、G
e、Seの原子数比が第1図における、 A_1(Te_9_0Ge_5Se_5)、B_1(T
e_6_0Ge_5Se_3_5)、C_1(Te_4
_0Ge_2_5Se_3_5)、D_1(Te_4_
0Ge_4_0Se_2_0)、E_1(Te_3_5
Ge_4_0Se_5)の各点で囲まれる領域内にあり
、Biの濃度(at%)が全体の組成を(Te_xGe
_ySe_z)_1_0_0_−_mBimと表したと
き、15≦m≦35at%である薄膜を備えた光学情報
記録部材。 - (2)Te、Ge、Seの原子数比が第1図における、
A_2(Te_8_3Ge_7Se_1_0)、B_2
(Te_6_3Ge_7Se_3_0)、C_2(Te
_4_5Ge_3_0Se_2_5)、D_2(Te_
4_5Ge_3_5Se_2_0)、E_2(Te_5
_5Ge_3_5Se_1_0)の各点で囲まれる領域
内に有って、Biの濃度(at%)が15≦m≦30a
t%であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の光学情報記録部材。 - (3)Te、Ge、Seの原子数比が第1図における、
A_3(Te_7_5Ge_1_0Se_1_5)、B
_3(Te_6_5Ge_1_0Se_2_5)、C_
3(Te_5_0Ge_2_5Se_2_5)、D_3
(Te_5_0Ge_3_0Se_2_0)、E_3(
Te_5_5Ge_3_0Se_1_5)の各点で囲ま
れる領域内に有って、Biの濃度(at%)が、15≦
m≦25at%であることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の光学情報記録部材。 - (4)組成を(Te_8_0_−_pGe_pSe_2
_0)_1_0_0_−_mBi_mと表したとき、1
0≦p≦25、15≦m≦25at%であることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の光学情報記録部材。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211471A JPS6273439A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | 光学情報記録部材 |
| CN86107003A CN1010519B (zh) | 1985-09-25 | 1986-09-22 | 可逆的光学情报记录介质 |
| KR1019860007937A KR900009187B1 (ko) | 1985-09-25 | 1986-09-23 | 광학정보기록매체 |
| EP89118260A EP0355865B1 (en) | 1985-09-25 | 1986-09-25 | Reversible optical information-recording medium |
| EP86113211A EP0217293B1 (en) | 1985-09-25 | 1986-09-25 | Use of compositions as reversible optical information media |
| DE3689886T DE3689886T2 (de) | 1985-09-25 | 1986-09-25 | Reversibler optischer Informationsaufzeichnungsträger. |
| DE3689815T DE3689815T2 (de) | 1985-09-25 | 1986-09-25 | Verwendung von Zusammensetzungen als reversible optische Aufzeichnungsmaterialien. |
| US08/053,343 US6268107B1 (en) | 1985-09-25 | 1993-04-28 | Reversible optical information-recording medium |
| US08/053,346 US5278011A (en) | 1985-09-25 | 1993-04-28 | Reversible optical information-recording medium |
| US09/765,677 US20010019810A1 (en) | 1985-09-25 | 2001-01-22 | Reversible optical information-recording medium |
| US10/389,615 USRE42222E1 (en) | 1985-09-25 | 2003-03-14 | Reversible optival information-recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211471A JPS6273439A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | 光学情報記録部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273439A true JPS6273439A (ja) | 1987-04-04 |
| JPH0453192B2 JPH0453192B2 (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=16606490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60211471A Granted JPS6273439A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | 光学情報記録部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6273439A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005076355A1 (ja) * | 2004-02-06 | 2008-01-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 記憶装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766996A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-23 | Hitachi Ltd | Information recording member and method of preparing thereof |
| JPS6034897A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 書替可能光記録媒体 |
| JPS6048397A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学的記録媒体およびその製造方法 |
-
1985
- 1985-09-25 JP JP60211471A patent/JPS6273439A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766996A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-23 | Hitachi Ltd | Information recording member and method of preparing thereof |
| JPS6034897A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 書替可能光記録媒体 |
| JPS6048397A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学的記録媒体およびその製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005076355A1 (ja) * | 2004-02-06 | 2008-01-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 記憶装置 |
| JP4856953B2 (ja) * | 2004-02-06 | 2012-01-18 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 記憶装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0453192B2 (ja) | 1992-08-25 |
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