JPS6273721A - 高周波電力伝達装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 未発明は高層ｉ１１！＋電力伝達装置ｎに係り、特に高
周波を印加する？’ｉｔ　ｌｆｉが軸方向（こ移動する
もの暑こ好適な■周波電力伝達装置（こ関する。

〔発明の背景〕

従来の装置ｉＶは、特１用昭６０−３２３２１号公報に
記載のように、一端に高周波を印加する電極を連結した
軸の外周に放射状に移甲り極板を股１、移動極板に対向
させて非接触醗こ設けた固定季を役を、移動極板の移動
偏分だけ移動極板より畏くして。

電極と軸方向に動かしても移動極板と固定極板との組み
合う面積、すなわち空ｉコンデ：／サーの容量が変動し
ないようにしたものがある。

しかし、電極を移動させることによって、対向電極との
間隔が変わ１）、電極と対向電極とのインピーダンスが
太き（変化し５、マ・ｔチングが取り難いという問題が
あった。

〔発明の目的〕

未発明の目的は、移動極板と固定極板とζご、よるコン
デンサ容量をｔｌ’えることによって、処理電極の対向
間隔な変λ−ても、処理電極と容ｆｌ＋１結合器との合
計インピーダンスを一定に保って、マッチングボ・ノク
スＣごよるインピーダンスの整合作貨を容易にできる１
ｇ；周波箪カイ云達装胃を提供する二とにある。

〔発明の櫃、嬰〕

大発明は、処理室内１こ設けらｉｔ、　、ｔ（面間隔を
調整可能な処１１Ｉ′！！１極と、該処理電極−こ麓周
波電力を印加する高周波ＸＴｔ源と、前記処理電極に前
記扁周波電力を非接触で伝達する容量結合器とから成り
。

前記処理電極の対向間隔を変える移動側」１こ連結した
前記容量結合器の移動極板と、該移＠極板憂こ対向した
ｉｆｆ記容量結合器の固定極板との対向面積を、前記処
１７１１電極の間隔調整に伴い変化させたことを特徴と
し、処理７Ｗ極の対向間隔を変えても移動極板と固定極
板と疹こよるコンデンサ容量を変えること番こよって、
処理電極と容量結合器との合計インピーダンスを一定に
保ち、マツチングボックスによるインピーダンスの整合
作業を容易に行なえるようにしたものである。

〔発明の実施例〕 以下、大発明の一実施例を第１図と第２図とにより説明
する。

第１図は、例文ば半導体製造装置、この場合はエラ１ン
グ装量の構成図を示す。処理室１内には、電極２と電極
２Ｉこ対向して設けられた対同電極３とが内股さｎてい
る。Ｎ極２は、処理室１の外部曇こ設けら几た上下移動
装青（図示省略）により、矢印１０のように上下する軸
４Ｉこ取り付けらｆ″Ｌでおり、処理室１内で上下移動
する。軸４の下部には、アーム５を介して移動極板６が
設けである。移動極板６に対向して、非接触に固定極機
７が配置しである。固定極機７は、マツチングボックス
８を介して品ＩＭ波電源９に接続しである。電極３は、
アースに接続しである。

固定極板７は、第２図（こ示すように、この場合３枚配
置してあり、そｎぞれ軸４の移動方向１０に対して長さ
を変えである。また、固定極板７の上部は、上になるに
従い幅が狭（し１．である。固定極板７と移動極板６と
は、一定間隔を保って平行に位置している。

上記構成蚤こおいて、固定極機７に、高周波ＩＥ源９よ
りマツチングボックスを介して高周波電圧を印加するこ
と蚤こよって、移動極板６にも高周波電圧が印加され、
アーム５および軸６を介して、電極２に高周波電力が伝
達さｎる。こ几によって。

処理室１内にガス供給装置（図示省略）から処理ガスが
供給さ几、この処理ガスがＴＫ電極と対向電極３との間
でプうズマ化さ１１て、処理室１内に配置された被加工
物（図示省略）をプラズマ処理していく。

このとき、被加工物の種類、処理ガスの種類および高周
波電圧値等の諸条件により、電極２と対向電極３との間
隔を変える必要があり、軸４を矢印１０の方向に移動さ
せて調整を行なう。０１ｔによって、対向電極３から高
周波電源９までの間のインピーダンスが変わる為、マツ
チングボックス８でインピーダンスの整合を行なう。こ
のとき、１ｆＩ２が下がった状懇、すなオつち、電極２
と対向電極３との間隔が広い場合には、固定極板７の下
部の幅が広い部分に移動極板６が位置するようにし、電
極２が上がって、ス（回胤極３との間隔が狭（なる６ご
４従い、移動極板６が上がり、ｔｉ’＋４定極根７の幅
が段々狭（なる位置に移動していく。二ｔしによって、
固定極板７と移動極板６との向い合う面積が変化し、高
周波重力の伝達８鼠を変えて、マツチングボックス８で
のインピーダンスの整合範囲を小さくする。

以上、木−実施例によれば、固定極板７の幅を変えるこ
とによって、固定極板７と移動極板６との向い合う面積
を変えて、コンデンサとしての容量を変えることができ
、ＩＥ電極と対向電極３との間隔を変えても、固定極板
７と移動極板６とである程度インピーダンスを合わせる
ことができるので、マツチングボックス８でのインピー
ダンスの整合範囲を小さくでき、整合作業を短時間で容
易にできるという効果がある。

次番こ、第２の実施例を第３図により説明する。

本図において、第２図と同符号は同一部材を示し、異な
る点は、移動極板７ａに絶ａ膜７ｂを被覆した点である
。絶縁膜７ｈは、移動極板６と向い合う面に設けらｎ、
固定極板７ａの下部からと部疹こい々に従い絶縁幅を狭
くしている。

上バＣ第２の実箱例によｎば、絶縁膜７ｂを被覆した部
分では、コンテ゛ンサとしての容量を高くすることがで
き、　ｎＴｔ記−実施例と比べて小形１こ、することが
できると共に、餌記−実施例と同様に、マツチングボッ
クス８でのインピーダンスの整合範囲を小さくでき、整
合作菫を′ｆｒ１時間で容易番こできるという効果があ
る。

次蚤こ、第３の実施例を失４図により説明する。

未実施例は、移動１ｆｉ極６ａを軸４の回りに放射状に
配置し、移動極板６ａに向い合うように固定極板７Ｃを
配■すると共に、固定極板７ｃの幅を上部にいくに従い
狭くしたものである。

上記、第３の実施例によれば、旧誼−実施例と同様の効
果があると共に、コンパクトにまとめることができると
いう効果がある。

次に、第４の実施例を孕５図により説明する。

未実施例は２軸４に円筒の移動極ｆｉ、６ｂを設ｆ？、
移動極板６ｂの回りに、上部にいくに従い面積を少なく
した円筒の固定イｆ！板７ｄを配置したものである。

上記、第４の実施例−こよ■ば、ＨＩ前記一実施例と同
様に、マツチングボックス８でのインピーダンスの整合
範囲を小さくでき、整合作業をｙｋｌＲ閲で容易にでき
るという効果がある。

尚、前記車２図〜第５図の実施例では、固定極板の形状
を変えたり、絶縁被覆した１）シたが、移動極板側の形
状を変えたり、絶縁被覆したりしても同様の効果がある
。

〔発明の効果〕

未発明ｆこよｎば、処理ｒＣＳ極の対向間隔を変えても
移動極板と固定極板とによるコンテ′ンザ容贋を変える
ことができるので、処理電極と′；（量結合器との合計
インピーダンスを一定に保って、−１・ッ子ングボック
スによるインピーダンスの整合作業を容易に行なえると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である高周波１１′力伝達
装置を用いたＳＭｌの構成図、第２図は第１図をＡから
見た斜視詳細図、弔３図〜第５図は第２図の他の実施例
を示す斜視詳細図である。 ２・・・・・・電極、３・・・・・・対向電極、６，６
ａおよび６ｂ・・・・・・移動！＃！、板、７．７ａ、
７ｅおＪ、び７　ｄ　−８・・固定極板、７ｂ・・・・
・・絶縁膜、９　・・・高周波酸源才３図 １４図　　　　　第５ν１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、処理室内に設けられ対向間隔を調整可能な処理電極
   と、該処理電極に高周波電力を印加する高周波電源と、
   前記処理電極に前記高周波電力を非接触で伝達する容量
   結合器とから成り、前記処理電極の対向間隔を変える移
   動側電極に連結した前記容量結合器の移動極板と、該移
   動極板に対向した前記容量結合器の固定極板との対向面
   積を、前記処理電極の間隔調整に伴い変化させたことを
   特徴とする高周波電力伝達装置。