JPS6275923A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はＤＡＴ　Ｅデジタル・オーディオ・テープレコ
ーダ〕等に使用されるＶＩ膜磁気ヘッドに関するもので
ある。

従、末の一技存 近年、コンピュータに使用されるＦＤＤ　（フロッピー
・ディスク・ドライブ）やＤＡＴ用の磁気ヘッドには小
型化が要求されつつあり、そこで磁気抵抗素子を利用し
た再生専用の薄膜磁気ヘッドが開発されζいる。このｍ
１ｌＩｌ膜磁気へソドの具体例を第３図及び第４図を参
照し７なから説明する。同図に於いて、（］）はヒラミ
、ツクやガラス等からなる絶縁性のヘッド基板、（２）
は該ヘッド基板（１）上にスパッタ法等によりＭ膜状に
形成した磁気ヘッド素子で、この磁気ヘッド素子（２）
Ｌ才、パーマロイ等の強磁性体からなる磁気抵抗素子（
３）と、該磁気１゛″″”７′“°′″７１１ｊｌ；／
１゛−；ｙ　ｇｒｈ″″”“°゛″７”°１なる外部引
出し用のリード（４）（４）とから構成される。」二記
出猟ヘンド素子（２）の磁気抵抗素子（３）は、テープ
摺動面（５）をテープ〔図示せず〕が走行することによ
り生じる磁界の変化を検出して該磁界の変化に応じて電
気１ｆｆｉｔＡ：ｆ′＊（ｔ’、８　”Ｌ　Ｊ：Ｅｔ　
−１”ＫＭ’ＲＥＨｇ　ｈｔ：　　　　　。

情報を再生するものである。（６）は上記ヘッド基板（
１）上の少なくとも磁気ヘッド素子（２）を含む主要部
分に被着形成した絶縁性の保護膜、（７）は該保護膜（
６）ヒの磁気ヘッド素子（２）を含む主要部分に貼着し
た結晶化ガラス等からなる絶縁性の保護板である。上記
構成からなる薄膜磁気ヘッドは、第５図に示すように、
通常、１つのヘン１′基板（１）Ｉ−に複数の磁気へン
ド素子（２）（２）・・・を整列させて形成したマルチ
ヘッド方式が採用される。

発明が解状友、！；−う上す−る問題点上記した薄膜磁
気へ７　ｔ’をマルチヘラ１一方式で使用する場合、各
磁気ヘラ１′素子（２）（２）・・・と磁気テープとの
テープ摺動面（５）が略完全な平面でメｆく、該テープ
摺動面（５）と磁気テープとの間にスペーシングロスが
あると、再生ロスが発生したり、ノイズの原因ともなる
ため、上記接触摺動面は略完全ｌ「平面にする必要があ
る。このため従来は第６図に示す如く、薄置突磁気ヘッ
ドの形成時、基板（１）の先端面（１ａ）が各磁気−・
ンド（２）（２）・・・の先端面（２ａ）　　（２ａ）
・・・より前方に来るように形成し、予め研磨量（８）
を形成しておく。そしてこの後、各磁気ヘッド素子（２
）（２）・・・の先端面（２ａ）　　（２ａ）・・・が
露出する研磨終了線（ｍ）まで基板（＋）の先端面（ｌ
ａ）をＶｒ磨加Ｔすることにより、テープ摺動面（５）
を略完全な平面に什−１，げ−（いる。又、この研磨作
業時の研磨終了１！（ｍ）の位置を各種薄膜磁気ヘッド
毎に設定し、＋ｉｌｆ磨量を調整することにより、各種
薄膜磁気ヘッドの磁気ヘッド素子（２）（２）・・・の
電気的特性を調整している。しかし、上記方法によって
テープ摺動面（５）を形成するに際しては、作業員が顕
微鏡等を利用して、その目視により磁気ヘッド素子（２
）（２）・・・の先端面（２ａ）　　（２ａ）・・・が
露出するのを確認するまで研磨量（７）を研磨加コーシ
ていたため、研磨作業に熟練を要するといった問題点が
あった。又、磁気ヘソＦ素子（２）（２）・・・の先端
面（２ａ）（２ａ）・・・を目視によって確認すると、
作業者によって研磨量に偏差が生じ、製品の特性が安定
しないといった問題点もあった。

問題点奎解決ず−Ａｋ−め一畔段 平板状をしたヘッド基板上にスパッタリング法等により
、複数の磁気ヘッド素子を形成してなる薄膜磁気ヘッド
に於いて、上記ヘッド基板上の磁気ヘッド素子が形成さ
れていない研磨代部分に、薄膜磁気ヘッド研磨加］一時
の研磨量を電気的に検出するためのテスト専用ヘッドを
形成したものである。

イｗｉ 上記テスト専用ヘッドによって、ｉ膜磁気ヘッドｆｆｒ
磨加工時の研磨量を電気的に検出することにより、研磨
量を常に一定に保つものである。

実ｍ桝 以下に本発明に係る薄１を磁気ヘッドの一実施例を第１
図及び第２図に示し説明する。尚、第３図乃至第６Ｍと
同一部分は同一参照符号を付し説明は省略する０本発明
が従来と相違する点は、ヘッド基板（１）の側部の磁気
ヘッド素子（２）（２）・・・が形成されていない研磨
代部分に、研Ｎ量を一定に保つためのテスト専用ヘッド
（１（１）を設けたことにある。このステト専用ヘッド
（１（１）は、磁気ヘッド素子（２＞（２）−・・と同
じく、磁気抵抗素子（１１）と、磁気抵抗素子（１１）
の両端から延びる外部引出し用のリード（１２）　　（
１２）とから構成される。そしてその形成位置は、テス
ト専用ヘッド（１（１）の先端面（１０ａ）が、薄膜磁
気ヘッドの研磨量（８）を研磨する時の研磨終了線（ｍ
）より所定量だけ前方に突出する位置に設けておく。

上記構成からなるテスト専用ヘッド（１（１）を有する
薄膜磁気ヘッドの研磨量（８）を研磨し、第２図に示す
如くテープ摺動面（５）を形成する時、研磨作業時には
先ずテスト専用ヘッド（１（１）の先端面（］Ｏａ）が
研磨面に表われ、このテスト専用ヘッド（ｌＯ）の先端
面（１０ａ）が所定量研磨された後、磁気ヘッド素子（
２）（２）・・・の先端面（２ａ）　　（２ａ）・・・
が表われ、研磨終了線（ｍ）に達することになる。従っ
て、研磨作業時、テスト専用ヘッド（１（１）の先端面
（］Ｏａ）は所定量研磨されることになるため、この研
磨によって生じるテスト専用ヘッド（１（１）の電気的
変化を予めテストによって測定しておく。この場合、検
出電気信号の変化を、より検出し易くしたい時には、磁
気抵抗素子（１１）の近傍、例えば研磨終了線（ｍ）ｌ
１１１付近に、抵抗−磁界特性における動作点バイアス
調整用の永久磁石薄膜を形成するとよい。そして研磨作
業時、テスト専用ヘッド（１（１）が研磨されるごとに
より生じる電気的変化が所定値に達した時、研磨装置を
自動的に停＋Ｌ−させるようにすれば、ＷＩｉ膜磁気ヘ
ッドの研磨量を常に−・定に保つことができる。

尚、上記実施例は本発明を磁気抵抗素子を利用した再往
専用のＭＲヘッドに通用し、た場合について説明したが
、本発明はその場合に限らず、ヨーク型ＭＲヘッド或い
は記録再生用のインダクティブヘッド等の伯の形式の薄
Ｗｉｊｉ　＆！気ヘッドにも適用できる。

光叫−のりＬ果 上記した如く、本発明は薄膜磁気ヘッドに形成したテス
ト専用ヘッドにより、薄膜磁気ヘンド研磨加工時の研磨
量を電気的に検出し、この時の電気的変化が所定値に達
すると研磨装置を自動的に停止させるようにしたから、
研磨量を常に一定に保つことができ、製品の特性の安定
化が可能となる。又このように研磨量を電気的に検出す
れば、＠磨量の調整を自由に行うことができるため、研
磨量を調整することにより行う磁気ヘッド素子の電気的
特性のｔ８ｗを正確に行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドのｆＩｆ磨前の状
態を示す平面図、第２図は研磨後の状態を示す平面図で
ある。第３図は薄膜磁気ヘッドの一例を示す斜視図、第
４図は第３図の薄膜磁気へラドのテープ摺動面を示す正
面図、第５図はマルチヘッドタイプの薄膜磁気ヘッドの
研磨後の状態を示す平面図、第６図は研磨前の状態を示
す平面図である。 （１）−ヘッド基板、（２）　−磁気ヘッド素子、（１
（１）・−テスト専用ヘッド。 第３図　、ｉｌ、Ｆｊ材禾へ７μ力／１９ｆ／ｉ第５図
　リ？ｌ大砿夏へ、Ａ”！ｂｍ （Ｍ／ｆが） ｔｘ７ｔＲ） り　　ヂ　　　　　　ｆｔ−り 手続補正書 昭和６１年　２月２５「１ 特許庁長官　　宇　賀　道　部　　殿 １、事件の表示 昭和６０年　特許層　第２１５２８２号２、発明の名称
　薄膜磁気ヘッド ３、ｉ！正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　関西日本電気株式会社 ４、代理人 住　所　　大阪府大阪市西区江戸堀１丁目１５番２６号
昭和６１年１月８日 （発送日　昭和６１年１月２８日） ６、補正の対象　図　　　面 ７、Ｉ！正の内容　図面全図を別紙の通り補正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）平板状をしたヘッド基板上に、複数の磁気ヘッド
   素子を形成してなる薄膜磁気ヘッドに於いて、 上記ヘッド基板上の磁気ヘッド素子が形成されていない
   研磨代部分に、薄膜磁気ヘッド研磨加工時の研磨量を電
   気的に検出するためのテスト専用ヘッドを形成したこと
   を特徴とする薄膜磁気ヘッド。