JPS627604Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は複数の部品を整列収納したマガジン
の各部品製造工程間の移動等に使用されるマガジ
ン搬送装置に関する。

一般に、半導体装置は最終製造工程で自動検査
機によつて特性検査が１個ずつ行われ、この自動
検査機への半導体装置の供給には半導体装置を複
数個整列させて収納するマガジンが使用される。
例えば、第１図に示すMOSIC等の半導体装置
（以下部品と称す）１には第２図及び第３図に示
す如きマガジン２が使用されている。即ち、部品
１は樹脂モールドされた本体３の両側面よりＬ字
状に折曲されたリード４を導出した形状であり、
マガジン２は２本の平行な連結管５にこれと直交
させて複数の筒状ケース６を並列に並べてネジ７
で固定した構造を有する。部品１はマガジン２の
筒状ケース６内に一列に整列されて収納される。
また部品１を満杼したマガジン２は自動検査機に
鉛直に保持されて供給され、そして筒状ケース６
の下端から部品１が１個ずつ切出されて特性検査
される。

このようなマガジンの自動検査機への供給や自
動検査機からの排出は一般に手動で行われている
が、手動ではマガジン補給の忘れなどで作業が中
断することがあり、作業性が悪い。またマガジン
搬送装置を使つて自動検査機へのマガジン供給等
を自動化する試みがなされているが、マガジン搬
送装置が複雑且つ大型化する傾向にあつて、これ
の使用には実用上に問題があつた。例えば、比較
的構造が簡単なマガジン搬送装置としてハンガー
方式のものがある。これは自動検査機の横で水平
な一定周回軌道を間歇駆動するチエーン等の搬送
体に複数本のハンガーを搬送体と直交する水平方
向に保持して定ピツチで固定し、１つのハンガー
が定ポジシヨンに送られてくるとこのハンガーに
マガジンを供給し、ハンガーにマガジンを鉛直に
吊設してハンガーと共に自動検査機へと水平送り
するものである。しかし、このハンガー方式は自
動検査機にマガジンを供給して空になつたハンガ
ーが自動検査機から離れて次のマガジン供給を受
ける定ポジシヨンまで戻る遊び区間のハンガーの
通る水平な空間スペースが大きくて、マガジン搬
送装置全体の設置上必要な床面積が大きくなる問
題があつた。

本考案はかかる問題に鑑みてなされたもので、
設置スペースを小さくすることを目的としたハン
ガー方式のマガジン搬送装置を提供する。

本考案は上記目的を達成する手段として、ハン
ガー方式マガジン搬送装置のハンガーを搬送体に
回転自在に枢着して、マガジン搬送時はハンガー
を搬送体周回軌道内に大きく水平に延ばし、遊び
区間のみハンガーを鉛直に吊設することを特徴と
する。また本考案はハンガーの水平姿勢を外部の
ガイド部材で強制的に行い、鉛直姿勢はハンガー
の自重で自然に行わせることを特徴とする。この
ようにすることにより、少くともハンガーの遊び
区間でのスペースが小さくでき、装置全体の床面
積の縮小化が実現できる。

以下、本考案を例えば第２図に示したマガジン
２の搬送装置に適用した実施例でもつて説明す
る。

第４図及び第５図において、７はチエーン等の
無端の搬送体、８，９は搬送体７を水平に張設し
て一定の周回軌道を同一方向に間歇駆動するプー
リで、上方から延びる回転軸８′，９′に支持され
る。１０は搬送体７に定ピツチで固定されて下方
に延びる複数のハンガー支持杆、１１は各ハンガ
ー支持杆１０の下端に揺動自在に枢着された複数
のハンガー、１２はガイド部材で例えばガイドプ
レート、１３は例えば自動検査機である。前記ハ
ンガー１１は角棒状のもので、中心より外れた偏
心点がハンガー支持杆１０にピン１０′で枢着さ
れる。ハンガー１１は搬送体７と直交する鉛直面
をピン１０′を支点に揺動し、この支点から両端
までの距離は外方揺動部分１１ａが短く、内方揺
動部分１１ｂが長く設定され、これによりハンガ
ー１１を自然状態に放置すると長くて重い内方揺
動部分１１ｂが下がつてハンガー１１は鉛直に吊
設される。またハンガー１１の外方揺動部分１１
ａの先端面にはガイドローラ１４が、一側面には
複数の一直接上に並ぶ滑車１５が回転自在に突設
される。滑車１５はハンガー１１が水平状態にあ
る時に、第６図に示すようにマガジン２の上部連
結管５内に嵌挿されてマガジン２を鉛直に吊設す
る。

上記ガイドプレート１２は搬送体７の自動検査
機１３寄りのストレート区間と一方のプーリ８の
回転区間の周回軌道に沿つて固定配置され、その
形状及び高さの規制でハンガー１１を強制的に水
平保持する。即ち、間歇送りされるハンガー１１
の各ポジシヨンの内、動作変化点となる各ポジシ
ヨンは第４図に示すＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄで、ポジシヨ
ンＡで水平になつたハンガー１１にマガジン２が
供給され、ポジシヨンＢでマガジン２が自動検査
機１３に切出され、ポジシヨンＣからポジシヨン
Ｄまではハンガー１１の遊び区間でハンガー１１
は鉛直に吊設され、ポジシヨンＤからポジシヨン
Ａに移る間にハンガー１１は鉛直から水平に姿勢
が変る。この場合、ガイドプレート１２はポジシ
ヨンＤ−Ａ−Ｂの区間に設置され、ポジシヨンＤ
−Ａ間にある旋回部１２′は第７図に示すように
先端をほぼ鉛直に直立させ、この先端から離れる
に従つて徐々に水平に戻して、ポジシヨンＡで完
全に水平にした形状になし、ポジシヨンＡ−Ｂ間
の直線部１２″は全て水平の状態にする。またガ
イドプレート１２の高さは旋回部１２′の先端が
ポジシヨンＤにきた鉛直なハンガー１１のガイド
ローラ１４とハンガー支持杆１０の間に入り、以
後ハンガー１１の移動によつてガイドローラ１４
が旋回部１２′の下面で押し下げられて、ポジシ
ヨンＡでハンガー１１が水平になるよう設定す
る。

次に上記構成によるマガジン搬送動作を説明す
る。

ポジシヨンＡで水平に保持されたハンガー１１
に１つのマガジン２が供給されて鉛直に吊設され
る。ポジシヨンＡ−Ｂ間のガイドプレート１２は
水平に延びるので搬送体７の間歇駆動でポジシヨ
ンＡ−Ｂ間を間歇送りされるハンガー１１は水平
に保持され、従つてマガジン２は鉛直に吊設され
た状態でポジシヨンＢまで間歇送りされる。尚、
搬送体７の１回の間歇動毎に１つのマガジン２が
ポジシヨンＡのハンガー１１に供給される。１つ
のマガジン２がポジシヨンＢにくると、図示しな
いが外部から切出し爪でもつてマガジン２は自動
検査機１３側に切出されて、ポジシヨンＢのハン
ガー１１は空になる。そして、搬送体７の間歇動
が始まつてポジシヨンＢのハンガー１１が少し移
動するとガイドローラ１４がガイドプレート１２
から外れ、このハンガー１１はポジシヨンＣにく
るまでに自重で鉛直方向に姿勢が変る。この姿勢
はポジシヨンＤにくるまで変らず、ポジシヨンＤ
からポジシヨンＡに戻る間に再度水平になつて、
上記動作が繰り返される。

上記構成において、ハンガー１１は内方揺動部
分１１ｂの長さを搬送体７のストレート部分の間
隔程度に十分長くすれば、マガジン２の大部分は
搬送体７の周回軌道内で搬送されて、マガジン搬
送装置の設置床面積が尚更に縮小される。

尚、本考案は上記実施例に限らず、半導体装置
製造に使用するマガジン以外の他の一般のマガジ
ン搬送装置にも十分に適用し得る。

以上説明したように、本考案によればハンガー
は遊び区間で鉛直に吊設されて送られ、またマガ
ジンの大部分を搬送体周回軌道内で搬送すること
ができるので、装置全体の占める空間スペースが
小さくなり、床面積の縮小化が図れて、その設備
上の実用効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図はマガジンに収納される部品の一例を示
す斜視図、第２図及び第３図はマガジンの一例を
示す正面図及びＴ−Ｔ線拡大断面図、第４図及び
第５図は本考案の一実施例を示す概略平面図及び
部分概略斜視図、第６図は第５図の部分側面図、
第７図は第５図のガイド部材とハンガーの関係を
示す部分動作斜視図である。 ２……マガジン、７……搬送体、１１……ハン
ガー、１２……ガイド部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一定の周回軌道を間歇駆動する搬送体と、搬送
   体に定ピツチで枢着され、自然状態の重量バラン
   スで鉛直方向に吊設される複数のマガジン保持用
   ハンガーと、搬送体の周回軌道の一部に沿つて固
   定配置され、鉛直に吊設されて搬送されてくるハ
   ンガーとの接触により当該ハンガーを搬送体周回
   軌道の内方へと起して一定区間水平に保持するガ
   イド部材とを具備し、水平に保持されたハンガー
   にマガジンを供給してハンガーと共に水平送りさ
   せるようにしたことを特徴とするマガジン搬送装
   置。