JPS6277072A - リニアアクチユエ−タ - Google Patents
リニアアクチユエ−タInfo
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- JPS6277072A JPS6277072A JP60213427A JP21342785A JPS6277072A JP S6277072 A JPS6277072 A JP S6277072A JP 60213427 A JP60213427 A JP 60213427A JP 21342785 A JP21342785 A JP 21342785A JP S6277072 A JPS6277072 A JP S6277072A
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- Japan
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- magnet
- electrodes
- electrode
- coil
- piezoelectric element
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電素子の振動と電磁力とにより駆動力を得る
ようにしたリニアアクチュエータに関するものである。
ようにしたリニアアクチュエータに関するものである。
本発明は、円筒状圧電素子の内周面及び外周面のうちの
一方の面に少なくとも１個の電極を設けると共に、他方
の面に複数個の電極を設け、上記複数個の電極に複数相
の交流電圧を加えることにより、円周方向に進行する弾
性波を発生するようにして成る振動部の外周面の一部に
マグネットを圧接させると共に、このマグネットに近接
してコイルを配することにより、上記振動部と上記マグ
ネットとが相対的に移動するようにしたリニアアクチュ
エータである。このアクチュエータによれば、高速送り
、微細送り及び定位置制御を容易に行うことができる。
一方の面に少なくとも１個の電極を設けると共に、他方
の面に複数個の電極を設け、上記複数個の電極に複数相
の交流電圧を加えることにより、円周方向に進行する弾
性波を発生するようにして成る振動部の外周面の一部に
マグネットを圧接させると共に、このマグネットに近接
してコイルを配することにより、上記振動部と上記マグ
ネットとが相対的に移動するようにしたリニアアクチュ
エータである。このアクチュエータによれば、高速送り
、微細送り及び定位置制御を容易に行うことができる。
本出願人により、特願昭５８−２１２０６号、特願昭５
８−１５００７２号等において、圧電素子の振動を利用
して回転力を得るようにした弾性波モータが提案されて
いる。この弾性波モータは、リング状弾性体の軸方向に
垂直な一方の面に複数個の圧電素子を配列すると共に、
反対側の面にリング状又は円板状の回転体を圧接させて
成り、上記複数個の圧電素子を２Ｍｉに分けて各組の圧
電素子に９０゛の位相差を有する駆動電圧を加えること
により、上記リング状弾性体に円周方向に沿って進行す
る弾性波を発生させ、この弾性波によって、上記回転体
を回転駆動するようにしたものである。
８−１５００７２号等において、圧電素子の振動を利用
して回転力を得るようにした弾性波モータが提案されて
いる。この弾性波モータは、リング状弾性体の軸方向に
垂直な一方の面に複数個の圧電素子を配列すると共に、
反対側の面にリング状又は円板状の回転体を圧接させて
成り、上記複数個の圧電素子を２Ｍｉに分けて各組の圧
電素子に９０゛の位相差を有する駆動電圧を加えること
により、上記リング状弾性体に円周方向に沿って進行す
る弾性波を発生させ、この弾性波によって、上記回転体
を回転駆動するようにしたものである。
このような弾性波モータにおいて、上記リング状弾性体
を直線部分を有する楕円形状に形成し、上記直線部分に
移動体を圧接するように成せば、リニアアクチュエータ
が実現される。また、本発明に関する弾性波モータとし
て、特願昭６０−１６２２７５号が提案されている。
を直線部分を有する楕円形状に形成し、上記直線部分に
移動体を圧接するように成せば、リニアアクチュエータ
が実現される。また、本発明に関する弾性波モータとし
て、特願昭６０−１６２２７５号が提案されている。
また従来より電磁力を利用したプランジャソレノイド等
のリニアアクチュエータが広く用いられている。この電
磁力を用いたリニアアクチュエータとしては、電磁力か
ら直接的に直進力を得るものと、間接的な駆動機構を介
して直進力を得るものとが知られている。
のリニアアクチュエータが広く用いられている。この電
磁力を用いたリニアアクチュエータとしては、電磁力か
ら直接的に直進力を得るものと、間接的な駆動機構を介
して直進力を得るものとが知られている。
上記弾性波モータを利用するアクチュエータは、低速で
微細送りを行うのに適しているが、高速送りは物理的に
限界がある。また、圧接力による摺動伝達のため、ノイ
ズが発生し、寿命も短くなる欠点がある。
微細送りを行うのに適しているが、高速送りは物理的に
限界がある。また、圧接力による摺動伝達のため、ノイ
ズが発生し、寿命も短くなる欠点がある。
上記リング状弾性体を楕円形に形成するものでは、楕円
形弾性体の直線部分と半円部分とで曲率が大巾に変化す
るので、両方の部分に生じる波の形態が異り、このため
波の散乱や反射が起り、均一な進行波を得ることができ
ない。
形弾性体の直線部分と半円部分とで曲率が大巾に変化す
るので、両方の部分に生じる波の形態が異り、このため
波の散乱や反射が起り、均一な進行波を得ることができ
ない。
上記電磁力から直接的に直進力を得るものは、高速送り
が可能であり、また接触部分が少ない利点があるが、定
位置制御を行う場合に閉ループ制御回路を必要とし、ま
た定位置制御時には常に通電を行う必要がある。さらに
停止時のスト、７パを設ける必要があり、またさらに外
乱に対する耐力が低い欠点がある。
が可能であり、また接触部分が少ない利点があるが、定
位置制御を行う場合に閉ループ制御回路を必要とし、ま
た定位置制御時には常に通電を行う必要がある。さらに
停止時のスト、７パを設ける必要があり、またさらに外
乱に対する耐力が低い欠点がある。
上記間接駆動機構を有する電磁アクチュエータは、機構
が複雑で大型となり、このため機械的ノイズの発生、精
度等の問題があり、また高速送りが困難であると言う欠
点がある。
が複雑で大型となり、このため機械的ノイズの発生、精
度等の問題があり、また高速送りが困難であると言う欠
点がある。
本発明においては、円筒形状圧電素子の内周面及び外周
面のうちの一方の面に少なくとも１個の電極を設けると
共に他方の面に複数個の電極を設は上記複数個の電極に
所定の位相差を有する交流電圧を加えるようにした振動
部と、上記振動部の外周面の一部に接触するマグネット
と、上記振動部と上記マグネットとを圧接させる手段と
、上記マグネ、トに近接して配されるコイルとを設けて
いる。
面のうちの一方の面に少なくとも１個の電極を設けると
共に他方の面に複数個の電極を設は上記複数個の電極に
所定の位相差を有する交流電圧を加えるようにした振動
部と、上記振動部の外周面の一部に接触するマグネット
と、上記振動部と上記マグネットとを圧接させる手段と
、上記マグネ、トに近接して配されるコイルとを設けて
いる。
上記振動部と上記マグネットとの圧接により、微細送り
が可能になると共に、上記マグネットと上記コイルとに
よる電磁力により、高速送りが可能となる。
が可能になると共に、上記マグネットと上記コイルとに
よる電磁力により、高速送りが可能となる。
第１図において、支持部材１によって、第２図に示す構
造を有する円筒状の振動部２がその下端部を固定されて
支持されている。この振動部２のミ起外周面の一部に接
触してマグネット３が矢印ａ、ｂ方向に移動可能に設け
られている。このマグネット３は例えば板状のプラスチ
、クマグネノト等が用いられ、その両端を軸受部４．５
により支持されている。この軸受部４．５にガイドシャ
フト６が挿通されることにより、マグネット３がａ、ｂ
方向に移動可能に成されると共に、マグネ７ト３と上記
振動部２とが圧接するように成されている。尚、上記シ
ャフト６に代えてガイドローラ等を用いて上記圧接力を
得るようにしてもよい。
造を有する円筒状の振動部２がその下端部を固定されて
支持されている。この振動部２のミ起外周面の一部に接
触してマグネット３が矢印ａ、ｂ方向に移動可能に設け
られている。このマグネット３は例えば板状のプラスチ
、クマグネノト等が用いられ、その両端を軸受部４．５
により支持されている。この軸受部４．５にガイドシャ
フト６が挿通されることにより、マグネット３がａ、ｂ
方向に移動可能に成されると共に、マグネ７ト３と上記
振動部２とが圧接するように成されている。尚、上記シ
ャフト６に代えてガイドローラ等を用いて上記圧接力を
得るようにしてもよい。
このマグネット３は上記移動方向にＮ極とＳ極が着磁さ
れている。またマグネット３には略し形を成すアーム７
が固定され、このアーム７の先端には例えば磁気ヘッド
８等が取付けられている。
れている。またマグネット３には略し形を成すアーム７
が固定され、このアーム７の先端には例えば磁気ヘッド
８等が取付けられている。
上記マグネット３の上記振動部２と接触する面と反対側
の面に近接してコイル９が配されている。
の面に近接してコイル９が配されている。
このコイル９は、通電回路（図示せず）より通電される
電流とマグネット３の磁束とが鎖交することにより、こ
のマグネット３に対してａ方向又はｂ方向の電磁力が作
用する位置に配されている。
電流とマグネット３の磁束とが鎖交することにより、こ
のマグネット３に対してａ方向又はｂ方向の電磁力が作
用する位置に配されている。
上記振動部２は第２図に示すように、長さａを有する円
筒状を成す圧電素子１０の外周面に１個の電極１１が設
けられると共に、内周面に４個の電極１２１〜１２４が
設けられて成るものである。
筒状を成す圧電素子１０の外周面に１個の電極１１が設
けられると共に、内周面に４個の電極１２１〜１２４が
設けられて成るものである。
上記円筒状圧電素子１０は、矢印Ｃで示すように内側か
ら外側に向かう方向に分極されたものが用いられている
。電極１２＋〜１２４は圧電素子１０の全周長さを４等
分するように配されている。
ら外側に向かう方向に分極されたものが用いられている
。電極１２＋〜１２４は圧電素子１０の全周長さを４等
分するように配されている。
第３図は上記振動部２の駆動回路の実施例を示すもので
ある。
ある。
図において、交流駆動電源１３から得られる駆動電圧は
アンプ１４を通して電極１２１に加えられると共に、９
０°移相器１５により９０°移和された後、アンプ１６
を通じて電極１２゜に加えられる。上記駆動電圧はさら
に１８０°移相器１７により１８０“移相された後、ア
ンプ１８を通して電極１２３に加えられると共に、２７
０゛移相器１９により２７０°移相された後、アンプ２
０を通じて電極１２４に加え゛られる。また電極１１は
接地されている。以上によれば、各電極１２゜〜１２４
には順次に９０°づつ位相のずれた電圧が加えられる。
アンプ１４を通して電極１２１に加えられると共に、９
０°移相器１５により９０°移和された後、アンプ１６
を通じて電極１２゜に加えられる。上記駆動電圧はさら
に１８０°移相器１７により１８０“移相された後、ア
ンプ１８を通して電極１２３に加えられると共に、２７
０゛移相器１９により２７０°移相された後、アンプ２
０を通じて電極１２４に加え゛られる。また電極１１は
接地されている。以上によれば、各電極１２゜〜１２４
には順次に９０°づつ位相のずれた電圧が加えられる。
即ち、電極１２１に加えられる電圧をＣＯ３ωｔとすれ
ば、電極１２□、１２１、］２４には夫々ｓｉｎ ωｔ
、 −ＣＯ３ωｔ、 −５ｉｎ ωｔの電圧が加えられ
ることになる。
ば、電極１２□、１２１、］２４には夫々ｓｉｎ ωｔ
、 −ＣＯ３ωｔ、 −５ｉｎ ωｔの電圧が加えられ
ることになる。
この結果、圧電素子１０の、各電極１２．〜１２４と電
極１１とで挾まれた長さλ／４の部分１０゜〜１０４に
は、順次に９０°ずつ位相のずれた半径方向の振動が発
生し、この振動が円周方向に沿って一方向に進行する。
極１１とで挾まれた長さλ／４の部分１０゜〜１０４に
は、順次に９０°ずつ位相のずれた半径方向の振動が発
生し、この振動が円周方向に沿って一方向に進行する。
即ち、圧電素子１０の円周方向に沿って波長λの進行波
が生しることになる。第１図においては、上記進行波の
振動がマグネット３に伝えられることにより、このマグ
ネソ１−３がアーム７及び磁気ヘッド８と共にａ方向又
はｂ方向に移動する。
が生しることになる。第１図においては、上記進行波の
振動がマグネット３に伝えられることにより、このマグ
ネソ１−３がアーム７及び磁気ヘッド８と共にａ方向又
はｂ方向に移動する。
またコイル９に電流を流すことにより、マグネット３を
ａ方向又はｂ方向に移動させることができる。
ａ方向又はｂ方向に移動させることができる。
この場合、上記振動部２による駆動力によってマグネッ
ト３を微細送りすることができると共に、上記電磁力に
よってマグネット３を高速送りすることができる。マグ
ネット３の移動方向は、振動部２の各電極１２．〜１２
．に加えられる電流の相を選ぶことにより定められると
共に、コイル９に流れる電流の方向により定められる。
ト３を微細送りすることができると共に、上記電磁力に
よってマグネット３を高速送りすることができる。マグ
ネット３の移動方向は、振動部２の各電極１２．〜１２
．に加えられる電流の相を選ぶことにより定められると
共に、コイル９に流れる電流の方向により定められる。
また移動速度は振動部２に加えられる電圧の周波数によ
り定められる。
り定められる。
マグネット３を停止させる場合は、振動部２及びコイル
９の通電を断つことにより停止するが、このとき振動部
２はマグネット３に圧接しているので、殆んど慣性を生
じることなく停止させることができる。また、この停止
状態ではマグネット３は振動部２との摩擦によって位置
が保持される。
９の通電を断つことにより停止するが、このとき振動部
２はマグネット３に圧接しているので、殆んど慣性を生
じることなく停止させることができる。また、この停止
状態ではマグネット３は振動部２との摩擦によって位置
が保持される。
従って、定位置制御回路や機械的なストンパを必要とせ
ず、またコイル９に通電する必要もない。
ず、またコイル９に通電する必要もない。
また振動部２の各電極１２．〜１２４に対して同相の電
圧を加えるように成せば、振動部２には進行波が生じる
ことはなく、このとき振動部２は単に振動する状態とな
り、従って、マグネット３は移動しない。この状態にお
いて、コイル９に通電すると、その電磁力により、マグ
ネット３が移動するが、このとき振動部２が振動してい
るので、マグネット３に対する摩擦係数が小さくなって
いる。このため、マグネット３は電磁力によって容易に
移動することができる。
圧を加えるように成せば、振動部２には進行波が生じる
ことはなく、このとき振動部２は単に振動する状態とな
り、従って、マグネット３は移動しない。この状態にお
いて、コイル９に通電すると、その電磁力により、マグ
ネット３が移動するが、このとき振動部２が振動してい
るので、マグネット３に対する摩擦係数が小さくなって
いる。このため、マグネット３は電磁力によって容易に
移動することができる。
第４図は本発明の第２の実施例を示すもので、第３図と
対応する部分には同一符号を付しである。
対応する部分には同一符号を付しである。
本実施例においては、圧電素子１０の分極方向を、図の
矢印ｄ、ｅで示すように前記部分１０１．１０２におい
て内側から外側に向かう方向とし、前記部分１０３．１
０４において外側から内側に向かう方向としている。こ
れと共に、駆動電源１３の駆動電圧をアンプ１４．１８
を通じｃｏｓ ωｔとして電極１２＋、１２３に加え、
上記駆動電圧を９０°移相器１５で９０°移相させた電
圧をアンプ１６．２０を通じｓｉｎ ωｔとして電極１
２□、１２４に加えるようにしている。
矢印ｄ、ｅで示すように前記部分１０１．１０２におい
て内側から外側に向かう方向とし、前記部分１０３．１
０４において外側から内側に向かう方向としている。こ
れと共に、駆動電源１３の駆動電圧をアンプ１４．１８
を通じｃｏｓ ωｔとして電極１２＋、１２３に加え、
上記駆動電圧を９０°移相器１５で９０°移相させた電
圧をアンプ１６．２０を通じｓｉｎ ωｔとして電極１
２□、１２４に加えるようにしている。
第５図は本発明の第Ｙの実施例を示すもので、外側に１
個の接地用電極１１１と２個の駆動電極１２、．１２□
とを設けると共に、内側に１個の接地用電極１１□と２
個の駆動用電極１２３．１２４とを設けた構成となって
いる。
個の接地用電極１１１と２個の駆動電極１２、．１２□
とを設けると共に、内側に１個の接地用電極１１□と２
個の駆動用電極１２３．１２４とを設けた構成となって
いる。
この振動部２の場合は、各駆動電極１２１〜１２４に加
えられる駆動電圧は、駆動電極１２１．１２、．１２□
、１２４に夫々ｃｏｓ ωｔ、 −５ｉｎωｔ 、、ｃ
ｏｓωｔ、 −５ｉｎωｔの電圧が加えられる。
えられる駆動電圧は、駆動電極１２１．１２、．１２□
、１２４に夫々ｃｏｓ ωｔ、 −５ｉｎωｔ 、、ｃ
ｏｓωｔ、 −５ｉｎωｔの電圧が加えられる。
上述した第１〜第３の実施例の外に圧電素子１０の分権
方向と、電極１２．〜１２４に加える電圧の位相を種々
選ぶことができる。また、電極１２ｔ〜１２４は４個に
限らず、最小２個から２×ｎ個まで用いることができる
。また駆動電圧は最低２相を必要とする。
方向と、電極１２．〜１２４に加える電圧の位相を種々
選ぶことができる。また、電極１２ｔ〜１２４は４個に
限らず、最小２個から２×ｎ個まで用いることができる
。また駆動電圧は最低２相を必要とする。
また圧電素子１０には、マグネット３の移動に寄与する
半径方向の振動の外に、軸方向（第２図の長さｌの方向
）の振動も発生ずる。この軸方向の振動がマグネット３
の移動に影響を及ぼすことを防ぐためには、半径方向の
振動の周波数が、軸方向の振動の共振周波数よりも低く
なるようにすればよい。このためには振動部２の長さβ
を、半径方向の振動の１波長λに対して略β〈λ／４の
関係となるように選定すればよい。
半径方向の振動の外に、軸方向（第２図の長さｌの方向
）の振動も発生ずる。この軸方向の振動がマグネット３
の移動に影響を及ぼすことを防ぐためには、半径方向の
振動の周波数が、軸方向の振動の共振周波数よりも低く
なるようにすればよい。このためには振動部２の長さβ
を、半径方向の振動の１波長λに対して略β〈λ／４の
関係となるように選定すればよい。
またマグネット３にＮ−３の磁極を細分化した磁気目盛
を着磁すると共に、コイル９を上記磁気目盛を検出でき
る程度に小型化することにより、位置制御を行うことも
できる。
を着磁すると共に、コイル９を上記磁気目盛を検出でき
る程度に小型化することにより、位置制御を行うことも
できる。
第６図は第４の実施例を示すもので、第１図と対応する
部分には同一符号を付しである。
部分には同一符号を付しである。
本実施例においては、移動体２１をガイドシャフト２２
．２３に沿って矢印ａ、ｂ方向に移動可能に設けると共
に、この移動体２１の一例部に振動部２とコイル９とを
固定して設けている。これと共に移動体２１の上記−側
部に近接してマグネット３が固定配置されており、上記
振動部２の外周面がマグネット３に圧接され、上記コイ
ル９がマグネット３に近接している。
．２３に沿って矢印ａ、ｂ方向に移動可能に設けると共
に、この移動体２１の一例部に振動部２とコイル９とを
固定して設けている。これと共に移動体２１の上記−側
部に近接してマグネット３が固定配置されており、上記
振動部２の外周面がマグネット３に圧接され、上記コイ
ル９がマグネット３に近接している。
上記構成によれば、第１図と同様の原理に基づいて、移
動体２１を振動部２及びコイル９と共にａ方向又はｂ方
向に移動させることができる。尚、第６図において、移
動体２１、振動部２及びコイル９を固定し、マグネット
３を移動可能に設けてもよいことは勿論である。
動体２１を振動部２及びコイル９と共にａ方向又はｂ方
向に移動させることができる。尚、第６図において、移
動体２１、振動部２及びコイル９を固定し、マグネット
３を移動可能に設けてもよいことは勿論である。
本発明によれば次の効果を得るごとができる。
（１）、定位置制御時に通電を行う必要がない。
（２）、停止時（無通電時）に振動部２によって位置保
持が成されるので、機械的なストッパを設ける必要がな
い。
持が成されるので、機械的なストッパを設ける必要がな
い。
（３）、コイル９により高速送りを行うことができ、そ
の場合機械的なノイズを発生しない。
の場合機械的なノイズを発生しない。
（４）、振動部２により微細送りを開ループ制御回路を
用いて行うことができる。
用いて行うことができる。
（５）、コイル９と振動部２とを使い分ける、二とによ
り、駆動部分の寿命が延びる。
り、駆動部分の寿命が延びる。
（６）、振動部２による圧接力が粘性負荷となるので、
外乱に対して耐力が高まる。
外乱に対して耐力が高まる。
（７）、振動部２が第３図のように円筒状を成し、その
外周面に波を発生させるように構成されているので曲率
が一定であり、波の散乱や反射が起きることがない。こ
のため均一な進行波を発生させることができる。
外周面に波を発生させるように構成されているので曲率
が一定であり、波の散乱や反射が起きることがない。こ
のため均一な進行波を発生させることができる。
（８）、モータの構造を小型で節単にすることができる
。
。
第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図、第２図は
振動部の斜視図、第３図は駆動回路図、第４図は本発明
の第２の実施例を示す回路図、第５図は本発明の第３の
実施例を示す要部の側面図、第６図は本発明の第４の実
施例を示す斜視図である。 なお図面に用いた符号において、 ２−一−−−−・・−−−−一−−−−振動部３−−−
−−−−−−−−−−−−−マグネット９−−−−−−
−−−コイル １０−一−−−−−−−−・−一−−−円筒状圧電素子
１１−・−・・−一−−−−・−・電極１２１〜１２．
−電極 である。
振動部の斜視図、第３図は駆動回路図、第４図は本発明
の第２の実施例を示す回路図、第５図は本発明の第３の
実施例を示す要部の側面図、第６図は本発明の第４の実
施例を示す斜視図である。 なお図面に用いた符号において、 ２−一−−−−・・−−−−一−−−−振動部３−−−
−−−−−−−−−−−−−マグネット９−−−−−−
−−−コイル １０−一−−−−−−−−・−一−−−円筒状圧電素子
１１−・−・・−一−−−−・−・電極１２１〜１２．
−電極 である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 円筒状圧電素子の内周面及び外周面のうちの一方の面に
少なくとも１個の電極を設けると共に、他方の面に複数
個の電極を設け、上記複数個の電極に所定の位相差を有
する交流電圧を加えることにより、円周方向に進行する
弾性波を発生するようにした振動部、 上記振動部の外周面の一部に接触するマグネット、 上記振動部と上記マグネットとを圧接させる手段、 上記マグネットに近接して配されるコイル、を夫々具備
して成り、上記振動部と上記マグネットとが相対的に移
動するようにしたリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60213427A JPH0646870B2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | リニアアクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60213427A JPH0646870B2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | リニアアクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6277072A true JPS6277072A (ja) | 1987-04-09 |
| JPH0646870B2 JPH0646870B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=16639045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60213427A Expired - Fee Related JPH0646870B2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | リニアアクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646870B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63242183A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-07 | Hitachi Maxell Ltd | 円筒型超音波四極モ−タ |
| JPH01136578A (ja) * | 1987-11-21 | 1989-05-29 | Honda Electron Co Ltd | 超音波駆動装置 |
| JPH02294280A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Piezo Tec Kk | パイプ状電歪公転子およびモータ |
| JP2007060888A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Pentax Corp | 二次元移動装置 |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP60213427A patent/JPH0646870B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63242183A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-07 | Hitachi Maxell Ltd | 円筒型超音波四極モ−タ |
| JPH01136578A (ja) * | 1987-11-21 | 1989-05-29 | Honda Electron Co Ltd | 超音波駆動装置 |
| JPH02294280A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Piezo Tec Kk | パイプ状電歪公転子およびモータ |
| JP2007060888A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Pentax Corp | 二次元移動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646870B2 (ja) | 1994-06-15 |
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