JPS6277743U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第３図ないし第７図は本考案の実
施例を示し、第２図は従来装置を示す。第１図、
第２図はユニツト本体の一部破断斜視図、第３図
はクリーンベンチの概略的側面図、第４図はクリ
ーンラインの一部を示す概略的斜視図、第５図は
クリーンブースの概略的斜視図、第６図はクリー
ントンネルの一部を示す概略的斜視図、第７図は
クリーンルームの概略的斜視図である。 Ａ……ユニツト本体、１，２……パネル（側壁
）、４……排気口、６……吸気口、８……ヘパフ
イルタ、１４……鉛直ダクト、１６……テーブル
、１８……Ｌ字状のダクト、１９……水平ダクト
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ユニツト本体の、側壁の下部に吸気口が開設
   されると共に、上部に前記側壁の壁面と平行な方
   向に排気するための排気口が開設され、前記吸気
   口から排気口に到るまでの流気通路中に除塵装置
   が内装されている除塵ユニツト。 ２ ユニツト本体の上端から下端までの長さが、
   １５０cm以下である実用新案登録請求の範囲第１
   項に記載の除塵ユニツト。 ３ ユニツト本体の上端から吸気口の上端縁部ま
   での長さが、１２０cm以下である実用新案登録請
   求の範囲第１項若しくは第２項に記載の除塵ユニ
   ツト。 ４ 排気口に、排気をユニツト本体の側壁の壁面
   に対して直交する方向に導出するための水平ダク
   トが、着脱可能に装着されている実用新案登録請
   求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の
   除塵ユニツト。 ５ 排気口に、排気をユニツト本体の側壁の壁面
   と平行な方向に導出するための鉛直ダクトが、着
   脱可能に装着されている実用新案登録請求の範囲
   第１項ないし第３項のいずれかに記載の除塵ユニ
   ツト。 ６ ダクトの厚さがユニツト本体の厚さよりも薄
   いか、若しくは同一である実用新案登録請求の範
   囲第５項に記載の除塵ユニツト。 ７ ユニツト本体の上端面の一部に、側壁の壁面
   に対して直交する方向に延在するテーブルの基端
   縁部が、着脱可能に装着されている実用新案登録
   請求の範囲第６項に記載の除塵ユニツト。