JPS6279931A - 非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト - Google Patents

非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト

Info

Publication number
JPS6279931A
JPS6279931A JP60218089A JP21808985A JPS6279931A JP S6279931 A JPS6279931 A JP S6279931A JP 60218089 A JP60218089 A JP 60218089A JP 21808985 A JP21808985 A JP 21808985A JP S6279931 A JPS6279931 A JP S6279931A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic material
plate
sheet
workpiece
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60218089A
Other languages
English (en)
Inventor
Michiyasu Ishida
石田 通泰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP60218089A priority Critical patent/JPS6279931A/ja
Publication of JPS6279931A publication Critical patent/JPS6279931A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔座業上の利用分野〕 本発明は、セラミックス等の非磁性体を平面研削するに
際して、ワークをマグネットチャックに短時間にかつ高
品位に固定する非磁性体ワーク川のワークチャックグレ
ートに関する。
〔従来の技術〕
特に薄い非磁性体のワークを平面研削するとき、機械的
にワークを加工テーブルに固定することは困難である。
そのため通常磁性体のプレートに接着剤を塗布し、この
上にワークを接着する。その後、加工テーブル上のマグ
ネットチャックにより間接的にワークを固定している。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の接着作業に於いて次の問題点がある。
1)磁性体プレートに接着剤を塗布するに先立ち、接着
剤の接着強度を強めるために、磁性体プレートの表面を
脱脂等の表面処理を行う必要かある。脱脂等の処理を完
全に行うことは時間かかかる。そのためワークの価格が
上昇することになる。
2)接着剤を磁性体の表面に均一にかつ薄く塗布するこ
とは、ワークの研削面の平面度を良好に保つ上で重要で
ある。即ち、不均一であたり、厚く塗られていると薄物
ワークにあっては、ワークを押えて接着するために変形
された状態で磁性体プレートに接着され、最終段階での
ワークの平面度は保持できない。
接着剤塗布の特別な装置もなく、又接着剤層み測定のな
い又は少ない所では、特にμm単位の厚み不同以下にす
ることは事実上不可能である。。
本発明は、各研削加工現場で前記のごとき作業を行うこ
とが要さないように、各加工現場に必要なサイズ、仕a
(接着力、接着材厚み、精度等)の非磁性体ワーク用の
ワークチャックプレートを提供しようとするものである
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、 (1)  上・下面の平面度、平行度及び面粗度の良好
な磁性体部材、 (2)該磁性体部材の一表面に塗布された薄くかつ均一
な接着剤層、 (3)  該接着剤層上に設けられ、該接着剤層を保護
し、かつ該接着剤層から剥離し得るシート、よりなるこ
とを特徴とする非磁性体ワーク用のワークチャックプレ
ートである。
〔作用〕
上記のワークチャックプレートを予め準備しておくと、
磁性体プレートの製作・接着剤塗布のだめの前処理が上
記標準品を用いることにより大i]なコストダウンがで
き、ファインセラミックス等の普及に寄与する。
尚、接着剤を薄く塗布するのは、ワークを圧着させると
き、接着剤か厚いと押さえた個所の下部の接着剤が逃け
るため、ワークか変形して接着されるため、これを防止
する必要があるためである。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例を示すワークチャックプレー
トのf(11面図である。
第1図において、1は8E341.13450などのプ
レートよりなる磁性体部材であって、上下面の平行度及
び、その両面の平面度・表面粗度は良好に仕上げられて
いる。
2はエポキシ系などの接着剤であって、磁性体部材1の
上に薄く、かつ均一に塗布された接着剤層を形成する。
磁性体部材1、接着剤層の品質は要求仕様によってきめ
る。
3拡シートであって、非磁性体ワーク(図示せず)を接
着するまで接着剤層の表面を保護し、非磁性体を接着す
る際には容易に接着剤層2から剥離しうるシートである
以上の構造のものを種々のサイズで準備しておく。そう
することによって、非磁性体のワークの大きさ、その要
求加工精度によって〜上記のものより選択し、非磁性体
ワークの脱脂等の表面処理を行い、シート3を除去した
のちに圧着させる。
加熱の必要な接着剤の場合には、加熱処理を行い、平面
研削盤の加工テーブル上のマグネットチャックにより、
非磁性体ワークを固定する。
〔発明の効果〕
チャックプレートを各現場で準備する必gかない。接着
作業が大巾に軽減される。
従って、総合的に非磁性体ワークの平面研削に要する費
用を低減する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施態様のワークチャックプレート
のa面図を示す。 1:fl性体部材(板)、2:接着剤、5:はく9紙(
シート) 復代理人  内 1)  明 復代理人  萩 原 亮 − 復代理人  安 西 篤 夫

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)上・下面の平面度、平行度及び面粗度の良好な磁
    性体部材、
  2. (2)該磁性体部材の一表面に塗布された薄くかつ均一
    な接着剤層、
  3. (3)該接着剤層上に設けられ、該接着剤層を保護し、
    かつ該接着剤層から剥離し得るシート、よりなることを
    特徴とする非磁性体ワーク用のワークチャックプレート
JP60218089A 1985-10-02 1985-10-02 非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト Pending JPS6279931A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60218089A JPS6279931A (ja) 1985-10-02 1985-10-02 非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60218089A JPS6279931A (ja) 1985-10-02 1985-10-02 非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6279931A true JPS6279931A (ja) 1987-04-13

Family

ID=16714462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60218089A Pending JPS6279931A (ja) 1985-10-02 1985-10-02 非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6279931A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998024588A1 (en) * 1996-12-06 1998-06-11 Yoshiaki Nagaura Method and apparatus for manufacture of quartz oscillator
US11002686B2 (en) 2016-01-29 2021-05-11 Mitsubishi Heavy Industries Machinery Systems, Ltd. Corrugated board sheet defect detecting device, corrugated board sheet defect removing device and corrugated board sheet manufacturing device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998024588A1 (en) * 1996-12-06 1998-06-11 Yoshiaki Nagaura Method and apparatus for manufacture of quartz oscillator
US11002686B2 (en) 2016-01-29 2021-05-11 Mitsubishi Heavy Industries Machinery Systems, Ltd. Corrugated board sheet defect detecting device, corrugated board sheet defect removing device and corrugated board sheet manufacturing device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6544371B2 (en) Method of using a transfer tape
JPS6279931A (ja) 非磁性体ワ−ク用のワ−クチヤツクプレ−ト
US3664902A (en) Nonuniform pressure bonding method
JP2001078399A (ja) 積層体の製造方法とその装置
US3165431A (en) Record card structure
JPS61210650A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2000169804A5 (ja)
JPH03245936A (ja) 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板
JP7590142B2 (ja) シート剥離装置およびシート剥離方法
JPH0435152Y2 (ja)
JPS5752137A (en) Bonding method for work in lapping and polishing
JPS5972139A (ja) 薄板材の加工方法
JPH01153267A (ja) セラミックス板の表面仕上げ方法
JPH0636054U (ja) 接着剤付きペリクルフレーム
JPH0418980B2 (ja)
JPS6294258A (ja) 平面加工における被加工物の保持方法
JPS62102974A (ja) 加工用パツドと平面加工装置
JPS63127870A (ja) 研磨方法
JPS6331886Y2 (ja)
JPS55116773A (en) Bonding method
JPS59191344A (ja) 薄板取着用治具
JPH0544882B2 (ja)
JPH03274437A (ja) 電子顕微鏡用試料作製方法
JPH06218665A (ja) ポリッシングクロスの粘着剤直接塗工製法
JPH0262705A (ja) 積層形バイアスヘッドの製造方法