JPS6280049A - 記録装置 - Google Patents
記録装置Info
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- JPS6280049A JPS6280049A JP22130885A JP22130885A JPS6280049A JP S6280049 A JPS6280049 A JP S6280049A JP 22130885 A JP22130885 A JP 22130885A JP 22130885 A JP22130885 A JP 22130885A JP S6280049 A JPS6280049 A JP S6280049A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- ink
- amorphous silicon
- electrode
- silicon nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野］
本発明はたとえばプリンタやファクシミリ等に適用され
るインクジェット方式の記録装置に関する。
るインクジェット方式の記録装置に関する。
インクジェット方式の記録装置は、現像・定着操作の不
要な普通紙記録方式として従来よりプリンタおよびびフ
ァクシミリに応用されているが、高速記録性・簡易性を
向上させるための電子平面走査化が望まれている。
要な普通紙記録方式として従来よりプリンタおよびびフ
ァクシミリに応用されているが、高速記録性・簡易性を
向上させるための電子平面走査化が望まれている。
このインクジェット方式の記録装置の電子平面走査化は
主にマルチノズルにすることによって検討がなされてい
るが、各記録ノズルのインクの目づまりによる信頼性の
低下が問題となって実用化に至っていないのが現状であ
る。
主にマルチノズルにすることによって検討がなされてい
るが、各記録ノズルのインクの目づまりによる信頼性の
低下が問題となって実用化に至っていないのが現状であ
る。
そこで、上記ノズル方式の不都合点のない平面走査型の
インクジェット方式の記録装置として、以下に示すスリ
ットジェット方式の記録装置が本発明に先行して提案さ
れている。
インクジェット方式の記録装置として、以下に示すスリ
ットジェット方式の記録装置が本発明に先行して提案さ
れている。
すなわち、第４図および第５図中１は記録ヘッドで、こ
れは下側記録ヘッド部２と上側記録ヘッド部３とから構
成されている。
れは下側記録ヘッド部２と上側記録ヘッド部３とから構
成されている。
上記下側記録ヘッド部２は、絶縁性の下側基板（下側基
体）４上に、下側共通電極５と、たとえばＣｒやＮｉ等
の材質でかつ８本／ｍ１ｌｌまたは１６本７ｍｍでパタ
ーニングされ、上記下側共通電極５と電気的に接続した
複数本の第１の個別電極（第１の記録電極）６・・・と
、この第１の個別電極６・・・とギャップｄ３を保って
１対１で対向した第２の個別電極７・・・と、この第２
の個別電極７・・・と上記第１の個別電極６・・・どの
間のギャップｄ３に成膜されたたとえばアモルファスシ
リコン（以ｖＩａ−３ｉと記す。）またはアモルファス
セレン（以後ａ−８ｅと記す。）等の光導電体１１！ｌ
（光電変換部材）８・・・とを備えた構成となっている
。
体）４上に、下側共通電極５と、たとえばＣｒやＮｉ等
の材質でかつ８本／ｍ１ｌｌまたは１６本７ｍｍでパタ
ーニングされ、上記下側共通電極５と電気的に接続した
複数本の第１の個別電極（第１の記録電極）６・・・と
、この第１の個別電極６・・・とギャップｄ３を保って
１対１で対向した第２の個別電極７・・・と、この第２
の個別電極７・・・と上記第１の個別電極６・・・どの
間のギャップｄ３に成膜されたたとえばアモルファスシ
リコン（以ｖＩａ−３ｉと記す。）またはアモルファス
セレン（以後ａ−８ｅと記す。）等の光導電体１１！ｌ
（光電変換部材）８・・・とを備えた構成となっている
。
上記上側記録ヘッド部３は、上記下側基体４の上方でギ
ャップｄ２を保って対向した絶縁性の上側基板（上側基
体）９上に、上記第２の個別電極７・・・と微小間隙を
保って対向する上側共通電極１０を備えた構成となって
いる。
ャップｄ２を保って対向した絶縁性の上側基板（上側基
体）９上に、上記第２の個別電極７・・・と微小間隙を
保って対向する上側共通電極１０を備えた構成となって
いる。
また、上記記録ヘッド１の先端には、下側基板４と上側
基板９とによって構成されたギャップｄ２を有するスリ
ット状の開口部１１が形成され、インク収容部１２から
供給される液状のインク１３によってインクメニスカス
１４が形成される。
基板９とによって構成されたギャップｄ２を有するスリ
ット状の開口部１１が形成され、インク収容部１２から
供給される液状のインク１３によってインクメニスカス
１４が形成される。
また、上記記録ヘッド１の先端と対向してローラ状の背
面電極１５が設けられ、この背面電極１５には普通紙等
の記録体１６が支持されている。
面電極１５が設けられ、この背面電極１５には普通紙等
の記録体１６が支持されている。
また、上記記録ヘッド１の上方には記録体１６と同期し
て動作する原稿台１７が設けられているとともに、この
原稿台１７と記録ヘッド１との間には集束性ファイバー
レンズアレイ１８および露光光源１９からなる露光系が
設けられている。
て動作する原稿台１７が設けられているとともに、この
原稿台１７と記録ヘッド１との間には集束性ファイバー
レンズアレイ１８および露光光源１９からなる露光系が
設けられている。
しかして、スイッチ操作により原稿台１７および記録体
１６が同期して動作し、また光源１９が点灯して原稿台
１７上の原稿の光像がファイバーレンズアレイ１８を通
して光導電体膜８上に照射される。
１６が同期して動作し、また光源１９が点灯して原稿台
１７上の原稿の光像がファイバーレンズアレイ１８を通
して光導電体膜８上に照射される。
下側共通電極５にはたとえば直流電源２０の負極が、上
側共通電極１０には直流電源２１の正極がそれぞれ接続
されていて、光が照射された部分の第２の個別電極７・
・・には記録ヘッド１の先端に負極性の電位が、暗部に
対しては正極性の電位がそれぞれ出力される。
側共通電極１０には直流電源２１の正極がそれぞれ接続
されていて、光が照射された部分の第２の個別電極７・
・・には記録ヘッド１の先端に負極性の電位が、暗部に
対しては正極性の電位がそれぞれ出力される。
上記信号出力の原理は第６図に示す等両回路で説明する
ことができる。すなわち、光導電体膜８の光照射時の抵
抗をρｐｈ、暗時の抵抗をρｄａｒｋ。
ことができる。すなわち、光導電体膜８の光照射時の抵
抗をρｐｈ、暗時の抵抗をρｄａｒｋ。
上側共通電極１０と第２の個別電極７との間のインク１
３の抵抗をρｉｎｋとすると、ρｐｈ〈ρｉｎｋ〈ρｄ
ａｒｋの関係が成り立つようにインク１３の抵抗ρｉｎ
ｋを予め調整しておくことにより、光照射時にはρｉｎ
ｋが支配的となり第１の直流電源２０により負極性の電
位が第２の個別電極７・・・の先端に出力され、暗時に
はρｄａｒｋが支配的となり第２の直流量ｉｆ！２１に
より正極性の電位が出力される。
３の抵抗をρｉｎｋとすると、ρｐｈ〈ρｉｎｋ〈ρｄ
ａｒｋの関係が成り立つようにインク１３の抵抗ρｉｎ
ｋを予め調整しておくことにより、光照射時にはρｉｎ
ｋが支配的となり第１の直流電源２０により負極性の電
位が第２の個別電極７・・・の先端に出力され、暗時に
はρｄａｒｋが支配的となり第２の直流量ｉｆ！２１に
より正極性の電位が出力される。
つぎに、背面電極１５には第３の直流電源２２により０
■に対して負極性側にパルス状の電圧が印加され、上記
第２の個別電極７・・・の先端に正極性の電位が出力さ
れたとき、インクメニスカス１４に正極性の電荷が注入
され、インク１３が背面電極１５側ｌ＼飛翔し、これに
より記録体１６上に原稿画像に対応した選択的な記録が
行われるようになっている。
■に対して負極性側にパルス状の電圧が印加され、上記
第２の個別電極７・・・の先端に正極性の電位が出力さ
れたとき、インクメニスカス１４に正極性の電荷が注入
され、インク１３が背面電極１５側ｌ＼飛翔し、これに
より記録体１６上に原稿画像に対応した選択的な記録が
行われるようになっている。
なお、下記に示すプロビス設定条件であれば充分良好な
インク１３の飛翔による記録が可能であることが確認さ
れている。
インク１３の飛翔による記録が可能であることが確認さ
れている。
すなわち、下側共通電極５の印加電圧は一５０Ｖ〜−Ｉ
ＫＶ、上側共通電極１０の印加電圧は０〜＋ＩＫＶ、背
面電４４１ ！ｌ）印加１ｆｆｉ圧ハＯ〜−２，ＯＫＶ
、背面電極１５の周波数は１０〜１０ｋＨ７、ギャップ
ｄ１は１０μｍ 〜５００μ７ＦＬ、ギ？’／プｄ２は
１０μｍ〜３００μｍである。
ＫＶ、上側共通電極１０の印加電圧は０〜＋ＩＫＶ、背
面電４４１ ！ｌ）印加１ｆｆｉ圧ハＯ〜−２，ＯＫＶ
、背面電極１５の周波数は１０〜１０ｋＨ７、ギャップ
ｄ１は１０μｍ 〜５００μ７ＦＬ、ギ？’／プｄ２は
１０μｍ〜３００μｍである。
また、ギャップｄ３の値は光導電体膜８の比抵抗によっ
ても異なるが、光導電体［１８がたとえばａ−３ｉｌｔ
’ある場合ハ２０μ７ＦＬ 〜８０μｍ 、 ａ −８
ｅ膜やａ−８ｅＴｅ膜である場合は５μＴｒＬ〜５０μ
ｍである。
ても異なるが、光導電体［１８がたとえばａ−３ｉｌｔ
’ある場合ハ２０μ７ＦＬ 〜８０μｍ 、 ａ −８
ｅ膜やａ−８ｅＴｅ膜である場合は５μＴｒＬ〜５０μ
ｍである。
また、光導電体１１８が、たとえばａ−ｓｅＩＩ！Ｊで
ある場合、ρｄａｒｋは１０９〜１０１２Ωｃｒｎ、ρ
ｐｈは１０５〜１０８ΩＣｆｆ１となるから、インク１
３の抵抗ρｉｎｋは１０６〜１０１０Ω口に選ばなけれ
ばならない。
ある場合、ρｄａｒｋは１０９〜１０１２Ωｃｒｎ、ρ
ｐｈは１０５〜１０８ΩＣｆｆ１となるから、インク１
３の抵抗ρｉｎｋは１０６〜１０１０Ω口に選ばなけれ
ばならない。
さらに、光導電体膜８上に照射される光像の内、暗部は
５０Ｌ ｕｘ 〜５００Ｌ ｕｘである。
５０Ｌ ｕｘ 〜５００Ｌ ｕｘである。
しかしながら、上記のスリットジェット方式の記録装置
には次のようなな不具合点がある。
には次のようなな不具合点がある。
すなわち、第７図に示すように、たとえば光のオン（Ｏ
Ｎ）・オフ（ＯＦＦ＞の信号によって第２の個別電極７
ａ〜７ｅのうち第２の個別電極７Ｃのみに波形２２のよ
うな電気信号が出力されている場合、インク１３の抵抗
の高低にもよるが、たとえば１０６〜１０’Ω履である
時、第８図に示すように、電圧計２３によって第２の個
別電極７ａ〜７ｅの電圧を測定すると、第９図に示すよ
うに、本来第２の個別電極７Ｃのみに出力されるべき電
圧がインク１３を通して隣接した第２の個別電極７ｂ、
７ｄへリークしてしまう。
Ｎ）・オフ（ＯＦＦ＞の信号によって第２の個別電極７
ａ〜７ｅのうち第２の個別電極７Ｃのみに波形２２のよ
うな電気信号が出力されている場合、インク１３の抵抗
の高低にもよるが、たとえば１０６〜１０’Ω履である
時、第８図に示すように、電圧計２３によって第２の個
別電極７ａ〜７ｅの電圧を測定すると、第９図に示すよ
うに、本来第２の個別電極７Ｃのみに出力されるべき電
圧がインク１３を通して隣接した第２の個別電極７ｂ、
７ｄへリークしてしまう。
そのため、第７図に示すように、本来第２の個別電極７
Ｃのみから飛翔するはずのインク１３ｃ以外にもインク
１３ｂ、１３ｄが少量飛翔してしまい、結果的には記録
されたインク１３０以外のインク１３ｂ、１３ｄが記録
されてしまい、いわゆる解像度が悪くなる。
Ｃのみから飛翔するはずのインク１３ｃ以外にもインク
１３ｂ、１３ｄが少量飛翔してしまい、結果的には記録
されたインク１３０以外のインク１３ｂ、１３ｄが記録
されてしまい、いわゆる解像度が悪くなる。
そこで、インク１３による信号電圧の第２の個別電極７
・・・の相互間におけるリークを防止するために、第１
０図に示すように、第２の個別電極７・・・の端よりｄ
４の距離の部分を除いて、高絶縁性１！２４で表面コー
トすることが提案されている。
・・・の相互間におけるリークを防止するために、第１
０図に示すように、第２の個別電極７・・・の端よりｄ
４の距離の部分を除いて、高絶縁性１！２４で表面コー
トすることが提案されている。
しかしながら、第２の個別電極７・・・の端より距１！
ｉｄ４の部分は、出力された信号電圧をインク１３に注
入すための役割を果たすため、この部分を高絶縁性１１
！２４で表面コートすることはできない。
ｉｄ４の部分は、出力された信号電圧をインク１３に注
入すための役割を果たすため、この部分を高絶縁性１１
！２４で表面コートすることはできない。
したがって、この距離ｄ４の部分をいかに狭くすること
ができるかが問題となるが、実験結果によるとｄ４ ”
ｏ、ｉＭ１〜２Ｍの範囲では隣接電極への信号電圧の
リークは防止できないことが確認されている。
ができるかが問題となるが、実験結果によるとｄ４ ”
ｏ、ｉＭ１〜２Ｍの範囲では隣接電極への信号電圧の
リークは防止できないことが確認されている。
本発明は上記事情にもとづいてなされたもので、その目
的とするところは、本来信号電圧が出力されている記録
電極の隣接電極へその信号電圧がリークすることを防止
することができ、以て、記録ヘッドの先端のインクを記
録電極毎に分離して微細状態のインクを選択的に飛翔さ
せることができるので高解像度が達成できるようにした
記録装置を提供することにある。
的とするところは、本来信号電圧が出力されている記録
電極の隣接電極へその信号電圧がリークすることを防止
することができ、以て、記録ヘッドの先端のインクを記
録電極毎に分離して微細状態のインクを選択的に飛翔さ
せることができるので高解像度が達成できるようにした
記録装置を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、記録ヘッドの先
端で記録電極の相互間に、疎インク性かつ高絶縁性の物
質よりなる表面コート膜を選択的に表面コートしたこと
を特徴とするものである。
端で記録電極の相互間に、疎インク性かつ高絶縁性の物
質よりなる表面コート膜を選択的に表面コートしたこと
を特徴とするものである。
（発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図を参照しなが
ら説明する。なお、上述した奪第４図および第５図に示
す構成と同一の構成部分は説明を省略し、異なる要部の
構成のみ説明する。
ら説明する。なお、上述した奪第４図および第５図に示
す構成と同一の構成部分は説明を省略し、異なる要部の
構成のみ説明する。
第１図に示すように、下側記録ヘッド部２の先端より距
離ｄ４の部分を除いた部分は、前述した第１０図に示す
構成と同様に、高絶縁性物質２４で表面コートされてい
る。また、先端からｄ４の部分については、第２の個別
電極７・・・の相互間に、疎インク性かつ高絶縁性の物
質よりなる表面コート膜２５・・・が選択的に表面コー
トされており、この表面コート膜２５・・・は、インク
１３が油性の場合は疎油性のもの、たとえば水素化アモ
ルファスシリコン窒化ｌＩ（以下ａ−８ｉＮｉＨ膜と記
す。）またはアモルファスシリコン窒化ｙＩ（以下ａ
−８ＩＮ膜と記す。）であり、インクが水性の場合は疎
水性のものである。
離ｄ４の部分を除いた部分は、前述した第１０図に示す
構成と同様に、高絶縁性物質２４で表面コートされてい
る。また、先端からｄ４の部分については、第２の個別
電極７・・・の相互間に、疎インク性かつ高絶縁性の物
質よりなる表面コート膜２５・・・が選択的に表面コー
トされており、この表面コート膜２５・・・は、インク
１３が油性の場合は疎油性のもの、たとえば水素化アモ
ルファスシリコン窒化ｌＩ（以下ａ−８ｉＮｉＨ膜と記
す。）またはアモルファスシリコン窒化ｙＩ（以下ａ
−８ＩＮ膜と記す。）であり、インクが水性の場合は疎
水性のものである。
このような構成によれば、インク１３は表面コート膜２
５・・・の上には乗ることはないため、下側記録ヘッド
部２の先端には第２の個別電極７・・・の表面の上のみ
にインク１３が存在し、インク１３が分離される。また
、信号電圧が隣接する第２の個別電極７・・・へリーク
することもない。
５・・・の上には乗ることはないため、下側記録ヘッド
部２の先端には第２の個別電極７・・・の表面の上のみ
にインク１３が存在し、インク１３が分離される。また
、信号電圧が隣接する第２の個別電極７・・・へリーク
することもない。
次に、表面コート膜２５を下側記録ヘッド部２の先端ｄ
４の部分で第２の個別電極７・・・の相互間に選択的に
表面コートする方法を説明する。
４の部分で第２の個別電極７・・・の相互間に選択的に
表面コートする方法を説明する。
第３図（ａ）に示すように、下側記録ヘッド部２の下側
基板４上にＣｒ等によって複数本の第２の個別電極７・
・・をパターニングした後、グロー放電ＣＶＤ装置によ
り高絶縁性がっ疎油性のａ−８ｉ Ｎ ｉ Ｈｌｌ （
表面コートＩ！１２５）を表面コートし、さらにその上
に通常のフォトレジスト液をスピンナーによりコートし
フォトレジスト層２６を形成する。ここで、グロー放電
ｃｖＤ法によるａ−８ｉ Ｎ ｉ ＨＩ［ｌの表面コー
ト方法は一般に行われているもので、減圧化の反応容器
内に、上記下側記録ヘッド部２をセットし、温度を２３
０℃にまで昇温した後、ＳｉＨ４ガスとＮ２ガスを１：
１０の比率で反応容器内へ導入し、容量結合型の対向電
極にラジオフリークエンジンパワー２００Ｗを投入して
成膜する方法である。また、フォトレジスト液のスグン
ナーによるコート方法も一般化されている方法である。
基板４上にＣｒ等によって複数本の第２の個別電極７・
・・をパターニングした後、グロー放電ＣＶＤ装置によ
り高絶縁性がっ疎油性のａ−８ｉ Ｎ ｉ Ｈｌｌ （
表面コートＩ！１２５）を表面コートし、さらにその上
に通常のフォトレジスト液をスピンナーによりコートし
フォトレジスト層２６を形成する。ここで、グロー放電
ｃｖＤ法によるａ−８ｉ Ｎ ｉ ＨＩ［ｌの表面コー
ト方法は一般に行われているもので、減圧化の反応容器
内に、上記下側記録ヘッド部２をセットし、温度を２３
０℃にまで昇温した後、ＳｉＨ４ガスとＮ２ガスを１：
１０の比率で反応容器内へ導入し、容量結合型の対向電
極にラジオフリークエンジンパワー２００Ｗを投入して
成膜する方法である。また、フォトレジスト液のスグン
ナーによるコート方法も一般化されている方法である。
ついで、第２の個別電極７・・・に対応する遮光部２７
・・・を有するマスク２８の上方より紫外線照射２９を
行い、第２の個別電極７・・・のない部分のみフォトレ
ジスト層２６を露光する。
・・・を有するマスク２８の上方より紫外線照射２９を
行い、第２の個別電極７・・・のない部分のみフォトレ
ジスト層２６を露光する。
ついで、第３図（ｂ）に示すように、ネガ型の現像液を
用いて、露光されなかった部分のフォトレジスト層２６
をエツチングした後リンスを行う。
用いて、露光されなかった部分のフォトレジスト層２６
をエツチングした後リンスを行う。
この段階ではａ−８ｉＮｉＨ躾（表面ロー１〜膜２５）
上の第２の個別電極７・・・のない部分にフォトレジス
ト層２６が残る。
上の第２の個別電極７・・・のない部分にフォトレジス
ト層２６が残る。
ついで、この下側記録ヘッド部２をドライ型のプラズマ
エツチング装置内にセットし、減圧下でＣＦ４ガスと０
２ガスを約２＝１の比率で導入してマイクロ波により約
３００ Ｗでａ−８ｉＮｉｌ−ＩＢ！（表面コート１１
２５＞をエツチングする。
エツチング装置内にセットし、減圧下でＣＦ４ガスと０
２ガスを約２＝１の比率で導入してマイクロ波により約
３００ Ｗでａ−８ｉＮｉｌ−ＩＢ！（表面コート１１
２５＞をエツチングする。
このとき、フォトレジスト層２６が上面にオーバコート
されている部分のａ−８ｉＮｉＨ膜（表面コート膜２５
）は、ＣＦ４０２のプラズマにさらされないため、第３
図（Ｃ）に示すように、エツチングされない。
されている部分のａ−８ｉＮｉＨ膜（表面コート膜２５
）は、ＣＦ４０２のプラズマにさらされないため、第３
図（Ｃ）に示すように、エツチングされない。
ついで、ドライエツチングにより残ったａ−８ｉＮｉＨ
ｌｌ（表面コートｊｌ ２５ ）上のフォトレジスト層
２６を、第３図（ｄ）に示すように、レジス１−剥雛液
により剥離した。この状態では下側記録ヘッド部２の第
２の個別電極７・・・の相互間に高絶縁性かつ疎油性の
ａ−８ｉＮｉＨ膜（表面コート膜２５）が選択的に表面
コートされている。
ｌｌ（表面コートｊｌ ２５ ）上のフォトレジスト層
２６を、第３図（ｄ）に示すように、レジス１−剥雛液
により剥離した。この状態では下側記録ヘッド部２の第
２の個別電極７・・・の相互間に高絶縁性かつ疎油性の
ａ−８ｉＮｉＨ膜（表面コート膜２５）が選択的に表面
コートされている。
次に、以上の方法で作成された下側記録ヘッド部２と上
側記録ヘッド部３とをアッセンブリして、実際にインク
１３を供給したところ、第２図に示すように、疎油性か
つ高絶縁性の８−３ｉＮｉ）−１膜で先端より距離ｄ４
まで選択的に表面コートした部分まではインク１３は全
面に広がるが、先端よりｄ４の部分では第２の個別電極
７・・・の上のみインク１３が選択的に存在した。
側記録ヘッド部３とをアッセンブリして、実際にインク
１３を供給したところ、第２図に示すように、疎油性か
つ高絶縁性の８−３ｉＮｉ）−１膜で先端より距離ｄ４
まで選択的に表面コートした部分まではインク１３は全
面に広がるが、先端よりｄ４の部分では第２の個別電極
７・・・の上のみインク１３が選択的に存在した。
このｄ４の最適値は、インク１３の表面張力や粘度によ
って異なるが、６０μｍ〜２ｆｆｌＩＩｌの範囲が適正
であることが確認されている。なお、ここではｄ４を０
．５ｎ＋ｍとした。
って異なるが、６０μｍ〜２ｆｆｌＩＩｌの範囲が適正
であることが確認されている。なお、ここではｄ４を０
．５ｎ＋ｍとした。
次に、上記方法によって作成した下側記録ヘッド部２を
第４図に示すスリットジェット方式の記録装置に組み込
んで次の示すプロセス条件により実際の原稿の複写を行
った。
第４図に示すスリットジェット方式の記録装置に組み込
んで次の示すプロセス条件により実際の原稿の複写を行
った。
すなわち、下側共通電ａｉ５の印加電圧を−３００ｖ１
上側共通′ｉＲ極１０の印加１圧を＋ １５０Ｖ、背
面電極１５の印加電圧を一７００■、周波数を１ＫＨ２
、デイユティーを５０％とした。また、ギｔツブｄ１を
１００μｍ、ｄ２を１００μｍとし、また光導電性ｌ１
８としてａ−８ｉＮｉＨＩｌｌを用いｄ３を４０μｍと
した。油性のインク１３は、表面張力が２８．Ｏｄｙｎ
／Ｃａｍ、粘度が７センチストークス、抵抗が１０Ωａ
ｍのものを用いた。
上側共通′ｉＲ極１０の印加１圧を＋ １５０Ｖ、背
面電極１５の印加電圧を一７００■、周波数を１ＫＨ２
、デイユティーを５０％とした。また、ギｔツブｄ１を
１００μｍ、ｄ２を１００μｍとし、また光導電性ｌ１
８としてａ−８ｉＮｉＨＩｌｌを用いｄ３を４０μｍと
した。油性のインク１３は、表面張力が２８．Ｏｄｙｎ
／Ｃａｍ、粘度が７センチストークス、抵抗が１０Ωａ
ｍのものを用いた。
その結果、８本７ｍｍの高解像度の複写画像が得られた
。
。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、本来信号電圧が出
力されている記録電極の隣接電極へその信号電圧がリー
クすることを防止することができ、以て、記録ヘッドの
先端のインクを記録電極毎に分離して微細状態のインク
を選択的に飛翔させることができるので高解像度が達成
できる等の優れた効果を奏する。
力されている記録電極の隣接電極へその信号電圧がリー
クすることを防止することができ、以て、記録ヘッドの
先端のインクを記録電極毎に分離して微細状態のインク
を選択的に飛翔させることができるので高解像度が達成
できる等の優れた効果を奏する。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は記録ヘッドの先端部分を示す断面図、第２図は下側
記録ヘッドの先端部分を示す平面図、第３図（ａ）〜（
ｄ）は表面コート膜を表面コートする方法を説明するた
めの図、第４図〜第１０図は本発明に先行して提案され
たインクジェット方式の記録装置を示すもので、第４図
は装置全体を概略的構成図、第５図は同じくその下側記
録へラド部を示す平面図、第６図は選択的にインクを飛
翔させる原理を説明するための等価回路図、第７図は隣
接した第２の個別電極に信号電圧がリークした場合のイ
ンクの状態を示す平面図、第８図は第２の個別電極の電
圧の測定方法を説明するための側面図、第９図は信号電
圧がリークした場合の第２の個別電極の電圧の状態を示
す図、第１０図は下側記録電極部の他の一例を示す平面
図である。 １・・・記録ヘッド、２・・・下側記録ヘッド部、３・
・・上側記録ヘッド部、４・・・下側基体（下側基板）
、５・・・下側共通電極、６・・・第１の記録電極（第
１の個別電極）、７・・・第２の記録電Ｆｉ（第２の個
別電極）、８・・・光電変換部材（光導電体膜）、９・
・・上側基体（上側基板）、１０・・・上側共通電極、
１１・・・記録体、１３・・・インク、１５・・・背面
電極、１６・・・開口部、２５・・・表面コート膜。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 第３図（ａ） 第３Ｉ！１（ｂ） 第 ３図（ｄ） 第５図 第６図
図は記録ヘッドの先端部分を示す断面図、第２図は下側
記録ヘッドの先端部分を示す平面図、第３図（ａ）〜（
ｄ）は表面コート膜を表面コートする方法を説明するた
めの図、第４図〜第１０図は本発明に先行して提案され
たインクジェット方式の記録装置を示すもので、第４図
は装置全体を概略的構成図、第５図は同じくその下側記
録へラド部を示す平面図、第６図は選択的にインクを飛
翔させる原理を説明するための等価回路図、第７図は隣
接した第２の個別電極に信号電圧がリークした場合のイ
ンクの状態を示す平面図、第８図は第２の個別電極の電
圧の測定方法を説明するための側面図、第９図は信号電
圧がリークした場合の第２の個別電極の電圧の状態を示
す図、第１０図は下側記録電極部の他の一例を示す平面
図である。 １・・・記録ヘッド、２・・・下側記録ヘッド部、３・
・・上側記録ヘッド部、４・・・下側基体（下側基板）
、５・・・下側共通電極、６・・・第１の記録電極（第
１の個別電極）、７・・・第２の記録電Ｆｉ（第２の個
別電極）、８・・・光電変換部材（光導電体膜）、９・
・・上側基体（上側基板）、１０・・・上側共通電極、
１１・・・記録体、１３・・・インク、１５・・・背面
電極、１６・・・開口部、２５・・・表面コート膜。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 第３図（ａ） 第３Ｉ！１（ｂ） 第 ３図（ｄ） 第５図 第６図
Claims (8)
- （１）先端に微小間隙よりなるスリット状の開口部を有
するとともに上記開口部に複数本の記録電極を設けた記
録ヘッドと、この記録ヘッドの先端と対向する背面電極
とを具備し、この背面電極と上記記録ヘッドとの間に記
録体を介在させるとともに上記開口部に液状のインクを
供給し、この状態で上記記録電極に電気信号を出力する
ことにより、その電気信号に対応して上記記録電極から
上記記録体上へインクを飛翔させ、情報の記録を行うよ
うにしたものにおいて、上記記録ヘッドの先端で上記記
録電極の相互間に、疎インク性かつ高絶縁性の物質より
なる表面コート膜を選択的に表面コートしたことを特徴
とする記録装置。 - （２）表面コート膜は、インクが油性の場合は疎油性の
ものとし、インクが水性の場合は疎水性のものとしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の記録装置。 - （３）疎油性の表面コート膜は、水素化アモリファスシ
リコン窒化膜またはアモルファスシリコン窒化膜のいず
れかであることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の記録装置。 - （４）水素化アモルファスシリコン窒化膜またはアモル
ファスシリコン窒化膜よりなる表面コート膜は、上記水
素化アモルファスシリコン窒化膜またはアモルファスシ
リコン窒化膜上にフォトレジスト膜を選択的にマスクし
てプラズマエッチングをすることにより、記録電極の相
互間に選択的に表面コートしたことを特徴とする特許請
求の範囲第３項記載の記録装置。 - （５）絶縁性の下側基体上に、下側共通電極と、この下
側共通電極と電気的に接続した複数本の第１の記録電極
と、この第１の記録電極と所定の微小間隙を保つて１対
１で対向した第２の記録電極と、この第２の記録電極と
上記第１の記録電極との間の所定の間隙に成膜した光電
変換部材とを有した下側記録ヘッド部と、 上記下側基体の上方で微小間隙を保つて対向した絶縁性
の上側基体上に、上記第２の記録電極と微小間隙を保つ
て対向する上側共通電極を有した上側記録ヘッド部と、 上記下側記録ヘッド部の先端と対向する背面電極とを具
備し、 この背面電極と上記下側記録ヘッド部との間に記録体を
介在させるとともに上記下側および上側の記録ヘッド部
間の微小間隙に液状のインクを供給し、この状態で上記
光電変換部材に光像信号を入力することにより、その光
像信号に対応して上記下側記録ヘッド部の先端から上記
記録体上へインクを飛翔させ、情報の記録を行うように
したものにおいて、上記下側記録ヘッド部の先端から０
．０５ｍｍ〜２ｍｍの範囲までの上記第２の記録電極の
相互間に、疎インク性かつ高絶縁性の物質よりなる表面
コート膜を選択的に表面コートしたことを特徴とする記
録装置。 - （６）表面コート膜は、インクが油性の場合は疎油性の
ものとし、インクが水性の場合は疎水性のものとしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の記録装置。 - （７）疎油性の表面コート膜は、水素化アモリファスシ
リコン窒化膜またはアモルファスシリコン窒化膜のいず
れかであることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載
の記録装置。 - （８）水素化アモルファスシリコン窒化膜またはアモル
ファスシリコン窒化膜よりなる表面コート膜は、上記水
素化アモルファスシリコン窒化膜またはアモルファスシ
リコン窒化膜上にフォトレジスト膜を選択的にマスクし
てプラズマエッチングをすることにより、記録電極の相
互間に選択的に表面コートしたことを特徴とする特許請
求の範囲第７項記載の記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22130885A JPS6280049A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22130885A JPS6280049A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280049A true JPS6280049A (ja) | 1987-04-13 |
Family
ID=16764758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22130885A Pending JPS6280049A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6280049A (ja) |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP22130885A patent/JPS6280049A/ja active Pending
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