JPS6280334U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案ウエハキヤリアの移載装置の一
実施例を示す斜視図、第２図は同じくその部分詳
細斜視図、第３図はキヤリアの移載状態を示す説
明図である。 １……ウエハ、２……キヤリア載置アーム、３
……自動搬送車、４……リフタ、４ａ……フオー
ク型アーム、５……設置台、６……テーブル。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 各工程間をウエハキヤリアを把持して各処理装
   置前面上部の天井部分に設けられたクリーンな搬
   送エリヤ内に軌道をもち、各処理装置と直接受渡
   しを行なうため所定位置において停止せしめるよ
   うにした半導体製造工程におけるウエハキヤリア
   の自動搬送システムにおいて、 自動搬送車には搭載したウエハキヤリアの側壁
   下部に突出した脚部の内又は外側を位置決めする
   位置決め用コマを有し、停止時処理装置側に一定
   角度回転可能なキヤリア載置アームと、 処理装置側に設けられ、一定角度回転したキヤ
   リア載置アーム上のキヤリアを、下側から上部フ
   ランジ部と係合して一度持ち上げるようにしたフ
   オーク型アームを有し、載置アームの復帰後、フ
   オーク型アームを下降させウエハキヤリアをテー
   ブル上の設置台に移載せしめるリフタを設けたこ
   とを特徴とする自動搬送システムにおけるウエハ
   キヤリアの移載装置。