JPH0179838U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0179838U JPH0179838U JP1987175316U JP17531687U JPH0179838U JP H0179838 U JPH0179838 U JP H0179838U JP 1987175316 U JP1987175316 U JP 1987175316U JP 17531687 U JP17531687 U JP 17531687U JP H0179838 U JPH0179838 U JP H0179838U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- pinion
- chuck
- held
- support arms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Control And Safety Of Cranes (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例におけるキヤリア挟
持時のチヤツクの要部を示す断面図、第２図は支
持腕が垂下した状態のチヤツクの要部を示す断面
図、第３図はキヤリアを挟持した状態の側面図、
第４図は一般に使用されている半導体基板自動移
動洗浄装置の概略を示す説明図である。 １……チヤツク、２……光電センサ、３……遮
光板、４……突起、５……ケース、６……シリン
ダ、７……ラツク、８……ピニオン、８−１……
ピニオン軸、９……支持軸、１０……支持腕。
持時のチヤツクの要部を示す断面図、第２図は支
持腕が垂下した状態のチヤツクの要部を示す断面
図、第３図はキヤリアを挟持した状態の側面図、
第４図は一般に使用されている半導体基板自動移
動洗浄装置の概略を示す説明図である。 １……チヤツク、２……光電センサ、３……遮
光板、４……突起、５……ケース、６……シリン
ダ、７……ラツク、８……ピニオン、８−１……
ピニオン軸、９……支持軸、１０……支持腕。
Claims (1)
- シリンダにて上下動自在のラツクの左右側に一
対のピニオンを噛合し、各ピニオン軸を延長して
形成した支持軸に支持腕を垂下固着し、該両側支
持腕の自由端にてキヤリアを挟持し、駆動装置に
て横行及び昇降自在のキヤリアチヤツクにおいて
、前記ピニオンの一方の軸端にキヤリア挟持時の
ピニオン回動位置を検出するセンサーを設置した
ことを特徴とする半導体基板洗浄装置におけるキ
ヤリアチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987175316U JPH0179838U (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987175316U JPH0179838U (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0179838U true JPH0179838U (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=31467117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987175316U Pending JPH0179838U (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0179838U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01154530A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Fujitsu Ltd | 半導体基板の湿式処理装置 |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP1987175316U patent/JPH0179838U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01154530A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Fujitsu Ltd | 半導体基板の湿式処理装置 |
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