JPS6280845A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6280845A JPS6280845A JP22026485A JP22026485A JPS6280845A JP S6280845 A JPS6280845 A JP S6280845A JP 22026485 A JP22026485 A JP 22026485A JP 22026485 A JP22026485 A JP 22026485A JP S6280845 A JPS6280845 A JP S6280845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- optical recording
- recording medium
- guide track
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10584—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the form, e.g. comprising mechanical protection elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
伎穫分互
本発明は、ドキュメントファイル、フロッピーディスク
、ハードディスクなどに使用される光磁気記録媒体に関
する。
、ハードディスクなどに使用される光磁気記録媒体に関
する。
従米艮肯
近年、光の熱効果などを利用して磁性薄膜に磁区を書込
んで情報を記録し、磁気光学効果を利用して情報を読み
出すようにした光磁気記録媒体が注目されている。
んで情報を記録し、磁気光学効果を利用して情報を読み
出すようにした光磁気記録媒体が注目されている。
従来、光磁気記録媒体に用いられる記録層としては、Ｔ
ｂ−Ｆｅ合金のような希土類−遷移金属系アモルファス
磁性体からなる薄膜が知られている（特公昭５７−２０
６９１）。このような光磁気記録媒体への情報の記録は
、磁性体のキューリ温度または補償温度における保磁力
の急激な変化特性を利用して実施され、具体的には２値
信号で変調されたレーザー光を垂直磁化された磁性薄膜
に照射、加熱して磁化の向きを反転させることにより行
われる。また、再生は、反転記録された磁性膜の磁気光
学効果の差を利用して行われる。
ｂ−Ｆｅ合金のような希土類−遷移金属系アモルファス
磁性体からなる薄膜が知られている（特公昭５７−２０
６９１）。このような光磁気記録媒体への情報の記録は
、磁性体のキューリ温度または補償温度における保磁力
の急激な変化特性を利用して実施され、具体的には２値
信号で変調されたレーザー光を垂直磁化された磁性薄膜
に照射、加熱して磁化の向きを反転させることにより行
われる。また、再生は、反転記録された磁性膜の磁気光
学効果の差を利用して行われる。
このような光磁気記録媒体にあっては、高密度記録を実
現し、しかも、情報の書込み、読出し、消去を誤りなく
行うために、レーザー光の照射位置をガイドするガイド
トラックが必要となる。
現し、しかも、情報の書込み、読出し、消去を誤りなく
行うために、レーザー光の照射位置をガイドするガイド
トラックが必要となる。
従来、ガイドトラックは、たとえば１〜３μ−程度のピ
ッチで深さを１／４λ、１／８λの光の干渉幅に設定し
た溝を設け、光の干渉を利用して行われていた。
ッチで深さを１／４λ、１／８λの光の干渉幅に設定し
た溝を設け、光の干渉を利用して行われていた。
基板にガイドトラック溝を設ける場合は、２Ｐ法などを
採用できるプラスチック基板がコスト、量産性などの点
で優れており、よく用いられている。しかしながら、プ
ラスチック基板上に希土類−遷移金属系アモルファス磁
性膜を設けると、プラスチック内部の水分およびプラス
チックを通して入ってくる水分の影響で磁性膜が酸化さ
れ、磁気特性が劣化するという問題が生じた。
採用できるプラスチック基板がコスト、量産性などの点
で優れており、よく用いられている。しかしながら、プ
ラスチック基板上に希土類−遷移金属系アモルファス磁
性膜を設けると、プラスチック内部の水分およびプラス
チックを通して入ってくる水分の影響で磁性膜が酸化さ
れ、磁気特性が劣化するという問題が生じた。
基板としてガラス基板を使用すれば、この安定性の問題
を解決しうるが、ガラス基板にガイドトラック溝を形成
することは面倒な工程が必要であった。
を解決しうるが、ガラス基板にガイドトラック溝を形成
することは面倒な工程が必要であった。
見豆段且枚
本発明は、ガイドトラック溝を有しない平坦な基板を用
いる場合にも、ガイドトラックの機能を発揮せしめるこ
とができる光磁気記録媒体を提供するものである。
いる場合にも、ガイドトラックの機能を発揮せしめるこ
とができる光磁気記録媒体を提供するものである。
見豆夙１双
本発明の光磁気記録媒体は、基板上に希土類−遷移金属
系アモルファス磁性膜を設けた光磁気記録媒体において
、該磁性膜にパターン状に酸化領域を設けてガイドトラ
ックとしたことを特徴とする。
系アモルファス磁性膜を設けた光磁気記録媒体において
、該磁性膜にパターン状に酸化領域を設けてガイドトラ
ックとしたことを特徴とする。
以下、添付図面に沿って本発明をさらに詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の光磁気記録媒体の構成例を示す概略
断面図である。基板１１上に磁性層１３が設けられてお
り、この磁性層１３の一部に酸化領域１３ａが形成され
てガイドトラック１５を構成している。
断面図である。基板１１上に磁性層１３が設けられてお
り、この磁性層１３の一部に酸化領域１３ａが形成され
てガイドトラック１５を構成している。
磁性層１５は、希土類−遷移金属系アモルファス合金の
垂直磁化膜からなる。希土類金属としてはＴｂ（テルビ
ウム）、Ｄｙ（ジスプロシウム）、Ｇｄ（ガドリウム）
、Ｓｍ（サマリウム）、Ｈａ（ホルミウム）などが挙げ
られる。また、遷移金属としてはＦｅ（鉄）、Ｃｏ（コ
バルト）、Ｃｕ（銅）、Ｎ ｉ にッケル）、Ｃｒ（ク
ロム）などが挙られる。希土類−遷移金属系アモルファ
ス合金の具体例としては、Ｔ ｂ −Ｆ ｅ 、 Ｔ
ｂ −Ｆ ｅ −Ｇ ｏ 、 Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −
Ｃｕ 、 Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −Ｎ ｉ 。
垂直磁化膜からなる。希土類金属としてはＴｂ（テルビ
ウム）、Ｄｙ（ジスプロシウム）、Ｇｄ（ガドリウム）
、Ｓｍ（サマリウム）、Ｈａ（ホルミウム）などが挙げ
られる。また、遷移金属としてはＦｅ（鉄）、Ｃｏ（コ
バルト）、Ｃｕ（銅）、Ｎ ｉ にッケル）、Ｃｒ（ク
ロム）などが挙られる。希土類−遷移金属系アモルファ
ス合金の具体例としては、Ｔ ｂ −Ｆ ｅ 、 Ｔ
ｂ −Ｆ ｅ −Ｇ ｏ 、 Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −
Ｃｕ 、 Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −Ｎ ｉ 。
Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −Ｃｒ 、 Ｇ ｄ −Ｔ ｂ
−Ｆ ｅ 、 Ｔ ｂ −Ｄ ｙ −Ｆ ６ 、 Ｇ
ｄ −Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −Ｃｏなどが例示される。
−Ｆ ｅ 、 Ｔ ｂ −Ｄ ｙ −Ｆ ６ 、 Ｇ
ｄ −Ｔ ｂ −Ｆ ｅ −Ｃｏなどが例示される。
磁性層１３の膜厚は５００〜５０００人程度が適当であ
り、蒸着法、スパッタ法、イオンブレーティング法など
により形成することができる。
り、蒸着法、スパッタ法、イオンブレーティング法など
により形成することができる。
ガイドトラック１５は、形成すべきガイドトラックのパ
ターン状に磁性層１３を選択的に酸化して形成された酸
化領域１３ａから構成される。酸化領域１３ａでは、ア
モルファス希土類−遷移金属合金、主として希土類金属
が酸化されており、磁気光学効果および反射率が酸化さ
れていない部分と異なるので、ガイドトラックとして機
能することができる。酸化領域１３ａ、即ちガイドトラ
ックは１例えば第３図に示すように光磁気記録媒体１７
に対してスパイラル状に形成される。
ターン状に磁性層１３を選択的に酸化して形成された酸
化領域１３ａから構成される。酸化領域１３ａでは、ア
モルファス希土類−遷移金属合金、主として希土類金属
が酸化されており、磁気光学効果および反射率が酸化さ
れていない部分と異なるので、ガイドトラックとして機
能することができる。酸化領域１３ａ、即ちガイドトラ
ックは１例えば第３図に示すように光磁気記録媒体１７
に対してスパイラル状に形成される。
ガイドトラック１５は、たとえば幅０．５〜１．５μ■
、ピッチ１．５〜２．５μ腸程度に形成される・磁性層
１３．特に希土類金属元素は酸化され易いので容易に酸
化領域１３ａを形成してガイドトラックとすることがで
きる。この酸化は、たとえば、ガイドトラックパターン
に対応して選択的に磁性層に酸素イオンを注入すること
に、より行うことができる。この選択的なイオンの注入
は、第４図に示したように、基板ｌｌ上に磁性層１３を
形成したのち、この上に形成すべきガイドトラックのマ
スクパターン２１を設けて、酸素イオンを注入すること
により行うことができる。
、ピッチ１．５〜２．５μ腸程度に形成される・磁性層
１３．特に希土類金属元素は酸化され易いので容易に酸
化領域１３ａを形成してガイドトラックとすることがで
きる。この酸化は、たとえば、ガイドトラックパターン
に対応して選択的に磁性層に酸素イオンを注入すること
に、より行うことができる。この選択的なイオンの注入
は、第４図に示したように、基板ｌｌ上に磁性層１３を
形成したのち、この上に形成すべきガイドトラックのマ
スクパターン２１を設けて、酸素イオンを注入すること
により行うことができる。
マスクパターン２１で被覆していない部分に選択的に酸
素イオンが注入され、酸化領域１３ａが形成される。酸
素イオンが注入された領域では。
素イオンが注入され、酸化領域１３ａが形成される。酸
素イオンが注入された領域では。
主に希土類元素が酸化され、磁化容易軸が面内に倒れて
ガイドトラック１５を形成する。
ガイドトラック１５を形成する。
第２図は、本発明の光磁気記録媒体の他の構成例を示す
断面図であり、第１図に示した記録媒体の磁性層１３の
上にさらに保護膜１９が設けられている。保護膜１９は
、磁性層１３に酸素イオ′ンを注入したのちに、熱によ
り磁性膜１３から酸素イオンが放出されるのを防止する
ためのものである。保護膜１９は、Ｓ ｉ、Ｎ４． Ａ
Ｉ Ｎ、 Ｓ ｉ○。
断面図であり、第１図に示した記録媒体の磁性層１３の
上にさらに保護膜１９が設けられている。保護膜１９は
、磁性層１３に酸素イオ′ンを注入したのちに、熱によ
り磁性膜１３から酸素イオンが放出されるのを防止する
ためのものである。保護膜１９は、Ｓ ｉ、Ｎ４． Ａ
Ｉ Ｎ、 Ｓ ｉ○。
５ｉｎ２などからなり、蒸着法、イオンブレーティング
法、スパッタ法などにより作成することができる。保護
膜の厚さは５００〜５０００人程度が適当である。
法、スパッタ法などにより作成することができる。保護
膜の厚さは５００〜５０００人程度が適当である。
光磁気記録媒体の基板１１としては、ガラス、セラミッ
ク、アルミニウム等の金属などの非磁性材料が適宜用い
られる。また、第１図に示した磁性層１３の上に、ある
いは第２図に示した保護膜１９の上に、新たにガラス、
セラミック、プラスチックなどの透明基板を設けること
もでき机 ｌ匪ム麦米 本発明の光磁気記録媒体によれば、磁性層を選択的に酸
化させてその部分の反射率およびカー回転角を変化させ
てガイドトラックとするため、基板にガイドトラック溝
を形成することが不要となる。そのため、平坦な面をも
つガラス等が使用できるなど、基板の選択の自由度が増
し、アモルファス希土類−遷移金属磁性膜の安定性の向
上の観点などから基板を選択することができる。
ク、アルミニウム等の金属などの非磁性材料が適宜用い
られる。また、第１図に示した磁性層１３の上に、ある
いは第２図に示した保護膜１９の上に、新たにガラス、
セラミック、プラスチックなどの透明基板を設けること
もでき机 ｌ匪ム麦米 本発明の光磁気記録媒体によれば、磁性層を選択的に酸
化させてその部分の反射率およびカー回転角を変化させ
てガイドトラックとするため、基板にガイドトラック溝
を形成することが不要となる。そのため、平坦な面をも
つガラス等が使用できるなど、基板の選択の自由度が増
し、アモルファス希土類−遷移金属磁性膜の安定性の向
上の観点などから基板を選択することができる。
実施例１
ガラス基板上に、ＲＦスパッタ法で
Ｔ ｂｏ、、 Ｆ ｅｏ、ｓ膜（膜厚０．１μ、）を作
成し、フォトレジストからなるスパイラル状のマスクパ
ターンを形成して０□１イオンを注入し１幅１μ種、ピ
ッチ２．５μｍのガイドトラックを形成した。イオン注
入をした部分としない部分との反射率Ｒおよびカー回転
角θｋ（共に６３３ｎｍでの）を求めると以下のように
大きな点があり、この差を利用してガイドトラックとす
ることができた。
成し、フォトレジストからなるスパイラル状のマスクパ
ターンを形成して０□１イオンを注入し１幅１μ種、ピ
ッチ２．５μｍのガイドトラックを形成した。イオン注
入をした部分としない部分との反射率Ｒおよびカー回転
角θｋ（共に６３３ｎｍでの）を求めると以下のように
大きな点があり、この差を利用してガイドトラックとす
ることができた。
非イオン注入部：Ｒ＝４２％ θに＝ ０ 、２０ｄ
ｅｇイオン注入部：Ｒ＝３７％ θ１（＝Ｏｄｅｇ実
施例２ ガラス基板上に、２元マグネトロナスバッタ法でアモル
ファスＴ ｂＩＬ□（Ｆ ｅ、、、ｓ、ＣｏＩＬ□、）
。、、膜（膜厚０．１μｍ）を作成し、フォトレジスト
からなるスパイラル状のマスクパターンを形成して０２
＋イオンを注入して、幅１μＩ、ピッチ２．５μｍのガ
イドトラックを形成した。イオン注入をした部分としな
い部分との反射率Ｒおよびカー回転角θｋ（共に６３３
ｎｍでの）を求めると以下のように大きな差があり、こ
の差を利用してガイドトラックとすることができた。
ｅｇイオン注入部：Ｒ＝３７％ θ１（＝Ｏｄｅｇ実
施例２ ガラス基板上に、２元マグネトロナスバッタ法でアモル
ファスＴ ｂＩＬ□（Ｆ ｅ、、、ｓ、ＣｏＩＬ□、）
。、、膜（膜厚０．１μｍ）を作成し、フォトレジスト
からなるスパイラル状のマスクパターンを形成して０２
＋イオンを注入して、幅１μＩ、ピッチ２．５μｍのガ
イドトラックを形成した。イオン注入をした部分としな
い部分との反射率Ｒおよびカー回転角θｋ（共に６３３
ｎｍでの）を求めると以下のように大きな差があり、こ
の差を利用してガイドトラックとすることができた。
非イオン注入部： Ｒ＝４１．５％ θに＝０．３４ｄ
ｅｇイオン注入部：Ｒ＝３７％ θに＝ Ｏｄｅｇ
ｅｇイオン注入部：Ｒ＝３７％ θに＝ Ｏｄｅｇ
第１図および第２図は本発明の光磁気記録媒体の構成例
を示す断面図である。 第３図はガイドトラックの形成例を示す円板状光磁気記
録媒体の平面図である。 第４図は、ガイドトラックの形成方法について説明する
図である。 １１・・・基 板 １３・・・磁 性 層
１３ａ・・・酸 化 領 域 １５・・・ガイドトラッ
ク１７・・・光磁気記録媒体 ２１・・・マスクパター
ン懲３１
を示す断面図である。 第３図はガイドトラックの形成例を示す円板状光磁気記
録媒体の平面図である。 第４図は、ガイドトラックの形成方法について説明する
図である。 １１・・・基 板 １３・・・磁 性 層
１３ａ・・・酸 化 領 域 １５・・・ガイドトラッ
ク１７・・・光磁気記録媒体 ２１・・・マスクパター
ン懲３１
Claims (1)
- １、基板上に希土類−遷移金属系アモルファス磁性膜を
設けた光磁気記録媒体において、該磁性膜にパターン状
に酸化領域を設けてガイドトラックとしたことを特徴と
する光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22026485A JPS6280845A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22026485A JPS6280845A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280845A true JPS6280845A (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=16748455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22026485A Pending JPS6280845A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6280845A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7796353B2 (en) | 2008-10-09 | 2010-09-14 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Patterned-media magnetic recording disk with optical contrast enhancement and disk drive using optical contrast for write synchronization |
| US8139469B2 (en) * | 2008-06-30 | 2012-03-20 | Thomson Licensing | Compatible optical recording medium |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP22026485A patent/JPS6280845A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8139469B2 (en) * | 2008-06-30 | 2012-03-20 | Thomson Licensing | Compatible optical recording medium |
| US7796353B2 (en) | 2008-10-09 | 2010-09-14 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Patterned-media magnetic recording disk with optical contrast enhancement and disk drive using optical contrast for write synchronization |
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