JPS6281796A - 電子部品の認識方式 - Google Patents

電子部品の認識方式

Info

Publication number
JPS6281796A
JPS6281796A JP60223284A JP22328485A JPS6281796A JP S6281796 A JPS6281796 A JP S6281796A JP 60223284 A JP60223284 A JP 60223284A JP 22328485 A JP22328485 A JP 22328485A JP S6281796 A JPS6281796 A JP S6281796A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
chip
data
recognition
type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60223284A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0824240B2 (ja
Inventor
猿田 官二
武本 憲幸
宮坂 新哉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP60223284A priority Critical patent/JPH0824240B2/ja
Publication of JPS6281796A publication Critical patent/JPS6281796A/ja
Publication of JPH0824240B2 publication Critical patent/JPH0824240B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野 この発明は、電J’−AIS品の認識方式に関し、特に
、プリント基板上に設置されたチップ部品とか、半導体
チ、ブ部品、IC,LSIパッケージ、抵抗器、コンデ
ンサ)の部品を効率よく認識することがてきるような電
子部品の認識方式に関する。
[従来の技術] 電子部品の認識するシステムとしては、部品全体に所定
の光を照射して、部品の全体的な映像をイメージセンサ
等により採取して、この映像を画像解析して認識するも
のや、超音波等を使用して認識するものがある。
[解決しようとする問題点コ 従来の部品の全体的な映像をイメージセンサ等により採
取して両像解析するものにあっては、データの処理量が
多く、部品の数が多くなると、膨大なデータ処理を要求
されて、処理が遅くなり、1・分な認、我ができないと
いう欠点がある。
また、超〆1波等によりセンスするものにあっても、部
品の種類によっては、解像度が落ち十分な認識ができず
、誤認識率が大きくなり、しかも特殊な処理を2冴とす
る。
[発明の1−1的コ この発明は、このような従来技術の問題点等にかんがみ
てなされたものであって、このような問題点等を解決す
るとともに、そのデータ処理i■1が少なく、効率的に
部品の有無又はその種別等を認識できる電子部品の認識
方式を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための丁・段コ この上うな[1的を達成するためにのこの発明の電子部
品の認1方式における手段は、所定の方向で部品の影を
作る光線を照射して部品の影と反射部分との特徴外形線
を複数の箇所で採取し、採取したこれら複数の外形線の
データの組合せにより部品の自゛無又は部品の種類を判
定するというものである。
[作用コ このように構成することにより、部品を特徴付ける複数
の外形線データにより、電子部品の認識ができ、そのデ
ータ処理量が低減できるとともに、少ないデータであっ
ても、特徴点データ処理が可能となり、対象電γ部品が
多くなってもその認識か確′太にできる。
しかも、部品の種類によっては、その形状が特定の形で
ある関係から、複数の特徴外形箇所の位置関係から部品
の基板に対する取り付は位置又はその角度のずれをはじ
めとして、その中心点の位置等を演算することもij■
能であって、その正確な位置測定ができる。
したがって、多種多様な部品をli時間に認識可能であ
って、正確で効率的な認識処理が行える。
[実施例] 以ド、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。
第1図(a)は、この発明の電子部品の認識方式をチッ
プ部品の認識装置に対して適用した場合の一実施例のチ
ップ部品の部品検出光学系の詳細図、第1図(b)は、
その対物光学系先端部の構造の下側から見た平面図、第
2図は、チップ部品の認識装置の概要図、第3図(a)
、(b)は、それぞれその第1図(b)におけるI−I
部分の断面図及びこれに対応する下側から見た(1シ面
図、第4図は、その両像認識装置の機能ブロック図、第
5図(a)〜(c)乃至第8図(a)〜(c)は、それ
ぞれその境界線の認識と光線照射との関係を説明する説
明図、第9図(a)〜(e)は、それぞれその特徴外形
線の認識と光線照射との関係を説明する説明図である。
第2図において、20は、部品検出光学系であり、21
は、その固体撮像カメラ、22は、そのドに配置された
対物光学系であり、さらにその下には、X−Yテーブル
23が配置されていて、プリント基板25がX−Yテー
ブル23−Lに設置されている。
そして、そこに搭載されたチップ部品の認識は、固体撮
像カメラ21から得られる画像データを画像処理装置2
4にて処理することで行われ、その位置測定は、同様に
画像処理装置24にて画像データを演算処理するととも
に、X−Yテーブル23から得た位置データに基づき行
われる。
対物光学系22は、第1図(a)に見るように、固体撮
像カメラ21か固定された円筒状のハウジング1を有し
ていて、その内部には、」−から鏡筒2が配置され、そ
のドにレンズ3.そして光学フィルタ4が順次固定され
ている。
なお、これらハウジングl、鏡筒2.レンズ3゜光学フ
ィルタ4の各中心は、固体撮像カメラ21の光軸に一致
するようにセ、テングされている。
そしてハウジング1の先端部には、ファイバ固定リング
12が挿着されていて、このファイバ固定リング12は
、部品からの反射光を通過させる開口空間部12bを有
している。ここにこのファイバ固定リング12の先端部
がX−Yテーブル23−にに置かれたプリント基板25
の表面からほぼ10I+ll11前後の位置に位置付け
られるように、対物光学系22自体は、そのハウジング
1を支持するアーム(図示せず)により保持されている
さて、第1図(b)に見るように、X−Yテーブル23
に臨むハウジング1の先端側には、6個の光ファイバが
特定方向に光線を照射する投光器として設けられている
。すなわち、第1の光フアイバケーブル5.第2の光フ
アイバケーブル6とがそれぞれ斜めの位置に配置され、
第3及び第4の尤ファイバケーブル7.8かそれぞれX
−Yテーブル23に対して左右に、そして第5及び第6
の光フアイバケーブル9,10がそれぞれX−Yテーブ
ル23に対して前後に設けられている。
ここに、第3.第4.第5.第6の各光フアイバケーブ
ル7.8,9.10は、その先端側がそれぞれ゛ト面か
ら見て90°間隔に配置され、第1゜第2の光フアイバ
ケーブル5.6は、その先端側がそれぞれ第3.第4.
第5.第6の各光フアイバケーブル7.8,9.10と
同様に平面から見て45°の角度をなして配置されてい
る。
これら光フアイバケーブル5,6の先端側は、第3図(
a)及び(b)に見るようにハウジングlの11通孔1
a+1aに固定板1b、lbを介して固定され、その光
ファイバ5 a +  6 aがそれぞれファイバ固定
リング12の貫通孔12a、12aにより特定の傾斜角
度(例えば50°〜60゜の範囲)に保持されている。
しかも、第1及び第2の光フアイバケーブル5゜6の先
端側で突出している光ファイバ5a、8aは、その先端
部か他の光フアイバケーブル(その取り付は傾斜角は後
述するごとく20°〜25’程度)に比べて大きな傾斜
角度(前記50°〜60°)に取り付けられ、第3図(
a)及び(b)に見るように他の光フアイバケーブルよ
りもその先端部が少し長く突出している。その結果、プ
リント基板251−の認識対象となる部品の対角線−L
の角に1分に光線が照射されることになる。
−・方、その他の第3.第4.第5.第6の各光フアイ
バケーブル7.8.9.10は、第1図(a)に見るよ
うに水平より少し傾斜した状@(例えば20°〜25°
程度)で同様に光フアイバケーブルの先端がハウジング
1の貫通孔1a、la。
・・・に固定板ib、ib、を介して固定され、その光
ファイバ7a、8a+  9a+  10aがそれぞれ
ファイバ固定リング12の貫通孔12a、12aにより
特定の角度(前記20°〜25°の範囲)に保持されて
いる。
これら第1〜第6の光フアイバケーブル5,6゜7.8
,9.10は、第1図(a)の第4の光ファイバケーブ
ル8に代表されるように、それぞれハウジング1の側面
に設けられたファイバ固定金V↓11にゴムリングll
aを介してその中間部が固定されて、その後端側は、こ
れら光フアイバケーブル5,6,7.8,9.10に対
応してストロボ光源13,13.−・・(1つのみ図示
、他は省略)に接続されている。
ここで、固体撮像カメラ21には、2次元イメージセン
サ(X−Yイメージセンサ)と増幅回路とが内蔵されて
いて、対物光学系22から?すた映像をアナログ信号と
して発生して、これを画像処理装置24のA/D変換器
30へと送出する。
一方、画像処理装置24は、固体撮像カメラ21からの
画像信号を受けるA/L)変換器30とこのA / I
)変換器30からのデータを−・時的に記憶する画像デ
ータバッファ31とを有していて、画像データバッファ
31のデータは、バス32を介してマイクロプロセッサ
(MPU)33の制御のもとに、メモリ34に転送され
る。そしてメモリ34に記憶された後述する所定のプロ
グラムに従ってこれら画像データに対し所定の処理がな
される。
ここで、メモリ34の認識プログラム領域35には、被
認識対象であるチップ部品を大きく分けて次の5つの状
態のチップ部品として個別に認識する各プログラムが記
憶されている。
(1)全体が明るい色の角型チップ部品の認識プログラ
ム■35a0 (2)全体が暗い色の角型チップmく品の認識プログラ
ム■35b0 (3)電極部分が明る(、その他の部分が暗い角型チッ
プ部品の認識プログラム■35C0(4)トランジスタ
゛5・のり一ド部を持つ角型チップ部品の認識プログラ
ム■35d0 (5)円筒型チップ1■品の認識プログラム■35e。
そして、これらプログラムの1つを起動し、プリント基
板25における部品のデータ及びその位置データを含む
、検査順序を規定した検査処理プログラム34aがメモ
リ34に記憶されている。
ここで、この@舎処理プログラム34aと5つの各プロ
グラムは、チップ部品の認識の処理順序を規定しており
、プログラムに対する各種のデータ領域36及び各種の
テーブル領域37をアクセスして、チップ部品の形態9
位置、向き、境界線データに対応する境界線特徴パラメ
ータデータ等のデータを得て、後述する所定の処理を実
行して行く。
また、画像処理装置24は、キーボード40及びX−Y
ステージ23を駆動制御するX−Yステージ駆動回路4
1、ストロボ駆動回路42、画面メモリ43、そしてC
RTディスプレイ44とを有していて、キーボード40
と、ストロボ駆動回路42及びX−Yステージ23とは
、それぞれインターフェイス回路38.39.バス32
とを介してMPU33に接続され、MPU33は、所定
のデータを画面メモリ43に転送して所定の情報をCR
Tディスプレイ44に送出して表示する制O11を行う
以1・、のような構成よりなる画像処理装置24は、第
4図に見るように、ノ1(板位置決め処理り段51とス
トロボ駆動手段52、画像データ読込み丁一段53、ウ
ィンド処理り段54、境界線位置検出り段55、部品種
別判定り段56、部品の位置と方向演算1段57等の機
能り段をそのMPU33とメモリ34に記憶された各種
プログラムとにより実現する。
ここで、基板位置決め処理り段51は、検査処理プログ
ラム34aにおいて実現されるものであって、データ記
憶領域36a(各種データ領域36の一部)をアクセス
してプリント基板位置及び部品の形態情報を得る。ここ
に形態情報は、前記5つの認識状態(+lif記5つの
認識プログラムに対応する)に対応する5つの形態識別
情報及びその部品の取り付は向きからなる情報である。
また、ウィンド処理手段54は、前記5つの状態のチッ
プ部品を個別に認識するために、前記5つの認識プログ
ラムに対応して検出された画像データに対して後述する
ウィンド処理を行う。
さらに、境界線位置検出手段55は、メモリ34の境界
線特徴パラメータテーブル37a(各種で対テーブル領
域37の一部)の領域を参照し“ζ、その特徴パラメー
タからウィンド内の境界線の位置を算出する。そして部
品種別判定手段56は、部品種別テーブル37b(各種
テーブル領域37の一部)を参照してその部品の種別を
判定するものである。
・方、部品の位置と方向演算手段57は、+lif記部
品種部品種別判定6からの種別データと前記境界線位置
検出手段55のデータから部品種別対応のサイズテーブ
ル37C(各種テーブル領域37の−・部)を参照して
、種別に対応する部品サイズを得て、その部品のプリン
ト基板25に対する取り付は位置と角度のデータを演算
する。
なお、ウィンド処理手段54と境界線位置検出り段55
、部品種別手段56、そして部品の位置と方向演算手段
とは、前記(+)〜(5)の5つの状態のチップ部品を
個別に認識する5つのプログラムの1つを起動すること
でそれぞれ実現されるものである。
さて、画像処理装置24は、ある検査対象チップ部品か
対物光学系22の真下に来た時点でチップ部品の11;
f記憶つの形態識別情報及び向きによって決められたス
トロボ光源13を駆動する。そして対応する光ファイバ
の先端から所定の方向に光線を照射して、固体撮像カメ
ラ21から画像データを採取する。なお、固体撮像カメ
ラ21による画像データの採取は、1回又は2回行われ
、画像処理装置24により1回又は2回の画像データ処
理が行われる。
次に、あるチップ部品の取り付は位置において画像デー
タを得た画像処理装置24は、その位置に対応するチッ
プ部品に対して前記(1)〜(5)の認識形態の1つに
応じて前記5つのプログラム35a〜35dのうちから
選択されたそのチップ部品に対応する所定の認識プログ
ラムを起動して、X−Yステージ23の位置データとに
基づき、プリント基板25」−のチップ部品の有無及び
種別の認識を11い、さらにチッフ魯9ζ品の種別拳位
置・向き等に対応した各種のプログラム及びデータに従
って、チップ部品の位置や傾き等の測定を夫イ1して?
1く。
このようにしであるチップ部品の認識及び検査か終rす
ると、画像処理装置24は、メモリ34のプリント基板
25に関する部品のデータをl jj(1して、次のチ
ップ部品位置が対象光学系22の百ドに来るように、X
−Yステージ23を順次駆動して行く。そしてilGび
次の検査対象チップ部品が対物光学系22の11下に来
た時点でチップ部品の識別形態及び向きによって決めら
れらスi・ロボ光源13が同様に駆動されて、対応する
光ファイバの先端から所定の方向に光線が照射されるこ
とになる。次に+lif記と同様なチップ部品の認識処
理と位置等の測定処理がなされる。
ここで、以l−の処理を実行する場合の1+−1ii像
処理装置24の各り段の動作を具体的に説明すると、ま
ず、キーボード40からの指令借りに応じて、画像処理
装置24は、そのMPU33を動作させて、111i記
検査プロゲラl、34a等を起動する。この検査処理プ
ログラム34aの起動により、基板位置決め処理手段5
1がメモリ34のプリント基板部品位置及び形、嘘情報
を得て、プリント基板部品位置情報に基づいて、X−Y
ステージ駆動回路41を介してX−Yステージ23を制
御して、プリント基板25+−:の第1のチップ部品を
対物光学系22の真下に位置付け、かつその位置データ
をメモIJ 34 、lzの所定領域に格納する。
この位置決め完rにおいて基板位置決め処理り段51は
、前記チップ部品の形態データに従って、ストロボ駆動
手段52を駆動して、特定の方向のストロボ光源13を
発光させて、それに対応する光ファイバから光線を所定
のシーケンスに従って照射させ、プリント基板25にの
チ、ツブ部品の画像データを固体撮像カメラ21より取
り込んで、そのデータを画像データバッファ31に記憶
する。
次に、これら画像データを画像データ読込み手段53が
読込み、メモリ34の特定領域に記憶する。
次に、ウィンド処理手段54が起動されて前記画像デー
タをメモリ34から読出して、これに対してウィンド処
理が実行される。ウィンド処理F段54は、)、(板位
置決め処理り段51から得たチップ部品の+lij記(
1)〜(5)の認識種別の1つに対応する形態に対応し
て、得た画像データに対して後述する第5図(a)−(
C)乃至第8図(2L)〜(C)及び第9図(a)〜(
e)に示すようなウィンド処理の1つを行い、特定の箇
所の画像データのみを抽出する。
次に、各ウィンドに対応するこれらの画像データは、境
界線位置検出手段55により、境界線パラメータデータ
に基づいて、その部品と基板との境界線の位置(エツジ
位置)データ、すなわち白黒が反転する位置を示す境界
線データ列叉は特徴外形データ列としてS’>出されて
、部品種別判定丁一段56に送出される。
部品種別テーブル56は、各ウィンドについてのこの境
界線位置データと、J、(板位置決め処理手段51から
得られるストロボ発光ンーケンスデータとからメモリ3
4の部品種別テーブル37bを参n、(4して、特定の
チップ部品であることを判定する。そしてこのチップ部
品のデータは、部品種別判定下段56からCRTディス
プレイ44に+l+ 力されて人生され、又はメモリ3
4あるいは外部記憶装置に出力されて記憶される。
さらに、境界線位置検出手段55の境界線の位置データ
は、部品の位置と力向演pL段57に送+14される。
部品の位置上方向演算手段57は、この位置データと、
部品種別判定下段56により決定された部品の種別の情
報と基板位置決め処理手段51から送出されたプリント
基板25F、の現在位置の情報とその向きの情報(形態
情報より)とに基づき、メモリ34の部品の種別対応の
サイズテーブル37cを参!!(1して、そのプリン1
−JA板25 L−における実際の取り付は位置とその
方向とを演算する。
このよにして算出したこれらのデータは、同様に、部品
の位置と方向演算り段57からCRTディスプレイ44
に出力されて表示され、又はメモリ34あるいは外部記
憶装置に出力されて記憶される。
以1−のようにして部品の種別を認識して、その部品の
位置及び方向を測定する。そしてこれが完1′すると、
プリント基板25にの次の部品を認識し、7!+11定
するためにその部品の位置と方向演算F段57は、基板
位置決め処理手段51を起動する。
そして基板位置決め処理手段51により次のチップ部品
の位16が対物光学系22の真ドに来るようにX−Yテ
ーブル23を移動してプリント基板25が位置付けられ
る。
このようにして、画像処理装置24とX−Yテーブル2
3とがお互いに同期を採りなから部品認識と検査を実行
して行く。
なお、部品の認識のみを行う場合には、部品種別判定り
段56により基板位置決め処理手段51が起動されるこ
とになる。また、特定のチップ部品を認識する場合には
、メモリ34の部品の形態情報を参照せずに、キーボー
ド4oがらの指定によりストロボ駆動手段52、ウィン
ド処理手段53、そして境界線位置検出手段55を起動
して、χ−r 象、=なる11識処理をするために2認
な認識プログラムを認識プログラム35a〜35dの中
から1つを前記指令に応じて選択できるようにしてもよ
い。
さらに、認識対象となるチップ部品が不特定の場合には
、これら認識プログラムを順次起動してチップ部品の対
象認識を順次行うようにすることもできる。
次に、前記5つの1認識プログラムに従って行われる画
像処理装置24の認識処理の仕方について説明する。
■=全全体明るい色のチップ部品(電極及び部品本体か
らの反射が部分なもの)。
全体が明るい色のチップ部品に対しては、第5図(a)
、(b)に見るように、第1.第2の光7、イバ5,6
から斜めのストロボ光Lt、Lzか所定のタイミングで
順次照射されるようにして、チップ部品商、そしてその
電極)πく分からの反射とその周辺部に発生するこれら
の光線から生じる影の部分を、ウィンド処理手段54に
よりウィンド処理して、第5図(C)に見る関係でw、
−w6の検出ウィンド(検出領域)により、この影を含
む反射部分の映像を6箇所(複数点)で検出して、それ
ぞれの境界線データを得る。
このようにして検出した各ウィンドのデータは、メモリ
34の特定領域に記憶されて、境界線位置検出り段55
により読み出されて境界線の位置が求められて、各ウィ
ンドからのこの境界線域データに基づいて、各部品チッ
プの有無及び部品の種別とか、部品自体の認識が行われ
、さらに部品の位置と方向演算手段57によりその部品
の位置及び向き等が判定される。
■:電極部分を除き全体が暗い色のチップ(ただし、電
極のみが反射して光っているもの)。
前記と同様に、電極部分を除いて暗い色のチップ部品に
対しては、第6図(a)、(b)に見るように、第1.
第2の光ファイバ5,6から斜めのストロボ光L/、L
2が所定のタイミングで順次照射されるようにして、チ
ップ部品の電極部分からの反射とその周辺部に発生する
これらの光線から生じる影の部分を、ウィンド処理り段
54によりウィンド処理して、第6図(C)に見るよう
な関係でW/〜W6の検出ウィンド(検出領域)により
、この影を含む反射部分の映像を6i71T所(複数点
)で検出して、それぞれの境界線のデータを得て、以ド
前記■同様な処理が実行される。
ここに、W3〜W6のウィンドの位置は、Wl。
W2のウィンドによる電極位置の、il算結果から決定
されるものである。
■:全全体暗い色のチップ部品(プリント基板のボード
の色が明るい場合)。
第7図(a)、(b)に見るような全体が暗い色のチッ
プ部品に対しては、第1.第2の光ファイバ5,6から
斜めのストロボ光L/、L2が所定のタイミングで順次
照射されるようにして、チップ部品の電極部分からの反
射(無反射状態)とその周辺部に発生するこれらの光線
から生じる反射の部分を、ウィンド処理手段54により
ウィンド処理して、第7図(C)に見る関係でW、−W
乙の検出ウィンド(検出領域)により、ボード側からの
反射部分を含む映像を6箇所(N数点)で検出して、そ
れぞれの境界線のデータを得て、以ド前記■同様な処理
か実行される。
■:トランンスタ等のリード線のあるもの。
第8図(a)、(b)に見るようなトランジスタ等のよ
うに左右乃至は1−ドカ向にリード線かあるチップ部品
に対しては、そのリード線方向に一致する方向の光ファ
イバ、例えば第3.第4の光ファイバ7.8からストロ
ボ光La+Lqが所定のタイミングで順次照射されるよ
うにして、チップ部品の電極部分からの反射とその周辺
部に発生するこれらの光線から生じる影の部分を、ウィ
ンド処理手段54によりウィンド処理して、第8図(C
)に見るW7〜W?の検出ウィンド(検出領域)により
、リード線側からの反射部分を含む映像をリード線に対
応する31η所(複数点)で検出して、それぞれの境界
線のデータを得て、以ド前記■同様な処理が実行される
■:円形のチップ部品場合。
第9図(a)、(b)に見るような円形チップ部品の場
合には、その長手方向に一致するように左右乃至は1−
下方向の光ファイバ、例えば第3゜第4の光ファイバ7
.8からストロボ光La、Lqが所定のタイミングで順
次照射されるようにして、チップ部品の電極部分からの
反射とその周辺部に発生するこれらの光線から生じる影
の部分を、ウィンド処理手段54によりウィンド処理し
て、第9図(C)に見る関係で映像波形Sを得て、第9
図(d)に見るようなウィンドWIO,Wll (検出
領域)により、その−L部用からの反射mζ分を含む映
像を両端部分2箇所(?!数点)で検出して、それぞれ
の反射データを得て、以下前記■同様な処理が実行され
る。
なお、このような部品における傾きは、第9図(e)に
見るように相互に位置をずらせたウィンドWIO,Wl
l (検出領域)によりその中心部の位置を算出して傾
き0を得るものである。
ところで、この実施例では、対物光学系の先端にユニッ
ト化した状態で光ファイバの投光系を設け、対物光学系
と固体撮像カメラとを独立なユニットとしているので、
カメラの光軸に対し、対物光学系の角度とか、距離等の
設定、そして光ファイバの対称位置セットが容易である
という利点がある。
以1説明してきたが、実施例では、第9図(a)〜(e
)を除いて、部品の境界線を中心にウィンド処理してい
るか、対象は、境界線に限定されるものではなく、部品
の外形線−・般に適用できることはもちろんであり、部
品は、チップ部品に限定されるものではない。
また、部品のを無の認識1部品の種別の認識においては
、1順次それぞれの特徴を検出するウィンド処理を含め
た5つの認識プログラムを起動することにより、そのう
ちの1つで部品が認識できれば足りる。したがって、あ
らかじめウィンド処理に関係する形態情報を必要とする
ものではない。
実施例では、複数の光ファイバを配置しているが、これ
は、1つの光ファイバをそれぞれの方向に移動して設置
して使用してもよいことはもちろんである。
また、’+、17徴を検出するための認識形態の種類又
はその認識プログラムの種類は、実施例で挙げた5つに
限定されないことはもちろんである。
[発明の効用] 以l・の説明から理解できるように、この発明にあって
は、所定の方向で部品の影を作る光線を照射して部品の
影と反射部分との特徴外形線を複数の箇所で採取し、採
取したこれら複数の外形線のデータの組合せにより部品
のイj′無又は部品の種類を判定するようにしているの
で、部品を特徴付ける複数の外形線データにより、電子
部品の有無又はその種別の認識ができる。
その結果、そのデータ処理量が低減できるとともに、少
ないデータであっても、特徴点データ処p14がIIJ
能となり、対象電子部品が多くなってもその認識が確実
にできる。
しかも、r’+<品の種類によっては、その形状が特定
の形である関係から、FSl数の特徴外形箇“所の位置
関係から部品のりλ板に対する取り付は位置又はその角
度のずれをはじめとして、その中心点の位置笠を演3′
>、することも可能であって、その正確な位置測定がで
きる。
したがって、多種多様な部品を中時間に認識iiJ能で
あって、1.IE確で効率的な認識処理が行える。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は、この発明の電子部品の認識方式をチッ
プ部品の認識装置に対して適用した場合の一実施例のチ
ップ部品の部品検出光学系の詳細図、第1図(b)は、
その対物光学系先端部の構造のド側から見た・V面図、
第2図は、チップ部品の認識装置の+1!!茨図、第3
図(a)、(b)は、それぞれその第1図(b)におけ
るI−I部分の断面図及びこれに対応する平面図、第4
図は、その画像認識装置の機能ブロック図、第5図(a
)。 (b)及び(C)は、それぞれ明るいチップ部品につい
てのその境界線の認識と光線照射との関係を説明する説
明図、第6図(a)、(b)及び(C)は、それぞれ電
極部分を除いて暗いチップ部品についてのその境界線の
認識と光線照射との関係を説明する説明図、第7図(a
)、(b)及び(C)は、それぞれ全体か暗いチップ部
品についてのその境界線の認識と光線照射との関係を説
明する説明図、第8図(a)、(b)及び(c)は、そ
れぞれリード線部分をイ1するチップ部品についてのそ
の境界線の認識と光線j!(1射との関係を説明する説
明図、第9図(a)、(b)及び(c)は、それぞれ円
形のチップ部品についてのその外形線の認識と光線照射
との関係を説明する説明図、第9図(d)及び(e)は
、それぞれそのウィンド処理についての説明図である。 1・・・ハウジング、2・・・鏡筒、3・・・レンズ、
4・・・光学フィルタ、5〜10・・・光ファイバ、1
3・・・ストロボ光隙、 12・・・ファイバ固定リング、 12b・・・IN II空間部、20・・・部品検出光
学系、21・・・固体撮像カメラ、22・・・対物光学
系、23・・・X−Yテーブル、 24・・・画像データを画像処理装置、25・・・プリ
ント基板。 33・・・マイクロプロセッサ(MPU)、34・・・
メモリ、51・・・基板位置決め処理り段、52・・・
ストロボ駆動り段、53・・・画像データ読込み1段、
54・・・ウィンド処理手段、55・・・境界線位置検
出手段、56・・・部品種別判定り段、57・・・部品
の位置と方向演算手段。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)所定の方向で部品の影を作る光線を照射して前記
    部品の影と反射部分との特徴外形線を複数の箇所で採取
    し、採取したこれら複数の外形線のデータの組合せによ
    り部品の有無又は部品の種類を判定することを特徴とす
    る電子部品の認識方式。
  2. (2)特徴外形線は、部品の境界線であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の電子部品の認識方式。
  3. (3)部品は、チップ部品であって、光線の照射方向は
    複数の方向であり、複数のうちの特定の方向と採取した
    それに対応する境界線のデータの組合せによりチップ部
    品の有無又は部品の種類を判定し、そのチップ部品の位
    置を算出することを特徴とする特許請求の範囲第1項又
    は第2項記載の電子部品の認識方式。
  4. (4)部品は、複数種類のチップ部品であって、光線の
    照射方向は複数の方向であり、複数のうちの特定の方向
    が前記チップ部品の種別に対応して選択され、この選択
    された照射方向に対応する境界線のデータの複数の組合
    せによりチップ部品の有無又は部品の種類を判定し、そ
    の取り付けずれ量を算出することを特徴とする特許請求
    の範囲第1項又は第2項記載の電子部品の認識方式。
  5. (5)光線は、光ファイバから照射され、その照射方向
    は、光ファイバの設置位置により設定されるものである
    ことを特徴とする特許請求の範囲第3項又は第4項記載
    の電子部品の認識方式。
  6. (6)光線はストロボにより発生させるものであり、光
    ファイバの設置位置は、装置に対して前後に一対、左右
    に一対、そして前後、左右の中間位置に一対設けられ、
    前記前後左右の一対のそれぞれの光ファイバは、同時に
    光線を照射し、前記中間位置に設置された光ファイバは
    それぞれ独立に光線を照射することを特徴とする特許請
    求の範囲第5項記載の電子部品の認識方式。
JP60223284A 1985-10-07 1985-10-07 電子部品の認識装置 Expired - Lifetime JPH0824240B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60223284A JPH0824240B2 (ja) 1985-10-07 1985-10-07 電子部品の認識装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60223284A JPH0824240B2 (ja) 1985-10-07 1985-10-07 電子部品の認識装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6281796A true JPS6281796A (ja) 1987-04-15
JPH0824240B2 JPH0824240B2 (ja) 1996-03-06

Family

ID=16795716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60223284A Expired - Lifetime JPH0824240B2 (ja) 1985-10-07 1985-10-07 電子部品の認識装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0824240B2 (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5946179A (ja) * 1982-09-09 1984-03-15 株式会社日立製作所 電子部品の搭載装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5946179A (ja) * 1982-09-09 1984-03-15 株式会社日立製作所 電子部品の搭載装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0824240B2 (ja) 1996-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4450579A (en) Recognition method and apparatus
JP2851151B2 (ja) ワイヤボンディング検査装置
KR100332247B1 (ko) 격자 어레이 검사 시스템 및 방법
JPH0798216A (ja) 半導体装置の外観検査装置とその検査方法
JPS6281796A (ja) 電子部品の認識方式
JP2577805B2 (ja) はんだ付部検査方法とその装置並びに電子部品実装状態検査方法
JP2605191B2 (ja) 電子部品の取付け状態検査方法
JPS6281800A (ja) 電子部品の取り付け状態検査方式
JPS59192902A (ja) 基板取付部品の位置検査装置
JPH04166709A (ja) 表面性状観測装置
JPS61193007A (ja) 棒状突起物体の検査方法
JP3006566B2 (ja) リード曲がり検査装置
JPS62239040A (ja) 電子部品の取り付け状態検査方式
JPH01202608A (ja) Icのリード曲がり検査装置
JP2674526B2 (ja) ボンディングワイヤ検査装置およびその検査方法
JPS61279143A (ja) 電子部品の脚片の不良検出装置
JP3444228B2 (ja) 半導体装置のリード検査装置
JPH02110306A (ja) 観測位置検出方法およびその装置
KR20030051249A (ko) 리드선 검사 장치
JPH01243535A (ja) ウエハプローバ装置
JP2739739B2 (ja) 位置ずれ検査装置
JPH05275900A (ja) 部品リードの実装状態検査方法
JPH0282105A (ja) 3次元形状検査装置
JPH0663751B2 (ja) 電子部品の認識方式
KR100204827B1 (ko) 아이씨 패키지의 리드핀 검사장치 및 검사방법