JPS6281964A - リニアモ−タ - Google Patents
リニアモ−タInfo
- Publication number
- JPS6281964A JPS6281964A JP22253885A JP22253885A JPS6281964A JP S6281964 A JPS6281964 A JP S6281964A JP 22253885 A JP22253885 A JP 22253885A JP 22253885 A JP22253885 A JP 22253885A JP S6281964 A JPS6281964 A JP S6281964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bobbin
- yoke
- bearing
- linear motor
- pocket section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は半導体製造装置、精密加工機、精密測定機そ
の他各種機械装置において、例えば位置決め用ＸＹステ
ージ等に適用するリニアモータに関する。
の他各種機械装置において、例えば位置決め用ＸＹステ
ージ等に適用するリニアモータに関する。
〈発明の概要〉
この発明はヨーク、永久磁石を有す固定子と、導電体ボ
ビンに駆動コイルを巻付けた移動子とからなるリニアモ
ータにおいて、ヨークとボビンとの間に減圧手段を設け
、リニアモータ自体にモータ推力方向と直交する鉛直方
向のプリロード機能を与え、軸受剛性を高めることにあ
る。
ビンに駆動コイルを巻付けた移動子とからなるリニアモ
ータにおいて、ヨークとボビンとの間に減圧手段を設け
、リニアモータ自体にモータ推力方向と直交する鉛直方
向のプリロード機能を与え、軸受剛性を高めることにあ
る。
〈発明の背景〉
従来、位置決め装置等に適用する静圧浮上ＸＹステージ
では、定盤上の縦横側辺にリニアモータを対向配備し、
各モータの移動子間に縦横可動ガイド、両可動ガイドの
交叉部に自在ステージを空気軸受を介して支持している
。ところが、上記リニアモータは、ガイドを移行させス
テージに対しＸＹ方向の推力を与える機能を有すのみで
あり、従って、ステージを高速位置決めするには可動ガ
イド系の軸受剛性を高め、共振周波数を高める必要があ
る。ＸＹステージに対し、鉛直方向の負荷を支持する重
量バランス型空気軸受、および従来タイプのリニアモー
タを用いる限り、軸受剛性を高めるためには、可動ガイ
ド系の重量の増加が不可欠であり、この場合、可動部の
重量が増大してステージ位置決めの高速化に問題を生じ
る矛盾関係にある。
では、定盤上の縦横側辺にリニアモータを対向配備し、
各モータの移動子間に縦横可動ガイド、両可動ガイドの
交叉部に自在ステージを空気軸受を介して支持している
。ところが、上記リニアモータは、ガイドを移行させス
テージに対しＸＹ方向の推力を与える機能を有すのみで
あり、従って、ステージを高速位置決めするには可動ガ
イド系の軸受剛性を高め、共振周波数を高める必要があ
る。ＸＹステージに対し、鉛直方向の負荷を支持する重
量バランス型空気軸受、および従来タイプのリニアモー
タを用いる限り、軸受剛性を高めるためには、可動ガイ
ド系の重量の増加が不可欠であり、この場合、可動部の
重量が増大してステージ位置決めの高速化に問題を生じ
る矛盾関係にある。
〈発明の目的〉
この発明はリニアモータに簡単な手段を施こして、モー
タ推力と鉛直方向のプリロードを附加することにより、
上記従来の諸問題を一挙に解消した新規なリニアモータ
を提供することを目的とする。
タ推力と鉛直方向のプリロードを附加することにより、
上記従来の諸問題を一挙に解消した新規なリニアモータ
を提供することを目的とする。
〈発明の構成および効果〉
上記の目的を達成するため、この発明では、ヨークおよ
び永久磁石からなる固定子と、導電体ボビンに駆動コイ
ルを巻いた移動子とからなるリニアモータにおいて、ヨ
ークとボビンとの間に減圧手段を施こして成る。上記の
構成によると、この発明では、リニアモータ自体にモー
タ推力方向と直交する鉛直方向のプリロード機能が得ら
れる。この移動子は可動ガイドおよび静圧空気軸受に結
合されているため、鉛直方向のプリロードは空気軸受の
鉛直方向の軸受すきまを減少させ、軸受剛性を高め得、
特に可動部の重量を増大しないため、位置決めの高速化
を実現する実用上の効果を奏する。
び永久磁石からなる固定子と、導電体ボビンに駆動コイ
ルを巻いた移動子とからなるリニアモータにおいて、ヨ
ークとボビンとの間に減圧手段を施こして成る。上記の
構成によると、この発明では、リニアモータ自体にモー
タ推力方向と直交する鉛直方向のプリロード機能が得ら
れる。この移動子は可動ガイドおよび静圧空気軸受に結
合されているため、鉛直方向のプリロードは空気軸受の
鉛直方向の軸受すきまを減少させ、軸受剛性を高め得、
特に可動部の重量を増大しないため、位置決めの高速化
を実現する実用上の効果を奏する。
〈実施例の説明〉
第１図は、位置決め装置等に適用する静圧浮上ｘｙステ
ージを示す。
ージを示す。
該ＸＹステージは、定盤１上の縦横側辺に互いに対向し
て固定ガイド１１、この固定ガイド１１上に本発明にか
かるリニアモータ２が配設され、各モータ２の移動子２
４間に縦横可動ガイド４，５両ガイドの交叉部に自在ス
テージ６が配備され、縦横可動ガイド４，５とステージ
６との間、および可動ガイド４．５の両端にそれぞれ静
圧空気軸受７を配設して、固定ガイド１１、軸受７との
間には微調整によって所定の軸受すきまＨｘｖを設定し
、定盤１と軸受７との間には可動ガイド系の負荷により
決定する所定の軸受すきまＨ２を設定している。
て固定ガイド１１、この固定ガイド１１上に本発明にか
かるリニアモータ２が配設され、各モータ２の移動子２
４間に縦横可動ガイド４，５両ガイドの交叉部に自在ス
テージ６が配備され、縦横可動ガイド４，５とステージ
６との間、および可動ガイド４．５の両端にそれぞれ静
圧空気軸受７を配設して、固定ガイド１１、軸受７との
間には微調整によって所定の軸受すきまＨｘｖを設定し
、定盤１と軸受７との間には可動ガイド系の負荷により
決定する所定の軸受すきまＨ２を設定している。
前記リニアモータ２は公知の如く、ヨーク２１および永
久磁石２３からなる固定子２１と、導電体ボビン２５に
駆動コイル２６を巻いた移動子２４とからなり、本発明
はヨーク２２とボビン２５との間に減圧手段３を設けた
ことを特徴とする。上記減圧手段３は、ボビン２５の下
面にヨーク２２の上面に対応して下開口の真空ポケット
部３１を形成し、該ポケット部３１は通気導孔３２、配
管３３を介して真空装置その他の吸気源（図示せず）に
接続してなるものである。
久磁石２３からなる固定子２１と、導電体ボビン２５に
駆動コイル２６を巻いた移動子２４とからなり、本発明
はヨーク２２とボビン２５との間に減圧手段３を設けた
ことを特徴とする。上記減圧手段３は、ボビン２５の下
面にヨーク２２の上面に対応して下開口の真空ポケット
部３１を形成し、該ポケット部３１は通気導孔３２、配
管３３を介して真空装置その他の吸気源（図示せず）に
接続してなるものである。
然して、吸気源を作動するとき、ポビン２５内面の真空
ポケット部３１が減圧し、ヨーク２２に対し真空吸引力
が作用する。このとき、ボビン２５はＸＹステージの可
動ガイド系、つまり静圧空気軸受７に結合されているた
め、軸受７を鉛直方向にプリロードすることになる。
ポケット部３１が減圧し、ヨーク２２に対し真空吸引力
が作用する。このとき、ボビン２５はＸＹステージの可
動ガイド系、つまり静圧空気軸受７に結合されているた
め、軸受７を鉛直方向にプリロードすることになる。
第４図は静圧空気軸受における軸受負荷と軸受すきまの
関係、および第５図は軸受剛性と軸受すきまとの関係を
示している。重量バランス型軸受では、負荷Ｗの増大と
ともに軸受すきまＨは減少する。軸受の剛性には、第４
図におけるＷ −Ｈカーブの接線勾配で示され、空気軸
受の実用的な軸受すきまにおいては、第５図に示す如く
、軸受すきま１１の減少とともに軸受剛性には増大する
。軸受剛性Ｋが高いほどＸＹステージの共振周波数が高
まり、高速位置決めにとって有利となる。従って、本発
明では、移動子２４に対し真空吸引力による鉛直方向の
プリロードを与えているため、可動ガイド系の重量を増
大することなくＺ方向の軸受すきまが小となり、軸受剛
性が増大する。
関係、および第５図は軸受剛性と軸受すきまとの関係を
示している。重量バランス型軸受では、負荷Ｗの増大と
ともに軸受すきまＨは減少する。軸受の剛性には、第４
図におけるＷ −Ｈカーブの接線勾配で示され、空気軸
受の実用的な軸受すきまにおいては、第５図に示す如く
、軸受すきま１１の減少とともに軸受剛性には増大する
。軸受剛性Ｋが高いほどＸＹステージの共振周波数が高
まり、高速位置決めにとって有利となる。従って、本発
明では、移動子２４に対し真空吸引力による鉛直方向の
プリロードを与えているため、可動ガイド系の重量を増
大することなくＺ方向の軸受すきまが小となり、軸受剛
性が増大する。
本発明は上記の如く、ヨーク２２および永久磁石２３を
有す固定子２１と、ボビン２５に駆動コイル２６を巻い
た移動子２４とからなるリニアモータであって、前記ボ
ビン２５とヨーク２２との間に、真空吸引力によってボ
ビン２５を鉛直方向にプリロードする減圧手段３を設け
たから、本発明ではリニアモータ自体にモータ推力およ
び鉛直方向のプリロード機能が得られ、移動子２４は可
動ガイド、静圧空気軸受７に結合しているため、かかる
プリロードは、空気軸受７の鉛直方向の軸受すきまＨ２
を減少させ、軸受剛性を高め得る。
有す固定子２１と、ボビン２５に駆動コイル２６を巻い
た移動子２４とからなるリニアモータであって、前記ボ
ビン２５とヨーク２２との間に、真空吸引力によってボ
ビン２５を鉛直方向にプリロードする減圧手段３を設け
たから、本発明ではリニアモータ自体にモータ推力およ
び鉛直方向のプリロード機能が得られ、移動子２４は可
動ガイド、静圧空気軸受７に結合しているため、かかる
プリロードは、空気軸受７の鉛直方向の軸受すきまＨ２
を減少させ、軸受剛性を高め得る。
特に本発明は、可動部の重量を増大しないため、ステー
ジの軽量化と軸受高剛性化が実現し、動的特性の向上お
よび高速位置決めを達成する等、構成簡易にして実用上
の効果は顕著多大である。
ジの軽量化と軸受高剛性化が実現し、動的特性の向上お
よび高速位置決めを達成する等、構成簡易にして実用上
の効果は顕著多大である。
第１図は本発明にかかるリニアモータを適用したＸＹス
テージの斜視図、第２図は第１図■−■線断面図、第３
図は第２図ＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う拡大断面図、第４図
および第５図は静圧空気軸受の特性を表す図である。 ２・・・・リニアモータ ２１・・・・固定子２２・
・・・ヨーク ２３・・・・永久磁石２４・・
・・移動子 ２５・・・・ボビン２６・・・・
コイル ３・・・・減圧手段３１・・・・真空
ポケット部 ３２・・・・導孔３３・・・・配管 寸ム〕ａ 膚争μじ２失赤由ｅ、’を存小生麦Ａｔ＋ｙ１寸５）ｊ
テージの斜視図、第２図は第１図■−■線断面図、第３
図は第２図ＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う拡大断面図、第４図
および第５図は静圧空気軸受の特性を表す図である。 ２・・・・リニアモータ ２１・・・・固定子２２・
・・・ヨーク ２３・・・・永久磁石２４・・
・・移動子 ２５・・・・ボビン２６・・・・
コイル ３・・・・減圧手段３１・・・・真空
ポケット部 ３２・・・・導孔３３・・・・配管 寸ム〕ａ 膚争μじ２失赤由ｅ、’を存小生麦Ａｔ＋ｙ１寸５）ｊ
Claims (2)
- （１）ヨーク、永久磁石を有す固定子と、導電体ボビン
に駆動コイルを巻付けた移動子とからなるリニアモータ
であって、ヨークとボビンとの間に、移動子に対し推進
方向と直角方向にプリロードを与える減圧手段を設けた
ことを特徴とするリニアモータ。 - （２）減圧手段は、ボビンの下面へ吸気源に連通した下
開口の真空ポケット部が形成されている特許請求の範囲
第１項記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22253885A JPS6281964A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | リニアモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22253885A JPS6281964A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | リニアモ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281964A true JPS6281964A (ja) | 1987-04-15 |
Family
ID=16784005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22253885A Pending JPS6281964A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | リニアモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6281964A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0785467A1 (en) | 1996-01-16 | 1997-07-23 | Konica Corporation | Solid processing composition for silver halide photographic light sensitive material |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP22253885A patent/JPS6281964A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0785467A1 (en) | 1996-01-16 | 1997-07-23 | Konica Corporation | Solid processing composition for silver halide photographic light sensitive material |
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