JPS6288528A - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6288528A JPS6288528A JP23063485A JP23063485A JPS6288528A JP S6288528 A JPS6288528 A JP S6288528A JP 23063485 A JP23063485 A JP 23063485A JP 23063485 A JP23063485 A JP 23063485A JP S6288528 A JPS6288528 A JP S6288528A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- guide
- stator
- cross
- linear motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は精密測定機、産業用ロボット半導体製造装置
等において、精密値＝決め装置に適用するＸＹステージ
に関する。
等において、精密値＝決め装置に適用するＸＹステージ
に関する。
〈発明の概要〉
この発明は、定盤上の縦横側辺に各々対向してリニアモ
ータを配設し、リニアモータの移動子間に立体交叉のク
ロスガイド、その交叉部に自在ステージを配備したＸＹ
ステージにおいて、各リニアモータの固定子に対し長手
方向に沿う側面に対向固定子と平行な案内面を形成し、
各クロスガイドの両端部には、前記案内面および定盤に
対向して圧力空気噴出口を開設した空気軸受を配備して
なり、ＸＹステージの構成の簡易化および小型、薄型化
、軽量化を実現したものである。
ータを配設し、リニアモータの移動子間に立体交叉のク
ロスガイド、その交叉部に自在ステージを配備したＸＹ
ステージにおいて、各リニアモータの固定子に対し長手
方向に沿う側面に対向固定子と平行な案内面を形成し、
各クロスガイドの両端部には、前記案内面および定盤に
対向して圧力空気噴出口を開設した空気軸受を配備して
なり、ＸＹステージの構成の簡易化および小型、薄型化
、軽量化を実現したものである。
〈発明の背景〉
従来、この種ＸＹステージは、通常、第４図に示す如く
、定盤７上の縦横側辺にベースガイド７１、このベース
ガイド７１の上方にリニアモータ８を配設し、対向する
りニアモータ８の移動子８１間にクロスガイド９を立体
交叉して配備し、クロスガイド９の交叉部に自在ステー
ジを支承している。そして、クロスガイド９の両端部に
対し、前記ベースガイド７１および定盤７に対向して噴
出口を有す空気軸受９１を取付けて、ステージを含むク
ロスガイド９を空気・軸受９１を介して定盤７、ベース
ガイド７１に支承している。しかし、斯る構造のＸＹス
テージでは、ベースガイド７１が定盤７に対し広面積を
占有し、ＸＹステージを大型化する詐りでなく、特に、
組立てに際し、ベースガイド７１とリニアモータ８との
平行度、縦横リニアモータ８の直交度、平行度の調整、
設定に長時間を要す等の問題があった。
、定盤７上の縦横側辺にベースガイド７１、このベース
ガイド７１の上方にリニアモータ８を配設し、対向する
りニアモータ８の移動子８１間にクロスガイド９を立体
交叉して配備し、クロスガイド９の交叉部に自在ステー
ジを支承している。そして、クロスガイド９の両端部に
対し、前記ベースガイド７１および定盤７に対向して噴
出口を有す空気軸受９１を取付けて、ステージを含むク
ロスガイド９を空気・軸受９１を介して定盤７、ベース
ガイド７１に支承している。しかし、斯る構造のＸＹス
テージでは、ベースガイド７１が定盤７に対し広面積を
占有し、ＸＹステージを大型化する詐りでなく、特に、
組立てに際し、ベースガイド７１とリニアモータ８との
平行度、縦横リニアモータ８の直交度、平行度の調整、
設定に長時間を要す等の問題があった。
〈発明の目的〉
この発明はりニアモータにおける固定子の長手方向に沿
う側面をベースガイドに利用することにより、従来の諸
問題を一挙に解消し、構成および組立調整作業の簡易化
、小型軽量化を実現し得る新規なＸＹステージを提供す
ることを目的とする。
う側面をベースガイドに利用することにより、従来の諸
問題を一挙に解消し、構成および組立調整作業の簡易化
、小型軽量化を実現し得る新規なＸＹステージを提供す
ることを目的とする。
〈発明の構成および効果〉
上記の目的を達成するため、この発明では、定盤上の縦
横側辺に互いに対向してリニアモータを配設し、各リニ
アモータの移動子間に立体交叉のクロスガイド、その交
叉部に自在ステージを配備したＸＹステージにおいて、
各リニアモータの固定子に対し、長手方向に沿う側面に
対向する固定子と平行な案内面を形成し、各クロスガイ
ドの両端部に、前記案内面および定盤に対向して圧力空
気噴出口を開設した空気軸受を配備して成る。
横側辺に互いに対向してリニアモータを配設し、各リニ
アモータの移動子間に立体交叉のクロスガイド、その交
叉部に自在ステージを配備したＸＹステージにおいて、
各リニアモータの固定子に対し、長手方向に沿う側面に
対向する固定子と平行な案内面を形成し、各クロスガイ
ドの両端部に、前記案内面および定盤に対向して圧力空
気噴出口を開設した空気軸受を配備して成る。
上記の構成によると、この発明では、各リニアモータの
固定子の側面に案内面を形成し、この案内面と定盤にて
クロスガイドを摺動可能に支承し・たため、従来装置の
如き特別なベースガイドを省略できる。従って、ＸＹス
テージの小型化、薄型化、軽量化を実現し得ると共に、
特に、組立てでは、リニアモータの平行度、直交度の設
定のみとなり、作業が一段と簡易となりコストダウンを
実現できる等、構成簡易にして発明目的を達成した効果
を奏する。
固定子の側面に案内面を形成し、この案内面と定盤にて
クロスガイドを摺動可能に支承し・たため、従来装置の
如き特別なベースガイドを省略できる。従って、ＸＹス
テージの小型化、薄型化、軽量化を実現し得ると共に、
特に、組立てでは、リニアモータの平行度、直交度の設
定のみとなり、作業が一段と簡易となりコストダウンを
実現できる等、構成簡易にして発明目的を達成した効果
を奏する。
〈実施例の説明〉
第１図は本発明にかかるＸＹステージを示す。
該ＸＹステージは、平面正方形をなす定盤１上の縦横側
辺にリニアモータ２が互いに平行して配設され、対向す
るりニアモータ２の移動子間２ａ、’ｌｂに立体交叉の
クロスガイド３，４、クロスガイド３，４の交叉部に自
在ステージ５を支承し、クロスガイド３，４の移行によ
る交叉部の変位により、ステージ５が位置決めされる。
辺にリニアモータ２が互いに平行して配設され、対向す
るりニアモータ２の移動子間２ａ、’ｌｂに立体交叉の
クロスガイド３，４、クロスガイド３，４の交叉部に自
在ステージ５を支承し、クロスガイド３，４の移行によ
る交叉部の変位により、ステージ５が位置決めされる。
本発明は、各リニアモータ２の固定子２ａおよび定盤１
をクロスガイド３．４の摺動案内面となしたことを特徴
とするもので、リニアモータ２は、第２図に示す如く、
固定子２ａと固定子２ａに摺動可能に嵌挿された移動子
２ｂとからなり、固定子２ａは、高透磁率材料からなる
内、外側ヨーク２１ａ、２２ａの中間にセンタヨーク２
３ａを配備し両端をサイドヨークにて一体結合すると共
に、実施例では、該固定子２ａを定盤１に対し直接取付
けて内側ヨーク２１ａの内側面に定盤案内面１１と直角
をなす摺動案内面２４ａを形成している。尚、図面には
示していないが内、外側ヨークおよびセンタヨークには
、互いに極性の異なる永久磁石が接合配備される。
をクロスガイド３．４の摺動案内面となしたことを特徴
とするもので、リニアモータ２は、第２図に示す如く、
固定子２ａと固定子２ａに摺動可能に嵌挿された移動子
２ｂとからなり、固定子２ａは、高透磁率材料からなる
内、外側ヨーク２１ａ、２２ａの中間にセンタヨーク２
３ａを配備し両端をサイドヨークにて一体結合すると共
に、実施例では、該固定子２ａを定盤１に対し直接取付
けて内側ヨーク２１ａの内側面に定盤案内面１１と直角
をなす摺動案内面２４ａを形成している。尚、図面には
示していないが内、外側ヨークおよびセンタヨークには
、互いに極性の異なる永久磁石が接合配備される。
移動子２ｂは、前記センタヨーク２３ａに嵌挿した導電
体ポビン２５ｂの外周に駆動コイル２６ｂを巻付けてな
り、該移動子２ｂの上面にクロスガイド３．４の端部を
取付は固定している。
体ポビン２５ｂの外周に駆動コイル２６ｂを巻付けてな
り、該移動子２ｂの上面にクロスガイド３．４の端部を
取付は固定している。
上記各クロスガイド３．４の両端に空気軸受６が取付け
られ、空気軸受６には、固定子２ａおよび定盤１の案内
面２４３．１１に対向して圧力空気噴出口６１．６２を
開設している。
られ、空気軸受６には、固定子２ａおよび定盤１の案内
面２４３．１１に対向して圧力空気噴出口６１．６２を
開設している。
第３図はりニアモータ２の他の例を示す。
該実施例において固定子２ａは、ボトムヨーク２７ａと
移動子２ｂを嵌挿したトップヨーク２８ａにて構成し、
ボトムヨーク２７ａを定盤１に取付けて内側面に定盤案
内面１１と直角をなす案内面２４ａを形成し、クロスガ
イド３゜４に取付けた軸受６を支承している。
移動子２ｂを嵌挿したトップヨーク２８ａにて構成し、
ボトムヨーク２７ａを定盤１に取付けて内側面に定盤案
内面１１と直角をなす案内面２４ａを形成し、クロスガ
イド３゜４に取付けた軸受６を支承している。
本発明は上記の如（、定盤１の縦横側辺にリニアモータ
２を対向配備し、各リニアモータ２における固定子２ａ
の長手方向に沿う側面に対向する固定子２ａと平行な案
内面２４ａを形成し、クロスガイド３，４０両端部に空
気軸受６を取付けて、゛前記案内面２４ａおよび定盤１
に対し摺動可能に支持したから、本発明のＸＹステージ
では、従来装置の如く特別なベースガイドを要せず、従
って、部品の減少、構成、組立作業が簡易となると共に
、小型化、薄型化、軽量化およびコストダウンを実現し
得る等、所期の目的を達成した効果を有す。
２を対向配備し、各リニアモータ２における固定子２ａ
の長手方向に沿う側面に対向する固定子２ａと平行な案
内面２４ａを形成し、クロスガイド３，４０両端部に空
気軸受６を取付けて、゛前記案内面２４ａおよび定盤１
に対し摺動可能に支持したから、本発明のＸＹステージ
では、従来装置の如く特別なベースガイドを要せず、従
って、部品の減少、構成、組立作業が簡易となると共に
、小型化、薄型化、軽量化およびコストダウンを実現し
得る等、所期の目的を達成した効果を有す。
第１図は本発明にかかるＸＹステージの斜面図、第２図
は第１図の縦断面図、第３図は他の例を示す断面図、第
４図は従来例を示す図である。 １・・・・定盤 １１・・・・案内面２・・・
・リニアモータ ２ａ・・・・固定子２ｂ・・・・移動
子 ２１ａ・・・・ヨーク２４ａ・・・・摺動面
は第１図の縦断面図、第３図は他の例を示す断面図、第
４図は従来例を示す図である。 １・・・・定盤 １１・・・・案内面２・・・
・リニアモータ ２ａ・・・・固定子２ｂ・・・・移動
子 ２１ａ・・・・ヨーク２４ａ・・・・摺動面
Claims (1)
- 定盤上の縦横側辺に各々対向してリニアモータを配設し
、各モータの移動子間に直交するクロスガイド、その交
叉部に自在ステージを配備したＸＹステージにおいて、
各リニアモータの固定子には、長手方向に沿う側面に対
向する固定子と平行な案内面を形成し、各クロスガイド
の両端部には、前記案内面および定盤に対向して圧力空
気噴出口を開設した空気軸受を配備して成るＸＹステー
ジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23063485A JPS6288528A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23063485A JPS6288528A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288528A true JPS6288528A (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=16910861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23063485A Pending JPS6288528A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288528A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6285102B1 (en) | 1999-04-02 | 2001-09-04 | Tokyo Electron Limited | Drive mechanism having a gas bearing operable under a negative pressure environment |
| US6634845B1 (en) | 1999-06-18 | 2003-10-21 | Tokyo Electron Limited | Transfer module and cluster system for semiconductor manufacturing process |
| JP2003311567A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙステージ装置 |
| EP2298493A1 (de) * | 2009-09-17 | 2011-03-23 | GAS - Automation GmbH | Handhabungsvorrichtung mit Linearmotoren für Greifer, Werkzeuge und/oder Werkstücke |
| CN110313120A (zh) * | 2017-01-31 | 2019-10-08 | C.C.M.贝希尔公司 | 平面的定位装置 |
-
1985
- 1985-10-15 JP JP23063485A patent/JPS6288528A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6285102B1 (en) | 1999-04-02 | 2001-09-04 | Tokyo Electron Limited | Drive mechanism having a gas bearing operable under a negative pressure environment |
| KR100644001B1 (ko) * | 1999-04-02 | 2006-11-13 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 부압 환경하에서 작동가능한 가스 베어링을 갖는 구동메카니즘 및 부상 메카니즘 |
| US6634845B1 (en) | 1999-06-18 | 2003-10-21 | Tokyo Electron Limited | Transfer module and cluster system for semiconductor manufacturing process |
| JP2003311567A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙステージ装置 |
| EP2298493A1 (de) * | 2009-09-17 | 2011-03-23 | GAS - Automation GmbH | Handhabungsvorrichtung mit Linearmotoren für Greifer, Werkzeuge und/oder Werkstücke |
| CN110313120A (zh) * | 2017-01-31 | 2019-10-08 | C.C.M.贝希尔公司 | 平面的定位装置 |
| CN110313120B (zh) * | 2017-01-31 | 2021-10-29 | C.C.M.贝希尔公司 | 平面的定位装置 |
| US11201533B2 (en) | 2017-01-31 | 2021-12-14 | C.C.M. Beheer B.V. | Planar positioning device |
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