JPS6281971A - 磁気的アクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の鵡する分野） この発明は磁気的アクチュエータ、特に部材の偏向がア
クチュエータへの入力側１こ関して庫形な関数となるよ
うな磁気的アクチュエータに関する・ （先行技術） 磁気的入力信号の関数であるような偏向を生じる磁気的
アクチュエータは、様々な分野で用いられている。篭気
偏号を圧力信号に変換する典形的なトランスデー−サ〔
ｆ換器）は、米国特許第４．５３４，３７６号に示され
ている・この発明のアクチュエータは、前記特許の第６
図に示されたアクチェエータに改良を施こしたものであ
り、ここで開示される好ましい実施例は。

微少な入力電流の関数として小さな変位が要求される。

一般的な用途６ご用いることができるものである◎ 特に、アクチュエータの力及び偏向を発生するのに、唖
めて低い′１カレベルを有することが１まれでいる。小
型アクチェエータにおいて利用でさる。測定可能な偏向
の世は、製造公差に対する要求及びコストを低減するた
めにｏＴ能な限り大きく（作動ギャップを大きく〉すべ
きである。この発明はこれらの目的を達成可能とするも
のである・米国特許第３，９４６．７５７号は１間隙を
横切る磁束を形成する永久磁石、及びこの間隙中で移動
するように装着された弁制御アーマチュア（１！Ｌ機子
）を有する燃料測定弁として用いられる空気式アクチェ
エータを開示している。

このアーマチュアはｆｉｌ！動自在にｔ＜　’１４され
、その下部は、支点の回りの回動を抑制するようｌこば
ね付勢されている。アーマチュアの一部の回りに設けら
れたコイルは、コイル中の′電流の関数としてアーマチ
ュアを移動させるような作動磁界を発生する。

この装置ｉ１は永久磁石の間隙中に配置されたアーマチ
ュアの変位を発生するコイル及びコイル中の′１流によ
って発生し、アーマチュアの一方の側では永久磁石の磁
束に重畳され、また一方、アーマチュアの他方の側では
永久磁石の磁束と相殺されるような伝来を示している。

米国特許第３．００４，５４６号は、中心体の回りの永
久磁石及び、一方向の偏向では、磁石からの磁束に加わ
り、他方向の偏向では永久磁石の磁束から減じられる磁
束を発生するコイルを用いたｔｔａトランスデエーサを
示している・このアクチェエータは力平衡式（ｆｏｒｃ
ｅ　ｂａｌａｎｃｅ　）　ｔｌ気−空気装置であり、作
動力はコイルの軸に沿って生じる。

磁石は、この発明で開示するような、偏向ダイアフラム
屋ばねと共に用いられる磁束経路を提供しないＯ− 米国特許第３，９１３．６０８号は、永久磁石及び。

作動のためのｔｍ石を共に用いる弁アク干瓢エータを示
している。しかし、この装置は升の開または閉の２つの
位置を有する弁アクチユエータを１指したものであり、
この発明の装置のように、アクチェエータの変位に比例
する電流を必安としていない。

米１．Ｉ１１特許＠４，０１８，４１９号もまた。永久
磁石（磁化された升ロッド）及び磁化されたロッドを変
位させるコイルを共に使用し、コイルが付勢されていな
いときは磁化されたロッドが弁を開く位置に移動し、コ
イルの付勢Ｇこより弁を閉じるような開／閉弁を示して
いる。

米国特許第４，０５３，１３７号は、ばねが袋層された
弁部材を有する′ｗＬ気−機械的に作動する弁を示しで
いるが、それはコイル中の電流に応答する２磁アク子ユ
エータによって動作するものである。

米国特許第４，３０６．５８９号は、弁の作動のために
励動する１１Ｌｇｉ石及び永久磁石を装置内に備える磁
気係止手段を有し、低電カッレノイドで作動する空気弁
を示している。この永久磁石は、電磁界に応答して２つ
のノズルの１万または他方上に着座する弁部材を形成す
る。

米国特許第４，２１６，９３８号もまた。永久磁石と電
磁石とを作動のために使用する、ソレノイドで作動する
弁を開示している・この装置は電流に比例して流体の流
れを制御するものであるが、ダイアフラム屋のばね（こ
れはコイルばねを有してはいるが）を使用する機構、ま
たはこの発明の装置において使用する磁石及び磁気間隙
の配置を備えてはいない。

米国特許第４，３１０，１４３号もまた、電気制御の油
圧装置用の比例弁を示しており、誘導磁界が静磁界を横
切って弁部材を軸方向に位置させるための弁本体内に靜
磁界を形成する手段及び弁部材の磁化可能部分に磁界を
Ｉｆ８４する′＃Ｌ磁装置を備えている・その位置は４
凪装置の励起電流の関数として制御される。この崖形作
動巻き枠は中心に向かつて付勢されたコイルばねを有し
、ｘｉの関数として流体の流れを制御する＠ 米国特ｇ！ｆ第４，４２８，５５８号は１回転を制動す
るためのトーンランバーを備え、コイルに供給される′
に流に比例して１８０’の角度内で回転変位を発生する
回転磁石を備えた比例ルーノイド弁を開示している。

磁気的に作動する開／閉パイロット弁が米ｌ！！Ｉ特許
第４，３６６，９４４号に示されている。この弁は、流
体圧を遮断する１つの位置及び排水への結合を３ａ断す
る第２の位置の、２つの位置の間で＄動するアーマチュ
ア板として用いられる。ばね偏倚（バイアス）はアーマ
チュア板を一方の位置に偏向するために１史用される。

コイルの１４ＬＡはアーマチェア板を他方の位置に移動
する。

米国特許第３，８７８．５　ロ４号及び同第４，２８５
．０５４号は、それらの縦軸が概ね一致した環状コイル
群及びコイル群中に位置する永久磁石組立て体を有する
１ジオフオー７（ｇｅｏｐｈｏｎｅｓ　）”に関し、ス
パイダーばねはコイル群を支持するために用いられる◎
永久磁石及び’Ｉｎ石の作動コアは、コイル群が永久磁
石組立て体中で軸方向及び回転方向への移動のために支
持されるように配置されている。

米国特許第３，８７８，５０４号においても、制ｒｄＪ
流体が用いられている。この装置はダイアフラム型スパ
イダーばねを示しているが、この発明のサンドインチ構
造を示しておらず、またここに開示されるような移動の
ために位置決めされたアクチェエータも示していない。

米国特許第４，２０６．７４９号は作動のための永久磁
石組立て体を用いた制御系を示している。極性を与える
磁界がこの装置を作動するために与えられる。

（発明の概要） この発明は、優れた寸法対感度比を有しており、しかも
制御コイルへの入力電流の線形関数となる大きさの変位
を発生するための磁気的アクチーエータに関する。この
アクチェエータは、小さな寸法が重要であり、かつ比奴
的低い作動力に関わる電流−王力変換器に用いられるよ
うに主として設計されている。

この発明のアクチュエータは、コイルの中心にあるコア
上に形成された磁極面から離れたダイアフラム型ばねを
有する容器からなる・彊（常）磁性材料のカバーが、ダ
イアフラム型ばねの、コアとは反対側の゛容器上に配置
され、このカバーは表面磁極を構成している。永久磁石
がダイアフラム型ばねの中心に取り付けられており１表
面磁極を構成するカバー板の開口を貝通している。

偏向部材は永久磁石に結合されており、流体の流れの通
路内にあり、ばねにより流れを部分的に阻止するように
保持されている。永久磁石からの磁束は、ばねの応答と
共に、コイルの電流が増加するに伴なって、流体通路の
外に移動するような偏向部材の線形な移動を発生するよ
うに作用する。

ｗＬ流と移動との線形関係は、磁束経路の１つのギャッ
プにおいては相加的となり、他のキャップにおいては相
殺的になるような、永久磁石３よびコイル岨１こよりて
発生される磁束１こ１部分的に依存する。

ダイアフラム型ばねは、好ましくは、２つの薄い磁性材
料製円板の間にシリコーンゴムの層を設けたサンドイン
チ構造に形成されたうす巻きばねである。寸法が極めて
小型のわりには比較的大きな変位が得られ、設けられた
ギャップは比較的大きいので許容公差を椙密に保つ必要
がなく、組み立てが容易である。移動部材の質量が小さ
いので、振動する頃境での性能が向上し、ダイアフラム
型ばねに２けるンリコーンコム層の緩衝特性もまた振動
環境での作動を向上する。

この装置は、コストが低く、４ｇｕＡ性があり、電流及
び変位が共に小さい場合においてすら、コイルの電流に
関係して線形な変位を生じることができる。

（実施例〉 第１図はこの発明のアクチュエータの典型的な応用例を
示しでいる。こ＼では、電気−圧力信号トランスデエー
サに関連する磁気的アクチュエータの利用を示すため、
米国％行第４，５３４，３７６号の構成を特に用いてい
る。総括的に符号ｌＯで示すトランスデユーサはキャッ
プ１１で包まれたノズル１２．偏向部材１４及び受入（
レソーバ）菅１６を備えでいる。この発明に従って４ｓ
欣された磁気的アクチェエータモジエール１５はキャッ
プ１１の中に設置されている。

この発明に従って作成されたアクチーエータに３いて、
偏向部材１４はノズル１２から供給されて受入管１６に
通じる圧力源Ｐｓからの流れを制御するために、上昇ま
たは下降する機械的アクチュエータを備えている。ノズ
ル１２及び受入管１６は共に、キャップｌｌ内に形成さ
れるチャツバ−２０に開いており、チャ／バー２０は図
に示すように出口または排出ボート２１を有する。Ｐｏ
ｕｔで表わされる受入ｆｉ１６からの出力圧力は、偏向
部材１４の位置に欧存する。

偏向部材１４は２図に示し、また米国特許第４．５３４
，３７６号において説明されているように、流体の流れ
の中に横方向に突出する丸い断面領域を有するロッドで
ある。ノズル１２及び受入管１６は、説明のために第２
図において仮綴で示すように、アクチェエータの中心軸
からはずれている。

偏向部材１４は、アクチェエータが付勢されていないと
きは％流れを阻止または偏向するように移動されている
が、受入管１６への出力をｌｌ１ｃ流の関数として増加
させるように引っ込められるであろう。

この発明の開示された実施形態においロ伝気的アクチエ
エータ１５は強（常）ｆａ磁性材料容器２５を含んでお
り、前記容器は図示のようにカップ状をなし、容器の底
面または第１の端壁２７に装着された中央コア部材２６
８’ｌでいる。

コア部材２６は、第ｌの端部で、符号２８で示すように
、底面２７中に調節のために螺合した強磁性材料の円筒
状の柄を備えている。コア２６の柄の底面は、ａ１４歪
のためにねじ回し用＠を有する。

コア部材２６の第２の端部すなわち上端は、容器２５の
開口端に面する磁極面３１を有する平坦なヘッド３０を
備えている。

ダイアフラム臘ばね３５が容器２５上に形成された適当
な肩部３６の上に装着されており、ばねが容器内の中心
仝洞３７の上を覆うように横方向に９瓜びている。この
ダイアフラム型ばね３５は１後で説明するように、サノ
ドイッチ構造の強〔常）磁性材料から戸っているロダイ
アフラム凰ばね３５の下面は、中央コア部材２６の磁極
面３１に対してキャップ３８を形成する＠ ｇｉ（常）磁性透磁率のカバー３９（第２の端壁）が容
器の開口端上に装着され、ダイアフラム型ばね３５の上
面とカバー３９の内面との間に第２のギャップ４５を形
成するように、ダイアフラム型ばね３５から隔離配置さ
れた第２の端部板を構成する。このカバー３９は磁極面
３１に尚して実質的に平行である。

中央コア部材２６は容器の中心仝洞３７の中に装着され
１通常の方法で、適当な電磁コイル４０によって包囲さ
れる。このコイルはヘッド３０の下方に位置し、リード
線を介して電流が供給されると、中央コア部材２６．ダ
イアフラム型ばね３５、カバー３９及び容器２５によっ
て規定される磁束経路中の磁束によって表わされる起磁
力を発生する・゛ 中央コア部材２６上の磁極面３１は、コイル４０の第１
の端部を越えて外方へ搗びている。９犬コア部材２６の
第２の端部は、容器２５のｊ圧面または第１の端壁２７
に対して、低い磁気抵抗で結合されている。

ダイアフラム型ばね３５は、その上面に予定の方間に装
着された永久磁石（？！Ｉん（ゴ、ＡＬＮＩＣＯ８磁石
）４２を有し、低面の北極面はダイアフラム型ばね３５
の上面４３に対して平坦に接している。

この磁石の南極面は、偏向部材１４がダイアフラムばね
３５によって支持されるように、偏向部材１４を装着す
るために使用される。

強（常）磁性材料のカバー３９は、磁石４２の南極及び
偏向部材１４か容器２５の外側番こ位置し。

一方ｍ石４２の北極が容器２５の内側に入るように、磁
石４２が貫通する中心開口４６を有する・磁気的アクチ
ュエータの容器２５内部の汚染を防ぐため、適当な可撓
性のシールドまたは榎い４７が設けられ、中心開口４６
を包囲するように偏向部材１４の上及びその端部の回り
をカバー３９に封止されている。

カバー３９は、コイル４０ＩＣ’ａ流が流れるとき及び
コイルに′電流が流れないときのいずれにおいても、磁
束経路を生じるように陽動する第２の端壁８＃ｌ成する
・ ダイアフラム型ばね３５はサントイクチｍ構造に形成さ
れている。第２図に示すように、適当な金属磁性材料の
２つのスパイダーディスクばね５７からなり、それぞれ
永久磁石４２が取り付けられる中心部５６から外周線番
こ向かって螺旋状に延びるうす巻き状の溝５５を有して
いる・これは、隣接する螺旋状の溝の間の材料片による
ばね作用を生じる・ ダイアフラム型ばね３５は、第３及び＠４図に示すよう
に、ディスク５７の間にありで、これに接着された適当
なシリコーンゴム層５８を有する２枚の平坦なディスク
５７を含む。ディスク５７は比較的薄く、ゴムの皺は所
望のばね特性が得られるように選択することができる。

このゴム層は振動の影響（ｆｉ動に対する感層）を減少
するための減衰そ生せしめる。ダイアフラム型ばねの外
側リムは適当な手段で容器２５１こ保持され、必要す偏
向皺に対する偏向中心部の必安なばね定数を発生する。

第３図に模式的に示すように、コイル４０に電流が流れ
ない場合、永久磁石４２の北極及び南極からの磁束は、
概略矢印で示すように流れる。すなわち、ギャップ４５
においては、北極から出て南極に向う磁束が存在し、ま
たカバー３９と容器２５とヲ遡る矢印６２で示される磁
束、及びコア部材２６と磁極面３１ｉｉするヘッド３０
とを通る矢印６３で示されるＦ向きの磁束が存在する。

中央コア部材２６甲の磁束６３は、−石４２の北極から
出て、ばね３５を通りギャップ３８を横切っている。

コイル４０ｉＣｔ流が供給されたとき、この電流（こよ
って誘導される、中央コア部材２６のヘッド３０の近傍
における磁束が、第４図において破線で示されている。

これらの１ａｆｉにより誘導された磁束の進路は、この
゛電流によって誘導された磁束が、キャップ３８に３い
ては永久−石４２からの磁束に刀口算され、一方ダイア
フラム型ばね３５上のギャップ４５においては、永久磁
石４２によって生じる磁束と相殺されるようなものであ
ることが分るであろう、ギャップ３８は、ダイアフラム
型ばねが休止位置にあるとき最大となり、またアクチュ
エータの移動を制限する働らきをする。

この結果、ダイアフラム裂ばね３５．すなわち偏向部材
１４の偏向特性は、ばね定数、コイル４０を流れる電流
による磁束、及び永久磁石からの磁束が、偏向部材１４
に必要とされる移動軛囲において、コイルのｇＬ流に関
連する線形な偏向８発生するために励動するように変え
られる。

コイルに′ＲＬ訛が流れＣいない場合、上回きに作用す
るダイヤフラム型ばねからの刀は、上部鍼極片を形成す
るカバー３９にダイアフラム型ばねが近づくか接触する
とき、Ｆ向きｌこ作用する力（重力等）により平衡が保
たれる。これ６とよって、載置された永久−石の位置が
決まり、ダイアフラム型ばね３５の下面と低極片または
中央コア部材２６の磁極面３１との間のギャップ３８の
最大間隔を与える。

このギヤノブは、ノズル１２から受入管１６への流れを
制御するために、コイルの電流に応答して作動の許容さ
れる行程となる。それ故に、受入管に伝遜される空気の
瀘（出力圧）は、第１図から分るように、コイル４０の
電流が増力口するのに伴なって、偏向部材１４が下方に
引っ込む象の関数となる＠ コイルの′ａ流に対する前記偏向の線形な関係は。

受入管１６の出力圧（ｐｒｅｓｓｕｒｅ　ｏｕｔ　）が
コイル４０％付勢する′ｗＬ流の既知の関数となるとい
う点で、圧力制御の正確な電流を与える。

ＯＴ動部品は質敏が大変小さく、１１ｉｉ！勤する環境
において良好な特性を示す。ダイアフラム型ばねのサン
ドイッチ構造におけるノリコーンゴム層の緩衝（ダメピ
ッグ）特性は、また、振動のある場所での作動を助ける
。比較的大きな作動ギャップが可能であり、それ故に合
理的な動作限界内の公差が達成される。動作中に、渦電
流は問題とならない。このユニットは大変小さく１例え
ば％容器２５は直径ｌイ／千程度とすることができると
いう点で、このユニットは非常に優れた寸法対感度比を
有する。

磁気キャップは、柔軟な覆い４７を用いることにより、
チャンバー２０内の空気雰囲気から極めて容易に封止す
ることができるので、汚染物質はアクチェエータの可動
部分から除外される。また。

ばね作用は、コイル４０への′ｗＬ流が中断されたとき
、出力受入ｆ１６に最小の圧力を供給するような１上方
”位置へ、ダイアフラム型ばねが偏向部材１４を持ち来
たすという点で、磁気的アクチェエータのための組み込
みのフェール・セーフ特性を果たす。

コイルの゛を流に関する線形７．Ｉ：偏向を得るために
何ら軸受けを必要とせず、構成は複雑なマウントまたは
部品を用いず大変単純にできている点に留意すべきであ
る。

また、ダイアフラム型ばねのためのサンドイッチ構造は
、所望の磁束伝ｉｌ特性を得るために、異なる合金で、
かつ互いに異なる厚さに作成された強磁性ばねディスク
を有することができる点に留意すべきである。このサン
ドイッチ構造は緩衝作用を与える＠第２図に示すように
、螺旋状の溝は−ディスク間のゴム層に良く接着するこ
とが望まれる場合には、それらの中間部で拡大させるこ
とができる。

第５図は、’ＩＣＩＣ流力圧力変換器途における、この
発明の他の実施例の応用を示している。、ｉｇ５図にお
いて、第１図の一照符号と同じぴ黒符号は同様の部品を
示している。

しかし、第５図においては、平坦なヘッド７１及び容器
２５は、容器とヘッドとの間のトロイダル・ワッシャー
７０を受は入れるように垂直方向に延びている。このト
ロイダル・ワッシャー７０は、真ちゅうまたはアルミニ
ウムのような導電性の非磁性材料により形成され、ワッ
シャー中を流れる渦電流により緩衝作用（減衰：　ｄａ
ｍｐｉｎｇ）を発生する。

うず巷さはね（ダイアフラム型ばね）３５は。

ニッケルをメッキした炭素鋼のような磁性材料の単一層
からなり、第２図に示す形状を有する。うす巻きばね３
５は、うず巷きばね３５ｉこ付加的な緩衝作用を与える
帰力性のある接着剤７３によって％容器２５のリム３６
に接着される◎浮力のめる接着剤は好ましくはセ不うル
リエレクトリック社の商品名几′ｒｖ　ノリコーンゴム
のような室温硬化ゴムである。

第５１に示すアクチェエータに３いて、トロイダル争ワ
ッノヤ−７０によって与えられる緩衝作用は、第３図に
示すような多１−構造の必俄性を床去する。

電流−圧力変換器のような、ある用途においては、トラ
ンスデユーサに印加される７ボルト程１皮の低い電圧で
、４−２０ｍ人の制御ループによってアクチェエータ８
動作させることが望ましい。

アクチェエータを駆動するのに便用ａＪ能な１流は２ｍ
Ａ程匿に小さくできるので、ここで説明したようなアク
チェエータは、籍にそのような低電力の用途に有益であ
る。

この発明は好ましい実相例を参照して説明したが、当業
者はこの発明の精神及び範囲を逸脱することなく態様及
び細部の変更が可能であることを認識するであろう。

さらに、この発明は以下の態＠をも包含することが明ら
かであろう。

１、　ダイアフラム型ばねは、柔軟な材料の層に接涜さ
れた少なくとも１つの強磁性ディスクを有するす７ドイ
ツナまたは槓１ｍ［ｉを備んでいる＃杆捕求の範囲第１
項記載の磁気的アクチェエータ。

２、前記柔軟な材料はシリコーンゴムからなる前記ｌ記
載の磁気的アクチュエータ。

３　中央コア部材は、容器の第１端壁に対して縦軸方向
に沿って調節可能に装Ｈされている特許ｄ１ｆ求の範囲
第１ＶＸ記載の磁気的アクチェエータ。

【図面の簡単な説明】

第１図は、＊流−圧力変換器の所定位置に配置された。 この発明に従って作成されたアクチーエータの垂直断面
図、 第２図は、第１図の直！２−２に沿う典型的なうす巻き
型のダイアフラム型ばねの平面図。 第３図は、水入磁石によって生じた磁束経絡を示すため
に、一部の部品は断面で、また一部の部品を取り除いて
％構造を細部にわたって示すための、第１図の中心部の
拡大断面図、 第４図は、コイルの電流によって生じる磁束経路を示す
第３図と同様の図、そして 第５図は、電流−圧力変換器の所定位置に配置された。 この発明に従って作成されたアクチェエータの他の実施
例の垂直断面図である。 ｌＯ・・・トランスデユーサ、１１・・・キャップ。 １２・・・ノズル、１４・・・偏向部材、１５・・・磁
気的アクチェエータモジエール、１６・・・受入ｆ％２
０・・・チャンバー、２５・・・各ａｈ　　２６・・・
中央コア部材、３０・・・ヘッド、３１・・・磁極面、
３５・・・ダイアフラム型ばねＳ　３７・・・中心仝洞
、３８゜４５・・・ギャップ、３９・・・カバー（第２
端壁）。 ４０・・・電磁コイル、４２・・・水入磁石、４７・・
・シールド（機い） 代理人弁理士　　平　　木　　迫　　人外１名

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）入力電流に従って機械的作用を発生するための、
   以下の構成を備えた磁気的アクチュエータ。 （イ）中心軸に沿って第１の端部から第２の端部に延び
   、中心軸の回りに内径を有し、入力電流に応答して起磁
   力を発生するためのコイル、 （ロ）コイルの内側に位置し、第１及び第２の端部を有
   し、コイルの第１の端部から外側に延びる磁極面を有す
   る強磁性の中央コア部材、 （ハ）コイル及び中央コア部材の回りに設けられ、中央
   コア部材の第２の端部と低い磁気抵抗で結合した第１の
   端壁、及び中央コア部材の前記磁極面から離れて位置す
   る第２の端壁を有し、前記第２の端壁には磁極面と整列
   された中心開口が貫通穿設された強磁性材料製の容器、 （ニ）容器に固着された外側リムと、磁極面上に位置し
   、かつ休止位置において第２の端壁および磁極面から離
   れて位置する中心領域とを有し、前記中心領域は磁極面
   に向かう方向及びこれから離れる方向に偏向可能な、強
   磁性材料で形成されたダイアフラム型ばね、及び （ホ）ダイアフラム型ばねの中心領域の上に装着され、
   第２の端壁の中心開口を通って延在し、中心軸に沿って
   整列されている永久磁石であつて、この永久磁石の第１
   の磁極面はダイアフラム型ばね上の中央コア部材の磁極
   面の反対側に係合し、また永久磁石の第２の磁極面は容
   器の外側に延びているような永久磁石。
2. （２）ダイアフラム型ばねは、一対の強磁性ディスク及
   びこれらのディスク間に接着された弾力を有する材料の
   層を備えたサンドイッチ構造である特許請求の範囲第１
   項の磁気的アクチュエータ。
3. （３）流体フロー装置及び、前記永久磁石上に装着され
   、流体フロー装置の流体の流路に延びる偏向部材を備え
   た空気装置と結合された磁気的アクチュエータにおいて
   、流体の流路への偏向部材の突出量が、中央コア部材の
   磁極面に対するダイアフラム型ばねの位置の関数となる
   特許請求の範囲第１項の磁気的アクチュエータ。
4. （４）永久磁石からの磁束及びコイル中の電流により形
   成された磁束が、中央コア部材の内部及び、中央コア部
   材とダイアフラム型ばねとの間のキャップにおいては互
   いに加え合わされ、一方ダイアフラム型ばねの上方のキ
   ャップにおいては互いに相殺されるように、永久磁石の
   磁極面の極性が決定されている特許請求の範囲第１項の
   磁気的アクチュエータ。
5. （５）入力電流を代表するような線形運動を発生するた
   めの磁気的アクチュエータであって、 （イ）容器、 （ロ）容器内に形成され、磁極面を備えた中央コア部材
   を有する電磁石、 （ハ）容器に装着され、休止位置から磁極面に向かって
   弾力的に偏向可能であり、磁極面から離れてこれを覆う
   ように上方に位置されたダイアフラム型ばね、 （ニ）ダイアフラム型ばねの上方に位置し、貫通開口を
   設けられた容器上の端壁、及び （ホ）中央コア部材に整列して、ダイアフラム型ばね上
   の中央コア部材とは反対側に１つの磁極面を固着され、
   前記開口を通つて延びるように装着された永久磁石を具
   備し、 前記容器、端壁、ダイアフラム型ばね及び中央コア部材
   は磁束を担持する磁性材料からなり、前記電磁石を流れ
   る電流は、永久磁石からの磁束に加わって、ダイアフラ
   ム型ばねを磁極面に向かって動かすような傾向の磁束を
   誘導するように作用する磁気的アクチュエータ。