JPS6282638A - Secondary electron detector - Google Patents
Secondary electron detectorInfo
- Publication number
- JPS6282638A JPS6282638A JP60222832A JP22283285A JPS6282638A JP S6282638 A JPS6282638 A JP S6282638A JP 60222832 A JP60222832 A JP 60222832A JP 22283285 A JP22283285 A JP 22283285A JP S6282638 A JPS6282638 A JP S6282638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- glass tube
- tube
- fixed
- bottomed glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 abstract description 7
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004859 Copal Substances 0.000 abstract 2
- 241000782205 Guibourtia conjugata Species 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査型電子顕微鏡等に用いらｎる、シンチレー
タと光電子増倍管とを組み台わせた二次電子検出器（−
関するものである。 。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a secondary electron detector (-
It is related to .
従来から電子顕微鏡等に用いらｎできた二次電子検出器
は、第２図に示すよう（−、ライトガイド１３の先端に
シンチレータ／２を取り付け、シンチレータ１２にはグ
リッド／ｌを被せ、さらにライトガイド／３の後端には
光電子増倍管いわゆるフォトマル１４Ｉを接続して一体
化したもので、この検出器は、真空側と大側とを分離す
る７ランジｌ！の孔／６からグリッド／／、シンチレー
タ／コおよびライトガイド１３を真空側に突出し、エラ
ストマ・シール／７によって真空をシールしたものであ
った。A secondary electron detector that has conventionally been used in electron microscopes, etc. is as shown in Fig. A photomultiplier tube, so-called Photomul 14I, is connected to the rear end of the light guide /3, and this detector is connected to the rear end of the light guide /3. The grid, scintillator, and light guide 13 were protruded toward the vacuum side, and the vacuum was sealed with an elastomer seal.
上記の装置において、二次電子がシンチレータ／２に当
たると光信号を発生し１光信号はライトガイド１３を通
って７オトマルｌ≠に達し、そこで電気信号に変換さｎ
ると同時に増幅さ１−１図示しないディスプレイ等に伝
達さｎるようになっている。In the above device, when the secondary electrons hit the scintillator/2, it generates an optical signal, and the optical signal passes through the light guide 13 and reaches 7 otomaru l≠, where it is converted into an electrical signal n
At the same time, the signal is amplified and transmitted to a display, etc. (not shown).
上記のような二次電子検出器は、真空をシールするの（
＝エラストマが用いらｎているため耐熱−生に問題があ
り、このようなシールを介して検出器を取り付けた場合
は高真空を得るためベーキングすることができない上、
エラストマからの放出ガス量が多いので超高真空装置に
は使用することができなかった。A secondary electron detector like the one described above can seal the vacuum (
= Since elastomer is used, there is a problem with heat resistance, and if the detector is attached through such a seal, it cannot be baked to obtain a high vacuum, and
Due to the large amount of gas released from the elastomer, it could not be used in ultra-high vacuum equipment.
そこでこｎらの難点を解決するため、真空側と大気側と
を透明なガラスによって分離したものが提案さｒｔた。In order to solve these difficulties, a system was proposed in which the vacuum side and the atmospheric side were separated by transparent glass.
すなわち、第３図（＝示すように、フランジ／ｊの孔／
ｌに嵌めたガラス窓ｉｔの一側に、先端（＝グリッドｌ
／およびシンチレータ／、！を取り付けたライトガイド
１３を接甘し、他側に７オトマル／≠を設置することＣ
二より１エラストマーシールを不要としたものである。In other words, as shown in Fig.
On one side of the glass window it is fitted with
/and scintillator/,! Attach the light guide 13 with C and install 7 otomaru/≠ on the other side.
2) 1) Eliminates the need for an elastomer seal.
しかしながらこの装置は、エラストマの問題は解決さ几
たが、ライトガイド１３が真空側に露出していてしかも
コーティング等（＝よる遮蔽が困難であるため、シンチ
レータ／２の発生した光取外の迷光を拾うことが避けら
几なかった。However, although this device did not solve the problem of the elastomer, the light guide 13 was exposed to the vacuum side and it was difficult to shield it with coatings (==), so the stray light generated by the scintillator/2 was removed. I couldn't avoid picking it up.
本発明は上記ガラス窓を備えた装置における問題点を解
決した二次電子検出器を提供することを目的とするもの
である。An object of the present invention is to provide a secondary electron detector that solves the problems of the above-mentioned devices equipped with a glass window.
本発明は、上記の問題点を解決する手段として、フラン
ジの孔に貫通したコバール管を真空側に突出させ、該コ
バール管の先端に有底ガラス管を底部を先にして接甘し
、該有底ガラス管の底部外側にシンチレータをまた底部
内側にライトガイドおよび／まｆｃハフオトマルをそｎ
ぞ−ｎ＠り付けるとともに、前記有底ガラス管の内側に
前記シンチレータ対向部分を除いてメッキすることによ
り迷元反射島を形成したことを特徴とする二次電子検出
器。を提供するものでるる。As a means to solve the above problems, the present invention makes a Kovar tube penetrated through a hole in a flange protrude toward the vacuum side, and attaches a bottomed glass tube to the tip of the Kovar tube with the bottom first. A scintillator is installed on the outside of the bottom of the bottomed glass tube, and a light guide and/or fc heater are installed on the inside of the bottom.
A secondary electron detector characterized in that a stray source reflection island is formed by plating the inside of the bottomed glass tube except for the portion facing the scintillator. It is something that provides.
本発明に、７ランジ、コバール管および有底ガラス管に
よって真空側と大気側とを分離するととも（＝、有底ガ
ラス管の内側にシンチレータ対ＭＷ分を除いて反射膜を
形成したので、エラストマ・シールを必要とせずＣ二真
空側と大気側とを分離することができるとともに、反射
膜によりシンチレータの発光のみを伝達することが可能
になった。In the present invention, the vacuum side and the atmosphere side are separated by a 7-lunge, a Kovar tube, and a bottomed glass tube. - It is possible to separate the C2 vacuum side and the atmosphere side without the need for a seal, and it has become possible to transmit only the light emitted from the scintillator using the reflective film.
第１図に本発明の基本的構想を示す側面図で、フランジ
！の孔乙には、コバール管７が真空側（ユ突出して取り
付けらｎｌその先端には端部を閉鎖さｊ、た有底ガラス
管ｔが底部を先にして接甘さｎている。有底ガラス管ｒ
の閉鎖端部外側（真空側１）には、シンチレータコが取
り付けらｎ、その上を覆うように有底ガラス管？にはグ
リッドｌが取り付けら几ている。有底ガラス管ｒの閉鎖
端部内側（大気側）には、ライトガイド３が取り付けら
ｆ′Ｌ％その後に、フォトマル≠が取り付けらｎでいる
。Fig. 1 is a side view showing the basic concept of the present invention. A Kovar tube 7 is attached to the hole 7 with its end protruding from the vacuum side, and a glass tube 7 with a bottom is attached with the bottom end first. bottom glass tube r
A scintillator is attached to the outside of the closed end (vacuum side 1), and a bottomed glass tube is placed over it. A grid l is attached to it. A light guide 3 is attached to the inside of the closed end (atmospheric side) of the bottomed glass tube r, and then a photomultiplier is attached.
このライトガイド３は省くことも可能である。有底ガラ
ス管ｒの内側には、シンチレータλの発光以外の迷光が
入るのを防ぐため、シンチレータコの対向部分を除いて
銀等の反射膜りがコーティングさｎている。This light guide 3 can also be omitted. The inside of the bottomed glass tube r is coated with a reflective film such as silver, except for the portion facing the scintillator, to prevent stray light other than the light emitted from the scintillator from entering.
したがって、真空側と大気側とは、フランジ！、有底ガ
ラス管ｒおよびコバール管７によって完全（部分離さ几
、シンチレータ２の発光のみが、ライトガイド３を通っ
てフォトマル弘に達し、電気信号に変換さｎるとともに
増幅ざｎ、外部に伝達さする。Therefore, the vacuum side and the atmosphere side are flanges! , completely (partially separated) by the bottomed glass tube r and the Kovar tube 7, only the light emitted from the scintillator 2 passes through the light guide 3, reaches the photometer, is converted into an electrical signal, and is amplified and sent to the outside. Transmit.
第弘図は上記第３図のものを、幾分具体的に図示した側
面図で、同じ符号は同じ部品を示し、また！はシンチレ
ータカバー、ｌはフォトマルソケットをそ几ぞｎ示す。Figure 3 is a somewhat more specific side view of the one shown in Figure 3 above, where the same reference numerals indicate the same parts, and! 1 indicates a scintillator cover, and 1 indicates a photomulti socket.
ただし、第弘図のものにおいては、ライトガイドは省略
さ几、フォトマル弘が直接ガラス管ｇの内側（＝取り付
けら几ている。また、７ランジ（たとえば、ＩＣＦ−０
７０等の超高真空用のコンフラツトフランジ）３には、
二次電子検出器の他（−１さらに、シンチレータコに高
電圧を印加するための高圧端子ＩＯが設置さｎている・
本
発明は超高真空を必要とする表面分析装置等に組み込む
ことができ、第３図は本発明の二次電子検出器（−よっ
て得らｎた二次電子像の一例である。However, in the one shown in Figure 1, the light guide is omitted and the photo guide is directly attached to the inside of the glass tube.
Conflat flange for ultra-high vacuum such as 70 etc.) 3,
In addition to the secondary electron detector (-1), a high voltage terminal IO for applying high voltage to the scintillator is installed.
The present invention can be incorporated into a surface analysis device that requires an ultra-high vacuum, and FIG. 3 is an example of a secondary electron image obtained by the secondary electron detector of the present invention.
本発明は真空側と大気側とをガラス管、コバールによっ
て分離しタタめ、エラストマ１シールによる従来の不Ａ
せを完全に解消することができ、しかも反射膜によって
真空側の迷光を遮断す゛ることができるので、空気の漏
洩に妨げらｎることなく。The present invention separates the vacuum side and the atmosphere side with a glass tube and Kovar, and separates the vacuum side and the atmosphere side.
Moreover, since the reflective film can block stray light on the vacuum side, there is no problem with air leakage.
長時間にわたって正確な検査、測定をすることが可能と
なった。It has become possible to perform accurate inspections and measurements over long periods of time.
第１図は本発明の基本的構想を示す概念的細断ん具体的
な構造を示す側面図。
Ｊ・・・シンチレータ、３・・・ライトガイド、≠・・
・フォトマル、ｊ・・・フランジ、７・・・コバール管
、！・・・有底ガラス管、り・・・メッキ層
図面の？Ｎシ（内６に変更なし〕
第４図
第５図
不
手続補正書（方式）
％式％
１、事件の表示
昭和６０年 特許願 第 ２２２８３２号２、発明の名
称
二次電子検出器
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日
本真空技術株式会社
４、代理人
〒１０５住所 東京都港区西新橋１丁目１番１５号物産
ビル別館 電話（５９１） ０２６１６、補正の内容
別紙の通）FIG. 1 is a side view showing a conceptual fragmentation concrete structure showing the basic concept of the present invention. J...Scintillator, 3...Light guide, ≠...
・Photomaru, j...flange, 7...Kovar tube,! ... bottomed glass tube, ri... plating layer drawing? Nshi (no change in 6) Figure 4 Figure 5 Non-procedural amendment (method) % formula % 1. Indication of the case 1985 Patent application No. 222832 2. Name of the invention Secondary electron detector 3. Relationship with the person making the amendment Patent applicant Address 2500 Hagizono, Chigasaki City, Kanagawa Prefecture Name Japan Vacuum Technology Co., Ltd. 4, Agent Address 105 Address Bussan Building Annex, 1-1-15 Nishi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo Telephone ( 591) 02616, Attached sheet of amendment details)
Claims (1)
、該コバール管の先端に有底ガラス管を底部を先にして
接合し、該有底ガラス管の底部外側にシンチレータをま
た底部内側にライトガイドおよび／またはフォトマルを
それぞれ取り付けるとともに、前記有底ガラス管の内側
に前記シンチレータ対向部分を除いてメッキすることに
より迷光反射層を形成したことを特徴とする二次電子検
出器。A Kovar tube penetrated through the hole in the flange is projected to the vacuum side, a bottomed glass tube is joined to the tip of the Kovar tube with the bottom first, and a scintillator is placed on the outside of the bottom of the bottom glass tube, and a light is placed on the inside of the bottom. A secondary electron detector, characterized in that a guide and/or a photomultiplier are attached to each, and a stray light reflecting layer is formed by plating the inside of the bottomed glass tube except for the portion facing the scintillator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222832A JPS6282638A (en) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | Secondary electron detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222832A JPS6282638A (en) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | Secondary electron detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282638A true JPS6282638A (en) | 1987-04-16 |
| JPH056876B2 JPH056876B2 (en) | 1993-01-27 |
Family
ID=16788607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60222832A Granted JPS6282638A (en) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | Secondary electron detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282638A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206278A (en) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Misawa Homes Co Ltd | Balcony construction method and balcony structure |
| JP2012138324A (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Topcon Corp | Secondary electron detector and charge particle beam apparatus |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP60222832A patent/JPS6282638A/en active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206278A (en) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Misawa Homes Co Ltd | Balcony construction method and balcony structure |
| JP2012138324A (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Topcon Corp | Secondary electron detector and charge particle beam apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH056876B2 (en) | 1993-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2398382A1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR CONVERTING RADIATION INTO VISIBLE LIGHT | |
| JPS60102868U (en) | electronic microscope | |
| GB1458947A (en) | Fluoroscopic systems | |
| JPH084635Y2 (en) | Radiation detector | |
| US5923120A (en) | Microchannel plate with a transparent conductive film on an electron input surface of a dynode | |
| US3304455A (en) | Image-converter tube with output fluorescent screen assembly resiliently mounted | |
| JPH04215238A (en) | Proximity type x-ray image enhancing tube | |
| GB789090A (en) | Improvements in or relating to x-ray image intensifiers | |
| GB1028655A (en) | Faceplate assembly for image tubes | |
| JPH056876B2 (en) | ||
| US4550251A (en) | Image intensifier tube with increased contrast ratio | |
| US4658128A (en) | Electron vacuum image intensifier with reflection reducing output screen | |
| JPH0125317Y2 (en) | ||
| Pollehn | Evaluation of image intensifiers | |
| JPS6035958Y2 (en) | Discharge tube for spectral light source | |
| GB2000366A (en) | Cathode ray tube screen | |
| US5012152A (en) | Image intensifier tube comprising coated electrodes | |
| JPS5888685A (en) | Radiation detector | |
| JPS5986140A (en) | Phototube | |
| JPS62189883A (en) | Solid-state image pickup device | |
| SU1038982A1 (en) | Photoelectronic instrument | |
| JPH01254888A (en) | X-ray image sensor | |
| JPS54108652A (en) | Image projector | |
| JPS63131447A (en) | Imagr tube | |
| JPH06290714A (en) | X-ray imaging tube |