JPS6282682A - 熱圧着装置 - Google Patents

熱圧着装置

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Publication number
JPS6282682A
JPS6282682A JP22298085A JP22298085A JPS6282682A JP S6282682 A JPS6282682 A JP S6282682A JP 22298085 A JP22298085 A JP 22298085A JP 22298085 A JP22298085 A JP 22298085A JP S6282682 A JPS6282682 A JP S6282682A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
thermocompression bonding
heat storage
heat
section
Prior art date
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Pending
Application number
JP22298085A
Other languages
English (en)
Inventor
順 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP22298085A priority Critical patent/JPS6282682A/ja
Publication of JPS6282682A publication Critical patent/JPS6282682A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、熱圧着装置に関する。
[従来技術] 従来、異方性導電膜、異方性導電接着剤等を介して、基
板上へ、フレキシブルプリントサーキットボード(以下
FPCと記す)や大規模集積回路(以下LSIと記す)
チップを接続する装置である熱圧着装置において、発熱
体より発生する熱を蓄える蓄熱部と、被接着部分へ直接
密着させるヘッド部を加圧時に分離させることはできな
かった[発明が解決しようとする問題点] そのため、被接着部分か高温の状態で、前記ヘッド部を
被接着部より離すため、基板とFPCもしくはLSIチ
ップの接続が適切に行なわれず、接続不良を起こしてい
た。これは、基板とFPCもしくはLSIチップとの物
理的固定に熱可塑性の接着剤を使用した時、特に顕著で
あった。
このような欠点をなくす方法として、加圧状態において
発熱体より熱の発生を止め、蓄熱部、ヘッド部の自然冷
却を待って、被接着部よりヘッド部を離脱させる方法と
、加熱方式を、蓄熱部が不必要な瞬間加熱方式にする方
法等がある。しかし前者の方法は、1回の加熱冷却に多
大な時間を有し実用的ではない。また後者の方法は、加
熱のための電気回路が複雑になるという欠点を持ってい
る。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、蓄熱部と、へ・?ド部の2ケ所にそれぞれ加
圧系を持たせ、被接着部分への加圧時に、蓄熱部をヘッ
ド部より分離させることを可能にしたことを特徴とする
また、前記ヘッド部より断熱材を介し、前記加圧系へ接
続したことを特徴とする。
[作用] 本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
第1図は、本発明の基本構造である。
土台7より垂直に、ヘッド部加圧系5及び蓄熱部加圧系
6が取り付けられている。
蓄熱部加圧系6には、発熱体1及び蓄熱部2が取り付け
られており、ヘッド部加圧系5には断熱部4に囲まれた
ヘッド部3が取り付けられている。
次に基本(3作を第2図(a)〜(d)へ示す。
最初にヘッド部3の真下に基板8を設置し、基板上に異
方性導電接着剤もしくは異方性導電膜9を介し、LSI
チップ10を設置する。・・・以上同図(a) 次に全ての加圧系を動作させ、蓄熱部2及びヘッド部3
がLSIチップ10と基板8に対し、接続に@適な圧力
を゛与えるようにする。この時点で、ヘレド部3が蓄熱
部2の熱により高温化して、圧着に最適な熱を異方性導
電膜もしくは異方性導電接着剤9に与える。・・・以上
同図(b)接着に必要な時間だけ加熱を行なった後、蓄
熱部加圧系6のみを働かせ、ヘッド部3、蓄熱部2を切
り離す。この状態において、ヘッド部3をエアー流等に
より冷却して接着部分を確実に固定する。・・・以上同
図(c) 最後にヘッド部加圧系5を働かせ、ヘッド部3をLSI
チップ10より離脱させる。・・・以上同図(d) 以上の動作により本発明による熱圧着を完了する。
[実施例1] 第1図において、ヘッド部加圧系5及び蓄熱部加圧系6
共にエアシリンダを使用した。また断熱材4として十分
な機械的強度を有する物を使用した。ここで作用で述べ
た手順に従って、LSIチップとガラス上のITOへN
iメッキを行なった電極とを異方性導電膜を用!/ζて
接続した。
この結果、ICチップを加圧しながらヘッドを冷却する
ことが可能となり、良好な接続が得られた。またヘッド
加圧部とヘッドの間に断熱材を用い不要な熱の流入、流
出を防ぎ、さらにヘッドを小型化したため、熱容量を小
さくして、短時間での加熱、冷却が行なえるようになり
、作業の効率化を計れた。
[実施例2] 次に第3図に示すように、エアシリンダを用いた蓄熱部
加圧系6の下へばねを用いたヘッド部加圧系5を取り付
けた。この装置を用い、FPCllを異方性導電膜を使
用して、プリンI・サーキッI・ボード8へ接続した。
この結果、実施例1と同様、短時間の加熱、冷却により
良好な接続が得られた。また加圧系を第3図の加圧系構
造にしたことにより、構造の簡単化を計り、蓄熱部加圧
系のみの動作によりヘッド加圧系も作動させることが可
能となり、装置の低コスト化を計れた。
[実施例3]  ゛ 第4図に示すように、蓄熱部、ヘッド部の加圧系共にエ
アシリンダを用い、特にヘッド部加圧系を、基板8を設
置する土台7へ埋め込む構造をとった。以上述べた装置
により、ITOパターン上へNiメッキを施した電極を
有するガラス基板上へ、LSIチップ10を異方性導電
膜9を用いて接続した。   ゛ この結果、実施例1と同様良好な接続を得ることができ
た。また蓄熱部とヘッド部の加圧系を完全に分離するこ
とにより、不要な熱の流入、流出をより一層断つことが
でさた。
[発明の効果] 以上述べたように本発明により、ヘッド部の回りを断熱
材で構成し、ヘッド加圧系との接続を行なうことにより
ヘッドの小型化を計り、不要な熱の流入、流出が少なく
、短時間での加熱冷却を行なうことができる熱圧着装置
の提供が可能となった。
このため、加圧を行ないながらの加熱、冷却が可能とな
った。こ゛のように本発明の熱圧着装置は特に、異方性
溝?!!膜、異方性導電接着剤等を用いた熱圧着に非常
に適している。
本装置を用いることにより、異方性8電膜、異方性導電
接着剤等を用いたガラス基板−FPC、プリントサーキ
ットボード−ヒートシール、ガラス基板−LSIチップ
等の接続に高い信頼性を得ることができる。
また、本発明の熱圧着装置は、接着剤を用いたガラス基
板へのプラスチック7′イルムの接着等、単なる物理的
な固定としての熱圧着による接着に対しても有用である
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の熱圧着装置の実施例説明図である。 第2図は、本発明の熱圧着装置の基本動作の説明図であ
り、同図(a)は準備、同図(b)は加圧加熱、同図(
c)は加圧冷却、同図(d、)は動作の終了を示す図。 第3図、第4図は、本発明の熱圧着装置の説明図である
。 図中  1・・・発熱体 2・・・蓄熱部 3・・・ヘッド部 4・・・断熱部 5・・・ヘッド部加圧系 6・・・蓄熱部加圧系 7・・・土台 8・・・基板 9・・・異方性8電膜 もしくは異方性導電接着剤 10・・・LSIチップ 11…FPC を表わす。 第2図 第4図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)発熱体より発生する熱を蓄える蓄熱部及び、被加
    熱部分へ直接密着させるヘッド部へそれぞれ加圧系を設
    け、被加熱部分への加圧時に、前記蓄熱部と前記ヘッド
    部の密着及び分離をおこなうことを特徴とする熱圧着装
    置。
  2. (2)前記ヘッド部より断熱材を介し、前記加圧系へ接
    続したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱
    圧着装置。
JP22298085A 1985-10-07 1985-10-07 熱圧着装置 Pending JPS6282682A (ja)

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JP22298085A JPS6282682A (ja) 1985-10-07 1985-10-07 熱圧着装置

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JP22298085A JPS6282682A (ja) 1985-10-07 1985-10-07 熱圧着装置

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JPS6282682A true JPS6282682A (ja) 1987-04-16

Family

ID=16790907

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JP22298085A Pending JPS6282682A (ja) 1985-10-07 1985-10-07 熱圧着装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002043746A (ja) * 2000-07-31 2002-02-08 Hitachi Chem Co Ltd 加圧加熱溶着用の加熱治具及びその位置合わせ方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002043746A (ja) * 2000-07-31 2002-02-08 Hitachi Chem Co Ltd 加圧加熱溶着用の加熱治具及びその位置合わせ方法

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