JPS6282731U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6282731U JPS6282731U JP1985173767U JP17376785U JPS6282731U JP S6282731 U JPS6282731 U JP S6282731U JP 1985173767 U JP1985173767 U JP 1985173767U JP 17376785 U JP17376785 U JP 17376785U JP S6282731 U JPS6282731 U JP S6282731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure mask
- wafer
- exposure
- gap
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は近接露光形態の露光装置を示す概略断
面図、第２図は露光用マスクに対する３個の貫通
孔の配置説明用平面図、第３図は隙間管理状態を
示す断面図、第４図は真空引き露光形態の露光装
置を示す概略断面図である。第５図イ，ロ，ハは
従来例の間接隙間検出形態による露光装置の隙間
制御説明図である。 ２……ホルダー、３……露光用マスク、６……
ウエハ、１２……ウエハ昇降機構、Ｍ……エアー
マイクロメーター。
面図、第２図は露光用マスクに対する３個の貫通
孔の配置説明用平面図、第３図は隙間管理状態を
示す断面図、第４図は真空引き露光形態の露光装
置を示す概略断面図である。第５図イ，ロ，ハは
従来例の間接隙間検出形態による露光装置の隙間
制御説明図である。 ２……ホルダー、３……露光用マスク、６……
ウエハ、１２……ウエハ昇降機構、Ｍ……エアー
マイクロメーター。
Claims (1)
- 所定のパターンが形成された露光用マスクをホ
ルダー上に載置すると共に、昇降機構を介して前
記露光用マスクの下面側にウエハを対応位置させ
るようにした露光装置において、前記露光用マス
クに、３個以上の貫通孔を形成すると共に、露光
用マスクとウエハの隙間を検出するエアーマイク
ロメーターを前記貫通孔の夫々に接続する一方、
各エアーマイクロメーターからの隙間検出情報に
基づいて前記隙間を所定範囲内に収めるように昇
降制御されるウエハ昇降機構を、それの昇降作用
部を前記貫通孔近くに対応させて配置してあるこ
とを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985173767U JPS6282731U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985173767U JPS6282731U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282731U true JPS6282731U (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=31111535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985173767U Pending JPS6282731U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282731U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002280282A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Union Optical Co Ltd | ウェハのキャリブレーション方法及び装置 |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP1985173767U patent/JPS6282731U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002280282A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Union Optical Co Ltd | ウェハのキャリブレーション方法及び装置 |