JPH0167752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0167752U JPH0167752U JP1987162630U JP16263087U JPH0167752U JP H0167752 U JPH0167752 U JP H0167752U JP 1987162630 U JP1987162630 U JP 1987162630U JP 16263087 U JP16263087 U JP 16263087U JP H0167752 U JPH0167752 U JP H0167752U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal pattern
- defective
- marked
- semiconductor device
- changed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体装置の一実施例を
示すペレツトの平面図、第２図と第３図は本考案
に係る金属パターンの一実施例を示す格子状パタ
ーンとそれに付けられた不良マークの平面図、第
４図乃至第８図は本考案に係る金属パターンの各
実施例を示す各平面図、第９図は半導体ウエーハ
の平面図である。 ２……ペレツト、４……金属パターン。
示すペレツトの平面図、第２図と第３図は本考案
に係る金属パターンの一実施例を示す格子状パタ
ーンとそれに付けられた不良マークの平面図、第
４図乃至第８図は本考案に係る金属パターンの各
実施例を示す各平面図、第９図は半導体ウエーハ
の平面図である。 ２……ペレツト、４……金属パターン。
Claims (1)
- 半導体ウエーハに多数形成されている各ペレツ
トの表面の電極パツドを除く任意の位置に、レー
ザ照射によつてパターンが変化して不良マーキン
グされる金属パターンを形成したことを特徴とす
る半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987162630U JPH0167752U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987162630U JPH0167752U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0167752U true JPH0167752U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31446627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987162630U Pending JPH0167752U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0167752U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311352A (en) * | 1976-07-17 | 1978-02-01 | Bruderhaus Maschinen Gmbh | Crusher |
| JPS5998517A (ja) * | 1982-11-26 | 1984-06-06 | Nec Corp | 半導体素子 |
| JPS61260649A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP1987162630U patent/JPH0167752U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311352A (en) * | 1976-07-17 | 1978-02-01 | Bruderhaus Maschinen Gmbh | Crusher |
| JPS5998517A (ja) * | 1982-11-26 | 1984-06-06 | Nec Corp | 半導体素子 |
| JPS61260649A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |