JPS6283336A - マイクロレンズアレ−の製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS6283336A JPS6283336A JP22037485A JP22037485A JPS6283336A JP S6283336 A JPS6283336 A JP S6283336A JP 22037485 A JP22037485 A JP 22037485A JP 22037485 A JP22037485 A JP 22037485A JP S6283336 A JPS6283336 A JP S6283336A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- microlens array
- etching
- glass plate
- photomask
- Prior art date
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- Pending
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/002—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by ultraviolet light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/04—Compositions for glass with special properties for photosensitive glass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
- G02B6/1245—Geodesic lenses
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、平板ガラス上に多数の微小な凸レンズを配列
したマイクロレンズアレーの製造方法に関する。
したマイクロレンズアレーの製造方法に関する。
［従来の技術］
マイク［ルンズは、最近光通信用の各種光部品構成材料
として注目を集め、特にこのレンズを多数配列したマイ
クロレンズアレーは、複写器やミニファックス用光学系
の転写用レンズとして使用され、装置の小型化に寄与し
ている。
として注目を集め、特にこのレンズを多数配列したマイ
クロレンズアレーは、複写器やミニファックス用光学系
の転写用レンズとして使用され、装置の小型化に寄与し
ている。
マイクロレンズアレーの作成法は、従来直径１１前後の
ロッド状レンズを２〜３列に数百本配列して、アレー化
する方法が一般的であったが、最近では、第９図に示す
ように、一枚の平板ガラス１０上に金属膜１１を蒸着し
、フォトリングラフイー技術を利用して、この金属膜に
多数個の孔１２を配列した後、これを［！などの高屈折
イオンを含む溶融円柱に高温で浸漬して、金属膜の孔１
２を通してイオンを拡散させ、第１０図に示すようにガ
ラス平板上に半円球状の高屈折イオンの拡散部１３から
なるマイクロレンズを配列する方法で作成した平板マイ
クロレンズが注目を集めている。この方法によれば、多
数のロッドレンズを配列したり、接着したり、固定化し
たりする複１な工程を必要としないばかりか、集積回路
作成工程と同じフ４トリングラフィー技術を用いて精度
良くいっぺんにレンズをアレー化することができる。
ロッド状レンズを２〜３列に数百本配列して、アレー化
する方法が一般的であったが、最近では、第９図に示す
ように、一枚の平板ガラス１０上に金属膜１１を蒸着し
、フォトリングラフイー技術を利用して、この金属膜に
多数個の孔１２を配列した後、これを［！などの高屈折
イオンを含む溶融円柱に高温で浸漬して、金属膜の孔１
２を通してイオンを拡散させ、第１０図に示すようにガ
ラス平板上に半円球状の高屈折イオンの拡散部１３から
なるマイクロレンズを配列する方法で作成した平板マイ
クロレンズが注目を集めている。この方法によれば、多
数のロッドレンズを配列したり、接着したり、固定化し
たりする複１な工程を必要としないばかりか、集積回路
作成工程と同じフ４トリングラフィー技術を用いて精度
良くいっぺんにレンズをアレー化することができる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、この平板マイクロレンズは、例えば収差
の少ないレンズを作成するためには、イオン拡散部の形
状とイオン濃度分布を厳密に制御する必要があり、時に
は電圧を印加して、強制的にイオンを拡散移入すること
も必要となってくるので、装置に工夫を要するなど、生
産性の面で必ずしも良い方法とは云い難い。
の少ないレンズを作成するためには、イオン拡散部の形
状とイオン濃度分布を厳密に制御する必要があり、時に
は電圧を印加して、強制的にイオンを拡散移入すること
も必要となってくるので、装置に工夫を要するなど、生
産性の面で必ずしも良い方法とは云い難い。
本発明は上記の如き従来の平板マイクロレンズアレーの
作成法の問題点を改良し、しかも開口数と直径の大きな
レンズを配列したマイクロレンズアレーを提供するもの
である。
作成法の問題点を改良し、しかも開口数と直径の大きな
レンズを配列したマイクロレンズアレーを提供するもの
である。
［問題点を解決するための手段］
このため本発明は、光学ガラス上に７オトレジストを用
いて、円形状のレジストパターンを多数形成し、エツチ
ング工程で円柱状突部とした後、さらにレジストを除去
した後、再びエツチングを継続して、円柱部の角を化学
的に除去することによって球面状とし、研磨工程を得て
凸レンズとするものであ。以下、図面に沿って具体例を
上げ本発明の詳細な説明する。
いて、円形状のレジストパターンを多数形成し、エツチ
ング工程で円柱状突部とした後、さらにレジストを除去
した後、再びエツチングを継続して、円柱部の角を化学
的に除去することによって球面状とし、研磨工程を得て
凸レンズとするものであ。以下、図面に沿って具体例を
上げ本発明の詳細な説明する。
［実施例］
第１図に示す如くガラス板３の表面にフォトレジスト２
を塗布し、さらに円形状の光遮蔽部を多数配列したフォ
トマスク１を配置する。次にフォトマスク１を通して紫
外線を照射した後、フォトマスクを除去して、ガラス板
エツチングすると、第２図に示すようにガラス板上に円
柱状の突部を多数形成する。他の例として第３図に示す
ように円形の金属膜４をガラス板上に多数蒸着し、ガラ
スをエツチングすることによって、第４図に示すような
円柱状の突部をガラス表面上に多数配列した。ある程度
エツチングの終了したガラス板は、フォトレジスト２又
は金属膜４を除去すると、第５図又は第６図に示すよう
に円柱状の突部５を多数配列したガラス板ができる。こ
こで再びエツチングを行ない、第７図に示す如くガラス
板とともに円柱状の突部５の角を除いて、円柱状突部を
球面状６とする。次いでこのガラス板の表面をやわらか
なブラシを用いるか、やわらかなパフを用いて研磨する
と、第８図の如き、凸レンズを多数配列した平板マイク
ロレンズアレーを作成することが可能となる。また第７
図に示すエツブングの工程において、エツチング液をガ
ラス表面に沿って急速に流すと、突部５の角を選択的に
除去するのに効果的である。
を塗布し、さらに円形状の光遮蔽部を多数配列したフォ
トマスク１を配置する。次にフォトマスク１を通して紫
外線を照射した後、フォトマスクを除去して、ガラス板
エツチングすると、第２図に示すようにガラス板上に円
柱状の突部を多数形成する。他の例として第３図に示す
ように円形の金属膜４をガラス板上に多数蒸着し、ガラ
スをエツチングすることによって、第４図に示すような
円柱状の突部をガラス表面上に多数配列した。ある程度
エツチングの終了したガラス板は、フォトレジスト２又
は金属膜４を除去すると、第５図又は第６図に示すよう
に円柱状の突部５を多数配列したガラス板ができる。こ
こで再びエツチングを行ない、第７図に示す如くガラス
板とともに円柱状の突部５の角を除いて、円柱状突部を
球面状６とする。次いでこのガラス板の表面をやわらか
なブラシを用いるか、やわらかなパフを用いて研磨する
と、第８図の如き、凸レンズを多数配列した平板マイク
ロレンズアレーを作成することが可能となる。また第７
図に示すエツブングの工程において、エツチング液をガ
ラス表面に沿って急速に流すと、突部５の角を選択的に
除去するのに効果的である。
［発明の効果１
本発明は突起の角を落したマイク１ルンズを容易に製作
することができる。
することができる。
第１図は本発明マイクロレンズアレーの製造方法に４３
いてガラス板の表面にフォトマスクを配置して紫外線を
照則する工程の断面図、第２図はフォトマスクを除去し
てエツチングした状態の断面図、第３図は第１図の工程
において金属蒸着膜を用いた場合の断面図、第４図は第
３図のものをエツチングした状態の断面図、第５図およ
び第６図はフォトレジストまたは金属蒸着膜を除去して
多数の円柱状文部を形成させた状態の斜視図および断面
図、第７図は円柱状突部を球面状に加工した状態を示す
断面図、第８図は本発明方法による平板マイクロレンズ
アレーの斜視図、第９図は従来の平板マイクロレンズア
レーの作成法の断面図、第１０図は第９図によるマイク
［ルンズアレーの斜視図である。 １・・・フォトマスク、２・・・フォトレジスト、３・
・・ガラス板、４・・・金属蒸着膜、５・・・円柱状突
部、６・・・球面状突部。 出 願 人 ホーヤ株式会社 代 理 人 朝 倉 正 幸第１図 第６図 第８図 第９図 第１０図
いてガラス板の表面にフォトマスクを配置して紫外線を
照則する工程の断面図、第２図はフォトマスクを除去し
てエツチングした状態の断面図、第３図は第１図の工程
において金属蒸着膜を用いた場合の断面図、第４図は第
３図のものをエツチングした状態の断面図、第５図およ
び第６図はフォトレジストまたは金属蒸着膜を除去して
多数の円柱状文部を形成させた状態の斜視図および断面
図、第７図は円柱状突部を球面状に加工した状態を示す
断面図、第８図は本発明方法による平板マイクロレンズ
アレーの斜視図、第９図は従来の平板マイクロレンズア
レーの作成法の断面図、第１０図は第９図によるマイク
［ルンズアレーの斜視図である。 １・・・フォトマスク、２・・・フォトレジスト、３・
・・ガラス板、４・・・金属蒸着膜、５・・・円柱状突
部、６・・・球面状突部。 出 願 人 ホーヤ株式会社 代 理 人 朝 倉 正 幸第１図 第６図 第８図 第９図 第１０図
Claims (1)
- フォトレジストを塗布したガラス板の表面に、円形のフ
ォトマスクパターンのアレーを配置し、該フォトマスク
パターンを通して紫外線を照射するか、又は、円形の金
属蒸着膜を蒸着してレジストパターンを形成した後に、
ガラス板をエッチングしてガラス板上に円柱形の突起部
を配列せしめ、さらにレジスト又は金属蒸着膜を除去し
た後、再びエッチングを繰返して円柱形突起部を球面状
に変形せしめ、凸レンズとすることを特徴とするマイク
ロレンズアレーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22037485A JPS6283336A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | マイクロレンズアレ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22037485A JPS6283336A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | マイクロレンズアレ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283336A true JPS6283336A (ja) | 1987-04-16 |
Family
ID=16750119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22037485A Pending JPS6283336A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | マイクロレンズアレ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6283336A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63265842A (ja) * | 1987-04-21 | 1988-11-02 | Okaya Denki Sangyo Kk | ガス放電表示パネル用集光レンズ板の製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5795849A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-14 | Sony Corp | Production of lens |
| JPS58185445A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-29 | Fujitsu Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法 |
| JPS5992567A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子用微小集光レンズの製造方法 |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP22037485A patent/JPS6283336A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5795849A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-14 | Sony Corp | Production of lens |
| JPS58185445A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-29 | Fujitsu Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法 |
| JPS5992567A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子用微小集光レンズの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63265842A (ja) * | 1987-04-21 | 1988-11-02 | Okaya Denki Sangyo Kk | ガス放電表示パネル用集光レンズ板の製造方法 |
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