JPS6283639A - 印刷基板パタ−ン比較検査時のスル−ホ−ル部取扱法 - Google Patents
印刷基板パタ−ン比較検査時のスル−ホ−ル部取扱法Info
- Publication number
- JPS6283639A JPS6283639A JP22372485A JP22372485A JPS6283639A JP S6283639 A JPS6283639 A JP S6283639A JP 22372485 A JP22372485 A JP 22372485A JP 22372485 A JP22372485 A JP 22372485A JP S6283639 A JPS6283639 A JP S6283639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- pattern
- inspection
- printed circuit
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、印刷基板パターンの比較検査時に、実際には
使用可能な程度のスルーホール周辺部パターンの軽度の
太り、細り（即ち、スルーホールと其の周辺部パターン
の中心の不一致）による不合格発生を抑制するために、
スルーホール部では不合格信号を送出させないようにし
た印刷基板パターン比較検査時のスルーホール部取扱法
に関する。
使用可能な程度のスルーホール周辺部パターンの軽度の
太り、細り（即ち、スルーホールと其の周辺部パターン
の中心の不一致）による不合格発生を抑制するために、
スルーホール部では不合格信号を送出させないようにし
た印刷基板パターン比較検査時のスルーホール部取扱法
に関する。
従来の比較方式による印刷基板パターンの検査では、ス
ルーホール周辺部パターンに対しても、通常のパターン
部分と同様に特徴抽出比較検査を行っていた。
ルーホール周辺部パターンに対しても、通常のパターン
部分と同様に特徴抽出比較検査を行っていた。
しかし、印刷基板のパターンはホトエツチングにより作
成されるのに対し、スルーホールは全く別の設備たとえ
ばＮＧ工作機でドリルで穿孔されるとか、ホトマスクや
基板自体の伸縮等もあり、スルーホールの中心と、スル
ーホールを取り囲むパターンの中心とが一致した理想的
な製品を製作するのは、かなり困難である。また、印刷
基板を製造する下請業者間にも、業者によって多少実際
の検査基準に相違があったりして、スルーホールと其の
周辺部パターン（の太り、細り）について通常のパター
ン部と同様な特徴抽出比較検査を行うと、２組の印刷基
板のスルーホール部と其の周辺部パターンが一致する場
合は極めて少なくなり、しかも此の部分が不一致で不合
格とされた製品の中には、上述のようなスルーホール部
独特の孔中心と周辺パターン部の中心のずれが実際の使
用目的に対しては問題のない程度のものが多数台まれて
いるという問題があった。すなわち、スルーホールがそ
れを取り囲むべき周辺パターンから完全にはみ出してい
るようなものは別として、周辺パターンに多少の太りや
細りが生じている程度のものは実用上差支えない、従っ
て、従来、比較検査を目視検査に依存していた場合には
此の程度の不具合は非欠陥としていた。それが自動的な
特徴抽出比較検査法を採用して、スルーホール部を含め
て２組の印刷基板パターンの不一致個所を全て欠陥とみ
なすことにすると、殆ど全てのスルーホール部に欠陥が
あるものとみなされてしまうという問題が生じていた。
成されるのに対し、スルーホールは全く別の設備たとえ
ばＮＧ工作機でドリルで穿孔されるとか、ホトマスクや
基板自体の伸縮等もあり、スルーホールの中心と、スル
ーホールを取り囲むパターンの中心とが一致した理想的
な製品を製作するのは、かなり困難である。また、印刷
基板を製造する下請業者間にも、業者によって多少実際
の検査基準に相違があったりして、スルーホールと其の
周辺部パターン（の太り、細り）について通常のパター
ン部と同様な特徴抽出比較検査を行うと、２組の印刷基
板のスルーホール部と其の周辺部パターンが一致する場
合は極めて少なくなり、しかも此の部分が不一致で不合
格とされた製品の中には、上述のようなスルーホール部
独特の孔中心と周辺パターン部の中心のずれが実際の使
用目的に対しては問題のない程度のものが多数台まれて
いるという問題があった。すなわち、スルーホールがそ
れを取り囲むべき周辺パターンから完全にはみ出してい
るようなものは別として、周辺パターンに多少の太りや
細りが生じている程度のものは実用上差支えない、従っ
て、従来、比較検査を目視検査に依存していた場合には
此の程度の不具合は非欠陥としていた。それが自動的な
特徴抽出比較検査法を採用して、スルーホール部を含め
て２組の印刷基板パターンの不一致個所を全て欠陥とみ
なすことにすると、殆ど全てのスルーホール部に欠陥が
あるものとみなされてしまうという問題が生じていた。
Ｃ発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、印刷基板パターンの比較検査に際し、実用上
差支えのない程度のスルーホール中心と周辺パターン部
の中心のずれによるパターンの太り、細りに対しては従
来同様の基準で合否決定をする印刷基板パターン比較検
査時のスルーホール部取扱法を提供することを目的とす
る。
差支えのない程度のスルーホール中心と周辺パターン部
の中心のずれによるパターンの太り、細りに対しては従
来同様の基準で合否決定をする印刷基板パターン比較検
査時のスルーホール部取扱法を提供することを目的とす
る。
本発明においては上記問題点を解決するために、通常よ
く生ずる程度の周辺パターンの太り、細りがあるスルー
ホール部に対しては、スルーホール以外の通常部分のパ
ターンに対するのと同様な基準による特徴抽出比較検査
で検出された欠陥（不合格）信号の送出を抑制し、その
ようなスルーホール部周辺パターンに対しては従来通り
目視検査によって良否を判別することにした。スルーホ
ール部だけ目視検査することにしても、通常のパターン
部分に対しては自動的、機械的に比較検査を行うから作
業者による作業量は大幅に軽減される。
く生ずる程度の周辺パターンの太り、細りがあるスルー
ホール部に対しては、スルーホール以外の通常部分のパ
ターンに対するのと同様な基準による特徴抽出比較検査
で検出された欠陥（不合格）信号の送出を抑制し、その
ようなスルーホール部周辺パターンに対しては従来通り
目視検査によって良否を判別することにした。スルーホ
ール部だけ目視検査することにしても、通常のパターン
部分に対しては自動的、機械的に比較検査を行うから作
業者による作業量は大幅に軽減される。
上記の如くするために、具体的には、画像入力からスル
ーホール部の存在を十分な裕度を以て認識する処理手段
を、相互比較する印刷基板各組それぞれの撮像、検査装
置に付設し、片方または双方の組からスルーホール認識
信号が出ているときは、上記特徴抽出比較検査による不
合格信号が送出されないようにした。十分な裕度を以て
と言う意味は、スルーホールの中心と其の周辺部パター
ンの中心にある程度のずれが生じている場合でも、それ
をスルーホール部として認識するようにしであると言う
ことである。
ーホール部の存在を十分な裕度を以て認識する処理手段
を、相互比較する印刷基板各組それぞれの撮像、検査装
置に付設し、片方または双方の組からスルーホール認識
信号が出ているときは、上記特徴抽出比較検査による不
合格信号が送出されないようにした。十分な裕度を以て
と言う意味は、スルーホールの中心と其の周辺部パター
ンの中心にある程度のずれが生じている場合でも、それ
をスルーホール部として認識するようにしであると言う
ことである。
第１図（ａ）は本発明−実施例図である。図中、１はＡ
チャンネル画像入力、２はＢチャンネル画像入力、３は
特徴抽出比較部、４ａはＡチャンネル用スルーホール認
識部、４ｂはＢチャンネル用スルーホール認識部、５は
オアゲート、６は１人力を否定したアンドゲートである
。また、第１図（ｂ）は十分な余裕を以てスルーホール
を認識する論理の説明図である。図中、７は正規のスル
ーホール孔径よりはかなり直径の小さいスルーホール検
出位置で、ここからの反射光が殆どなく画像信号が”０
”ならばスルーホールの孔が存在しているものとみなす
。また、８は正規スルーホール位置を示す円、９は正規
スルーホール周辺部パターン外縁を示す円、１０はスル
ーホール周辺部パターン検出位置であって、スルーホー
ル周辺部パターン検出位置１０は、正規（中心位置が正
しく、かつ大きさも正しい）スルーホール位置を示す円
８と正規スルーホール周辺部パターン外縁を示す円の中
間に位置し、この位置で反射光が強く画像信号が”１”
ならばスルーホール周辺部パターンが存在しているもの
とみなす。このように、スルーホール位置に対しても、
周辺部パターンの位置に対しても、十分な余裕をもって
、それらの存在の有無を判定するようになっている。ス
ルーホール認識部は上記の如く、スルーホールの孔の存
在と、その周辺パターンの存在が同時に確認されれば、
そこにスルーホールが存在していると認識する。このよ
うな十分余裕を見たスルーホール認識論理によってもス
ルーホールの存在が認識されない場合は、スルーホール
位置と周辺部パターン位置とが正規位置から非常に大き
く狂っているとか、孔が全（穿孔されていなかったとか
、パターンが大きく損傷していたとかなどであって、確
率的に、Ａ、Ｂチャンネルの少なくとも一方の基板のス
ルーホールは此のスルーホール認識部でスルーホールと
して認識される。従って、スルーホール存在位置では、
Ａチャンネル画像人力１とＢチャンネル画像人力２とを
特徴抽出比較部３が比較して欠陥信号を出力しても、ア
ンドゲート６によって阻止されてしまう。すなわち、ス
ルーホール部に対してはパターン欠陥信号が出力されず
、目視検査に委ねられることになる。
チャンネル画像入力、２はＢチャンネル画像入力、３は
特徴抽出比較部、４ａはＡチャンネル用スルーホール認
識部、４ｂはＢチャンネル用スルーホール認識部、５は
オアゲート、６は１人力を否定したアンドゲートである
。また、第１図（ｂ）は十分な余裕を以てスルーホール
を認識する論理の説明図である。図中、７は正規のスル
ーホール孔径よりはかなり直径の小さいスルーホール検
出位置で、ここからの反射光が殆どなく画像信号が”０
”ならばスルーホールの孔が存在しているものとみなす
。また、８は正規スルーホール位置を示す円、９は正規
スルーホール周辺部パターン外縁を示す円、１０はスル
ーホール周辺部パターン検出位置であって、スルーホー
ル周辺部パターン検出位置１０は、正規（中心位置が正
しく、かつ大きさも正しい）スルーホール位置を示す円
８と正規スルーホール周辺部パターン外縁を示す円の中
間に位置し、この位置で反射光が強く画像信号が”１”
ならばスルーホール周辺部パターンが存在しているもの
とみなす。このように、スルーホール位置に対しても、
周辺部パターンの位置に対しても、十分な余裕をもって
、それらの存在の有無を判定するようになっている。ス
ルーホール認識部は上記の如く、スルーホールの孔の存
在と、その周辺パターンの存在が同時に確認されれば、
そこにスルーホールが存在していると認識する。このよ
うな十分余裕を見たスルーホール認識論理によってもス
ルーホールの存在が認識されない場合は、スルーホール
位置と周辺部パターン位置とが正規位置から非常に大き
く狂っているとか、孔が全（穿孔されていなかったとか
、パターンが大きく損傷していたとかなどであって、確
率的に、Ａ、Ｂチャンネルの少なくとも一方の基板のス
ルーホールは此のスルーホール認識部でスルーホールと
して認識される。従って、スルーホール存在位置では、
Ａチャンネル画像人力１とＢチャンネル画像人力２とを
特徴抽出比較部３が比較して欠陥信号を出力しても、ア
ンドゲート６によって阻止されてしまう。すなわち、ス
ルーホール部に対してはパターン欠陥信号が出力されず
、目視検査に委ねられることになる。
以上説明したように本発明によれば、印刷基板の通常パ
ターン部は自動的、機械的に特徴抽出比較法で比較険査
され、スルーホール部に対しては目視検査により従来通
りの実用上妥当な基準で検査することができる。
ターン部は自動的、機械的に特徴抽出比較法で比較険査
され、スルーホール部に対しては目視検査により従来通
りの実用上妥当な基準で検査することができる。
第１図（ａ）は本発明一実施例図、第１図（ｂ）はスル
ーホール認識論理説明図である。 ■−Ａチャンネル画像入力、 ２−Ｂチャンネル画像
入力、 ３−特徴抽出比較部、 ４ａ、４ｂ 、−−ス
ルーホール認識部、 ７−スルーホール検出位置、 ８
−正規スルーホール位置を示す円、９・−正規スルーホ
ール周辺部パターン外縁を示す円、 １〇−周辺部パ
ターン検出位置。
ーホール認識論理説明図である。 ■−Ａチャンネル画像入力、 ２−Ｂチャンネル画像
入力、 ３−特徴抽出比較部、 ４ａ、４ｂ 、−−ス
ルーホール認識部、 ７−スルーホール検出位置、 ８
−正規スルーホール位置を示す円、９・−正規スルーホ
ール周辺部パターン外縁を示す円、 １〇−周辺部パ
ターン検出位置。
Claims (1)
- 印刷基板を２組に分けて、各組基板の相対応する小面積
内のパターン外観について、順次特徴抽出比較検査を行
って、双方のパターン外観の相違が所定許容範囲内なら
ば双方とも合格とする方式の印刷基板パターン比較検査
時に、画像入力からスルーホール部の存在を十分な裕度
を以て認識する処理手段を各組それぞれに設け、片方ま
たは双方の組からスルーホール認識信号が出ているとき
は、上記特徴抽出比較検査による不合格信号が送出され
ないようにしたことを特徴とする印刷基板パターン比較
検査時のスルーホール部取扱法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22372485A JPS6283639A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 印刷基板パタ−ン比較検査時のスル−ホ−ル部取扱法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22372485A JPS6283639A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 印刷基板パタ−ン比較検査時のスル−ホ−ル部取扱法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283639A true JPS6283639A (ja) | 1987-04-17 |
Family
ID=16802685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22372485A Pending JPS6283639A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 印刷基板パタ−ン比較検査時のスル−ホ−ル部取扱法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6283639A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429041A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターン検査装置 |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP22372485A patent/JPS6283639A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429041A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターン検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2602201B2 (ja) | 被検査パターンの欠陥検査方法 | |
| JPS6332666A (ja) | パタ−ン欠陥検出方法 | |
| US4578765A (en) | Image comparison systems | |
| US5187573A (en) | Inspection method and apparatus | |
| JP2000348171A (ja) | パターン欠陥検出方法 | |
| JPH0575062B2 (ja) | ||
| JPS6283639A (ja) | 印刷基板パタ−ン比較検査時のスル−ホ−ル部取扱法 | |
| JPH03278057A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPS61293658A (ja) | 半田付け外観検査方法 | |
| JPH0441777B2 (ja) | ||
| JPS57130423A (en) | Apparatus for pattern inspection | |
| JPS61140804A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JPH0766255A (ja) | 半導体製造方法及び製造ライン | |
| JPS57208153A (en) | Inspecting method for defective aluminum pattern of semiconductor or the like | |
| JPS63124939A (ja) | パターン検査方法およびその装置 | |
| JPS61278706A (ja) | パタ−ン外観検査装置のマスキング機構 | |
| JPS62192638A (ja) | 色付きカプセルの検査方法 | |
| JP2000201000A (ja) | 回路基板の位置決め方法及び回路基板 | |
| JPS62103550A (ja) | プリント基板のパタ−ン検査方法 | |
| JPS62184579A (ja) | パターン検出方法 | |
| JPS6165105A (ja) | Ｉｃリ−ド曲り検出装置 | |
| JPS6225204A (ja) | スル−ホ−ルの位置補正方法 | |
| JPH0438452A (ja) | プリント配線板のパターン検査方法及び装置 | |
| JPS59120908A (ja) | パタ−ン幅検査方法およびその装置 | |
| JPS59201435A (ja) | エツチングパタ−ン検査方法 |