JPS6283878U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案に係る結晶の成長速度監視装
置の好ましい１例を概略的に示す構成図であり、
第１図ｂは結晶付着器に堆積された結晶と測定用
レーザビームとの関係を示すための模式的な図で
あり、第２図ａ〜ｃは従来の薄膜成長の場合の成
長速度の監視方法を説明するための図（ａおよび
ｂ）並びに厚膜の合成を説明するための図ｃであ
り、第３図は本考案の装置を用いて実際にＺｎＳ
結晶の成長速度を追跡した結果を示すグラフであ
る。 （主な参照番号）、１……反応管、２……支持
体、３……基板、４……結晶、５……光源、６…
…コリメータ、７……偏光子、８……偏光、９…
…反射光、１０……λ／４板、１１……検光子、
１２……反射光観察手段、２０……結晶付着器、
２１……移動棒、２２……ステツピングモータ、
２３……レーザ発振器、２４……レーザ受光器、
２５ａ，２５ｂ……レーザ誘導管、２６ａ，２６
ｂ……フランジ、２７……スイツチ機構、２８…
…成長速度表示手段、２９，２９′……レーザ光
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 化学気相蒸着装置の反応管内にその排気系
   側の端部から基板先端部近傍に移動棒を介して、
   往復運動可能なように設置された結晶付着器と、
   該付着器先端部近傍のこれに直交する平面内に設
   けられ、上記反応器側部に設けられた対向する２
   つのレーザ光誘導管と夫々接続された一対のレー
   ザ発振器およびレーザ受光器と、上記移動棒の駆
   動手段と、該駆動手段に接続され、上記付着器の
   移動距離を検知し、表示する成長速度表示手段と
   を具備することを特徴とする結晶の成長速度監視
   装置。 (2) 上記移動棒駆動手段がステツピングモータ
   であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
   第(1)項記載の結晶の成長速度監視装置。 (3) 上記駆動手段が、上記受光器とスイツチ機
   構を介して接続されており、上記結晶付着器への
   結晶の堆積に伴つて、上記受光器から発せられる
   電気信号に応じて動作するスイツチ機構により動
   作または停止することを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第(1)項または第(2)項記載の結晶の成
   長速度監視装置。 (4) 上記成長速度表示手段が、コンピユータ、
   デイスプレイ手段および記録手段から構成される
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)
   〜(3)項のいずれか１項に記載の結晶の成長速度
   監視装置。 (5) 上記レーザ発振器がＨｅ―Ｎｅレーザ発振
   器であり、該レーザのビーム径が１ｍｍ以下であ
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1
   )〜(4)項のいずれか１項に記載の結晶の成長速度
   監視装置。