JPS6284158U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6284158U JPS6284158U JP17493985U JP17493985U JPS6284158U JP S6284158 U JPS6284158 U JP S6284158U JP 17493985 U JP17493985 U JP 17493985U JP 17493985 U JP17493985 U JP 17493985U JP S6284158 U JPS6284158 U JP S6284158U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion milling
- end point
- point detector
- milled
- mirrors
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
第１図は本考案のイオンミリング装置の終点検
出器の実施例の縦断面図である。 １…レーザ光源、２…レーザ光検出素子、３…
イオンガン用高電圧電源及び制御部、４…ガラス
窓。
出器の実施例の縦断面図である。 １…レーザ光源、２…レーザ光検出素子、３…
イオンガン用高電圧電源及び制御部、４…ガラス
窓。
Claims (1)
- イオンミリング装置の１つのユニツトとして、
試料がミリングされ終つたことを検出する装置に
おいて、複数個のミラーを用いることを特徴とす
るイオンミリング装置の終点検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17493985U JPS6284158U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17493985U JPS6284158U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284158U true JPS6284158U (ja) | 1987-05-29 |
Family
ID=31113792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17493985U Pending JPS6284158U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284158U (ja) |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP17493985U patent/JPS6284158U/ja active Pending
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