JPH0229151U - - Google Patents
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- JPH0229151U JPH0229151U JP10689088U JP10689088U JPH0229151U JP H0229151 U JPH0229151 U JP H0229151U JP 10689088 U JP10689088 U JP 10689088U JP 10689088 U JP10689088 U JP 10689088U JP H0229151 U JPH0229151 U JP H0229151U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- mass spectrometry
- light source
- parabolic mirror
- ionization device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を説明するための装
置構成図、第２図は要部を説明するための図、第
３図は従来例を説明するための図である。 １……試料、２……一次イオンビーム源、３…
…エキシマレーザー光源、５……引き出し電極、
６……質量分析系、１０……回転放物面鏡。
置構成図、第２図は要部を説明するための図、第
３図は従来例を説明するための図である。 １……試料、２……一次イオンビーム源、３…
…エキシマレーザー光源、５……引き出し電極、
６……質量分析系、１０……回転放物面鏡。
Claims (1)
- 一次イオンビームを試料に照射し、該試料から
放出される中性粒子にレーザー光を照射してイオ
ン化する質量分析用イオン化装置において、前記
レーザー光の光源に対向する位置に放物面鏡を設
け、該放物面鏡によつて前記光源からのレーザー
光を前記中性粒子雰囲気中に集束させるようにし
たことを特徴とするレーザー光を用いた質量分析
用イオン化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10689088U JPH0229151U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10689088U JPH0229151U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229151U true JPH0229151U (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=31340806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10689088U Pending JPH0229151U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229151U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015179572A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-08 | 株式会社東芝 | スパッタ中性粒子質量分析装置 |
| WO2018173935A1 (ja) * | 2017-03-21 | 2018-09-27 | 学校法人工学院大学 | 質量分析装置および質量分析方法 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP10689088U patent/JPH0229151U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015179572A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-08 | 株式会社東芝 | スパッタ中性粒子質量分析装置 |
| WO2018173935A1 (ja) * | 2017-03-21 | 2018-09-27 | 学校法人工学院大学 | 質量分析装置および質量分析方法 |
| JP2018156904A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 学校法人 工学院大学 | 質量分析装置および質量分析方法 |
| EP3605584A4 (en) * | 2017-03-21 | 2020-12-16 | Kogakuin University | MASS SPECTROSCOPE AND MASS SPECTROMETRY |