JPS6285802A - Automatic inspecting device for object to be inspected provided with punch hole - Google Patents

Automatic inspecting device for object to be inspected provided with punch hole

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JPS6285802A
JPS6285802A JP22607785A JP22607785A JPS6285802A JP S6285802 A JPS6285802 A JP S6285802A JP 22607785 A JP22607785 A JP 22607785A JP 22607785 A JP22607785 A JP 22607785A JP S6285802 A JPS6285802 A JP S6285802A
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JP
Japan
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inspected
disk
measurement
stored
statistical processing
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JP22607785A
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Japanese (ja)
Inventor
Keita Yamada
慶太 山田
Fumitaka Watanabe
文隆 渡辺
Toru Oki
透 大木
Ryoichi Sakuma
佐久間 追一
Koji Suzuki
鈴木 甲二
Hitoshi Murakami
仁 村上
Sadaji Numao
沼尾 貞治
Kiminobu Hashimoto
橋本 公伸
Takao Saito
斎藤 隆夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asaka Riken Co Ltd
Original Assignee
Asaka Riken Industrial Co Ltd
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  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To automate measurement result and statistical processing by inspecting the outward appearance of an object to be inspected and measuring its size by a system which uses an optical sensor. CONSTITUTION:The object to be inspected is mounted on the glass surface of the X table 2x of a mounting table 2 of a universal projecting machine 1. Then the mounting table 2 is moved (by motors 6, 7) according to a teaching program stored in an disk 20 for program. Thereafter, signals from the optical sensor 9 and a linear scale 3 are inputted to a counter 12 and a CPU 13 determines the coordinates of a measurement point of the object to be inspected on the based on said signals. The signal indicating the determined coordinates is inputted to a CPU 16 and stored on a disk 17 for data collection. Arithmetic processing such as the measurement of the size of the object to be inspected or appearance inspection is carried out according to an arithmetic program stored previously on a disk 20 and the result is printed and displayed 21. The data which is obtained by the arithmetic processing and stored temporarily on the disk 17 is processed statistically according to an integrated program set and stored on the disk 20 and the result is printed and displayed 21.

Description

【発明の詳細な説明】 〈従来の技術〉 一般にICのリードフレーム等のように打抜孔が設けら
れた精密加工部品(以下、被検査物と記す)の外観検査
及び寸法計測には万能投影機が使用されていた。詳しく
は、被検査物を万能投影機の載物台に載せて下方から光
を照射してその被検査物の形状をズームレンズで拡大し
てスクリーン上に投影し、その投影された形状をスクリ
ーン上の十字線を使用して肉眼でもって外観検査及び寸
法計測が行われていた。
[Detailed Description of the Invention] <Prior Art> Generally, a universal projector is used for visual inspection and dimension measurement of precision machined parts (hereinafter referred to as inspected objects) provided with punched holes, such as IC lead frames. was used. Specifically, the object to be inspected is placed on the stage of a universal projector, irradiated with light from below, the shape of the object to be inspected is enlarged with a zoom lens and projected onto the screen, and the projected shape is displayed on the screen. Appearance inspection and dimension measurements were performed visually using the upper crosshairs.

〈発明が解決しようとする問題点〉 上記の如き従来の万能投影機を利用した被検査物の外観
検査及び寸法計測に於ては、■その外観検査及び寸法計
測がスクリーン上の十字線を使用して肉眼で行われるの
で、読み取りx差が生じろという問題点、■更には手動
により種々の計測が行われるので、被検査物の測定箇所
が多い場合には多大の測定時間を必要とし、しかもその
測定結果を予め設定された公差の許容範囲内にあるかど
うかの照合にも時間を要するという問題点、■しかもこ
れらの測定結果の統計処理が主に人手で行われているた
め、統計処理に費やされろ時間が多大でコストがかかる
という問題点、■更には上記問題点■、■、■のため多
量の被検査物の外観検査及び寸法計測を所定時間内に行
うことができないという問題点があった。
<Problems to be Solved by the Invention> In the appearance inspection and dimensional measurement of the inspected object using the conventional universal projector as described above, ■The appearance inspection and dimensional measurement use the crosshairs on the screen. This is done with the naked eye, so there is a problem that there may be a difference in reading x.Furthermore, various measurements are done manually, so if there are many measurement points on the object to be inspected, it will take a long time to measure. Moreover, it takes time to check whether the measurement results are within the tolerance range set in advance; There is a problem that a lot of time is spent on processing and it costs money, and furthermore, because of the above problems ■, ■, and ■, it is not possible to perform visual inspections and dimension measurements of a large number of objects to be inspected within a specified time. There was a point.

く問題点を解決するための手段〉 上記従来からの問題点を解決すべく鋭意研究した結果、
本発明装置においては、被検査物の外観検査及び寸法計
測が上記スクリーン上の十字線を利用した肉眼による読
み取りで行うという方式を排除して、上記十字線の替わ
りに光センサーを使用した方式で行われており、しかも
測定結果が自動的に処理され、且つ統計処理も自動的に
行われている。
As a result of intensive research to solve the conventional problems mentioned above,
In the apparatus of the present invention, the appearance inspection and dimension measurement of the object to be inspected is done by eliminating the method of reading with the naked eye using the crosshairs on the screen, and instead uses a method of using an optical sensor instead of the crosshairs. Furthermore, the measurement results are automatically processed, and statistical processing is also performed automatically.

即ち、本発明による被検査物の自動検査装置は(a)打
抜孔が設けられた被検査物を載置し且つパルスモータの
駆動により移動可能な載物台と、被検査物の測定位置の
前後を教え込むためのリニアスケールと、スクリーンに
拡大投影された被検査物のエツジを感知するための光セ
ンサーとを具備する万能投影機と、(b)上記万能投影
機のリニアスケールからの信号と光センサーからの信号
とが入力されて被検査物の測定点の座標を決定ずろため
の測定点座標決定手段と、(c)上記測定点座標決定手
段からの信号が入力され且つ上記万能投影機のパルスモ
ータの駆動制御を行うための記憶制御手段と、該記憶制
御手段に入力記憶されたデータに基づいて演算及び統計
処理を行うための演算統計処理手段とからなる中央処理
装置と、(d)上記中央処理装置の演算統計処理手段に
接続されている上記演算及び統計処理結果をプリントア
ウトするためのプリンI・手段とからなることを特徴と
している。
That is, the automatic inspection device for the object to be inspected according to the present invention includes (a) a stage on which the object to be inspected with punched holes is placed and movable by the drive of a pulse motor; (b) a signal from the linear scale of the universal projector; and (b) a signal from the linear scale of the universal projector. (c) a measuring point coordinate determining means for determining the coordinates of a measuring point of the object to be inspected by inputting a signal from the optical sensor; a central processing unit consisting of a storage control means for controlling the drive of the pulse motor of the machine; and an arithmetic and statistical processing means for performing calculations and statistical processing based on the data input and stored in the storage control means; d) Printer means for printing out the results of the arithmetic and statistical processing, which is connected to the arithmetic and statistical processing means of the central processing unit.

く作 用〉 上記の構成により光センサーでスクリーンに拡大投影さ
れた被検査物のエツジを明から暗あるいは暗から明の変
化でとらえるので、読み取り誤差が生じない。又、測定
点座標決定手段にて被検査物の測定点の座標が自動的に
決まり、しかも測定点座標に基づくデータの処理が中央
処理装置にて自動的に行われ、その処理結果がプリント
手段にてプリントアウトされろ。
With the above configuration, the edge of the object to be inspected enlarged and projected onto the screen is detected by the optical sensor as it changes from bright to dark or from dark to bright, so no reading errors occur. Further, the coordinates of the measurement point of the object to be inspected are automatically determined by the measurement point coordinate determination means, and data processing based on the measurement point coordinates is automatically performed by the central processing unit, and the processing results are printed by the printing means. Please print it out.

以下、本発明を第1図〜第2図に示された実施例に基づ
いて説明する。
The present invention will be explained below based on the embodiments shown in FIGS. 1 and 2.

第1図りよ本発明装置の概要を示すブロック図で、第1
図において1は万能投影機、11は測定点座標決定手段
、14は中央処理装置、21はプリント手段を示す。測
定点座標決定手段11はカウンター12とCPUZ−8
013とがらなり、中央処理装置14は記憶制御手段1
5と演算統計処理手段18とからなっている。万能投影
8!1はX・テーブル2XとY・テーブル2yとからな
る載物台2と、リニアスケール3と、ズームレンズ4と
、載物台2に載せられた被検査物の形状が光源(図示せ
ず)とズームレンズ4によって拡大投影されるスクリー
ン5と、上記載物台のX・テーブル2Xをx −y座標
軸のX軸方向に駆動させるパルスモークロと、上記載物
台のY・テーブル2y?y軸方向に駆動させるパルスモ
ータ7と、スクリーン5の中心部に刻まれた十字線8と
所定間隔を置いて設けられた光センサ−9とを具備して
いる。
Figure 1 is a block diagram showing an overview of the device of the present invention.
In the figure, 1 is a universal projector, 11 is a measuring point coordinate determining means, 14 is a central processing unit, and 21 is a printing means. Measurement point coordinate determining means 11 includes a counter 12 and CPUZ-8.
013, the central processing unit 14 is the storage control means 1
5 and an arithmetic and statistical processing means 18. The universal projection 8!1 includes a workpiece 2 consisting of an X table 2X and a Y table 2y, a linear scale 3, a zoom lens 4, and the shape of the object placed on the workpiece 2 as a light source ( (not shown), a screen 5 that is enlarged and projected by a zoom lens 4, a pulse microscope that drives the X/table 2X of the document stand in the X-axis direction of the x-y coordinate axis, and a Y/table 2y of the document stand. ? It is equipped with a pulse motor 7 for driving in the y-axis direction, and an optical sensor 9 provided at a predetermined distance from a cross line 8 carved in the center of the screen 5.

リニアスケール3は第2図(A)、(B)、(C)に示
すように、X・リニアスケール3XとY・リニアスケー
ル3yとからなり、X・リニアスケール3xはx −y
座標軸のX軸方向に、Y・リニアスケール3 yI;t
 X軸方向に固定されている。載物台のX・テーブル2
Xの中心部は、第2図(A)に示すように、被検査物を
のせて光源からの光を照射できるように透明状のガラス
10で形成されている。又、パルスモータ6および7は
中央処理装置14の記憶制御手段15により駆動制御さ
れる。
As shown in FIGS. 2(A), (B), and (C), the linear scale 3 consists of an X linear scale 3X and a Y linear scale 3y.
In the X-axis direction of the coordinate axis, Y linear scale 3 yI;t
It is fixed in the X-axis direction. Loading stand X table 2
As shown in FIG. 2(A), the center of the X is formed of transparent glass 10 so that an object to be inspected can be placed on it and irradiated with light from a light source. Further, the pulse motors 6 and 7 are driven and controlled by the storage control means 15 of the central processing unit 14.

光センサ−9はスクリーン5上に拡大投影された被検査
物のエツジを明から暗まt:は暗から明の変化でとらえ
て、その読みの信号(1−リガ)をカウンター12へ送
る。カウンター12には、X・テーブル2XとY・テー
ブル2yのX軸方向及びy軸方向の移動によって生じる
X座標およびX座標を示すパルス信号も入力されて、X
座標値およびyFii!標値が表示されるようになって
いる。CPUZ−8013はカウンター12から出力さ
れる上記光センサ−9からの読みの信号(トリガ)と上
記パルス信号とを受けてリニアスケール3を読み込む作
業をするとともに、光センサ−9とリニアスケール3の
コントロールも行っている。
The optical sensor 9 detects the edge of the object to be inspected enlarged and projected on the screen 5 as it changes from bright to dark, and sends a reading signal (1-Riga) to the counter 12. A pulse signal indicating the X coordinate and the X coordinate generated by the movement of the X table 2X and the Y table 2y in the
Coordinate values and yFii! The target value is now displayed. The CPUZ-8013 receives the reading signal (trigger) from the optical sensor 9 output from the counter 12 and the pulse signal to read the linear scale 3, and also reads the optical sensor 9 and the linear scale 3. It also controls.

中央処理装置14の記憶制御手段15はCPU8086
・8087 16とデータ収集用ディスク17とからな
り、演算統計処理手段18はCPU8086・8087
 19とプログラム用ディスク20とからなっている。
The storage control means 15 of the central processing unit 14 is a CPU8086.
・Comprised of 8087 16 and data collection disk 17, arithmetic and statistical processing means 18 consists of CPU 8086/8087
19 and a program disk 20.

記憶制御手段15はCPUZ−8013から送られてく
るリニアスケールの値を読み取り記憶するとともに、載
物台のX・テーブル2x及びYテーブル2yを検査の所
定方向に移動させろためにパルスモータ6および7に制
御信号を送るへく作動する。演算統計処理手段1:i予
め設定された演算プログラムにしたがって、記憶制御手
段15に記憶された情報に基づいて被検査物の外観検査
や寸法計測の計算を行い、その演算結果および該演算結
果に基づく統計処理結果をプリンター22あるいはX−
Yブロック−23に表示するべく作動する。
The storage control means 15 reads and stores the linear scale values sent from the CPUZ-8013, and also operates the pulse motors 6 and 7 to move the X/table 2x and Y table 2y of the stage in a predetermined direction for inspection. It operates by sending a control signal to the Calculation and statistical processing means 1: i Performs calculations for appearance inspection and dimension measurement of the inspected object based on information stored in the storage control means 15 according to a preset calculation program, and calculates the calculation results and the calculation results. The statistical processing results based on the printer 22 or
It operates to display on Y block-23.

中央処理装置14にはプログラム用のディスク1枚とデ
ータ収集用ディスク1枚の計2枚が用意されている。プ
ログラム用ディスクには被測定物について予め本装置に
測定手順、測定箇所を指示するためのティーチングプロ
グラムと、該ティーチングプログラムにしたがって自動
測定された測定点値に基づいて被検査物の外観形状や寸
法の計算を行い且つ予め設定された公差との比較を行う
演算プログラムと、測定および演算結果を統計処理する
ための統計処理プログラムが記憶されている。
The central processing unit 14 is provided with two disks, one disk for programs and one disk for data collection. The program disk contains a teaching program for instructing this device in advance on the measurement procedure and measurement points for the object to be measured, as well as the external shape and dimensions of the object based on the measurement point values automatically measured according to the teaching program. A calculation program for performing calculations and comparison with preset tolerances, and a statistical processing program for statistically processing measurement and calculation results are stored.

上記のティーチングプログラムに教え込まれた測定箇所
は、点、円、長円、角型、ピッチの5種類に限定して行
えるようにしている。又、上記演算ブロゲラムは、測定
された上記5種類の測定箇所データを基に演算するもの
で、演算コマンドとして大別すると、座標、距離、角度
、交点、線、分割、面積、接線及びピッチ等が用意され
ており、これらを用いることにより、被検査物の必要と
するほとんどあらゆる部分の位置・寸法の算出が可能と
なる。
The measurement points taught in the above-mentioned teaching program can be limited to five types: point, circle, ellipse, square, and pitch. In addition, the above-mentioned calculation blogelam performs calculations based on the above-mentioned five types of measurement point data, and the calculation commands can be roughly divided into coordinates, distance, angle, intersection, line, division, area, tangent, pitch, etc. are available, and by using these, it is possible to calculate the position and dimensions of almost any part of the object to be inspected.

又、上記統計処理プログラムは、測定データX1平均数
X、標準偏差δ、測定データ範囲R1工程能力指数、管
理図、ヒストグラム及び確率密度分布及び数分図が用意
されており、このことにより、よりきめこまかい品質管
理が可能になるとともに、現場への敏速な対応が可能と
なる。
In addition, the above statistical processing program is prepared with measurement data X1 average number This makes it possible to perform fine-grained quality control and to respond quickly to the field.

プリンター22は中央処理装置14の演算統計処理手段
18に接続されており、自動計測時の演算結果、統計処
理結果及び検査表をプリン)・アウトする。X−Yプロ
ッター23は作図を必要とする統計処理に使用される。
The printer 22 is connected to the arithmetic and statistical processing means 18 of the central processing unit 14, and prints out arithmetic results during automatic measurement, statistical processing results, and inspection sheets. The X-Y plotter 23 is used for statistical processing that requires plotting.

被検査物の計測実行にあたって(よ、まず被検査物を万
能投影機1の載物台2のX・テーブル2Xのガラス面1
0に、被検査物の一辺(例えば、長方形の被検査物のと
きにはその長手軸)がほぼ平行になるように載せる。こ
の場合、本装置では自動的にサーチし、座標を決定して
ゆくので正確に(平行に)置く必要はない、このように
して置かれた被検査物の計測実行は、中央処理装置14
のCPU8086・8087 16によりゴログラム用
ディスク20に設定記憶されている。ティーチングプロ
グラムにしたがってパルスモータ6及□び7を駆動制御
して載物台2を移動することにより行われろ。即ち、光
センサ−9からの信号とリニアスケール3からの信号が
カウンター12に入力され、CPUZ−8013にてこ
れらの信号をもとにして被検査物の測定点の座標が決定
され、決定された座標を示す信号がCPU8086・8
087 16に入力されてデータ収集用ディスク17に
記憶される。そして、プログラム用デ・rスフ20に予
め設定記憶されている演算プログラムにしたがって被検
査物の寸法計測あるいは外観検査等の演算処理が行われ
てプリンター21あるいは作図が必要とする場合にはX
−Yプ、ロック−23にプリントアウトされる。又、演
算処理されたデータ (データ収集用ディスク17に一
旦記憶されている)はプログラム用ディスク20に予め
設定記憶されている統計処理プログラムにしたがって統
計処理されてプリンター21あるいはX−Yプロッター
23にプリントアウトされる。
When measuring the object to be inspected (first, place the object to be inspected on the glass surface 1 of the stage 2 of the universal projector 1
0, so that one side of the object to be inspected (for example, the longitudinal axis of a rectangular object to be inspected) is approximately parallel to each other. In this case, since this device automatically searches and determines the coordinates, it is not necessary to place the object accurately (parallel).
The settings are stored in the gologram disk 20 by the CPUs 8086 and 8087 16. This is done by driving and controlling the pulse motors 6 and 7 according to the teaching program to move the stage 2. That is, the signal from the optical sensor 9 and the signal from the linear scale 3 are input to the counter 12, and the CPUZ-8013 determines the coordinates of the measurement point of the object to be inspected based on these signals. The signal indicating the coordinates is sent to the CPU8086/8.
087 16 and stored in the data collection disk 17. Then, calculation processing such as dimension measurement or appearance inspection of the object to be inspected is performed according to the calculation program set and stored in advance in the program desk screen 20, and the printer 21 or X
It is printed out on -Yp, Lock-23. In addition, the arithmetic-processed data (temporarily stored in the data collection disk 17) is statistically processed according to a statistical processing program that is preset and stored in the program disk 20, and then sent to the printer 21 or the X-Y plotter 23. It will be printed out.

く効 果〉 上述の如く、本発明によろ打抜孔が設けられた被検査物
の自動検査装置は、 ■ 光センサーにて被検査物のエツジを検出することに
より測定が行われているので、測定の際に読み取り誤差
が生しないこと、 ■ 演算プログラム、統計処理プログラムを駆使するこ
とにより、より高度な演算・測定結果の処理が可能であ
ること、 ■ 被検査物の自動計測中にプリントアウトされたデー
タには公差照合も含まれているので、不良品の検出が速
やかに行われること、 ■ 更には上記■、■、■の理由により位置、寸法の精
度を要求されるハイテク分野や各種工業の分野での測定
や、品質管理に適する装置であること等の効果を有して
いる。
Effects> As mentioned above, the automatic inspection device for the inspected object provided with the punched holes according to the present invention has the following effects: No reading errors occur during measurement; ■ By making full use of calculation programs and statistical processing programs, more advanced calculations and measurement results can be processed; ■ Printing out during automatic measurement of the inspected object. Since the data obtained includes tolerance verification, defective products can be detected quickly. ■ Furthermore, due to the reasons mentioned above, it is useful in high-tech fields and various other fields that require positional and dimensional accuracy. It has the advantage of being a device suitable for measurement in the industrial field and quality control.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明装置の概要を示すブロック図、第2図(
A)、(B)、及び(C)は各々載物台とリニアスケー
ルの位置関係を示す平面図、正面図及び側面図である。 1 ・万能投影機、2・−載物台、 3 リニアスケール、5 スクリーン、6.7 ・パル
スモータ、9 光センサ、11・測定点座標決定手段、
[Brief Description of the Drawings] Figure 1 is a block diagram showing an overview of the device of the present invention, and Figure 2 (
A), (B), and (C) are a plan view, a front view, and a side view showing the positional relationship between the stage and the linear scale, respectively. 1 - Universal projector, 2 - Stage, 3 Linear scale, 5 Screen, 6.7 - Pulse motor, 9 Optical sensor, 11 - Measurement point coordinate determination means,

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (a)打抜孔が設けられた被検査物を載置し且つパルス
モータの駆動により移動可能な載物台と、被検査物の測
定位置の前後を教え込むためのリニアスケールと、スク
リーンに拡大投影された被検査物のエッジを感知するた
めの光センサーとを具備する万能投影機と、 (b)上記万能投影機のリニアスケールからの信号と光
センサーからの信号とが入力されて被検査物の測定点の
座標を決定するための測定点座標決定手段と、 (c)上記測定点座標決定手段からの信号が入力され且
つ上記万能投影機のパルスモータの駆動制御を行うため
の記憶制御手段と、該記憶制御手段に入力記憶されたデ
ータに基づいて演算及び統計処理を行うための演算統計
処理手段とからなる中央処理装置と、 (d)上記中央処理装置の演算統計処理手段に接続され
ている上記演算及び統計処理結果をプリントアウトする
ためのプリント手段と、 からなる打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置。
[Scope of Claims] (a) A stage on which an object to be inspected having a punched hole is placed and movable by the drive of a pulse motor, and a linear system for teaching the front and back of the measurement position of the object to be inspected. (b) a signal from the linear scale of the universal projector and a signal from the optical sensor; (c) A signal from the measurement point coordinate determination means is input and the signal from the measurement point coordinate determination means is input to determine the coordinates of the measurement point of the object to be inspected, and drive control of the pulse motor of the universal projector is performed. (d) a central processing unit comprising a storage control means for performing the above operations, and an arithmetic and statistical processing means for performing calculations and statistical processing based on the data input and stored in the storage control means; An automatic inspection device for an object to be inspected, which is provided with a punched hole, comprising: printing means for printing out the arithmetic and statistical processing results, which is connected to the arithmetic and statistical processing means;
JP22607785A 1985-10-11 1985-10-11 Automatic inspecting device for object to be inspected provided with punch hole Pending JPS6285802A (en)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5774608A (en) * 1980-10-28 1982-05-10 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Automatic measuring method and apparatus for planar contour

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