JPS6285802A - 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 - Google Patents
打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置Info
- Publication number
- JPS6285802A JPS6285802A JP22607785A JP22607785A JPS6285802A JP S6285802 A JPS6285802 A JP S6285802A JP 22607785 A JP22607785 A JP 22607785A JP 22607785 A JP22607785 A JP 22607785A JP S6285802 A JPS6285802 A JP S6285802A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- disk
- measurement
- stored
- statistical processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000013480 data collection Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈従来の技術〉
一般にICのリードフレーム等のように打抜孔が設けら
れた精密加工部品(以下、被検査物と記す)の外観検査
及び寸法計測には万能投影機が使用されていた。詳しく
は、被検査物を万能投影機の載物台に載せて下方から光
を照射してその被検査物の形状をズームレンズで拡大し
てスクリーン上に投影し、その投影された形状をスクリ
ーン上の十字線を使用して肉眼でもって外観検査及び寸
法計測が行われていた。
れた精密加工部品(以下、被検査物と記す)の外観検査
及び寸法計測には万能投影機が使用されていた。詳しく
は、被検査物を万能投影機の載物台に載せて下方から光
を照射してその被検査物の形状をズームレンズで拡大し
てスクリーン上に投影し、その投影された形状をスクリ
ーン上の十字線を使用して肉眼でもって外観検査及び寸
法計測が行われていた。
〈発明が解決しようとする問題点〉
上記の如き従来の万能投影機を利用した被検査物の外観
検査及び寸法計測に於ては、■その外観検査及び寸法計
測がスクリーン上の十字線を使用して肉眼で行われるの
で、読み取りx差が生じろという問題点、■更には手動
により種々の計測が行われるので、被検査物の測定箇所
が多い場合には多大の測定時間を必要とし、しかもその
測定結果を予め設定された公差の許容範囲内にあるかど
うかの照合にも時間を要するという問題点、■しかもこ
れらの測定結果の統計処理が主に人手で行われているた
め、統計処理に費やされろ時間が多大でコストがかかる
という問題点、■更には上記問題点■、■、■のため多
量の被検査物の外観検査及び寸法計測を所定時間内に行
うことができないという問題点があった。
検査及び寸法計測に於ては、■その外観検査及び寸法計
測がスクリーン上の十字線を使用して肉眼で行われるの
で、読み取りx差が生じろという問題点、■更には手動
により種々の計測が行われるので、被検査物の測定箇所
が多い場合には多大の測定時間を必要とし、しかもその
測定結果を予め設定された公差の許容範囲内にあるかど
うかの照合にも時間を要するという問題点、■しかもこ
れらの測定結果の統計処理が主に人手で行われているた
め、統計処理に費やされろ時間が多大でコストがかかる
という問題点、■更には上記問題点■、■、■のため多
量の被検査物の外観検査及び寸法計測を所定時間内に行
うことができないという問題点があった。
く問題点を解決するための手段〉
上記従来からの問題点を解決すべく鋭意研究した結果、
本発明装置においては、被検査物の外観検査及び寸法計
測が上記スクリーン上の十字線を利用した肉眼による読
み取りで行うという方式を排除して、上記十字線の替わ
りに光センサーを使用した方式で行われており、しかも
測定結果が自動的に処理され、且つ統計処理も自動的に
行われている。
本発明装置においては、被検査物の外観検査及び寸法計
測が上記スクリーン上の十字線を利用した肉眼による読
み取りで行うという方式を排除して、上記十字線の替わ
りに光センサーを使用した方式で行われており、しかも
測定結果が自動的に処理され、且つ統計処理も自動的に
行われている。
即ち、本発明による被検査物の自動検査装置は(a)打
抜孔が設けられた被検査物を載置し且つパルスモータの
駆動により移動可能な載物台と、被検査物の測定位置の
前後を教え込むためのリニアスケールと、スクリーンに
拡大投影された被検査物のエツジを感知するための光セ
ンサーとを具備する万能投影機と、(b)上記万能投影
機のリニアスケールからの信号と光センサーからの信号
とが入力されて被検査物の測定点の座標を決定ずろため
の測定点座標決定手段と、(c)上記測定点座標決定手
段からの信号が入力され且つ上記万能投影機のパルスモ
ータの駆動制御を行うための記憶制御手段と、該記憶制
御手段に入力記憶されたデータに基づいて演算及び統計
処理を行うための演算統計処理手段とからなる中央処理
装置と、(d)上記中央処理装置の演算統計処理手段に
接続されている上記演算及び統計処理結果をプリントア
ウトするためのプリンI・手段とからなることを特徴と
している。
抜孔が設けられた被検査物を載置し且つパルスモータの
駆動により移動可能な載物台と、被検査物の測定位置の
前後を教え込むためのリニアスケールと、スクリーンに
拡大投影された被検査物のエツジを感知するための光セ
ンサーとを具備する万能投影機と、(b)上記万能投影
機のリニアスケールからの信号と光センサーからの信号
とが入力されて被検査物の測定点の座標を決定ずろため
の測定点座標決定手段と、(c)上記測定点座標決定手
段からの信号が入力され且つ上記万能投影機のパルスモ
ータの駆動制御を行うための記憶制御手段と、該記憶制
御手段に入力記憶されたデータに基づいて演算及び統計
処理を行うための演算統計処理手段とからなる中央処理
装置と、(d)上記中央処理装置の演算統計処理手段に
接続されている上記演算及び統計処理結果をプリントア
ウトするためのプリンI・手段とからなることを特徴と
している。
く作 用〉
上記の構成により光センサーでスクリーンに拡大投影さ
れた被検査物のエツジを明から暗あるいは暗から明の変
化でとらえるので、読み取り誤差が生じない。又、測定
点座標決定手段にて被検査物の測定点の座標が自動的に
決まり、しかも測定点座標に基づくデータの処理が中央
処理装置にて自動的に行われ、その処理結果がプリント
手段にてプリントアウトされろ。
れた被検査物のエツジを明から暗あるいは暗から明の変
化でとらえるので、読み取り誤差が生じない。又、測定
点座標決定手段にて被検査物の測定点の座標が自動的に
決まり、しかも測定点座標に基づくデータの処理が中央
処理装置にて自動的に行われ、その処理結果がプリント
手段にてプリントアウトされろ。
以下、本発明を第1図〜第2図に示された実施例に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第1図りよ本発明装置の概要を示すブロック図で、第1
図において1は万能投影機、11は測定点座標決定手段
、14は中央処理装置、21はプリント手段を示す。測
定点座標決定手段11はカウンター12とCPUZ−8
013とがらなり、中央処理装置14は記憶制御手段1
5と演算統計処理手段18とからなっている。万能投影
8!1はX・テーブル2XとY・テーブル2yとからな
る載物台2と、リニアスケール3と、ズームレンズ4と
、載物台2に載せられた被検査物の形状が光源(図示せ
ず)とズームレンズ4によって拡大投影されるスクリー
ン5と、上記載物台のX・テーブル2Xをx −y座標
軸のX軸方向に駆動させるパルスモークロと、上記載物
台のY・テーブル2y?y軸方向に駆動させるパルスモ
ータ7と、スクリーン5の中心部に刻まれた十字線8と
所定間隔を置いて設けられた光センサ−9とを具備して
いる。
図において1は万能投影機、11は測定点座標決定手段
、14は中央処理装置、21はプリント手段を示す。測
定点座標決定手段11はカウンター12とCPUZ−8
013とがらなり、中央処理装置14は記憶制御手段1
5と演算統計処理手段18とからなっている。万能投影
8!1はX・テーブル2XとY・テーブル2yとからな
る載物台2と、リニアスケール3と、ズームレンズ4と
、載物台2に載せられた被検査物の形状が光源(図示せ
ず)とズームレンズ4によって拡大投影されるスクリー
ン5と、上記載物台のX・テーブル2Xをx −y座標
軸のX軸方向に駆動させるパルスモークロと、上記載物
台のY・テーブル2y?y軸方向に駆動させるパルスモ
ータ7と、スクリーン5の中心部に刻まれた十字線8と
所定間隔を置いて設けられた光センサ−9とを具備して
いる。
リニアスケール3は第2図(A)、(B)、(C)に示
すように、X・リニアスケール3XとY・リニアスケー
ル3yとからなり、X・リニアスケール3xはx −y
座標軸のX軸方向に、Y・リニアスケール3 yI;t
X軸方向に固定されている。載物台のX・テーブル2
Xの中心部は、第2図(A)に示すように、被検査物を
のせて光源からの光を照射できるように透明状のガラス
10で形成されている。又、パルスモータ6および7は
中央処理装置14の記憶制御手段15により駆動制御さ
れる。
すように、X・リニアスケール3XとY・リニアスケー
ル3yとからなり、X・リニアスケール3xはx −y
座標軸のX軸方向に、Y・リニアスケール3 yI;t
X軸方向に固定されている。載物台のX・テーブル2
Xの中心部は、第2図(A)に示すように、被検査物を
のせて光源からの光を照射できるように透明状のガラス
10で形成されている。又、パルスモータ6および7は
中央処理装置14の記憶制御手段15により駆動制御さ
れる。
光センサ−9はスクリーン5上に拡大投影された被検査
物のエツジを明から暗まt:は暗から明の変化でとらえ
て、その読みの信号(1−リガ)をカウンター12へ送
る。カウンター12には、X・テーブル2XとY・テー
ブル2yのX軸方向及びy軸方向の移動によって生じる
X座標およびX座標を示すパルス信号も入力されて、X
座標値およびyFii!標値が表示されるようになって
いる。CPUZ−8013はカウンター12から出力さ
れる上記光センサ−9からの読みの信号(トリガ)と上
記パルス信号とを受けてリニアスケール3を読み込む作
業をするとともに、光センサ−9とリニアスケール3の
コントロールも行っている。
物のエツジを明から暗まt:は暗から明の変化でとらえ
て、その読みの信号(1−リガ)をカウンター12へ送
る。カウンター12には、X・テーブル2XとY・テー
ブル2yのX軸方向及びy軸方向の移動によって生じる
X座標およびX座標を示すパルス信号も入力されて、X
座標値およびyFii!標値が表示されるようになって
いる。CPUZ−8013はカウンター12から出力さ
れる上記光センサ−9からの読みの信号(トリガ)と上
記パルス信号とを受けてリニアスケール3を読み込む作
業をするとともに、光センサ−9とリニアスケール3の
コントロールも行っている。
中央処理装置14の記憶制御手段15はCPU8086
・8087 16とデータ収集用ディスク17とからな
り、演算統計処理手段18はCPU8086・8087
19とプログラム用ディスク20とからなっている。
・8087 16とデータ収集用ディスク17とからな
り、演算統計処理手段18はCPU8086・8087
19とプログラム用ディスク20とからなっている。
記憶制御手段15はCPUZ−8013から送られてく
るリニアスケールの値を読み取り記憶するとともに、載
物台のX・テーブル2x及びYテーブル2yを検査の所
定方向に移動させろためにパルスモータ6および7に制
御信号を送るへく作動する。演算統計処理手段1:i予
め設定された演算プログラムにしたがって、記憶制御手
段15に記憶された情報に基づいて被検査物の外観検査
や寸法計測の計算を行い、その演算結果および該演算結
果に基づく統計処理結果をプリンター22あるいはX−
Yブロック−23に表示するべく作動する。
るリニアスケールの値を読み取り記憶するとともに、載
物台のX・テーブル2x及びYテーブル2yを検査の所
定方向に移動させろためにパルスモータ6および7に制
御信号を送るへく作動する。演算統計処理手段1:i予
め設定された演算プログラムにしたがって、記憶制御手
段15に記憶された情報に基づいて被検査物の外観検査
や寸法計測の計算を行い、その演算結果および該演算結
果に基づく統計処理結果をプリンター22あるいはX−
Yブロック−23に表示するべく作動する。
中央処理装置14にはプログラム用のディスク1枚とデ
ータ収集用ディスク1枚の計2枚が用意されている。プ
ログラム用ディスクには被測定物について予め本装置に
測定手順、測定箇所を指示するためのティーチングプロ
グラムと、該ティーチングプログラムにしたがって自動
測定された測定点値に基づいて被検査物の外観形状や寸
法の計算を行い且つ予め設定された公差との比較を行う
演算プログラムと、測定および演算結果を統計処理する
ための統計処理プログラムが記憶されている。
ータ収集用ディスク1枚の計2枚が用意されている。プ
ログラム用ディスクには被測定物について予め本装置に
測定手順、測定箇所を指示するためのティーチングプロ
グラムと、該ティーチングプログラムにしたがって自動
測定された測定点値に基づいて被検査物の外観形状や寸
法の計算を行い且つ予め設定された公差との比較を行う
演算プログラムと、測定および演算結果を統計処理する
ための統計処理プログラムが記憶されている。
上記のティーチングプログラムに教え込まれた測定箇所
は、点、円、長円、角型、ピッチの5種類に限定して行
えるようにしている。又、上記演算ブロゲラムは、測定
された上記5種類の測定箇所データを基に演算するもの
で、演算コマンドとして大別すると、座標、距離、角度
、交点、線、分割、面積、接線及びピッチ等が用意され
ており、これらを用いることにより、被検査物の必要と
するほとんどあらゆる部分の位置・寸法の算出が可能と
なる。
は、点、円、長円、角型、ピッチの5種類に限定して行
えるようにしている。又、上記演算ブロゲラムは、測定
された上記5種類の測定箇所データを基に演算するもの
で、演算コマンドとして大別すると、座標、距離、角度
、交点、線、分割、面積、接線及びピッチ等が用意され
ており、これらを用いることにより、被検査物の必要と
するほとんどあらゆる部分の位置・寸法の算出が可能と
なる。
又、上記統計処理プログラムは、測定データX1平均数
X、標準偏差δ、測定データ範囲R1工程能力指数、管
理図、ヒストグラム及び確率密度分布及び数分図が用意
されており、このことにより、よりきめこまかい品質管
理が可能になるとともに、現場への敏速な対応が可能と
なる。
X、標準偏差δ、測定データ範囲R1工程能力指数、管
理図、ヒストグラム及び確率密度分布及び数分図が用意
されており、このことにより、よりきめこまかい品質管
理が可能になるとともに、現場への敏速な対応が可能と
なる。
プリンター22は中央処理装置14の演算統計処理手段
18に接続されており、自動計測時の演算結果、統計処
理結果及び検査表をプリン)・アウトする。X−Yプロ
ッター23は作図を必要とする統計処理に使用される。
18に接続されており、自動計測時の演算結果、統計処
理結果及び検査表をプリン)・アウトする。X−Yプロ
ッター23は作図を必要とする統計処理に使用される。
被検査物の計測実行にあたって(よ、まず被検査物を万
能投影機1の載物台2のX・テーブル2Xのガラス面1
0に、被検査物の一辺(例えば、長方形の被検査物のと
きにはその長手軸)がほぼ平行になるように載せる。こ
の場合、本装置では自動的にサーチし、座標を決定して
ゆくので正確に(平行に)置く必要はない、このように
して置かれた被検査物の計測実行は、中央処理装置14
のCPU8086・8087 16によりゴログラム用
ディスク20に設定記憶されている。ティーチングプロ
グラムにしたがってパルスモータ6及□び7を駆動制御
して載物台2を移動することにより行われろ。即ち、光
センサ−9からの信号とリニアスケール3からの信号が
カウンター12に入力され、CPUZ−8013にてこ
れらの信号をもとにして被検査物の測定点の座標が決定
され、決定された座標を示す信号がCPU8086・8
087 16に入力されてデータ収集用ディスク17に
記憶される。そして、プログラム用デ・rスフ20に予
め設定記憶されている演算プログラムにしたがって被検
査物の寸法計測あるいは外観検査等の演算処理が行われ
てプリンター21あるいは作図が必要とする場合にはX
−Yプ、ロック−23にプリントアウトされる。又、演
算処理されたデータ (データ収集用ディスク17に一
旦記憶されている)はプログラム用ディスク20に予め
設定記憶されている統計処理プログラムにしたがって統
計処理されてプリンター21あるいはX−Yプロッター
23にプリントアウトされる。
能投影機1の載物台2のX・テーブル2Xのガラス面1
0に、被検査物の一辺(例えば、長方形の被検査物のと
きにはその長手軸)がほぼ平行になるように載せる。こ
の場合、本装置では自動的にサーチし、座標を決定して
ゆくので正確に(平行に)置く必要はない、このように
して置かれた被検査物の計測実行は、中央処理装置14
のCPU8086・8087 16によりゴログラム用
ディスク20に設定記憶されている。ティーチングプロ
グラムにしたがってパルスモータ6及□び7を駆動制御
して載物台2を移動することにより行われろ。即ち、光
センサ−9からの信号とリニアスケール3からの信号が
カウンター12に入力され、CPUZ−8013にてこ
れらの信号をもとにして被検査物の測定点の座標が決定
され、決定された座標を示す信号がCPU8086・8
087 16に入力されてデータ収集用ディスク17に
記憶される。そして、プログラム用デ・rスフ20に予
め設定記憶されている演算プログラムにしたがって被検
査物の寸法計測あるいは外観検査等の演算処理が行われ
てプリンター21あるいは作図が必要とする場合にはX
−Yプ、ロック−23にプリントアウトされる。又、演
算処理されたデータ (データ収集用ディスク17に一
旦記憶されている)はプログラム用ディスク20に予め
設定記憶されている統計処理プログラムにしたがって統
計処理されてプリンター21あるいはX−Yプロッター
23にプリントアウトされる。
く効 果〉
上述の如く、本発明によろ打抜孔が設けられた被検査物
の自動検査装置は、 ■ 光センサーにて被検査物のエツジを検出することに
より測定が行われているので、測定の際に読み取り誤差
が生しないこと、 ■ 演算プログラム、統計処理プログラムを駆使するこ
とにより、より高度な演算・測定結果の処理が可能であ
ること、 ■ 被検査物の自動計測中にプリントアウトされたデー
タには公差照合も含まれているので、不良品の検出が速
やかに行われること、 ■ 更には上記■、■、■の理由により位置、寸法の精
度を要求されるハイテク分野や各種工業の分野での測定
や、品質管理に適する装置であること等の効果を有して
いる。
の自動検査装置は、 ■ 光センサーにて被検査物のエツジを検出することに
より測定が行われているので、測定の際に読み取り誤差
が生しないこと、 ■ 演算プログラム、統計処理プログラムを駆使するこ
とにより、より高度な演算・測定結果の処理が可能であ
ること、 ■ 被検査物の自動計測中にプリントアウトされたデー
タには公差照合も含まれているので、不良品の検出が速
やかに行われること、 ■ 更には上記■、■、■の理由により位置、寸法の精
度を要求されるハイテク分野や各種工業の分野での測定
や、品質管理に適する装置であること等の効果を有して
いる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の概要を示すブロック図、第2図(
A)、(B)、及び(C)は各々載物台とリニアスケー
ルの位置関係を示す平面図、正面図及び側面図である。 1 ・万能投影機、2・−載物台、 3 リニアスケール、5 スクリーン、6.7 ・パル
スモータ、9 光センサ、11・測定点座標決定手段、
A)、(B)、及び(C)は各々載物台とリニアスケー
ルの位置関係を示す平面図、正面図及び側面図である。 1 ・万能投影機、2・−載物台、 3 リニアスケール、5 スクリーン、6.7 ・パル
スモータ、9 光センサ、11・測定点座標決定手段、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (a)打抜孔が設けられた被検査物を載置し且つパルス
モータの駆動により移動可能な載物台と、被検査物の測
定位置の前後を教え込むためのリニアスケールと、スク
リーンに拡大投影された被検査物のエッジを感知するた
めの光センサーとを具備する万能投影機と、 (b)上記万能投影機のリニアスケールからの信号と光
センサーからの信号とが入力されて被検査物の測定点の
座標を決定するための測定点座標決定手段と、 (c)上記測定点座標決定手段からの信号が入力され且
つ上記万能投影機のパルスモータの駆動制御を行うため
の記憶制御手段と、該記憶制御手段に入力記憶されたデ
ータに基づいて演算及び統計処理を行うための演算統計
処理手段とからなる中央処理装置と、 (d)上記中央処理装置の演算統計処理手段に接続され
ている上記演算及び統計処理結果をプリントアウトする
ためのプリント手段と、 からなる打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22607785A JPS6285802A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22607785A JPS6285802A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285802A true JPS6285802A (ja) | 1987-04-20 |
Family
ID=16839454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22607785A Pending JPS6285802A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6285802A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5774608A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-10 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Automatic measuring method and apparatus for planar contour |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP22607785A patent/JPS6285802A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5774608A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-10 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Automatic measuring method and apparatus for planar contour |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4647208A (en) | Method for spatial measurement of holes | |
| KR940007899B1 (ko) | 공작물의 3차원위치계측방법과 공작물의 포착방법 | |
| TW201518889A (zh) | 影像量測系統及方法 | |
| JP4145012B2 (ja) | 眼鏡レンズ加工方法及びレンズメータ | |
| EP0204701A1 (en) | Method and apparatus for calibrating a positioning system | |
| JPS60122304A (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| US5596412A (en) | Process and device for the quantified assessment of the physiological impression of reflective surfaces | |
| CN114877804A (zh) | 一种工件点位三维坐标获取装置、方法及系统 | |
| JPH03184742A (ja) | Nc加工装置における原点補正方法 | |
| JPS6285802A (ja) | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 | |
| CN219369588U (zh) | 一种闪测仪 | |
| WO1993003325A1 (en) | Method and apparatus for automatic densitometer alignment | |
| JP3056823B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS6285803A (ja) | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査方法 | |
| JP2621416B2 (ja) | 移動量の測定用プレート | |
| JP2000122019A (ja) | 液晶表示パネルの検査方法および検査装置 | |
| JP2569718Y2 (ja) | レンズメータの被検レンズ光学中心位置表示装置 | |
| JP2553352Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JPS6285804A (ja) | 打抜孔が設けられた被検査物の自動検査装置 | |
| JP2000074631A (ja) | 面取り幅測定装置 | |
| EP0296252A1 (en) | Optical measuring instrument | |
| JPS59103464A (ja) | 画像自動検査装置 | |
| JPH102726A (ja) | 測定プレート、ホイールアラインメント測定装置及びホイールアラインメント測定方法 | |
| JPH02159509A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JP2606581Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 |