JPS6285809A - パタ−ン認識用照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、表面に凹凸パターンを有する、組み立て工
程中の半導体集積回路素子等の・対象物表面を、撮影の
ために照明するパターン認識照明装置に関する。

［従来の技術］ 第３図１１従来から使用されているパターン認識照明装
置を示す縦断面図で１図において（１）は対象物である
半導体集積回路素子チップ、（２）はこのチップ（１）
の中心の垂線、（３）はこの垂線より１５°傾けて配設
された光源用ランプ、（４）はチップ（１）とランプ（
３）間に配設された拡散透過板であるすりガラス板、（
５）は、このすりガラス板（４）を保持、固定しランプ
（３）を囲むランプハウス、（６）は垂線（２）に対し
ランプ（３）と対称に１５″傾けて配設されたカメラ装
ｃ、　（７）はチップ（１）に当てられ反射しカメラ装
置（６）に向かう反射光、（８）は主にこの反射光（７
）が通過する反射光域、（９）はチップ（１）の表面で
正反射された光が反射光（７）の成分となる明視野光、
（１０）は主にこの明視野光（９）が通過する明視野光
域、（１１）はチップ（１）の表面で乱反射された光の
一部が反射光（７）の成分となる暗視野光、（１２）は
主にその暗視野光（１１）が通過する暗視野光域である
。

次にその動作について説明する。ランプ（３）から発せ
られた光はすりガラス板（４）に当たり拡散される。こ
の拡散された光の一部はチップ（１）の表面へ明視野光
（９）と暗視野光（１１）として向かう。

チップ（１）の表面は第４図で示すように微細な凹凸面
を有しているので、その平坦な部分に対しては明視野光
（９）の正反射された光が、傾斜のある部分に対しては
暗視野光（１１）の乱反射された光がカメラ装置（６）
に向かう。これら２種類の光によってチップ（り表面の
明るさはカメラ装置（６）側から見た時均−になり、カ
メラ装置（６）には均一の明るさのチップ（１）の画像
が得られる。

［発明が解決しようとする問題点コ 従来の装置は以上の様に構成されているので、明視野光
域（１０）中の光量と暗視野光域中の光量との割合、即
ち明視野光・暗視野光成分比が一定であるため、表面の
凹凸状態の異なるチップ（１）に対してはカメラ装置ｆ
！　（６）に向かう反射光（７）の均一度が異なってく
る。即ち所定の凹凸面をもったチップに対し、均一の明
るさのチップ画像が得られても、それと異なった凹凸面
をもったチップ表面からは均一な明るさの画像が得られ
ず１例えばカメラ装置（６）からの画像信号を２値化処
理した場合、チップ画像の一部が欠ける等の問題点を有
していた。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので１表面の凹凸状態の異なるチップ等の対象物の
表面からも均一な明るさを得ることができるパターン認
識用照明装置を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この発明にかかるパターン認識用照明装置は、すりガラ
ス板等の拡散透過板上に明視野光成分と暗視野光成分と
の比を調整するための遮光体を設けたものである。

［作　用］ この発明においては、拡散透過板上に設けた遮光膜、半
遮光膜等の遮光体により、例えば暗視野光の一部を遮光
、明視野光を減光するなどして。

対象物の表面状態が異なっても均一な反射光が得られる
よう調整される。

［実施例］ 以下この発明の実施例を図について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
それの拡散透過板部を示す下面図である。

図において（２）〜（１２）は従来装置と同様のもので
あり、（１３）は、拡散透過板であるすりガラス板（４
）に貼り付けたリング状遮光膜、（１４）はこのリング
状遮光膜（１３）の内側のすりガラス板（４）に貼りつ
けた半遮光膜、（１５）は、対象物である従来装置にお
いて均一な反射光を得たチップ（１）とは異なった凹凸
状態の表面をもつ品種の異なるチップである。

次にその動作を説明する。ランプ（３）から発せられた
光はすりガラス板（４）に当たり拡散透過する。この光
がチップ（１５）に向かうが、その内リング状遮光膜（
１３）の貼布された個所からチップ（１５）に向かう光
はなく、その分晴視野光（１１）は減少する。又、半遮
光膜（１４）によって明視野光（９）が減少する。この
ことはリング状遮光膜（１３）の外径又は半遮光膜（１
４）の光透過度を変えることによって明視野光（９）と
暗視野光（１１）の成分比が変わることを示している。

従ってカメラ装置（６）でとらえた品種の異なるチップ
（１５）の画像を均一とし、カメラ装置（６）でとらえ
た品種の異なるチップ（１５）の画像を均一の明るさと
することができる。

なお上記実施例ではすりガラス板（４）にリング状遮光
膜とそれの内側に半遮光膜を貼り付けたものを示したが
、被対象物の表面凹凸状態によっては、リング状遮光膜
とそれの外側に半遮光膜を貼り付けるようにしてもよい
。

［発明の効果コ 以上のように、この発明によれば拡散透過板上に調整用
遮光体を設けるようにしたため、対象物の表面状態に応
じて明視野光と暗視野光との成分比を変えることにより
１品種の異なる対象物からも均一な明るさの反射光を得
ることが、単に遮光膜を貼付する等の極めて簡単かつ安
価な手段によって可能となるパターン認識用照明装置が
得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
それの拡散透過板部を示す下面図、第３図は従来のパタ
ーン認識用照明装置を示す縦断面図、第４図は対象物で
ある集積回路素子チップの表面凹凸状態を示す断面図で
ある。 図において（１）は集積回路素子チップ（対象物）、（
３）は光源用ランプ、（４）はすりガラス板（拡散透過
板）、（６）はカメラ装置、（７）は反射光、（８）は
反射光域、（９）は明視野光、　（１０）は明視野光域
、（１１）は暗視野光、（１２）は暗視野光域、（１３
）はリング状遮光膜（遮光体）、（１４）は半遮光膜（
遮光体）、（１５）はチップ（］）とは異なる品種のチ
ップ（対象物）である。 図中同一符号は同−或は相当部分を示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面に凹凸パターンの有する対象物の表面に光源
   から拡散透過板を介した光を照射し、それからの反射波
   をカメラ装置で撮影するようにしたパターン認識用照明
   装置において、上記拡散透過板上に、上記対象物の表面
   から反射され上記カメラ装置に向かう反射光中、正反射
   される明視野光成分と乱反射される暗視野光成分との比
   を調整する遮光体を設けたことを特徴とするパターン認
   識用照明装置。
2. （２）上記遮光体は、上記拡散透過板の外周部の暗視野
   光の一部を遮光する円形リング状透光膜と、その内側中
   央部の明視野光を減光させる半遮光膜とからなるもので
   ある特許請求の範囲第１項記載のパターン認識用照明装
   置。
3. （３）上記遮光体は、上記拡散透過板の外周部の暗視野
   光の一部を遮光する円形リング状遮光部と、その外側の
   暗視野光の残部を減光させる半遮光膜とからなるもので
   ある特許請求の範囲第１項記載のパターン認識用照明装
   置。