JPS6286742A - ブレ−クエキスパンド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体製造過程において、ダイシングサレタ
ウエハをブレークエキスパンドする装置に関Ｔるもので
ある。

〔従来の技術〕

第４図は従来のエキスバンドリング表層用パレットの一
部切欠き平面図、第８図はこの一部拡大斜視図である。

図において、（１）はリングが装着されるパレット、（
２）は内リング、（８＆）は外リングで、この外周には
凹溝（３りとナーリング＠（３ｂ）とが設けられている
。

１４）は上記内、外リング＋２）（８ａ）を支えるガイ
ドピン、（５ａ）は外リング（８ａ）のｉ？１（８０）
に食い込むクランプ爪で、圧縮ばね（６］によりガイド
ピン＋４１側へ押付けられている。（７）は上記クラン
プ爪（５ａ）や、圧縮ばね（６）を収納するケースで、
六角穴付ボルト（８）でパレット（１）に着脱自在に取
付けられている。（９）はクランプ爪（５ａ　）や、圧
縮ばね（６］の動きをスムーズにし、且つ跳び出しを防
止する押さえ板で、皿ねじαｌによりケース（７）に取
付けられている。

次に動作について説明する。内リング（２）と外リング
（３ａ）は適度のフィツトをもって嵌め合わされており
、両リングは先ずクランプ爪（５ａ）側に押し付けられ
て寸法上の余裕を生じさせた後、ガイドピン１４）側が
装着される。ガイドピン（４）側へは、圧縮コイルばね
（６）のばね圧により、クランプ爪（５ａ）を介して常
時押し付けられ、ガイドピン１４）の２点と、クランプ
爪（５ａ）の合わせて８点により支持され、且つリング
の回転防止がなされる。なお、クランプ爪（５ａ）の先
端は三角台状になっており、外リング（８ａ）の凹溝（
８ｃ）に食い込むように装着されるため、外リング（８
ａ）の上下方向のずれは生じない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のブレークエキスパンド装置におけるリング装着パ
レットは以上のように構成されているので、リングが装
着されたパレットにおいて、ある特定の方向からパレッ
トに衝撃力が作用すると、クランプ爪と外リングの凹溝
との食い込み部に回転方向のずれが生じ、パレットとリ
ングとの相対位置関係が変化して、次工程におけるダイ
ボンド作業時に不都合を生じるという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、パレットに衝撃力が作用しても、容易にリン
グが回転ずれを生じないという、極めて保持精度の高い
リング装着パレットを有するブレークエキスパンド装置
を得ることを目的としている。

〔問題点を解決Ｔるための手段〕

この発明によるブレークエキスパンド装置のリング装着
パレットは、リングの２点をガイドピンで支え、さらに
、外リングの外周に予め設けられているナーリング溝に
食い込ませるような先端に２箇所の突起を有するクラン
プ爪で支えたものである。

〔作用〕

この発明によるリング装着パレットは、クランプ爪の先
端がかなりの鋭角を有Ｔる突起状となっており、この突
起部分が、外リングの外周に切られたナーリング溝に食
い込むようになされており、さらにこのクランプ爪はそ
れが収納されるケースの側壁により回転方向にずれない
ように規制を受けているため、パレットに衝撃力が作用
しても容易にリングが回転ずれを生じない。

〔実施例〕

以下この発明の一実施例を図について説明する。

第１肉及び第２図において、（５ｂ）はクラン１爪で、
これは先端に外リング（３ａ）のナーリング溝（８ｂ）
に食い込む一対の突起（５０）を有している。このクラ
ンプ爪（５ｂ）が第８図、第４図のクランプ爪（５ａ）
の代りに用いられている以外は、池の構成は第８図、第
４図に示す従来のものと同じなので説明を省略する。

このような構成のものでは、クランプ爪（５ｂ）の先端
は圧縮ばね（６）の作用により１常時外リング（８＆）
のナーリング溝（３ｂ）に食い込んでいると同時に、ク
ランプ爪（５ｂ）はケース（７）により横方向の回転ず
れ規制を受けているため、たとえパレットにある任意の
方向から衝撃力が作用し、リングに回転力が生じたとし
ても、リングとクランプ爪、即ちリングとパレットとの
相対位置関係は変らず、リングの回転防止が図られる。

！！た、詳細な実験及び観察の結果、次のことが判明し
た。

Ｉ）リングが回転ずれを生じ易いのは、リングが圧縮ば
ねの方向に慣性で動こうとＴるような衝撃力がパレット
のクランプ爪側の端部に作用した場合である。

１１）本発明のクランプ爪を用いると、回転ずれ量が従
来のもののも以下に低減できる。

１１１）パレットに衝撃力が作用してリングが圧縮ばね
側へ移動しても、リングの外周のナーリング溝から、ク
ランプ爪の先端の突起は跳び出す、リングの回転力を阻
止している。

なお、上記実施例ではクランプ爪の突起は２個設けてい
るが、１個でも２個以外の複数個でもよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、クランプ爪の先端に突
起を設け、これを外リングの外周ナーリング溝に食い込
ませるように構成したので、パレットに対する外部衝撃
力で生じていたリングの回転ずれが防止でき、非常に位
置精度の高いエキスバンドリング装着パレットが得られ
、次工程のダイボンド作業が高精度に行なえる効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるリング装着パレット
を示す一部切欠き平面因、第２図はその要部拡大斜視図
、第８図は第２図のものに相当Ｔる部分の要部拡大斜視
図、第４図は従来のリング装着パレットを示す一部切欠
き平面図である。 図中、（１）はパレット、（２）は内リング、（８ａ）
は外リング、（ａｂ）ｃｘナナ−ング溝、１４）はガイ
ドピン、（５ｂ）はクランプ爪、（５りは突起、（６）
は圧縮ばね、（７）はナースである。 尚、図中同一符号は同一！！たけ相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. リングの２点をガイドピンで支え、他の１箇所はリング
   の外周に設けられているナーリング溝に食い込むような
   突起を有するクランプ爪で支えられたエキスパンドリン
   グ装着パレットを備えたことを特徴とするブレークエキ
   スパンド装置。