JPS6288547A - 熱変位補正装置 - Google Patents
熱変位補正装置Info
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- JPS6288547A JPS6288547A JP22949885A JP22949885A JPS6288547A JP S6288547 A JPS6288547 A JP S6288547A JP 22949885 A JP22949885 A JP 22949885A JP 22949885 A JP22949885 A JP 22949885A JP S6288547 A JPS6288547 A JP S6288547A
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- Japan
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 60
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、工作機械等の熱変位を一定時間毎に補正でき
るようにした熱変位補正装置に関するものである。
るようにした熱変位補正装置に関するものである。
〈従来の技術〉
一般に、工作機械の熱変位補正装置においては、数値制
御データ中に熱変位補正指令をプログラムしておき、熱
変位補正指令が読出される毎に加ニブログラムに割込ん
で可動部を温度変化に応じて補正移動させ、熱変位を補
正する方式と、検出部の温度が単位温度変化する毎に、
工作機械の可動部を単位量移動させて熱変位を補正する
方式等とがある。
御データ中に熱変位補正指令をプログラムしておき、熱
変位補正指令が読出される毎に加ニブログラムに割込ん
で可動部を温度変化に応じて補正移動させ、熱変位を補
正する方式と、検出部の温度が単位温度変化する毎に、
工作機械の可動部を単位量移動させて熱変位を補正する
方式等とがある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、前者の方式においては、数値制御データ
の要所要所に熱変位補正指令をプログラムする必要があ
るばかりでなく、1ブロツクのプログラムの実行時間が
長い場合には、その途中で熱変位を補正できないことか
ら、熱変位補正をりィムリーに実施できない問題がある
。
の要所要所に熱変位補正指令をプログラムする必要があ
るばかりでなく、1ブロツクのプログラムの実行時間が
長い場合には、その途中で熱変位を補正できないことか
ら、熱変位補正をりィムリーに実施できない問題がある
。
また後者の方式においては、温度が単位量上昇した場合
には子方向の補正を行い、温度が単位量低下した場合に
は一方向の補正を行うものであるので、運転中において
生じた温度変化による熱変位の補正はできても、運転停
止時に温度変化が生じたような場合には、特別な手段を
講じない限り運転開始時に停止中に生じた熱変位を補正
することができなく、しかも検出部の温度のみでは室温
等の影響によって適正な熱変位補正ができない問題があ
る。
には子方向の補正を行い、温度が単位量低下した場合に
は一方向の補正を行うものであるので、運転中において
生じた温度変化による熱変位の補正はできても、運転停
止時に温度変化が生じたような場合には、特別な手段を
講じない限り運転開始時に停止中に生じた熱変位を補正
することができなく、しかも検出部の温度のみでは室温
等の影響によって適正な熱変位補正ができない問題があ
る。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は上記した従来の問題点に鑑みてなされたもので
、その構成は、工作機械等の検出部の温度と室温もしく
は工作機械等のベース温度との温度差を測定する温度差
測定手段を設け、熱変位補正指令が与えられた場合に、
前記温度差測定手段の出力を一定時間毎に入力して前回
入力との比較演算を行う比較演算手段を設け、この比較
演算手段による比較演算結果に基づいて補正値を算出も
しくは選択する補正値算出手段を設け、この補正値算出
手段にて算出もしくは選択された補正値に応じて工作機
械等の可動部を補正移動させる補正移動手段を設けたも
のである。
、その構成は、工作機械等の検出部の温度と室温もしく
は工作機械等のベース温度との温度差を測定する温度差
測定手段を設け、熱変位補正指令が与えられた場合に、
前記温度差測定手段の出力を一定時間毎に入力して前回
入力との比較演算を行う比較演算手段を設け、この比較
演算手段による比較演算結果に基づいて補正値を算出も
しくは選択する補正値算出手段を設け、この補正値算出
手段にて算出もしくは選択された補正値に応じて工作機
械等の可動部を補正移動させる補正移動手段を設けたも
のである。
く作用〉
上記構成により、熱変位補正指令が与えられると、一定
時間毎に温度差測定手段にて測定された温度差が入力さ
れ、前回入力された温度差と比較演算されて変化温度Δ
Tが求められる。この変化温度に基づいて補正値が算出
もしくは選択され、この補正値に対応したパルスが割込
み処理によりサーボモータに与えられ、工作機械等の可
動部が補正移動される。しかしてかかる補正動作は補正
完了指令が与えられるまで一定時間毎に実行され、熱変
位がインプロセス補正される。
時間毎に温度差測定手段にて測定された温度差が入力さ
れ、前回入力された温度差と比較演算されて変化温度Δ
Tが求められる。この変化温度に基づいて補正値が算出
もしくは選択され、この補正値に対応したパルスが割込
み処理によりサーボモータに与えられ、工作機械等の可
動部が補正移動される。しかしてかかる補正動作は補正
完了指令が与えられるまで一定時間毎に実行され、熱変
位がインプロセス補正される。
〈実施例〉
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図および第2図は本発明を適用する数値制御工作機
械を示し、この工作機械のベッド10上にはテーブル1
1およびコラム12が互いに直交するX軸(左右)方向
およびZ軸(前後)方向にそれぞれ移動可能に装架され
ている。コラム12には主軸ヘッド13がY軸(上下)
方向に移動可能に装架され、この主軸ヘッド13に工具
を着脱可能に装着する主軸(図示せず)が2軸に平行な
水平軸線りまわりに回転可能に軸承されている。しかし
て前記テーブル11、主軸ヘッド13およびコラム12
はサーボモータ15.16.17により各軸方向に送り
制御され、主軸に装着された工具によりテーブル11上
のワークを加工するようになっている。
械を示し、この工作機械のベッド10上にはテーブル1
1およびコラム12が互いに直交するX軸(左右)方向
およびZ軸(前後)方向にそれぞれ移動可能に装架され
ている。コラム12には主軸ヘッド13がY軸(上下)
方向に移動可能に装架され、この主軸ヘッド13に工具
を着脱可能に装着する主軸(図示せず)が2軸に平行な
水平軸線りまわりに回転可能に軸承されている。しかし
て前記テーブル11、主軸ヘッド13およびコラム12
はサーボモータ15.16.17により各軸方向に送り
制御され、主軸に装着された工具によりテーブル11上
のワークを加工するようになっている。
かかる構成の数値制御工作機械には、可動部の温度を検
出するために、前記主軸ベンド13先端の両側2か所に
サーミスタSA、SBが取付けられ、またコラム12の
前面と後面の2か所にサーミスタSC,SDが取付けら
れている。また加工部から離れたベッド10の後面には
室温(ベース温度)検出用のサーミスタSEが取付けら
れている。これら検出部に取付けられた各サーミスタ5
A−SDと室温検出用サーミスタSEとは互いに結線さ
れてそれらの温度差が測定される。
出するために、前記主軸ベンド13先端の両側2か所に
サーミスタSA、SBが取付けられ、またコラム12の
前面と後面の2か所にサーミスタSC,SDが取付けら
れている。また加工部から離れたベッド10の後面には
室温(ベース温度)検出用のサーミスタSEが取付けら
れている。これら検出部に取付けられた各サーミスタ5
A−SDと室温検出用サーミスタSEとは互いに結線さ
れてそれらの温度差が測定される。
第3図は前記サーミスタSAが取付けられた検出部の温
度TAと室温TEとの温度差を測定する温度差測定回路
20を示すもので、検出部の温度TAを検出するサーミ
スタSAを組込んだ温度検出回路21と、室温TEを検
出するサーミスタSEを組込んだ温度検出回路22と、
これら温度検出回路21.22の再出力を入力して減算
処理を行う差動増幅器23とによって構成され、この差
動増幅器23の出力はAD変換器24によりAD変換さ
れ、数値制御装置30よりREADY信号が出力された
際に数値制御装置30に入力されるようになっている。
度TAと室温TEとの温度差を測定する温度差測定回路
20を示すもので、検出部の温度TAを検出するサーミ
スタSAを組込んだ温度検出回路21と、室温TEを検
出するサーミスタSEを組込んだ温度検出回路22と、
これら温度検出回路21.22の再出力を入力して減算
処理を行う差動増幅器23とによって構成され、この差
動増幅器23の出力はAD変換器24によりAD変換さ
れ、数値制御装置30よりREADY信号が出力された
際に数値制御装置30に入力されるようになっている。
同様な構成の温度差測定回路が、サーミスタSBにて検
出される検出部の温度TBと室温TEとの温度差(TB
−TE) 、サーミスタSCにて検出される検出部の温
度TCと室温TEとの温度差(TC−TE)ならびにサ
ーミスタSDにて検出される検出部の温度TDと室温T
Eとの温度差(TD−TE)をそれぞれ測定するために
設けられている。
出される検出部の温度TBと室温TEとの温度差(TB
−TE) 、サーミスタSCにて検出される検出部の温
度TCと室温TEとの温度差(TC−TE)ならびにサ
ーミスタSDにて検出される検出部の温度TDと室温T
Eとの温度差(TD−TE)をそれぞれ測定するために
設けられている。
なお、以下の説明においては、サーミスタSAにて検出
される検出部の温度TAとサーミスタSEにて検出され
る室温TEとの温度差(T A −TE)を測定値Aと
称し、同様に検出部温度TB。
される検出部の温度TAとサーミスタSEにて検出され
る室温TEとの温度差(T A −TE)を測定値Aと
称し、同様に検出部温度TB。
TC,TDと室温TEとの各温度差(TB−TE。
TC−TE、TD−TE)を測定値B、 C,Dと称す
ることにする。
ることにする。
ここで工作機械の熱変位として、測定値AとBの温度差
による主軸ヘッド13の傾きによってX軸方向の熱変位
が生じ、測定値CとDの温度差によるコラム12の倒れ
によってY軸およびZ軸方向の熱変位が生じ、また測定
値AとBとの絶対値に基づいてZ軸方向の熱変位が生じ
、測定値CとDとの絶対値に基づいてY軸方向の熱変位
が生じるため、以下の実施例においては、下記表に基づ
いてX軸、Y軸、Z軸の熱変位を補正する例について述
べる。
による主軸ヘッド13の傾きによってX軸方向の熱変位
が生じ、測定値CとDの温度差によるコラム12の倒れ
によってY軸およびZ軸方向の熱変位が生じ、また測定
値AとBとの絶対値に基づいてZ軸方向の熱変位が生じ
、測定値CとDとの絶対値に基づいてY軸方向の熱変位
が生じるため、以下の実施例においては、下記表に基づ
いてX軸、Y軸、Z軸の熱変位を補正する例について述
べる。
第4図は前記数値制御工作機械を制御する数値制御装置
30の構成を示すもので、この数値制御装置30は、マ
イクロプロセッサMPUと、続出専用メモリROMと、
ランダムアクセスメモリRAMとからなる中央処理装置
CPUによって主に構成され、この中央処理装置CPU
には、前述した各軸サーボモータ15.16.17をそ
れぞれ駆動する駆動回路DUX、DUY、DUZに指令
パルスを供給するパルス発生回路31がインタフェイス
32を介して接続されている。また中央処理装置CPU
には、前記温度差測定回路20の出力をAD変換するA
D変換器24がインタフェース33を介して接続されて
いるとともに、手動パルス発生器34および補正パルス
発生回路35がインタフェース36を介して接続されて
いる。
30の構成を示すもので、この数値制御装置30は、マ
イクロプロセッサMPUと、続出専用メモリROMと、
ランダムアクセスメモリRAMとからなる中央処理装置
CPUによって主に構成され、この中央処理装置CPU
には、前述した各軸サーボモータ15.16.17をそ
れぞれ駆動する駆動回路DUX、DUY、DUZに指令
パルスを供給するパルス発生回路31がインタフェイス
32を介して接続されている。また中央処理装置CPU
には、前記温度差測定回路20の出力をAD変換するA
D変換器24がインタフェース33を介して接続されて
いるとともに、手動パルス発生器34および補正パルス
発生回路35がインタフェース36を介して接続されて
いる。
前記ランダムアクセスメモリRAMには、第5図に示す
ように前記温度差測定回路20にて測定された測定値A
、B、C,Dの各データを一時記憶するデータエリアT
AA、TBA、TCA、TDAと、数値制御プログラム
を記憶するデータエリアNCDAとが形成されている。
ように前記温度差測定回路20にて測定された測定値A
、B、C,Dの各データを一時記憶するデータエリアT
AA、TBA、TCA、TDAと、数値制御プログラム
を記憶するデータエリアNCDAとが形成されている。
次に数値制御実行ルーチンを第6図および第7図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
加工開始指令が与えられると、中央処理装置CPUは、
第6図に示すようにランダムアクセスメモリRAMの数
値制御データエリアNCDAに記憶された数値制御デー
タを1ブロツクずつ読出し、これに応じて補助機能等の
処理を行うと同時に、各軸に対するパルス分配を行い、
加工を制御する。
第6図に示すようにランダムアクセスメモリRAMの数
値制御データエリアNCDAに記憶された数値制御デー
タを1ブロツクずつ読出し、これに応じて補助機能等の
処理を行うと同時に、各軸に対するパルス分配を行い、
加工を制御する。
ここで熱変位の補正に関する補助機能として、rM80
JはX軸補正指令を、rM81JはY軸補正指令を、r
M82JはZ軸補正指令を、「M2S、」は同時3軸補
正指令を、またrM84Jは補正完了指令を示し、数値
制御データ中に加工内容に応じて選択的にプログラムさ
れるようになっている。
JはX軸補正指令を、rM81JはY軸補正指令を、r
M82JはZ軸補正指令を、「M2S、」は同時3軸補
正指令を、またrM84Jは補正完了指令を示し、数値
制御データ中に加工内容に応じて選択的にプログラムさ
れるようになっている。
しかして第6図に示す数値制御実行ルーチンにおいて、
読出された1ブロツクの数値制御データ中に補助機能M
80〜M83があると、Mコード処理として第7図に示
す数値制御実行ルーチンが実行される。以下−例として
X軸補正指令M80が指令された場合の実行ルーチンに
ついて説明する。
読出された1ブロツクの数値制御データ中に補助機能M
80〜M83があると、Mコード処理として第7図に示
す数値制御実行ルーチンが実行される。以下−例として
X軸補正指令M80が指令された場合の実行ルーチンに
ついて説明する。
X軸補正指令M80が与えられると、中央処理装置CP
Uは第7図に示すように、ステップ50においてタイム
カウントを開始し、一定時間が経過してタイムアツプす
ると、ステップ51においてREADY信号を出力する
。次いでステップ52において、温度差測定回路20に
て測定された測定値A−D、すなわち各検出部と室温と
の温度差(TA−TE、 TB−TE、 TC−TE、
TD−TE)が入力され、回路のバッファメモリにそ
れぞれ記憶される。続いてステップ53において前回入
力された測定値との比較演算が行われ、変化温度ΔTが
求められる。ここで前記ステップ52における入力が最
初の場合には、前回の入力は初期値Oとなって演算結果
は入力値となり、また前記ステップ52における入力が
n回目の場合には、変化温度ΔTは以下のように演算処
理される。
Uは第7図に示すように、ステップ50においてタイム
カウントを開始し、一定時間が経過してタイムアツプす
ると、ステップ51においてREADY信号を出力する
。次いでステップ52において、温度差測定回路20に
て測定された測定値A−D、すなわち各検出部と室温と
の温度差(TA−TE、 TB−TE、 TC−TE、
TD−TE)が入力され、回路のバッファメモリにそ
れぞれ記憶される。続いてステップ53において前回入
力された測定値との比較演算が行われ、変化温度ΔTが
求められる。ここで前記ステップ52における入力が最
初の場合には、前回の入力は初期値Oとなって演算結果
は入力値となり、また前記ステップ52における入力が
n回目の場合には、変化温度ΔTは以下のように演算処
理される。
ΔTA= An−A(n−+)
=TAn−TEn −(TA (n−+)−TE (n
−+))ΔTB= On−B(n−r) = TBn −TEn −(TB (n−+)−TE
(n−+ ) )ΔTC=Cn−C(n−+) = TCn −TEn −(TC(n−+)−TE (
n−+ ) )ΔTD= On−D(n−+ン =TDn−THn −(TD cn−+)−TH(n−
+ ) )かかる比較演算の後、前記ランダムアクセス
メモリRAMのデータエリアTAA、TBA、TCA。
−+))ΔTB= On−B(n−r) = TBn −TEn −(TB (n−+)−TE
(n−+ ) )ΔTC=Cn−C(n−+) = TCn −TEn −(TC(n−+)−TE (
n−+ ) )ΔTD= On−D(n−+ン =TDn−THn −(TD cn−+)−TH(n−
+ ) )かかる比較演算の後、前記ランダムアクセス
メモリRAMのデータエリアTAA、TBA、TCA。
TDAには前回の入力値に替わって今回の入力値が書込
まれる。
まれる。
次いでステップ54においては、前述したように演算さ
れた変化温度ΔTに対応する補正値が算出される。この
補正値はX軸補正の場合には下記式より求められる。
れた変化温度ΔTに対応する補正値が算出される。この
補正値はX軸補正の場合には下記式より求められる。
ΔX=kt(ΔTA−ΔTB)
ここでに、は予め実験によって求められた定数もしくは
関数である。
関数である。
次いでステップ55において補正値ΔXに対応したパル
ス数を補正パルス発生回路35より発信して手動パルス
発生器34の割込み部へ割込ませ、これによってX軸駆
動回路DUXが制御されてX軸サーボモーター5が駆動
され、テーブル11を主軸ヘッド13の熱変位分だけ補
正移動する。続いてステップ56において補正完了指令
M84が出力されているかどうかが判別され、補正完了
指令M84が出力されていない場合には、最初のステッ
プ50に戻って上述した熱変位補正動作を一定時間間隔
で実行する。なお、時間間隔は任意に設定できるが、加
工に伴う温度変化による熱変化が大きくならない範囲で
設定するのがよく、−例として30秒間隔程度が適当で
ある。
ス数を補正パルス発生回路35より発信して手動パルス
発生器34の割込み部へ割込ませ、これによってX軸駆
動回路DUXが制御されてX軸サーボモーター5が駆動
され、テーブル11を主軸ヘッド13の熱変位分だけ補
正移動する。続いてステップ56において補正完了指令
M84が出力されているかどうかが判別され、補正完了
指令M84が出力されていない場合には、最初のステッ
プ50に戻って上述した熱変位補正動作を一定時間間隔
で実行する。なお、時間間隔は任意に設定できるが、加
工に伴う温度変化による熱変化が大きくならない範囲で
設定するのがよく、−例として30秒間隔程度が適当で
ある。
上記においてはX軸補正についで述べたが、X軸補正(
MB2)もしくはZ軸補正(MB2)の場合には、前記
ステップ54における補正値ΔYもしくはΔZの算出式
は下記のようになる。
MB2)もしくはZ軸補正(MB2)の場合には、前記
ステップ54における補正値ΔYもしくはΔZの算出式
は下記のようになる。
ここでに2〜に5は前記に、と同様に予め実験によって
求められた定数もしくは関数である。
求められた定数もしくは関数である。
なお上記実施例においては、補正値を定数もしくは関数
を用いて計算によ、って算出する例について述べたが、
続出専用メモリROMに変化温度ΔTに応じた補正値を
登録しておき、変化温度ΔTに応じてその変化温度に対
応した補正値を読出して熱変位を補正することもできる
。
を用いて計算によ、って算出する例について述べたが、
続出専用メモリROMに変化温度ΔTに応じた補正値を
登録しておき、変化温度ΔTに応じてその変化温度に対
応した補正値を読出して熱変位を補正することもできる
。
また上記実施例においては、X軸、Y軸、Z軸の3軸の
補正が可能な例について述べたが、勿論補正軸が1軸の
ものにも通用でき、補正値の算出においても、1つの温
度差測定回路の変化温度に基づいて補正値を算出あるい
は読出すようにすることも可能である。
補正が可能な例について述べたが、勿論補正軸が1軸の
ものにも通用でき、補正値の算出においても、1つの温
度差測定回路の変化温度に基づいて補正値を算出あるい
は読出すようにすることも可能である。
さらに上記実施例においては、工作機械の熱変位補正に
ついて述べたが、測定機の熱変位補正にも適用できるこ
とは勿論である。
ついて述べたが、測定機の熱変位補正にも適用できるこ
とは勿論である。
〈発明の効果〉
以上述べたように本発明は、熱変位補正指令が与えられ
た場合に、温度差測定手段の出力を一定時間毎に入力し
て前回入力と比較演算して変化温度を求め、この変化温
度に基づいて補正値を算出して熱変位補正を行う構成で
あるので、数値制御データの1ブロツクのプログラムの
実行時間が長いような場合にも、そのプログラムの実行
中に一定時間毎に熱変位を補正することができ、熱変位
を最少に抑えることができる効果がある。
た場合に、温度差測定手段の出力を一定時間毎に入力し
て前回入力と比較演算して変化温度を求め、この変化温
度に基づいて補正値を算出して熱変位補正を行う構成で
あるので、数値制御データの1ブロツクのプログラムの
実行時間が長いような場合にも、そのプログラムの実行
中に一定時間毎に熱変位を補正することができ、熱変位
を最少に抑えることができる効果がある。
しかも本発明は、工作機械の検出部の温度と室温もしく
は工作機械のベース温度との温度差の変位に基づいて熱
変位を補正するものであるので、熱変位を室温等の変化
に拘らず正確に補正できる効果も併せて奏せられる。
。
は工作機械のベース温度との温度差の変位に基づいて熱
変位を補正するものであるので、熱変位を室温等の変化
に拘らず正確に補正できる効果も併せて奏せられる。
。
図面は本発明の実施例を示すもので、第1図は数値制御
工作機械の概要を示す正面図、第2図は同側面図、第3
図は温度差測定回路を示す図、第4図は数値制御装置の
構成を示すブロック図、第5図はメモリへのデータの記
憶状態を示す図、第6図は加工制御の実行ルーチンを示
すフローチャート、第7図は熱変位補正の実行ルーチン
を示す図である。 15.16.17・・・サーボモータ、20・・・温度
差測定回路、30・・・数値制御装置。
工作機械の概要を示す正面図、第2図は同側面図、第3
図は温度差測定回路を示す図、第4図は数値制御装置の
構成を示すブロック図、第5図はメモリへのデータの記
憶状態を示す図、第6図は加工制御の実行ルーチンを示
すフローチャート、第7図は熱変位補正の実行ルーチン
を示す図である。 15.16.17・・・サーボモータ、20・・・温度
差測定回路、30・・・数値制御装置。
Claims (2)
- (1)工作機械等の検出部の温度と室温もしくは工作機
械等のベース温度との温度差を測定する温度差測定手段
と、熱変位補正指令が与えられた場合に、前記温度差測
定手段の出力を一定時間毎に入力して前回入力との比較
演算を行う比較演算手段と、この比較演算手段による比
較演算結果に基づいて補正値を算出もしくは選択する補
正値算出手段と、この補正値算出手段にて算出もしくは
選択された補正値に応じて工作機械等の可動部を補正移
動させる補正移動手段とによって構成してなる熱変位補
正装置。 - (2)前記温度差測定手段は、工作機械等の異なる検出
部との温度差を測定するために複数設けられ、これら温
度差の変化温度の差もしくは和に基づいて補正値を算出
するようにしてなる特許請求の範囲第1項に記載の熱変
位補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22949885A JPS6288547A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 熱変位補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22949885A JPS6288547A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 熱変位補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288547A true JPS6288547A (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=16893111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22949885A Pending JPS6288547A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 熱変位補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288547A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5050288A (en) * | 1989-12-15 | 1991-09-24 | The Boeing Company | Dynamic dimensional control matrix system |
| JP2006272538A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | 工作機械及び工作機械の変位補正方法 |
| JP2018079520A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 株式会社ニイガタマシンテクノ | 工作機械の温度調整装置 |
-
1985
- 1985-10-15 JP JP22949885A patent/JPS6288547A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5050288A (en) * | 1989-12-15 | 1991-09-24 | The Boeing Company | Dynamic dimensional control matrix system |
| JP2006272538A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | 工作機械及び工作機械の変位補正方法 |
| JP2018079520A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 株式会社ニイガタマシンテクノ | 工作機械の温度調整装置 |
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