JPS62920A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
- Publication number
- JPS62920A JPS62920A JP60139639A JP13963985A JPS62920A JP S62920 A JPS62920 A JP S62920A JP 60139639 A JP60139639 A JP 60139639A JP 13963985 A JP13963985 A JP 13963985A JP S62920 A JPS62920 A JP S62920A
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- Japan
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- display device
- counter electrode
- liquid crystal
- tft
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、薄膜トランジスタ（以下ＴＰＴという）を
スイッチ素子として表示電極アレイを構成したアクティ
ブマトリックス形の液晶表示装置において、基板間の間
隔制御して、スペーサによるＴＰＴの断線などの故障を
なくし、かつ表示品質を低下しないようにしたものであ
る。
スイッチ素子として表示電極アレイを構成したアクティ
ブマトリックス形の液晶表示装置において、基板間の間
隔制御して、スペーサによるＴＰＴの断線などの故障を
なくし、かつ表示品質を低下しないようにしたものであ
る。
従来、液晶表示装置の基板間の間隔制御の方法は、基板
間の貼合せに用いるシール材中にＭ２Ｏ３粉末やガラス
ピーズ、ガラスファイバなどの間隔制御材を混入したも
のを用いて間隔を制御するとともに、表示面内にガラス
ファイバなどの間隔制御材を散布する方法が採られてい
る。
間の貼合せに用いるシール材中にＭ２Ｏ３粉末やガラス
ピーズ、ガラスファイバなどの間隔制御材を混入したも
のを用いて間隔を制御するとともに、表示面内にガラス
ファイバなどの間隔制御材を散布する方法が採られてい
る。
第３図は特開昭５５−５７８２１号公報に示された従来
の液晶表示装置を示す断面図であシ、この第３図におい
て、２１は上基板、２２は上電極、２３は下基板、２４
は下電極、２５はシール材、２６は偏光板、２７は液晶
、１１は面内スペーサを示す。
の液晶表示装置を示す断面図であシ、この第３図におい
て、２１は上基板、２２は上電極、２３は下基板、２４
は下電極、２５はシール材、２６は偏光板、２７は液晶
、１１は面内スペーサを示す。
第４図はＴＦＴアレイを有する基板と対向電極から成る
アクティブマトリックス形の液晶表示装 ・置のＴ
ＦＴアレイ側基板の平面図であ夛、第５図は第４図のｘ
−ｘ平面の断面図である。
アクティブマトリックス形の液晶表示装 ・置のＴ
ＦＴアレイ側基板の平面図であ夛、第５図は第４図のｘ
−ｘ平面の断面図である。
この第４１図、第５図において、１はｆ−）電極線、２
はソース電極線、３はドレイン電極、４はＴＰＴ、５は
表示電極、６はＴＦＴアレイ基板、７は対向電極、８は
対向電極基板、１１はスペーサ、１２はアモルファスシ
リ：ｒ ｙ （ａ−８ｉ （ｎ） ）、１３はアモルフ
ァスシリコン（ａ−８ｉ （ｉ） ）、１４はｆ−）絶
縁膜、１５はｒ −）電極である。
はソース電極線、３はドレイン電極、４はＴＰＴ、５は
表示電極、６はＴＦＴアレイ基板、７は対向電極、８は
対向電極基板、１１はスペーサ、１２はアモルファスシ
リ：ｒ ｙ （ａ−８ｉ （ｎ） ）、１３はアモルフ
ァスシリコン（ａ−８ｉ （ｉ） ）、１４はｆ−）絶
縁膜、１５はｒ −）電極である。
次に、スペーサ１１の散布方法について説明する。たと
えば直径１０μｍのガラスファイバを約５０μｍの長さ
に切断し、イソプロピルアルコールや７レオンを媒体に
して混合液を作成する。そして、一方の基板側にガラス
ファイバ混合液ｔ−＊状にスプレ分散し、シール材２５
を印刷した基板と圧着貼合せるととＫよシ、ガラスファ
イバの直径ｌＯμｍの面内間隔の制御ができる。
えば直径１０μｍのガラスファイバを約５０μｍの長さ
に切断し、イソプロピルアルコールや７レオンを媒体に
して混合液を作成する。そして、一方の基板側にガラス
ファイバ混合液ｔ−＊状にスプレ分散し、シール材２５
を印刷した基板と圧着貼合せるととＫよシ、ガラスファ
イバの直径ｌＯμｍの面内間隔の制御ができる。
一方、第４図および第５図のような構造のＴＰＴプレイ
を有するＴＰＴプレイ基板６と対向電極基板８を組み合
わせたアクティブマトリックス液晶表示装置では、上記
のような従来のスペーサの散布方法を用いて対向電極基
板８またはＴＦＴアレイ基板６上に全面散布した場合、
ＴＰＴ４の部分や多層配線部（すなわち、アモルファス
シリコン１２ （ａ−８ｉ（ｎ））、アモルファスシリ
コン１３（ａ−８ｔ （ｉ） ） 、 ？’ −）絶縁
膜１４、Ｐ −）電極１５０部分による）表示電極５の
上にスペーサ１１が必然的に存在することになる。
を有するＴＰＴプレイ基板６と対向電極基板８を組み合
わせたアクティブマトリックス液晶表示装置では、上記
のような従来のスペーサの散布方法を用いて対向電極基
板８またはＴＦＴアレイ基板６上に全面散布した場合、
ＴＰＴ４の部分や多層配線部（すなわち、アモルファス
シリコン１２ （ａ−８ｉ（ｎ））、アモルファスシリ
コン１３（ａ−８ｔ （ｉ） ） 、 ？’ −）絶縁
膜１４、Ｐ −）電極１５０部分による）表示電極５の
上にスペーサ１１が必然的に存在することになる。
スペーサ１１がＴＦＴＪや多層配線部に存在すると、対
向電極基板８との圧着貼合せ時に、機械的応力を発生さ
せ、ＴＰＴ ４の断線などの故障を起こしやすく、表示
部の表示室＆５上に存在するときは表示を見にくくする
などの問題があった。
向電極基板８との圧着貼合せ時に、機械的応力を発生さ
せ、ＴＰＴ ４の断線などの故障を起こしやすく、表示
部の表示室＆５上に存在するときは表示を見にくくする
などの問題があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、ＴＦＴアレイの機械的応力による破壊故障を防止で
きるとともＫ、見やすい表示ｆ：得ることができるアク
ティブマトリックス形の液晶表示装置を得ることを目的
とする。
で、ＴＦＴアレイの機械的応力による破壊故障を防止で
きるとともＫ、見やすい表示ｆ：得ることができるアク
ティブマトリックス形の液晶表示装置を得ることを目的
とする。
この発明に係る液晶表示装置は、対向電極基板またはＴ
ＦＴアレイ基板のいずれかの上にＴＰＴ部分、多層配線
部分、有効表示部を除く部分にのみ選択的にスペーサを
固着させたものである。
ＦＴアレイ基板のいずれかの上にＴＰＴ部分、多層配線
部分、有効表示部を除く部分にのみ選択的にスペーサを
固着させたものである。
この発明においては、対向電極基板またはＴＰＴプレイ
基板のいずれかの基板上に、スペーサ材と感光性樹脂、
溶媒から成る混合液を全面に散布塗布した後、写真製版
法によｊＤＴＦＴ部分、多層配線部分、有効表示部分を
除く部分にマスク露光現像することによシ、選択的にス
ペーサを固着する。
基板のいずれかの基板上に、スペーサ材と感光性樹脂、
溶媒から成る混合液を全面に散布塗布した後、写真製版
法によｊＤＴＦＴ部分、多層配線部分、有効表示部分を
除く部分にマスク露光現像することによシ、選択的にス
ペーサを固着する。
以下、この発明の液晶表示装置の実施例を図について説
明する。第１図はその一実施例におけるＴＦＴアレイ基
板の平面図であシ、第２図は第１図の■−■面の断面図
である。
明する。第１図はその一実施例におけるＴＦＴアレイ基
板の平面図であシ、第２図は第１図の■−■面の断面図
である。
この第１図および第２図の両図において、１はｆ−）電
極線、２はソース電極線、３はドレイン電極、４はＴＰ
Ｔ、５は表示電極、６はＴＦＴアレイ基板、７は対向電
極、８＃−ｊ：対向電極基板、１１ｉｊ スヘ−ｆ 、
１２ ハアモルファスシリコン（ａ−８ｔ（ｎ）Ｊ、１
３はアモルファスシリコン（ａ−８ｔ（ｉ））、１４は
ｆ−）絶縁膜、１５はｒ−）電極、図中の斜線表示部は
ＴＰＴ部分、多層配線部、有効表示部を示すもので、Ｔ
ＦＴ部はＴＦＴ４ｊ−主体にして構成右れ、多層配線部
はアモルファスシリコン１２（ａ−８ｉ（ｎ））、アモ
ルファスシリコン１３ （ａ−８ｉ（ｉ））、絶縁膜１
４、Ｐ−）絶縁膜１５とによル構成さ、れ、 ゛ま
た、有効表示部は表示電極５１！−主体にして構成され
ている。
極線、２はソース電極線、３はドレイン電極、４はＴＰ
Ｔ、５は表示電極、６はＴＦＴアレイ基板、７は対向電
極、８＃−ｊ：対向電極基板、１１ｉｊ スヘ−ｆ 、
１２ ハアモルファスシリコン（ａ−８ｔ（ｎ）Ｊ、１
３はアモルファスシリコン（ａ−８ｔ（ｉ））、１４は
ｆ−）絶縁膜、１５はｒ−）電極、図中の斜線表示部は
ＴＰＴ部分、多層配線部、有効表示部を示すもので、Ｔ
ＦＴ部はＴＦＴ４ｊ−主体にして構成右れ、多層配線部
はアモルファスシリコン１２（ａ−８ｉ（ｎ））、アモ
ルファスシリコン１３ （ａ−８ｉ（ｉ））、絶縁膜１
４、Ｐ−）絶縁膜１５とによル構成さ、れ、 ゛ま
た、有効表示部は表示電極５１！−主体にして構成され
ている。
直径１０μｍ１長さ５０μｍの硬質ガラスファイ・ぐ５
０ダと感光性レジストＯＭＲ−８３（東京応化工業）の
３０センチボイズ品１００１の混合液を作成し、ＴＦＴ
アレイ基板６または対向電極基板８上に３０００ｒＰｍ
の回転数で塗布した。
０ダと感光性レジストＯＭＲ−８３（東京応化工業）の
３０センチボイズ品１００１の混合液を作成し、ＴＦＴ
アレイ基板６または対向電極基板８上に３０００ｒＰｍ
の回転数で塗布した。
８０℃２０分の前乾燥の後、第１図の斜線部分を遮蔽す
るマスクを用いて露光し、現像、リンスすることによシ
未露光部分のレジストおよびガラス７アイパを除去した
後、１４５℃２０分の焼付を行なった。
るマスクを用いて露光し、現像、リンスすることによシ
未露光部分のレジストおよびガラス７アイパを除去した
後、１４５℃２０分の焼付を行なった。
このＴＦＴアレイ基板６と対向電極基板８′ｆｒエポキ
シ樹脂シール材で圧着貼合せした。この結果、第１図、
第２図に示すようにスペーサ１１はＴＦＴ４および多層
配線部、有効表示部を除いて選択的に固定される。この
とき、ＴＦＴアレイ基板６と対向電極基板８とのセル間
隔はｌＯμｍ±１．５μｍの精度であった。
シ樹脂シール材で圧着貼合せした。この結果、第１図、
第２図に示すようにスペーサ１１はＴＦＴ４および多層
配線部、有効表示部を除いて選択的に固定される。この
とき、ＴＦＴアレイ基板６と対向電極基板８とのセル間
隔はｌＯμｍ±１．５μｍの精度であった。
なお、上記実施例に３いて、感光性樹脂としてネガ型感
光性しソストを用いたが、ポジ型感光性レジストあるい
は感光性ポリイミド（たとえばホトニースＵＲ−３１４
０）などを用いても同様である。
光性しソストを用いたが、ポジ型感光性レジストあるい
は感光性ポリイミド（たとえばホトニースＵＲ−３１４
０）などを用いても同様である。
また、スペーサ材１１として、ガラスファイバ以外にガ
ラスピーズ、アルミナ粒子、有機粒子体などを用いても
よい。
ラスピーズ、アルミナ粒子、有機粒子体などを用いても
よい。
この発明は以上説明したとおシ、スペーサをＴＰＴ部分
、多層配線部分、有効表示部以外に選択的に固着するこ
とによシ、ＴＦＴアレイ基板と対向電極基板の圧着組立
工程でのＴＰＴ部分、多層配線部分にスペーサが介在す
ることがないので、スペーサによる断線、短絡などの故
陣をなくすることができる。
、多層配線部分、有効表示部以外に選択的に固着するこ
とによシ、ＴＦＴアレイ基板と対向電極基板の圧着組立
工程でのＴＰＴ部分、多層配線部分にスペーサが介在す
ることがないので、スペーサによる断線、短絡などの故
陣をなくすることができる。
また、有効表示部にもスペーサがないため、表示品質の
低下をおこさず、均一なセル間隔を制御することができ
る効果がある。
低下をおこさず、均一なセル間隔を制御することができ
る効果がある。
第１図はこの発明の液晶表示装置の一実施例におけるＴ
ＦＴアレイを有する基板の平面図、第２図は第１図の■
−■面の断面図、第３図は従来の液晶表示装置を示す断
面図、第４図は従来のスペーサ散布方法を用いたＴＦＴ
アレイ基板を有する液晶表示装置の平面図、第５図は第
４図のＸ−Ｘ面の断面図である。 １・−１”−）電極線、２・・・ソース電極線、３・・
・ドレイン電極、４・−ＴＦＴ、５−・・表示電極、６
・・・ＴＦＴアレイ基板、７・・・対向電極、８・・・
対向電極基板、１１・・・スペーサ、１２．１３・・・
アモルファスシリコン、１４・・・ｅ−）絶縁膜、１５
・・・ｆ−）電極。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第１ｖ！Ｊ ３二 Ｖしづ 〉ｌ曙２！、極 ４： ＴＦＴ ＋５： リーート’ｉ！、ｍ 第２図 ｔす
ＦＴアレイを有する基板の平面図、第２図は第１図の■
−■面の断面図、第３図は従来の液晶表示装置を示す断
面図、第４図は従来のスペーサ散布方法を用いたＴＦＴ
アレイ基板を有する液晶表示装置の平面図、第５図は第
４図のＸ−Ｘ面の断面図である。 １・−１”−）電極線、２・・・ソース電極線、３・・
・ドレイン電極、４・−ＴＦＴ、５−・・表示電極、６
・・・ＴＦＴアレイ基板、７・・・対向電極、８・・・
対向電極基板、１１・・・スペーサ、１２．１３・・・
アモルファスシリコン、１４・・・ｅ−）絶縁膜、１５
・・・ｆ−）電極。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第１ｖ！Ｊ ３二 Ｖしづ 〉ｌ曙２！、極 ４： ＴＦＴ ＋５： リーート’ｉ！、ｍ 第２図 ｔす
Claims (1)
- 表面上に薄膜トランジスタアレイを有する薄膜トランジ
スタアレイ基板と、対向電極基板と、この対向電極基板
と薄膜トランジスタアレイ基板に介在された液晶とから
成る液晶表示装置において、上記対向電極基板側もしく
は薄膜トランジスタアレイ基板の上にスペーサ材と感光
性樹脂、溶媒からなる混合液を全面に塗布した後にマス
ク露光および現像により薄膜トランジスタ部分、多層配
線部分、有効表示部を除く部分に選択的に固着されたス
ペーサとよりなることを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139639A JPS62920A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139639A JPS62920A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62920A true JPS62920A (ja) | 1987-01-06 |
Family
ID=15249959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60139639A Pending JPS62920A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62920A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63221322A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-14 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP60139639A patent/JPS62920A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63221322A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-14 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
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